JP4506957B2 - 誘電体粒子及びその製造方法、複合誘電体材料並びに基板 - Google Patents
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以下であることが最も好ましい。
<実施例1:機械的複合化による誘電体母粒子へのNi微粒子の付着>
先ず、原料粉末を混合、焼成して誘電体材料を得、これを粉砕して0.139BaO−0.172Nd2O3−0.023BiO3−0.666TiO2なる組成の誘電体母粒子を得た。組成はモル比で表す。次に、ホソカワミクロン社製のメカノフュージョン(登録商標)装置を用いた複合化により、誘電体母粒子の表面にNiの微粒子を固定させた。具体的には、粒径1.5μmの誘電体母粒子に対し、メカノフュージョンによって0.5重量%、1.0重量%、2.0重量%、又は5.0重量%のNi微粒子を固定させた。Ni微粒子としては、平均粒径0.1μmのものを用いた。複合化の条件は、インナーピースと容器内壁との隙間を0.5mmとし、900rpmで30分間とした。
次に、複合材料の混合粉末をプレス成形し、熱硬化させて基板を作製した。
また、誘電体粒子の充填量が50体積%となるように誘電体粒子の配合量を変えたこと以外は、同様にして複合材料を作製し、これを用いて基板を作製した。
次に、実施例1で用いた誘電体母粒子の表面に、実施例1と同様にホソカワミクロン社製のメカノフュージョン装置を用いた複合化により、カーボンブラックの微粒子を付着させた。具体的には、粒径1.5μmの誘電体母粒子に対し、メカノフュージョン法で2.0重量%、10.0重量%の親水性カーボンブラックHA−3微粒子(粒径30nm〜80nm)を付着させた。
次に、実施例1と同様の誘電体母粒子(粒径1.5μm)を所定濃度のPdCl2溶液に分散し、加熱しながら水を蒸発させ、0.5重量%、1.0重量%、2重量%のPdを誘電体母粒子の表面に沈着させた後、空気中、850℃で30分熱処理し、PdCl2を金属Pdに還元することにより、誘電体母粒子の表面にPd微粒子を付着させた。
先ず、原料粉末を混合、焼成して誘電体材料を得、これを粉砕して0.139BaO−0.172Nd2O3−0.023BiO3−0.666TiO2なる組成の誘電体母粒子を得た。組成はモル比で表す。次に、この誘電体母粒子に、球状化処理を施した。次に、球状化処理した誘電体母粒子の表面にNiの微粒子を固定させた。具体的には、粒径1.5μmの誘電体母粒子に対し、メカノフュージョンによって1.0重量%、5.0重量%のNi微粒子を固定させた。Ni微粒子としては、平均粒径0.1μmのものを用いた。複合化の条件は、実施例1と同様に、インナーピースと内壁の隙間を0.5mmとし、900rpmで30分間とした。さらに、この複合化後の誘電体粒子に、窒素雰囲気中で850℃、30分間熱処理を施した。
Claims (11)
- 酸化物母粒子の表面に導電性微粒子が不連続に固定されており、
前記酸化物母粒子の平均粒径が0.5μm以上、30μm以下であり、
前記導電性微粒子の平均粒径が30nm以上、前記酸化物母粒子の平均粒径の1/5以下であることを特徴とする誘電体粒子。 - 前記導電性微粒子は、酸化物母粒子と導電性微粒子との混合物に機械的エネルギーを加えることにより固定されていることを特徴とする請求項1記載の誘電体粒子。
- 前記導電性微粒子が、金属、カーボン、又は導電性酸化物のうち少なくとも一種を含むことを特徴とする請求項1または2記載の誘電体粒子。
- 前記金属が、Ni、Ag、Pd、Cu、Fe、Co、Ti、Zn、Al、Sn、In、Ga、Pt又はAuであることを特徴とする請求項3記載の誘電体物粒子。
- 前記酸化物母粒子が誘電率εが10以上の誘電体を含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載の誘電体粒子。
- 平均粒径が0.5μm以上、30μm以下の酸化物母粒子の表面に、平均粒径が30nm以上、前記酸化物母粒子の平均粒径の1/5以下である導電性微粒子を不連続に固定させることを特徴とする誘電体粒子の製造方法。
- 前記導電性微粒子の固定が、前記酸化物母粒子と導電性微粒子との混合物に機械的エネルギーを加えて複合化することにより行われることを特徴とする請求項6記載の誘電体粒子の製造方法。
- 前記複合化の後に300℃以上、1000℃以下で熱処理を行うことを特徴とする請求項7記載の誘電体粒子の製造方法。
- 請求項1〜5のいずれか1項記載の誘電体粒子と樹脂材料とが混合されてなることを特徴とする複合誘電体材料。
- 前記酸化物母粒子を100体積%としたとき、前記導電性微粒子を0.1体積%以上、20体積%以下含むことを特徴とする請求項9記載の複合誘電体材料。
- 請求項9又は10記載の複合誘電体材料を用いて形成される層を有することを特徴とする基板。
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