JPH09304948A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板の露光に際してＸＹテーブル等の高価な
位置合わせ装置を用いること無く短時間で基板の位置合
わせが行える露光装置を提供する。 【解決手段】 ローラタイプの搬送コンベア１０の上方
に光源を、光源と搬送コンベア１０との間に取付枠２９
に固定されたフォトマスクＭを取付ブラケット２０によ
り配設した露光装置であって、基板Ｂが搬送コンベア１
０により搬送されて所定位置に達すると、ストッパピン
３３が搬送コンベア１０の搬送面上に突出して基板Ｂの
前縁に当接し、また、押付ピン４３が突出して基板Ｂの
後縁をストッパピン３３側に押圧してストッパピン３３
との間に挟着するとともに、基板Ｂの両側縁をそれぞれ
押圧ピン５３によりフォトマスクＭの側縁と一致するま
で押圧し、基板Ｂの位置合わせを行うように構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、露光装置、特
に、液晶表示装置用のカラーフィルタの製造に適した露
光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の露光装置としては、例えば、特開
昭６０−１９８７２７号公報に記載されたものが知られ
る。この特開昭６０−１９８７２７号公報には、所定形
状のパターンが形成されたマスクパターンと、このマス
クパターンのパターンと寸法が若干相違する相似形状の
パターンが形成された救済マスクパターンとを１枚のマ
スク基板に並設し、半導体ウェーハをＸＹテーブルによ
り移動してマスクパターンによる露光に連続して救済マ
スクパターンによる露光を行う露光装置が記載されてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た特開昭６０−１９８７２７号公報に記載の露光装置に
あっては、厳密な位置合わせを必要としない救済マスク
パターンによる露光の際もＸＹテーブルにより移動する
ため、イニシャルコストが増大し、また、位置合わせに
相当の時間を要し生産効率を改善する上での障害になっ
ているという問題があった。この発明は、上記問題に鑑
みてなされたもので、イニシャルコストを低減でき、か
つ、基板の露光に要する時間も短縮できる露光装置を提
供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明にかかる露光装置は、基板を搬送する搬送
コンベアの上方に光源を配置し、該光源と搬送コンベア
との間にフォトマスクを固設するとともに、前記搬送コ
ンベアの搬送路にストッパ部材を突出させ、該ストッパ
部材を前記搬送コンベアにより搬送される基板の前縁に
当接させて前記基板を前記フォトマスクと対応した位置
に停止させるストッパ機構と、該ストッパ機構により停
止された基板の後縁を押付部材により押圧して前記基板
を搬送方向に位置合わせする前後位置合わせ機構と、前
記ストッパ機構により停止された基板の側縁を押圧部材
により搬送方向と直角な方向に押圧して前記基板を搬送
方向と直角な方向に位置合わせする左右位置合わせ機構
とを設けて構成した。

【０００５】そして、この発明にかかる露光装置は、前
記フォトマスクが前記基板と同一の平面形状であって、
前記位置合わせ機構が前記押圧部材を前記基板の側縁お
よび前記フォトマスクの側縁の双方に当接可能に前記基
板の両側にそれぞれ配置してなる態様（請求項２）に構
成することができる。

【０００６】

【作用】この発明にかかる露光装置は、搬送コンベアの
途中に光源とフォトマスクを配設し、基板が搬送コンベ
アにより搬送されてフォトマスクの直下に到達すると、
ストッパ部材が搬送コンベアの搬送路に突出して基板を
停止させ、この後、押付部材が基板を搬送方向前方に押
圧して基板をストッパ部材との間で挟着固定し、また、
押圧部材が基板の側縁を押圧して搬送方向と直角な方向
に固定し、基板をフォトマスクに対して所定の位置に固
定する。そして、基板を固定した状態で光源により一括
露光あるいは走査露光する。したがって、露光を搬送途
中で短時間で、すなわち、位置合わせを短時間に行え、
また、位置合わせもＸＹテーブルを用いること無く安価
かつ簡単な機構で行える。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面を参照して説明する。図１から図７はこの発明の一の
実施の形態にかかる露光装置を示し、図１が正面図、図
２が平面図、図３が側面図、図４が図２のＡ−Ａ矢視断
面図、図５が図２のＢ−Ｂ矢視断面図、図６が図２のＣ
−Ｃ矢視断面図、図７が異なる大きさの基板に対して露
光を行う場合の構造を示す平面図である。

【０００８】図中、１０は搬送コンベアを示し、搬送コ
ンベア１０はコンベアフレーム１１に複数の支軸１２が
一定間隔で回転自在に取り付けられ、これら支軸１２に
それぞれ長手方向に離間して２つのローラ１２ａが固設
される。この搬送コンベア１０は、ローラ１２ａが図示
しないモータ等により駆動されて回転し、カラーフィル
タ基板Ｂを搬送する（搬送方向Ｔ）。この搬送コンベア
１０は、図示しない主露光ステーションを始端として本
発明にかかる露光装置が配置された二重露光ステーショ
ンまで延設され、主露光ステーションにおいて所定のマ
スクパターンにより露光された基板Ｂを搬送する。な
お、図示と説明は省略するが、主露光ステーションにお
いては基板をＸＹテーブル等を用い位置決めして上記マ
スクパターンのフォトマスクにより露光処理を行う。

【０００９】また、搬送コンベア１０の途中には、上方
に図示しない光源が配設され、この光源とローラ１２と
の間で取付ブラケット２０がコンベアフレーム１１に固
定され、また、取付ブラケット２０の搬送方向Ｔ前部下
方にストッパ機構３０が、取付ブラケット２０の搬送方
向Ｔ後部下方に前後位置合わせ機構４０が設けられる。
取付ブラケット２０は正方形の穴２１が形成された平面
視略正方形枠状の板材からなり、穴２１内にフォトマス
クＭが設けられ、また、搬送方向Ｔと直角な左右の両側
部にそれぞれ左右位置合わせ機構５０が設けられる。

【００１０】フォトマスクＭは、前述したフォトマスク
のマスクパターンと略相似形状で太いパターンを有する
もの（前述した特開昭６０−１９８７２７号公報に記載
される救済マスクパターンと同等のもの）であって、外
形が基板Ｂと等しい寸法を有する。図６に詳示するよう
に、このフォトマスクＭは、周縁部が矩形の取付枠２９
に固定され、この取付枠２９を介して取付ブラケット２
０に搬送方向Ｔおよび搬送方向Ｔと直角な方向に位置調
節可能に取り付けられる。

【００１１】取付枠２９は、搬送方向Ｔと直角な方向の
一辺側および搬送方向Ｔ後方の一辺側にそれぞれ離間し
た２か所でスライダ２７がボルト２６により固定され、
また、４辺側の部分がそれぞれ取付ブラケット２０を所
定のクリアランスをもって遊挿した取付ねじ２８により
取付ブラケット２０下面の穴２１周縁部分に固定され
る。スライダ２７は、取付ブラケット２０の上面に摺動
自在に取り付けられ、調節ねじ２５が螺合する。このス
ライダ２７は、調節ねじ２５により取付ブラケット２０
に所定の位置で固定される。

【００１２】また、この取付枠２９には、４つの内辺に
それぞれ内側へ開口する略矩形状の複数の切欠２９ａが
所定の間隔を隔て形成される。後述するように、この取
付枠２９は、搬送方向Ｔ前方の辺の切欠２９ａにストッ
パピンが、搬送方向Ｔ後方の辺の切欠に押付ピンが、搬
送方向Ｔと直角な方向の両辺の切欠２９ａに押圧ピンが
それぞれ遊挿する。

【００１３】ストッパ機構３０は、図２、図３および図
４に示すように、コンベアフレーム１１の底面にガイド
レール３１を立設し、このガイドレール３１にアクチュ
エータが内蔵された昇降テーブル３２を昇降可能に支持
し、昇降テーブル３２に２つのストッパピン３３をそれ
ぞれ搬送方向Ｔと直角な方向に離間して上述した切欠２
９ａの直下に位置に取り付けて構成される。ストッパピ
ン３３は、先端（上端）にローラ３３ａが設けられ、昇
降テーブル３２が下降した状態でローラ３３ａがローラ
１２の下方に位置し、昇降テーブル３２の上昇でローラ
３３ａを搬送される基板Ｂの前縁と当接可能な高さに位
置させる。

【００１４】前後位置合わせ機構４０は、図２、図４お
よび図５に示すように、コンベアフレーム１１の底部に
ガイドレール４１を搬送方向Ｔに延設し、このガイドレ
ール４１にスライドテーブル４２を搬送方向Ｔに移動自
在に取り付け、スライドテーブル４２に前述した切欠２
９ａの直下位置で押付ピン４３をピンシリンダ４４によ
り昇降可能に取り付けて構成される。押付ピン４３は、
上端にローラ４３ａを有する。この前後位置合わせ機構
４０は、上記ストッパ機構３０のストッパピン３３が突
出して基板Ｂの前縁と当接して搬送コンベア１０が停止
すると、押付ピン４３が上端を切欠２９ａから突出させ
た後に搬送方向Ｔに移動して基板Ｂの後縁を押圧し、押
付ピン４３とストッパピン３３との間で基板Ｂを挟着す
る。

【００１５】左右位置合わせ機構５０は、図１，２，
３，５に示すように、取付ブラケット２０の上面にガイ
ドレール５１を搬送方向Ｔと直交する方向に延設し、こ
のガイドレール５１にスライドテーブル５２を摺動自在
に支持する。スライドテーブル５２は、穴２１側の内側
部分に搬送方向Ｔに離間して３つの押圧ピン５３が前記
切欠２９ａ内に垂設され、また、上面に搬送方向Ｔに離
間して２本のスプリング掛止ピン５４が植設され、外側
部分にシリンダ５５が連結する。なお、この左右位置合
わせ機構５０は搬送方向Ｔの両側が同一の構成であるた
め、一方のみを説明して他方の説明は省略する。

【００１６】押圧ピン５３は先端（下端）にローラ５３
ａが基板Ｂの側縁およびフォトマスクＭの取付枠２９の
側縁の双方と当接可能に設けられ、スライドテーブル５
２と一体に移動する。スプリング掛止ピン５４には取付
ブラケット２０に植設されたスプリング掛止ピン５４と
の間にそれぞれスプリング５６が張設され、これらスプ
リング５６がスライドテーブル５２を外側に付勢する。
シリンダ５５は、取付ブラケット２０に設けられ、スラ
イドテーブル５２を駆動する。

【００１７】この左右位置合わせ機構５０は、前述した
ストッパ機構３０のストッパピン３３が突出して基板Ｂ
の前縁と当接して搬送コンベア１０が停止すると、スラ
イドテーブル５２が内側に駆動されて押圧ピン５３が基
板Ｂの側縁をそれぞれ両側からフォトマスクＭの縁部に
当接するまで押圧する。なお、図２中、５２ａはスライ
ドテーブル５２に形成されたガイド用の長孔であり、こ
の長孔５２ａには取付ブラケット２０に植設されたガイ
ドピン５７が摺動自在に挿通する。

【００１８】この実施の形態にあっては、基板Ｂは主露
光ステーションにおいて露光処理が施された基板Ｂが搬
送コンベア１０により搬送され、この搬送された基板Ｂ
に対して二重露光処理を行う。すなわち、搬送コンベア
１０により搬送される基板Ｂをセンサにより検出し、基
板Ｂが所定位置に達するとストッパ機構３０がストッパ
ピン３３を突出させ、基板Ｂは前縁がストッパピン３３
に当接して停止し、また、搬送コンベア１０も停止す
る。

【００１９】そして、搬送コンベア１０が停止すると、
前後位置合わせ機構４０と左右位置合わせ機構５０が作
動し、基板Ｂを搬送方向Ｔおよび搬送方向Ｔと直角な方
向に位置合わせする。すなわち、前後位置合わせ機構４
０は、押付ピン４３を上昇させた後に搬送方向Ｔに移動
し、押付ピン４３が基板Ｂをストッパピン３３に向けて
押圧する。このため、基板Ｂは、押付ピン４３とストッ
パピン３３との間に挟着され、搬送方向Ｔに位置合わせ
される。

【００２０】また、左右位置合わせ機構５０は、押圧ピ
ン５３が基板Ｂを両側から押圧しつつフォトマスクＭに
当接するまで移動させ、基板Ｂの側縁をフォトマスクＭ
の側縁と一致させる。すなわち、基板Ｂとフォトマスク
Ｍは外形の寸法が等しいため、押圧ピン５３により押圧
されることでフォトマスクＭと側縁が一致する位置まで
移動し、搬送方向Ｔと直角な方向に位置合わせされる。
したがって、基板Ｂは規定の露光位置に位置し、この基
板Ｂに対して露光が行われる。

【００２１】一方、異なる大きさのフォトマスクＭによ
り露光を行う場合、換言すれば、異なる大きさの基板Ｂ
に対して露光を行う場合、図７に示すように、長孔６７
ｃが形成されたブランク板６７を取付枠２９の一部に嵌
め込み、また、前後位置合わせ機構４０の押付ピン４３
の初期位置を長孔６７ｃと対応した位置まで搬送方向Ｔ
に移動させる。したがって、取付ブラケット２０を交換
すること無く異なるサイズの基板Ｂの露光も行える。

【００２２】なお、上述した実施の形態にあっては、前
後位置合わせ機構４０と左右位置合わせ機構５０の作動
の順序を特に規定しないが、先に前後位置合わせ機構４
０を作動させた後に左右位置合わせ機構５０を作動させ
ること、先に左右位置合わせ機構５０を作動させた後に
前後位置合わせ機構４０を作動させることもでき、ある
いは、同時に作動させることも可能である。

【００２３】また、上述した実施の形態では、左右位置
合わせ機構５０は搬送される基板Ｂの左右両側にそれぞ
れ押圧ピン５３を配置するが、基板Ｂの一側にストッパ
部材をマスクＭの側縁と対応した位置で固定し、他側に
のみ押圧ピン５３を設けて構成すること、すなわち、一
側のみに左右一合わせ機構５０を設けて他側をストッパ
部材で代替することも可能である。そして、このような
構成を採用することで、フォトマスクＭと基板Ｂの搬送
方向Ｔと直角な方向の大きさを異ならせることもでき
る。

【００２４】

【発明の効果】以上説明したように、この発明にかかる
露光装置によれば、基板が搬送コンベアによりフォトマ
スクと対応した所定位置に搬送されると、ストッパ部材
を突出させて該ストッパ部材に基板の前縁を当接させる
とともに搬送コンベアを停止させた後、押付部材により
基板を搬送方向前方に押圧し、また、側方から押圧部材
により基板の側方を押圧し、これら部材により基板を位
置合わせして露光するため、簡単な構造かつ短時間で基
板の位置合わせが行え、ＸＹテーブル等が不要で装置の
製作コストが低減される。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一の実施の形態に係る露光装置の正
面図である。

【図２】同露光装置の平面図である。

【図３】同露光装置の側面図である。

【図４】図２のＡ−Ａ矢視断面図である。

【図５】図２のＢ−Ｂ矢視断面図である。

【図６】図２のＣ−Ｃ矢視断面図である。

【図７】同露光装置の異なる使用態様を示す平面図であ
る。

【符号の説明】

１０ 搬送コンベア １１ コンベアフレーム １２ 支軸 １２ａ ローラ ２０ 取付ブラケット ２１ 穴 ２９ 取付枠 ２９ａ 切欠 ３０ ストッパ機構 ４０ 前後位置合わせ機構 ５０ 左右位置合わせ機構 Ｂ 基板 Ｍ フォトマスク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山川 晃司 東京都文京区小石川４丁目14番12号 共同 印刷株式会社内 (72)発明者 仲田 宏治 東京都文京区小石川４丁目14番12号 共同 印刷株式会社内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を搬送する搬送コンベアの上方に光
   源を配置し、該光源と搬送コンベアとの間にフォトマス
   クを固設するとともに、 前記搬送コンベアの搬送路にストッパ部材を突出させ、
   該ストッパ部材を前記搬送コンベアにより搬送される基
   板の前縁に当接させて前記基板を前記フォトマスクと対
   応した位置に停止させるストッパ機構と、 該ストッパ機構により停止された基板の後縁を押付部材
   により押圧して前記基板を搬送方向に位置合わせする前
   後位置合わせ機構と、 前記ストッパ機構により停止された基板の側縁を押圧部
   材により搬送方向と直角な方向に押圧して前記基板を搬
   送方向と直角な方向に位置合わせする左右位置合わせ機
   構とを設けたことを特徴とする露光装置。
2. 【請求項２】 前記フォトマスクが前記基板と同一の平
   面形状であって、前記位置合わせ機構が前記押圧部材を
   前記基板の側縁および前記フォトマスクの側縁の双方に
   当接可能に前記基板の両側にそれぞれ配置してなる請求
   項１記載の露光装置。