JP4507651B2 - 搬送装置 - Google Patents

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Description

本発明は、異常時に、走行する搬送台車を安全に停止させる搬送装置に関するものである。
半導体製造、液晶製造、FAなどにおける搬送手段は、OHT(Over head Hoist Transport)やOHS(Over Head Shuttle)などの走行路上を走行する台車による無人搬送システムが主流となってきている。OHT、OHSは走行路上を走行するため、無軌道で床上を走る無人搬送台車に比べて高速走行が可能である。かかる走行路上には複数台の搬送台車が走行しており、異常時に、搬送台車を制御できなくなり、停止させることができなくなってしまうと、搬送台車同士が衝突するおそれがあるため、これまでに、異常時に搬送台車を安全に停止させるブレーキ機構が提案されている(特許文献1、特許文献2)。
例えば、特許文献1には、走行する搬送台車本体の下面にばねを介して吸着板を取付け、吸着板の下面側にはブレーキパッドを設けると共に、ブレーキパッドと対向位置に摩擦係合部を設けたブレーキ機構が開示されている。かかるブレーキ機構は、常時(通電時)はバネの付勢力に抗して電磁石で吸着板を吸着し、吸着板のブレーキパッドを摩擦係合部から引き離した状態にし、停電などの異常時(非通電時)には電磁石の磁力が喪失し、バネの付勢力と自重とで降下した吸着板が固定磁石に吸着され、吸着板のブレーキパッドが摩擦係合部と摩擦係合してブレーキ作動が行われる。
また、特許文献2には、圧縮されたバネの復元力を利用して、くさび(ブレーキシュー)を走行路に押付けて摩擦抵抗により搬送台車を停止させるブレーキ機構が開示されている。かかるブレーキ機構は、常時は、ブレーキシューをバネで走行路に押圧するように支持し、通電した電磁石の作用により、バネの復元力よりも大きな力でバネを圧縮させて、ブレーキシューを走行路から離隔させている。そして、異常時には電磁石に電流が供給されなくなるため、バネを圧縮させる力がなくなり、ブレーキシューがバネの復元力により走行路に押圧され、摩擦抵抗によるブレーキ作動が行われる。
特開平10−112971号公報(図3) 特開平10−19066号公報(図1)
しかしながら、特許文献1のブレーキ機構では、載荷重が大きくて走行部に大きな慣性力が作用した場合に、強固な構造でないと慣性力によってブレーキ機構が変形して有効に機能しなくなるおそれがあり、それにより、搬送台車を確実に停止できないおそれがある。また、特許文献2のブレーキ機構においても、慣性力が大きくなると、ブレーキシューを大きくしたり、ブレーキシューを大きな力で押圧するためにバネや電磁石を大型化したりする必要があり、搬送台車自体が大型化となってしまうおそれがある。
そこで、本発明の目的は、搬送台車を確実に停止させることができる搬送装置を提供することである。
課題を解決するための手段及び効果
本発明は、走行する搬送台車と、レール機構と接触状態で、前記搬送台車を前記レール機構に沿って走行させるローラと、押圧することで摩擦力を発生させる摩擦部材と、異常時に、前記摩擦部材を前記ローラと前記レール機構との両方に押圧して、これらの両方との間に制動力を発生させるブレーキ機構とを備えており、前記ローラが前記レール機構と離隔可能であり、前記ブレーキ機構が、水平方向に移動可能なガイドアームと、一端は前記ガイドアームに回転自在に軸支されると共に、他端には前記摩擦部材が回転自在に軸支された支持アームと、前記ガイドアームが挿入されたシリンダとを有しており、前記ガイドアームと前記支持アームとの軸支部が前記シリンダ内に収容されることによって、前記摩擦部材が前記ローラと前記レール機構から離隔するように前記支持アームが配置されており、異常時に、前記ガイドアームが前記ローラに向かって水平に移動し、前記軸支部が前記シリンダから押し出されて前記支持アームが回転することによって、前記摩擦部材が前記ローラと前記レール機構との両方に当接すると共に、前記摩擦部材が、前記ローラをすくい上げるように前記ローラと前記レール機構との間に挿入して、前記ローラと前記レール機構とを離隔させる。
この構成によると、異常時、例えば、落雷、火災等による電源系や制御系のトラブル時に、摩擦部材をローラとレール機構とに摩擦係合させることで、搬送台車を安全に停止させることができる。異常時に走行が制御できなくなると、走行中の搬送台車は惰性によりフリーラン(制御不能で走行する)状態になってしまう。これにより、例えば、レール機構に複数の搬送台車が存在する場合には、搬送台車同士の衝突を回避することができる。また、停止させる際に、摩擦部材をローラとレール機構との両方に押圧するため、確実に搬送台車を停止させることができる。例えば、回転するローラにのみ摩擦部材を押圧した場合、搬送台車の慣性力が大きいと、回転が停止したローラはレール機構を摺動するおそれがあり、搬送台車が停止するまでの制動距離が長くなる。一方、摩擦部材をローラとレール機構との両方に押圧させると、ローラの回転を停止し、かつ、ローラがレール機構を摺動しないようにすることができ、慣性力が大きい場合であっても、摩擦部材等を大きくすることなく、確実に停止させることができる。また、ローラがレール機構から離れるため、より確実にフリーラン状態の搬送台車を停止させることができる。さらに、ローラを離隔することで、摩擦部材とレール機構との摩擦力だけで、搬送台車を停止させるため、摩擦部材の摩擦力を設定変更することで、搬送台車の制動距離を設定することができる。
本発明において、ブレーキ機構が、無励磁作動型であることが好ましい。この構成によると、異常時には、ブレーキ機構に信号(電力)を送ることができず、ブレーキ機構は無励磁となるため、ブレーキ機構を無励磁作動型とすることで、構造を簡単にすることができる。
本発明において、前記搬送台車の走行方向に関して前後に配列された一対の前記ローラと、前記一対のローラを前後から挟むように一対の前記ブレーキ機構とが設けられてもよい。
本発明のブレーキ機構が、摩擦部材を付勢する付勢手段を備えていることが好ましい。これによると、より早く搬送台車を停止させることができる。
本発明の摩擦部材が、搬送台車の走行方向に進退可能であることが好ましい。この構成によると、搬送台車の幅方向の大きさを小さくすることができる。
以下、本発明の好適な実施の形態について図面を参照しつつ説明する。本実施形態に係る搬送装置は、半導体製品製造施設のように、工程内や工程間を搬送台車で処理対象物を搬送して処理を加えながら最終製品とする搬送システムに好適に適用される。尚、以降の説明においては、半導体基板や液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の処理対象物を搬送する搬送システムについて説明するが、これに限定されるものではなく、電子部品や機械部品、化学品、食品、書類等の荷物を搬送する全業種の搬送システムに適用することができる。
上述の搬送システムは、図5に示すように、OHS(Over Head Shuttle)方式を採用している。具体的に説明すると、搬送システムは、収納容器5を搬送する搬送装置1と、収納容器5の搬送状況や搬送台車2の走行等を管理するメインコントローラ80(図4参照)とを備えている。搬送装置1は、工程内や工程間に設けられ、リニアモータの永久磁石15・17を備えたレール機構3(走行路)と、レール機構3に沿って一方向に走行する搬送台車2とを備えている。尚、永久磁石15は、標準の磁化力を有しており、永久磁石17は、標準の磁化力よりも大きな磁化力を有している。
搬送台車2は、図2〜図4に示すように、収納容器5を載置する載置台35と、載置台35の下面に連結された制御機構31と、コントローラ21と、電源22とを有している。コントローラ21は、メインコントローラ80と無線又は有線により通信可能となっており、電源22から電力が供給され、メインコントローラ80からの信号に基づいて後述する搬送台車2の各機構を制御する。
載置台35は、収容容器5の載置の有無や、載置している収容容器5の種類等の信号をコントローラ21に送信する。尚、収納容器5は、一部が外部雰囲気に解放されたOC(open cassette)形式や、容器内部が密閉されたFOUP(front opening unified pod)形式のキャリアであり、内部にウエーハを収納するように構成されている。制御機構31は、コントローラ21からの信号に基づいて搬送台車2を駆動・停止させる。以下、制御機構31について詳述する。
制御機構31は、載置台35の下面中心部を支持する載置台支持部材36と、載置台支持部材36の下端に設けられた一次側コイル34とを有している。一次側コイル34は、後述のレール機構3の永久磁石15・17に対向するように配置されており、永久磁石15・17とでリニアモータを構成している。一次側コイル34は、一次側鉄心コアと3相コイルとで構成されており、3相交流の電流が通電されることにより直線状に移動する進行磁界を発生する。そして、一次側コイル34は、レール機構3の永久磁石15・17との間の磁気作用により搬送台車2を走行させる推進力や、停止状態を維持する保持力を発生させる。
また、載置台支持部材36の下端には、走行ローラ37および幅方向規正ローラ38が回転自在に設けられている。走行ローラ37および幅方向規正ローラ38は、搬送台車2の走行方向の前側および後側において左右一対に設けられている。走行ローラ37は、レール機構3の走行部12g(走行路)に接触するように設けられている。一方、幅方向規正ローラ38は、レール機構3の各側面壁に当接するように設けられている。これにより、幅方向規正ローラ38は、搬送台車2をレール機構3の幅方向の中心部に位置させることによって、一次側コイル34を常に永久磁石15・17に対向させるようになっている。また、左右一対の走行ローラ37夫々に対向するように、異常時に搬送台車2を停止させる異常時停止機構50が設けられている。
図1に示すように、異常時停止機構50は、プランジャ51とブレーキシュー52(摩擦部材)とリンク53とを有している。プランジャ51は、シリンダ51bと一端がシリンダ51bの外部に突出したと棒ピストン51aとを有しており、棒ピストン51aは、シリンダ51bに沿って水平方向にピストン運動できるようになっている。また、プランジャ51は、内部に図示しないソレノイドを有しており、後述の給電機構39から電流が供給され、励磁することにより棒ピストン51aが移動するようになっている。尚、ソレノイドに供給する電流は、電源22から供給するようにしてもよい。
具体的には、平時には、棒ピストン51aがシリンダ51bから突出した状態となっており、上述のソレノイドが励磁状態となると、棒ピストン51aはシリンダ51b内に引き込む方向(以下、A方向と言う)に移動するようになっている。尚、ソレノイドの励磁作用により棒ピストン51aをA方向に引き込む力の大きさは、後述する圧縮したバネ54の復元力よりも大きくなるように設定されている。そして、ソレノイドが無励磁状態のとき、バネ54の復元力により、棒ピストン51aは、A方向と逆方向に移動し、元の位置に戻るようになっている。また、A方向とは、走行ローラ37に近接する方向でもある。
棒ピストン51aの突出している側の一端には、リンク53が配設されている。リンク53は、回転アーム53a、水平アーム53b、ガイドアーム53cおよび支持アーム53dを有している。水平アーム53bは、棒ピストン51aと平行に配置されており、A方向側の一端に、直線状となるようにガイドアーム53cが配設されている。ガイドアーム53cは、水平アーム53bよりも径が大きく、走行ローラ37に対向するように設けられたシリンダ2aの内壁に沿って水平方向にストン運動可能となっている。これにより、水平アーム53bもA方向にピストン運動可能となっている。
また、コイルバネ54(付勢手段)(以下、単にバネ54と言う)が、水平アーム53bを囲繞するように、ガイドアーム53cとシリンダ2aの側壁との間に配置されている。バネ54は、平時は、ガイドアーム53cをシリンダ2a内のA方向側に位置させるようになっており、水平アーム53bおよびガイドアーム53cが、A方向と逆方向に移動すると、圧縮されるようになっている。従って、水平アーム53bおよびガイドアーム53cがピストン運動可能することに伴い、バネ54が伸縮するようになっている。
回転アーム53aは、棒ピストン51aの突出している側の一端と水平アーム53bの他端とに回転可能に設けられており、回転アーム53aの略中心が、回転アーム53aが回転する支点となっている。そして、回転アーム53aの棒ピストン51a側の一端には、回転アーム53aが回転する際に、棒ピストン51aと水平アーム53bとが平行して移動できるように、回転アーム53aの長さを調節するガイドレールが設けられている。回転アーム53aを設けることにより、棒ピストン51aの移動に伴い、水平アーム53bも移動するようになっている。具体的には、プランジャ51のソレノイドが励磁状態となると、棒ピストン51aがA方向に移動し、回転アーム53aがA方向と逆方向に回転する。そして、バネ54が圧縮されつつ、水平アーム53bがA方向と逆方向に移動する。また、プランジャ51のソレノイドが無励磁状態のとき、棒ピストン51aをA方向に引き込む力がなくなるため、圧縮されたバネ54の復元力により、水平アーム53bがA方向に移動し、それに伴い、棒ピストン51aがA方向と逆方向に移動し、元の位置に戻るようになっている。このように、棒ピストン51aと、水平アーム53bおよびガイドアーム53cとは常に逆方向に移動するようになっている。
ガイドアーム53cの他端には、支持アーム53dの一端が軸支されており、支持アーム53dの他端には、ブレーキシュー52が軸支されている。支持アーム53dは、ガイドアーム53cがシリンダ2a内のA方向側に位置するときは、ガイドアーム53cとがくの字を形成し、ガイドアーム53cがA方向と逆方向に移動すると、ガイドアーム53cと直線状になるようになっている。
ブレーキシュー52は、楔形の形状を有しており、尖端が走行ローラ37側となるように配設されており、走行ローラ37と走行部12gとに押圧することにより摩擦力を発生させ、走行する搬送台車2を摩擦抵抗により停止させる。ガイドアーム53cがシリンダ2a内のA方向側に位置するときは、ブレーキシュー52の尖端がレール枠体12の走行部12gと走行ローラ37との間に挿入されて、両方に密着するようになっている。そして、ガイドアーム53cがA方向と逆方向に移動すると、ブレーキシュー52は、走行部12gと走行ローラ37とから離隔するようになっている。ブレーキシュー52が走行部12gと走行ローラ37とから離隔することで、摩擦抵抗がなくなり、搬送台車2は走行可能な状態となる。尚、ブレーキシュー52が搬送台車2の走行方向に進退するような構造とすることで、搬送台車2が幅方向に大きくならないようにすることができる。
このように、上記の異常時停止機構50のプランジャ51、ブレーキシュー52およびリンク53が一連に動作し、ソレノイドが励磁状態のときは、ブレーキシュー52が走行ローラ37と走行部12gとから離隔することで搬送台車2を走行可能状態とし、無励磁状態となると、ブレーキシュー52が走行部12gと走行ローラ37とに摩擦係合することで、搬送台車2を走行不可能状態とするようになっている。尚、異常時停止機構50は、ブレーキシュー52が搬送台車2の走行方向から押圧できるように、走行ローラ37の走行方向側に配置されていることが好ましい。
また、図5に示すように、載置台支持部材36の下端には、走行距離測定器42も設けられている。走行距離測定器42は、搬送軌道の軌道面となるレール機構3の永久磁石15・17に接触しながら回転するように設けられたタッチローラ43と、タッチローラ43に従動して回転する図示しないエンコーダとを有している。エンコーダは、タッチローラ43の回転数および回転角度を検出する。これにより、走行距離測定器42は、タッチローラ43の円周長と、エンコーダによる回転数および回転角度とに基づいて搬送台車2の走行距離を測定可能にしている。
また、載置台支持部材36の中間部には、給電機構39とガイド機構40とが載置台35側からこの順に設けられている。給電機構39は、二次側鉄心と巻線とを有しており、後述の一次給電線14から供給される高周波電力を受け、高周波電流を生成する。給電機構39は、図示しない電流変換部に接続されている。電流変換部は、整流回路において高周波電流を一旦直流に変換し、PWM変換回路において3相交流に変換した後、この電流を一次側コイル34と異常時停止機構50とに通電させるようになっている。
また、ガイド機構40は、レール機構3の幅方向にスライド可能に設けられたスライド機構41と、スライド機構41の両端部に回転自在に設けられたガイドローラ32・32とを有している。ガイド機構40は、ガイドローラ32・32を何れか一方を後述のガイド部12eに係合することにより走行方向を変更可能にしている。
上記のように構成された搬送台車2は、図5に示すように、レール機構3に設けられている。レール機構3は、例えば、搬送軌道が水平面内に存在する直線軌道や搬送台車2を右折または左折させる曲線軌道、搬送台車2を2方向に切り替え可能に進行させる分岐軌道、上昇する傾斜区域から水平区域に切り替わる凸状軌道等の組み合わせからなっている。そして、レール機構3は、これら各種の軌道を組み合せることによって、上下左右に変化しながら処理装置等の上方や側方を通過する搬送軌道を形成している。尚、レール機構3の軌道は、上述の軌道に限定されることはない。
上記ようなレール機構3の各軌道は、図2に示すように、押出し成形等により形成されたレール枠体12を有している。レール枠体12は、鉛直方向に配置される左側面壁12aおよび右側面壁12bと、両側面壁12a・12bの下端部同士を連結した底面壁12cとを有している。左側面壁12aと右側面壁12bとは、左右対称に形成されている。各側面壁12a・12bは、上面部12dを上端位置に備えている。上面部12dは、底面壁12cに対して平行に配置され、内側方向に向けて形成されている。上面部12dの長さは、両側壁部12a・12bの上面部12d同士が対向されたときに、搬送台車2の制御機構31が通過する最小限の隙間を出現させる程度に設定されている。これにより、上面部12dは、空気中を浮遊する塵埃がレール枠体12の内部に進入し難いものとしている。
また、各側壁部12a・12bは、ガイド部12eを中間位置に有している。ガイド部12eは、底面壁12cに対して平行に配置され、先端部が下方に曲折されている。ガイド部12eは、搬送台車2のガイドローラ32に係合可能に配置されている。そして、ガイド部12eは、搬送径路が2方向に分岐されている場合、ガイドローラ32の係合により搬送台車2を何れかの分岐方向に進行させるようになっている。
上記のガイド部12eと上面部12dとの間には、絶縁材料で形成された支持梁13が設けられている。支持梁13は、2つの先端部を有するように、縦断面がC字形状に形成されている。支持梁13は、先端部が上下に位置するように取り付けられていると共に、これらの先端部間に上述の給電機構39を位置させるように取り付けられている。支持梁13の各先端部には、一次給電線14がそれぞれ設けられている。また、支持梁13は、一次給電線14を搬送軌道の全長に渡って一定の高さ位置に保持するように、搬送軌道方向に所定の間隔で配置されている。一次給電線14は、図示しない給電装置に接続されており、給電装置からの高周波電力を搬送台車2の給電機構39に供給するようになっている。
また、レール枠体12の底面壁12cは、中心位置に配置された溝部12fと、溝部12fを中心として左右対称に配置された走行部12gとを有している。走行部12gには、上述の搬送台車2の走行ローラ37が接触されている。また、溝部12fは、軌道の種類に応じた溝深さに設定されている。例えば、直線軌道、曲線軌道、分岐軌道における溝部12fは、標準の溝深さに設定されている。一方、凸状軌道における溝部12fは、直線軌道の溝深さよりも深い溝深さに設定されている。
次に、上記の搬送システムの動作について説明する。先ず、メインコントローラ80において、全ての収納容器5の保管状態や搬送先等が管理および監視されていると共に、搬送軌道上に存在する全ての搬送台車2の搬送状態が管理および監視されている。そして、収納容器5を処理装置に搬送する場合には、搬送対象となる収納容器5と、搬送に使用される搬送台車2と、搬送先である処理装置とが特定された後、これらの特定した内容を含んだ搬送指令信号が搬送台車2に送信される。
搬送台車2においては、搬送指令信号を受信すると、信号内容に含まれる台車番号データに基づいて自己の搬送台車2に対する指令であることを確認した後、信号内容に含まれる指令の種類を読み取る。例えば搬送指令であれば、収納容器5を処理装置等へ搬送する搬送処理を行なう。
具体的には、搬送指令信号の信号内容に基づいて搬送先となる処理装置等の指定場所を認識し、この指定場所に到達するための走行ルートを決定する。尚、走行ルートは、メインコントローラからの搬送指令信号に含まれていても良い。この後、図3に示すように、一次給電線14から供給された高周波電流を受け、給電機構39に発生した誘導電流に基づいて一旦直流に変換後 、PWM変換回路にて所定周波数の3相交流電流を形成する。そして、3相交流電流を一次側コイル34と異常時停止機構50とに流す。
異常時停止機構50のソレノイドに電流が供給されると、励磁状態となり、上述したように、走行部12gと走行ローラ37とに密着しているブレーキシュー52が離隔する。これにより、走行ローラ37が回転可能状態、つまり、搬送台車2が走行可能状態となる(図1(b))。また、一次側コイル34に電流が供給されることにより、直線状に移動する進行磁界が発生し、搬送軌道の永久磁石15・17との間の磁気作用で発生した推進力により搬送台車2が走行を開始する。
走行中、落雷、火災、その他電源22や給電機構39のトラブルで、一次側コイル34に電流が供給されなくなることで、永久磁石15・17との間の磁気を制御できなくなり、搬送台車2の走行を制御(駆動・停止)できなくなる。このため、走行を停止させることができず、搬送台車2は、惰性により走行し続けるフリーラン状態となる。また、異常時には、異常時停止機構50にも電流が供給されなくなり、異常時停止機構50のソレノイドは無励磁状態となる。
異常時停止機構50のソレノイドが無励磁状態となると、棒ピストン51aは、A方向に引き込む力がなくなり、圧縮されたバネ54の復元力により棒ピストン51aは、A方向と逆方向に移動する。これに伴い、水平アーム53b、ガイドアーム53c、支持アーム53d及びブレーキシュー52はA方向、つまり、走行ローラ37に近づく方向に移動する。そして、ブレーキシュー52は、走行ローラ37と走行部12gの走行部12gとの間に挿入される(図1(a))。これにより、走行ローラ37の回転を停止させると同時に、ブレーキシュー52と走行部12gとの摩擦力により搬送台車2が停止する。
搬送台車2の重量や載荷量が大きいと、搬送台車2の慣性力が大きくなる。このため、走行ローラ37の回転のみを停止させると、回転が停止した走行ローラ37が走行部12gを摺動するおそれがあり、搬送台車2が停止するまでの制動距離が長くなる。一方、本発明では、ブレーキシュー52を走行ローラ37と走行部12gとの両方に押圧させているため、走行ローラ37の回転を停止し、かつ、ブレーキシュー52と走行部12gとの摩擦抵抗で走行ローラ37が走行部12gを摺動しないようにすることができる。従って、慣性力が大きい場合であっても、制動距離が長くなることなく確実に停止させることができる。また、走行ローラ37と走行部12gとの両方にブレーキシュー52を押圧することで、摩擦抵抗が大きくなるため、ブレーキシュー52を大きく形成する必要がなくなり、搬送台車2の大型化を防ぐことができる。
以上、説明したように、本実施の形態において、搬送台車2と、走行部12gと接触状態で、搬送台車2を走行部12gに沿って走行させる走行ローラ37と、押圧することで摩擦力を発生させるブレーキシュー52と、異常時に、ブレーキシュー52を走行ローラ37と走行部12gとの両方に摩擦係合させる異常時停止機構50とを備えている。
この構成によると、異常時、例えば、落雷、火災等による電源22やコントローラ21等のトラブル時に、ブレーキシュー52を走行ローラ37と走行部12gとに摩擦係合させることで、搬送台車2を安全に停止させることができる。異常時に走行が制御できなくなると、走行中の搬送台車2は惰性によりフリーラン状態になってしまう。これにより、例えば、走行路に複数の搬送台車2が存在する場合には、搬送台車2同士の衝突を回避することができる。また、停止させる際に、ブレーキシュー52を走行ローラ37と走行部12gとの両方に押圧するため、確実に搬送台車を停止させることができる。例えば、回転する走行ローラ37にのみブレーキシュー52を押圧した場合、搬送台車2の慣性力が大きいと、回転が停止した走行ローラ37は走行部12gを摺動するおそれがあり、搬送台車2が停止するまでの制動距離が長くなる。一方、ブレーキシュー52を走行ローラ37と走行部12gとの両方に押圧させると、走行ローラ37の回転を停止し、かつ、走行ローラ37が走行部12gを摺動しないようにすることができ、慣性力が大きい場合であっても、摩擦部材等を大きくすることなく、確実に停止させることができる。
また、異常時には、異常時停止機構50に電流を送ることができず、異常時停止機構50は無励磁となるため、異常時停止機構50を無励磁作動型とすることで、構造を簡単にすることができる。さらに、ブレーキシュー52を付勢するバネ54を備えているため、異常時に、より早く搬送台車2を停止させることができる。また、ブレーキシュー52が搬送台車2の走行方向に進退可能であるため、搬送台車2の幅の大きさを小さくでき、構造を簡単にすることができる。
尚、変形例として、図6に示すように、走行ローラ37がブレーキシュー52に載置するようにしてもよい。この場合、走行ローラ37は、走行部12gと離隔できるように構成されている。そして、ブレーキシュー52は、走行ローラ37を載置しやすい形状を有している。異常時になると、ブレーキシュー52が走行ローラ37と走行部12gとの間に挿入される。この際に、走行ローラ37は、ブレーキシュー52にすくい上げられるように走行部12gから離れ、ブレーキシュー52上に載置される。走行ローラ37を走行部12gから離隔することで、ブレーキシュー52と走行部12gとの摩擦力だけで、搬送台車2を停止させるため、ブレーキシュー52の摩擦力を設定変更することで、搬送台車の制動距離を設定することができ、確実に搬送台車2を停止させることができる。尚、変形例におけるブレーキシュー52は、ブレーキシュー52と走行部12gとの間に挿入しやすい、尖端を有した楔形のような形状が好ましい。
また、別の変形例として、搬送台車2がレール機構3の両方向に走行可能な構造であっても良い。図7に示すように、搬送台車2は、上下に配設されたレール機構3aに挟持されるように、ガイドローラ32aと、走行ローラ37とがレール機構3aに接触して走行するようになっている。また、搬送台車2の前後に配置されている走行ローラ37夫々に対向するように異常時停止機構50を設けられている。つまり、本変形例では、4つの走行ローラ37夫々に異常時停止機構50が配設されている。これにより、搬送台車2がどちらの方向に走行しても、前後何れかの異常時停止機構50が作動することにより、搬送台車2を停止させることができる。尚、この場合、搬送台車2が走行する走行方向側に配置されている異常時停止機構50が作動することが好ましい。これにより、走行方向と逆側から押圧する場合との対比において、押圧する力を小さくすることができる。
また、本発明を好適な実施の形態に基づいて説明したが、本発明はその趣旨を超えない範囲において変更が可能である。即ち、異常時停止機構50が無励磁状態のとき、搬送台車2を停止させるようにしているが、励磁状態のときに停止させるようにしてもよい。例えば、正常時に、異常時停止機構50に電流を供給すると、プランジャ51のソレノイドに電流が供給されない、つまり、無励磁状態となるような回路構成にし、異常時に、異常時停止機構50に電流を供給されなくなると、無励磁型スイッチ、予め充電されているコンデンサ等を用いて、プランジャ51のソレノイドに電流が流れるようにし、それにより、ブレーキシュー52を作動させるようにしてもよい。
また、ブレーキシュー52を搬送台車2の走行方向に進退させて、走行ローラ37と走行部12gとの間に押圧しているが、ブレーキシュー52を幅方向に移動させて、走行ローラ37の側面方向から押圧するようにしてもよいし、走行ローラ37の側面と、走行部12gとに押圧するようにしてもよい。また、落雷、火災、電源22やコントローラ21等のトラブル時に、搬送台車2を停止させているが、他の制御機(一次側コイル34等)が異常の場合に停止するようにしてもよい。
また、ブレーキシュー52を走行ローラ37に押圧しているが、他のローラ(幅方向規正ローラ38等)に押圧するようにしてもよい。さらに、ブレーキシュー52は楔形の形状を有しているが、走行ローラ37と走行部12gとの両方に押圧できる形状であればこれに限定されない。さらに、上述の実施の形態では、永久磁石を用いて搬送台車2を走行させているが、これに限定されることはない。
本発明は、上記の好ましい実施形態に記載されているが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の精神と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。
本発明の好適な実施形態に係る搬送装置の異常時停止機構の部分拡大図。 本発明の好適な実施形態に係る搬送装置の側面透視図。 図2のIII−III線における透視断面図。 本発明の好適な実施形態に係る搬送装置の機能ブロック図。 本発明の好適な実施形態に係る搬送装置の概略構成図。 本発明の好適な実施形態に係る搬送装置の変形例図。 本発明の好適な実施形態に係る搬送装置の別の変形例図。
符号の説明
1 搬送装置
2 搬送台車
2a シリンダ
3 レール機構
12 レール枠体
12g 走行部
37 走行ローラ
50 異常時停止機構
51 プランジャ
51a 棒ピストン
52 ブレーキシュー
53 リンク
53a 回転アーム5
53b 水平アーム
53c ガイドアーム
53d 支持アーム
54 バネ




Claims (5)

  1. 走行する搬送台車と、
    レール機構と接触状態で、前記搬送台車を前記レール機構に沿って走行させるローラと、
    押圧することで摩擦力を発生させる摩擦部材と、
    異常時に、前記摩擦部材を前記ローラと前記レール機構との両方に押圧して、これらの両方との間に制動力を発生させるブレーキ機構とを備えており、
    前記ローラが前記レール機構と離隔可能であり、
    前記ブレーキ機構が、水平方向に移動可能なガイドアームと、一端は前記ガイドアームに回転自在に軸支されると共に、他端には前記摩擦部材が回転自在に軸支された支持アームと、前記ガイドアームが挿入されたシリンダとを有しており、
    前記ガイドアームと前記支持アームとの軸支部が前記シリンダ内に収容されることによって、前記摩擦部材が前記ローラと前記レール機構から離隔するように前記支持アームが配置されており、
    異常時に、前記ガイドアームが前記ローラに向かって水平に移動し、前記軸支部が前記シリンダから押し出されて前記支持アームが回転することによって、前記摩擦部材が前記ローラと前記レール機構との両方に当接すると共に、前記摩擦部材が、前記ローラをすくい上げるように前記ローラと前記レール機構との間に挿入して、前記ローラと前記レール機構とを離隔させることを特徴とする搬送装置。
  2. 前記ブレーキ機構が、無励磁作動型であることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
  3. 前記ブレーキ機構が、
    前記摩擦部材を付勢する付勢手段を備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の搬送装置。
  4. 前記摩擦部材が、前記搬送台車の走行方向に進退可能であることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の搬送装置。
  5. 前記搬送台車の走行方向に関して前後に配列された一対の前記ローラと、前記一対のローラを前後から挟むように一対の前記ブレーキ機構とが設けられていることを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載の搬送装置。
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