JP4513302B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
請求項2に記載の発明は、ベース板と、前記ベース板上に設けられ、且つ、複数の接続パッドを有する半導体基板および該半導体基板上に設けられた保護膜の開口部を介して前記接続パッドに電気的に接続されて設けられた再配線と、前記再配線の接続パッド部上面に設けられた柱状電極と、前記再配線を含む保護膜の上面に設けられ、前記柱状電極の上面と面一となるように設けられた封止膜とを有する半導体構成体と、前記半導体構成体の周囲における前記ベース板上に設けられた絶縁層と、前記半導体構成体および前記絶縁層上に設けられた第1の上層絶縁膜と、前記第1の上層絶縁膜上に形成された第2の上層絶縁膜と、前記第1の上層絶縁膜上に前記半導体構成体の再配線の接続パッド部に電気的に接続されて設けられた第1の上層再配線と、前記第2の上層絶縁膜上に前記第1の上層再配線に電気的に接続されて設けられ、外部接続用の接続パッド部を備える第2の上層再配線と、前記第2の上層絶縁膜を介して相対向する一対の導電層を有し、前記一対の導電層の各々が前記接続パッドに電気的に接続される回路素子と、を備え、前記回路素子の一対の導電層の一方は、前記第1の上層絶縁膜上に、前記上層再配線と同一材料により形成され、他方は、前記第2の上層絶縁膜上に形成されることを特徴とするものである。
請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載の発明において、前記上層絶縁膜上に、前記上層再配線の前記外部接続用の接続パッド部を除く部分を覆う最上層絶縁膜を有することを特徴とするものである。
請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の発明において、前記外部接続用の接続パッド部上に半田ボールが設けられていることを特徴とするものである。
請求項5に記載の発明は、請求項2に記載の発明において、前記第1の上層再配線は前記第1の上層絶縁膜に設けられた開口部を介して柱状電極の上面に接続されて設けられていることを特徴とするものである。
請求項6に記載の発明は、請求項1または2に記載の発明において、前記回路素子は容量素子であることを特徴とするものである。
請求項7に記載の発明は、請求項1または2に記載の発明において、前記回路素子はアンテナ素子であることを特徴とするものである。
図1はこの発明の第1実施形態としての半導体装置の一部の平面図を示し、図2は図1のA−A線にほぼ沿う断面図を示し、図3は図1のB−B線にほぼ沿う断面図を示す。この半導体装置は平面方形状のベース板1を備えている。ベース板1は、ガラス繊維、アラミド繊維、液晶繊維等にエポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂、BT(ビスマレイミド・トリアジン)樹脂、PPE(ポリフェニレンエーテル)等を含浸させたもの、シリコン、ガラス、セラミックス、樹脂単体等の絶縁材料、あるいは、銅やアルミニウム等の金属材料からなっている。
上記第1実施形態では、図2および図3に示すように、上層絶縁膜24上に上層再配線27を1層だけ形成した場合について説明したが、これに限らず、2層以上としてもよく、例えば、図18および図19に示すこの発明の第2実施形態のように、2層としてもよい。この場合、図18は図2同様の断面図を示し、図19は図3同様の断面図を示す。
図20はこの発明の第3実施形態としての半導体装置の一部の平面図を示し、図21は図20のC−C線にほぼ沿う断面図を示す。この場合、図20のD−D線にほぼ沿う断面図は図3と同じである。この半導体装置において、図1〜図3に示す場合と大きく異なる点は、一対の導電層18、32によって逆F形アンテナやパッチアンテナ等の対向導電層回路素子を構成するようにした点である。
なお、対向導電層回路素子は、コンデンサやアンテナに限らず、相対向する一対の導電層を有して構成されるものであれば何でもよい。また、上記各実施形態において、半導体構成体2は、外部接続用電極として、再配線14の接続パッド部上に設けられた柱状電極20を有するものとしたが、これに限定されるものではない。例えば、半導体構成体2は、外部接続用電極としての接続パッド部を有する再配線14のみを有するものであってもよい。さらに、ベース板1は、1枚の部材に限らず、絶縁膜および配線が交互に積層された多層印刷回路板としてもよい。
2 半導体構成体
3 接着層
4 シリコン基板
5、6 接続パッド
7 絶縁膜
9 保護膜
14 再配線
15 第1の接続配線
16 第2の接続配線
18 下層導電層
20、21 柱状電極
22 封止膜
23 絶縁層
24 上層絶縁膜
27 上層再配線
28 第3の接続配線
32 上層導電層
33 オーバーコート膜
35 半田ボール
Claims (7)
- ベース板と、
前記ベース板上に設けられ、且つ、複数の接続パッドを有する半導体基板および該半導体基板上に設けられた保護膜の開口部を介して前記接続パッドに電気的に接続されて設けられた再配線と、前記再配線を含む保護膜の上面に設けられた封止膜とを有する半導体構成体と、
前記半導体構成体の周囲における前記ベース板上に設けられた絶縁層と、
前記半導体構成体および前記絶縁層上に設けられた少なくとも1層の上層絶縁膜と、
前記上層絶縁膜上に前記半導体構成体の再配線の接続パッド部に電気的に接続されて設けられ、外部接続用の接続パッド部を備える上層再配線と、
前記封止膜および前記上層絶縁膜を介して相対向する一対の導電層を有し、前記一対の導電層の各々が前記接続パッドに電気的に接続される回路素子と、
を備え、
前記回路素子の一方の導電層は前記上層絶縁膜上に前記上層再配線と同一材料により設けられており、
前記回路素子の他方の導電層は前記半導体構成体の前記保護膜上に設けられていることを特徴とする半導体装置。 - ベース板と、
前記ベース板上に設けられ、且つ、複数の接続パッドを有する半導体基板および該半導体基板上に設けられた保護膜の開口部を介して前記接続パッドに電気的に接続されて設けられた再配線と、前記再配線の接続パッド部上面に設けられた柱状電極と、前記再配線を含む保護膜の上面に設けられ、前記柱状電極の上面と面一となるように設けられた封止膜とを有する半導体構成体と、
前記半導体構成体の周囲における前記ベース板上に設けられた絶縁層と、
前記半導体構成体および前記絶縁層上に設けられた第1の上層絶縁膜と、
前記第1の上層絶縁膜上に形成された第2の上層絶縁膜と、
前記第1の上層絶縁膜上に前記半導体構成体の再配線の接続パッド部に電気的に接続されて設けられた第1の上層再配線と、前記第2の上層絶縁膜上に前記第1の上層再配線に電気的に接続されて設けられ、外部接続用の接続パッド部を備える第2の上層再配線と、
前記第2の上層絶縁膜を介して相対向する一対の導電層を有し、前記一対の導電層の各々が前記接続パッドに電気的に接続される回路素子と、
を備え、
前記回路素子の一対の導電層の一方は、前記第1の上層絶縁膜上に、前記上層再配線と同一材料により形成され、他方は、前記第2の上層絶縁膜上に形成されることを特徴とする半導体装置。 - 請求項2に記載の発明において、前記第2の上層絶縁膜上に、前記第2の上層再配線の前記外部接続用の接続パッド部を除く部分を覆う最上層絶縁膜を有することを特徴とする半導体装置。
- 請求項3に記載の発明において、前記外部接続用の接続パッド部上に半田ボールが設けられていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項2に記載の発明において、前記第1の上層再配線は前記第1の上層絶縁膜に設けられた開口部を介して柱状電極の上面に接続されて設けられていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1または2に記載の発明において、前記回路素子は容量素子であることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1または2に記載の発明において、前記回路素子はアンテナ素子であることを特徴とする半導体装置。
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