JP4503759B2

JP4503759B2 - 基板ストッパ機構

Info

Publication number: JP4503759B2
Application number: JP2000017973A
Authority: JP
Inventors: 英和山中
Original assignee: Hitachi High Tech Instruments Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Instruments Co Ltd
Priority date: 2000-01-25
Filing date: 2000-01-25
Publication date: 2010-07-14
Anticipated expiration: 2020-01-25
Also published as: JP2001206539A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板搬送装置に設けられる基板ストッパ機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
複数枚の基板に対して順次所定の処理を施す基板処理装置（例えば、基板にクリーム半田を印刷するスクリーン印刷機）においては、一つの基板の処理中に次の基板が処理位置に搬送されてこないよう、複数枚の基板を一方向に向けて順次間欠的に搬送する基板搬送装置が用いられている。図５は、従来のこの種の基板搬送装置を備えたスクリーン印刷機の要部正面図、図６、７は図５の要部拡大図である。
【０００３】
図５に示すように、このスクリーン印刷機は、基板供給装置１と、図５の横方向に移動可能な基板支持テーブル２とを備えており、基板搬送装置は、基板供給装置１に、図５の紙面に直交する方向に間隔をおいて平行に設けられた一対の第１の基板搬送コンベヤ３、３（一方のみ図示）と、基板支持テーブル２に、図５の紙面に直交する方向に間隔をおいて平行に設けられた一対の第２の基板搬送コンベヤ４、４（一方のみ図示）と、第１の基板搬送コンベヤ３、３における基板支持テーブル２側の端部にそれぞれ回動可能に取り付けられた連結機構５、５（一方のみ図示）とを備えている。基板Ｐは、第１及び第２の基板搬送コンベヤ３、３；４、４により搬送方向両側端部を支持されて矢印方向に搬送される。
【０００４】
第１の基板搬送コンベヤ３は、基板供給装置１の装置本体６に回転可能に取り付けられた複数個のローラ７、７、・・・と、これらのローラ７、７、・・・間に張装されたエンドレスベルト８と、エンドレスベルト８を駆動する駆動モータ（不図示）とから成っている。
【０００５】
第２の基板搬送コンベヤ４は、基板支持テーブル２のテーブル本体９に回転可能に取り付けられた複数個のローラ１０、１０、・・・（一つのみ図示）と、これらのローラ１０、１０、・・・間に張装されたエンドレスベルト１１とを有している。
【０００６】
図６に示すように、連結機構５は、基板供給装置１の装置本体６における基板支持テーブル２側の端部に取り付けられたローラ７の回転軸１２に固定されたギア１３と、回転軸１２に回動可能に取り付けられ、一端が装置本体６の基板支持テーブル２側の端部から突出したフレーム１４と、フレーム１４の一端に回転可能に取り付けられ、ギア１３にかみ合ったギア１５と、装置本体６とフレーム１４の間に張装され、フレーム１４を図６の反時計まわり方向に付勢するスプリング２５と、装置本体６上に設けられ、フレーム１４の反時計まわり方向の回動を規制するピン１６とを有している。
【０００７】
基板支持テーブル２における基板供給装置１側の端部に取り付けられたローラ１０の回転軸１７には、ギア（第１の伝動部材）１５にかみあうことができるギア（第２の伝動部材）１８が固定されており、基板支持テーブル２が基板供給装置１に接近すると、ギア１８がギア１５に当接し、図７に示すように、フレーム１４がスプリング２５の弾発力に抗して時計まわり方向に所定角度回動するとともにギア１８がギア１５にかみ合った状態となる。
【０００８】
この状態で基板供給装置１の駆動モータを駆動すると、エンドレスベルト８が図７の矢印方向に回転するとともに、駆動モータの駆動力がギア１３、１５、及び１８を介して回転軸１７に伝えられ、エンドレスベルト１１が図７の矢印方向に回転し、エンドレスベルト８上の基板Ｐがエンドレスベルト１１上に受け渡され、処理位置に向けて搬送される。
【０００９】
基板供給装置１から基板支持テーブル２に一枚の基板Ｐが供給されると、基板支持テーブル２が基板供給装置１から離間するとともに、基板支持テーブル２上に供給された基板Ｐが処理位置に固定されて基板Ｐに印刷処理が施されるが、このとき、エンドレスベルト８上の次の基板Ｐがエンドレスベルト１１に向けて送り出されないよう、基板供給装置１に基板ストッパ機構が設けられている。
【００１０】
この基板ストッパ機構は、連結機構５の下方に位置するように装置本体６に垂直に取り付けられた流体圧シリンダ２０と、この流体圧シリンダ２０のロッド２０ａの先端部に取り付けられたストッパ片２１とから成っており、図６に示すように、基板支持テーブル２が基板供給装置１から離間した状態では、ロッド２０ａが伸長し、ストッパ片２１がエンドレスベルト８上の基板Ｐの前端縁に当接して基板Ｐを所定位置よりもエンドレスベルト１１側に移動しないように規制する。また、図７に示すように、第１及び第２の基板搬送コンベヤ３、４が伝動連結された状態では、ロッド２０ａが後退し、エンドレスベルト８上の基板Ｐがエンドレスベルト１１上に移動するのを許容する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の基板ストッパ機構は、流体圧シリンダ２０、ストッパ片２１の他に、流体シリンダ２０内に流体を供給する流体供給源、配管、電磁弁等を必要とするため、部品点数が多いとともに、これらを制御するシステムが複雑であるため、コスト高であるという問題点が有った。
【００１２】
本発明は上述した問題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、製造コストが安価な基板ストッパ機構を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上述する目的を達成するために本発明は、第１の基板搬送コンベヤと、前記第１の基板搬送コンベヤに対して相対的に接近及び離間する第２の基板搬送コンベヤと、前記第１の基板搬送コンベヤと前記第２の基板搬送コンベヤとを連結する連結機構とを備えた基板搬送装置に設けられた基板搬送ストッパ機構であり、前記第１の基板搬送コンベヤに回動可能に取り付けられ、フレームとこのフレームに回転可能に取り付けられ前記第１の基板搬送コンベヤの駆動に伴い回転する第１の伝動部材とを備え、前記第１及び第２の基板搬送コンベヤの接近に伴って前記第１の伝動部材と第２の基板搬送コンベヤに設けられ前記第１の伝動部材と接触して該第１の伝動部材の回転により駆動されて回転して第２の基板搬送コンベヤを駆動する第２の伝動部材とを連結し、前記第１及び第２の基板搬送コンベヤを伝動連結する前記連結機構の前記フレームに設けられ、第１及び第２の伝動部材が連結され前記第１及び第２の基板搬送コンベヤが接近し前記フレーム及び前記第１の伝動部材が回動している状態で前記第１の基板搬送コンベヤ上の基板が前記第２の基板搬送コンベヤ上に移動するのを許容するとともに、前記第１及び第２の基板搬送コンベヤが離れて前記第１及び第２の伝動部材が離間した状態で接近前の位置に前記フレームと一体的に回動し、前記第１の基板搬送コンベヤ上の基板が所定位置よりも前記第２の基板搬送コンベヤ側に移動しないように規制する規制部材を備えたことを特徴とする。
【００１４】
なお、前記規制部材を前記フレームに一体的に形成するようにすると、部品点数及び製造工数が低減するので好ましい。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の具体的な実施形態を図面を参照しながら説明する。
図１は本発明の一実施形態である基板ストッパ機構を備えたスクリーン印刷機の要部正面図、図２は図１の平面図、図３、４は図１の要部拡大図である。
なお、本実施形態において、従来技術に対応する部分には同一の符号を付してあり、重複する説明は省略してある。
【００１６】
本実施形態では、図１、２に示すように、基板ストッパ機構が、金属板を板金加工して成る矩形状の規制部材２２、２２から成り、これらの規制部材２２は、それぞれ連結機構５のフレーム１４の上面にネジ等を介して固定され、基板Ｐの幅方向かつ内側へ向けて水平に張り出している。規制部材２２、２２の先端部の後方側の側縁には、略垂直下方に向けて折曲されたストッパ部２２ａが形成されている。
【００１７】
規制部材２２、２２はフレーム１４と一体的に回動し、ストッパ部２２ａ、２２ａは、図３に示すように、基板供給装置１と基板支持テーブル２が離間した状態では、エンドレスベルト８上の基板Ｐの前端縁に当接して基板Ｐが所定位置よりも基板支持テーブル２側に移動しないように規制し、図４に示すように、第１の基板搬送コンベヤ３と第２の基板搬送コンベヤ４が伝動連結された状態では、エンドレスベルト８上の基板Ｐの上方に退避して基板Ｐがエンドレスベルト１１上に移動するのを許容する。
【００１８】
規制部材２２は金属板を板金加工することにより形成され、容易に製造することができるとともに、金型費が不要で加工費が安価であるという利点を有する。また、従来技術のように多数の部品や複雑な制御システムを必要としないため、従来技術よりも製造コストを大幅に削減することができる。
【００１９】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。
【００２０】
例えば、上述した実施形態では、連結機構とは別体の規制部材を連結機構に取り付けるようにしているが、規制部材を連結機構に一体的に形成するようにしてもよい。
【００２１】
また、上述した実施形態では、規制部材が金属板を板金加工したものであるが、これに限らず、他の材料や製造方法により製造されたものであってもよい。
【００２２】
また、上述した実施形態では、第１の基板搬送コンベヤを固定して第２の基板搬送コンベヤを移動させる場合について説明したが、これに代えて、第２の基板搬送コンベヤを固定して第１の基板搬送コンベヤを移動させるようにしてもよい。
【００２３】
また、本発明は、スクリーン印刷機以外の基板処理装置の基板搬送装置に適用することもできる。
【００２４】
その他にも、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。
【００２５】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の基板ストッパ機構は、フレームとこのフレームに回転可能に取り付けられ第１の基板搬送コンベヤの駆動に伴い回転する第１の伝動部材とを備えた連結機構のフレームに設けられ、連結機構と一体的に回動する規制部材から成るため、部品点数が少なく、複雑な制御システムも必要としないので、安価に製造することができる。
【００２６】
また、規制部材が連結機構に一体的に形成された場合には、部品点数及び製造工数が低減する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態である基板ストッパ機構を備えたスクリーン印刷機の要部正面図。
【図２】図１の平面図。
【図３】図１の要部拡大図であり、第１及び第２の基板搬送コンベヤが離間した状態を示す図。
【図４】図１の要部拡大図であり、第１及び第２の基板搬送コンベヤが伝動連結された状態を示す図。
【図５】従来の基板ストッパ機構を備えたスクリーン印刷機の要部正面図。
【図６】図５の要部拡大図であり、第１及び第２の基板搬送コンベヤが離間した状態を示す図。
【図７】図５の要部拡大図であり、第１及び第２の基板搬送コンベヤが伝動連結された状態を示す図。
【符号の説明】
３第１の基板搬送コンベヤ
４第２の基板搬送コンベヤ
５連結機構
２２規制部材

Claims

第１の基板搬送コンベヤと、前記第１の基板搬送コンベヤに対して相対的に接近及び離間する第２の基板搬送コンベヤと、前記第１の基板搬送コンベヤと前記第２の基板搬送コンベヤとを連結する連結機構とを備えた基板搬送装置に設けられた基板搬送ストッパ機構であり、前記第１の基板搬送コンベヤに回動可能に取り付けられ、フレームとこのフレームに回転可能に取り付けられ前記第１の基板搬送コンベヤの駆動に伴い回転する第１の伝動部材とを備え、前記第１及び第２の基板搬送コンベヤの接近に伴って前記第１の伝動部材と第２の基板搬送コンベヤに設けられ前記第１の伝動部材と接触して該第１の伝動部材の回転により駆動されて回転して第２の基板搬送コンベヤを駆動する第２の伝動部材とを連結し、前記第１及び第２の基板搬送コンベヤを伝動連結する前記連結機構の前記フレームに設けられ、第１及び第２の伝動部材が連結され前記第１及び第２の基板搬送コンベヤが接近し前記フレーム及び前記第１の伝動部材が回動している状態で前記第１の基板搬送コンベヤ上の基板が前記第２の基板搬送コンベヤ上に移動するのを許容するとともに、前記第１及び第２の基板搬送コンベヤが離れて前記第１及び第２の伝動部材が離間した状態で接近前の位置に前記フレームと一体的に回動し、前記第１の基板搬送コンベヤ上の基板が所定位置よりも前記第２の基板搬送コンベヤ側に移動しないように規制する規制部材を備えたことを特徴とする基板ストッパ機構。
前記規制部材が前記フレームに一体的に形成されたことを特徴とする請求項１に記載の基板ストッパ機構。