JP4504060B2 - 荷電粒子線露光装置 - Google Patents
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Description
本発明は、上述の従来例における問題点を解消することを課題とする。
前記ビームの面積を変更する手段は、例えば機械的シャッタ等の機械的手段、または、第1の偏向器、前記第1の偏向器により変更された前記ビームの一部を遮蔽する絞り、及び、前記絞りを通過した前記ビームを変更する第2の偏向器で構成される電気的若しくは磁気的手段を含む。
荷電粒子線の一例として本実施形態では電子ビーム露光装置の例を示す。なお、本発明は、電子ビームに限らずイオンビームを用いた露光装置にも同様に適用できる。
以下、本発明の実施例1を説明する。
図1は本発明の一実施例に係る電子ビーム露光装置の要部概略図である。
図1において、電子源1より放射状に放出される電子ビームは絞り10、コリメータレンズ2によって所望の大きさを持った面積ビームに成形された後マスク3にほぼ垂直に入射される。マスク3は複数のパターンをもつマスクであり、試料7上に形成するパターンの相似パターンがあらかじめ作りこまれている。マスク3を通して成形された電子ビーム9はレンズ4、6によって1/4に縮小され試料7上に転写される。絞り5は散乱等による、パターン露光に不必要なビームを制限する為の絞りである。
しかしながら従来の装置においては前記パラメータのうち、ビーム電流は容易に変更可能であるものの、その他のパラメータは変更することが非常に困難であった。したがって、ビームの解像度の変更は容易ではなく、装置の再設計が必要である場合が多かった。
面積ビーム領域と解像度の間には図2(a)に示す関係があり、面積ビーム領域が小さいほど、限界解像度は向上する。これは主にビーム面積(露光領域)を縮小することによって光学系の像面湾曲余裕度が広がることによる。光学系の像面湾曲はレンズ4,6の強度比によって変更可能であり、図2(b)に示す如くレンズ6の強度が強いほど像面湾曲が大きくなる一方、軸中心近傍での解像度は向上する。従って面積ビーム領域を変更すると同時にレンズ4,6の強度(光学特性)の再調整を行うことにより、対象とする描画パターンに対して最適な解像度及びビーム面積を設定することが可能である。
なお、本実施例ではマスク3の直下にシャッタ8を設けたが、マスク3の上面、レンズ6の下面に設置する等、ウエハ7に到達する面積ビームを制限することができれば同様の効果が得られる。
実施例1では機械的シャッタの動作により開口面積を制御したが、本実施例では電気的動作により開口面積を制御する方式を説明する。図3を参照して、本方式では電子源1から放出された電子ビームはコリメータレンズ2、絞り10によって成型された後偏向器12−1、12−2によって偏向される。偏向された面積ビームは絞り11により一部が遮蔽され、偏向器12−3、12−4によって再び軸上に戻される。本走査によりマスク3上のビーム面積(露光領域)を可変にすることができる。また、ビーム面積の増減に対応してレンズ4、6の励磁(光学特性)も調整する。
なお、本実施例ではマスク3の上側に偏向器及び絞りを設けたが、マスク3の下面に偏向器と絞りを設けることによっても同様の効果が得られる。
実施例1、2ではマスク3の像をウエハ7上に転写したが、実施例3では別方式を用い像形成する方式を説明する。本実施例では電子源1から放出される電子ビームは絞り10、コリメータレンズ2によって成型された後アパーチャアレイ13に照射される。アパーチャアレイ13は開口が1024個、アレイ状に配置されており、照射されたビームを複数本(1024本)のビームに分割する役割を持つ。アパーチャアレイによって分割されたビームはレンズアレイ14、ブランキングアレイ15を通過し、縮小レンズ16、17及び対物レンズ18、19によって縮小成型された後ウエハ7に照射される。このときブランキングアレイ15は複数本のビームの一本一本を個々にオンオフすることができ、所望のパターンを形成することができる。ブランキングアレイ15とレンズアレイ14の間には機械的シャッタ8が設けられており、ウエハ上に露光するビーム本数を任意に変更することが可能である。ビーム本数(ビーム面積)と解像度の間には実施例1で説明した如く、ビーム本数が少ないほど面積ビーム領域は狭まり、高い解像度を実現することができる。従って、ビーム本数を増減することにより露光するパターンに応じて解像度を変更することが可能である。逆に高解像度を要求されず、高スループットが要求される場合は面積ビーム領域を広げることによって目的を達成できる。なお、ビーム本数を変更した場合、レンズ10、11の条件(光学特性)も同時に変更することによって各々のビーム面積に応じた最高の解像度を実現することができる。
なお、本実施例では機械的シャッタをレンズアレイ14とブランキングアレイ15の間に設置したが、アパーチャアレイ13の上方、アパーチャアレイ13とレンズアレイ14の間、ブランキングアレイ15とレンズ16の間、レンズ17とレンズ18の間、レンズ19と試料7の間等、ビーム本数を制御することが可能である位置であれば、何所に設置しても同様の効果を得ることができる。
上記の実施例によれば、最大ビーム面積または露光領域を増減することによって解像度を制御することが可能である。また、変更したビーム面積に応じて露光光学系を構成するレンズの光学特性を変更することによって、そのビーム面積における最高の解像度を実現することができる。また、この装置を用いてデバイスを製造すれば、従来以上に高精度なデバイスを高いスループットで製造することができる。
次に、この露光装置を利用した半導体デバイスの製造プロセスを説明する。
図7は半導体デバイスの全体的な製造プロセスのフローを示す図である。ステップ1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップ2(EBデータ変換)では設計した回路パターンに基づいて露光装置の露光制御データを作成する。
一方、ステップ3(ウエハ製造)ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ4(ウエハプロセス)は前工程と呼ばれ、上記用意した露光制御データが入力された露光装置とウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップ5(組み立て)は後工程と呼ばれ、ステップ4によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の工程を含む。ステップ6(検査)ではステップ5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行なう。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これが出荷(ステップ7)される。
上記ステップ4のウエハプロセスは以下のステップを有する。ウエハの表面を酸化させる酸化ステップ、ウエハ表面に絶縁膜を成膜するCVDステップ、ウエハ上に電極を蒸着によって形成する電極形成ステップ、ウエハにイオンを打ち込むイオン打ち込みステップ、ウエハに感光剤を塗布するレジスト処理ステップ、上記の露光装置によって回路パターンをレジスト処理ステップ後のウエハに焼付露光する露光ステップ、露光ステップで露光したウエハを現像する現像ステップ、現像ステップで現像したレジスト像以外の部分を削り取るエッチングステップ、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除くレジスト剥離ステップ。これらのステップを繰り返し行うことによって、ウエハ上に多重に回路パターンを形成する。
2,22 コリメータレンズ
3 マスク
4,6 縮小対物レンズ
5 絞り
7 試料
8 機械シャッタ
9 電子ビーム
10 制限絞り
11 成形絞り
12−1,2,3,4 偏向器
13 アパーチャアレイ
14 レンズアレイ
15 ブランキングアレイ
16,17 縮小レンズ
18,19 対物レンズ
20,21 外周ビーム
Claims (8)
- 荷電粒子源から放出されるビームを用いて、マスク上に形成された複数のパターンをレンズを介して試料上に露光する荷電粒子線露光装置において、
前記試料上に到達する前記ビームの面積を変更する手段と、
前記ビームの面積を変更することに伴い、前記レンズに対する印加電圧あるいは励磁電流を調整することで前記レンズの強度を調整する手段と、
を有し、
前記ビームの面積を変更する手段により前記ビームの面積を小さくするとともに、前記レンズの強度を調整する手段により前記レンズに対する印加電圧あるいは励磁電流を大きくして前記レンズの強度を強くすることによってパターン解像度を向上させることを特徴とする荷電粒子線露光装置。 - 前記ビームの面積を変更する手段は、機械的シャッタを含むことを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子線露光装置。
- 前記ビームの面積を変更する手段は、第1の偏向器、前記第1の偏向器により変更された前記ビームの一部を遮蔽する絞り、及び、前記絞りを通過した前記ビームを変更する第2の偏向器を含むことを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子線露光装置。
- 複数本のビームを用いて、レンズを介して試料上にパターンを露光する荷電粒子線露光装置であって、
複数の開口がアレイ状に配置され、荷電粒子源から放出されるビームを前記複数本のビームに分割するアパーチャアレイと、
前記試料上に到達するビーム本数を変更する手段と、
前記ビーム本数を変更することに伴い、前記レンズに対する印加電圧あるいは励磁電流を調整することで前記レンズの強度を調整する手段と、
を有し、
前記ビーム本数を変更する手段により前記ビーム本数を減らすとともに、前記レンズの強度を調整する手段により前記レンズに対する印加電圧あるいは励磁電流を大きくして前記レンズの強度を強くすることによってパターン解像度を向上させることを特徴とする荷電粒子線露光装置。 - 前記ビーム本数を変更する手段は、機械的シャッタを含むことを特徴とする請求項4に記載の荷電粒子線露光装置。
- 前記ビーム本数を変更する手段は、前記複数本のビームを個々にオンオフするブランキングアレイを含むことを特徴とする請求項4に記載の荷電粒子線露光装置。
- 前記ビーム本数を変更する手段は、前記荷電粒子源から放出され前記アパーチャアレイに照射される前記ビームの面積を変更するコリメータレンズを含むことを特徴とする請求項4に記載の荷電粒子線露光装置。
- 請求項1〜7のいずれか1つに記載の荷電粒子線露光装置を用いて、試料に露光を行なう工程と、
露光された前記試料を現像する工程と、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
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