JPH0983189A - 基板搬送方法とその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板を正確に安定して位置決めすることがで
きる基板搬送装置の提供。 【構成】 加工位置まで搬送される基板１の両側縁をガ
イドする固定側レール２及び幅寄せ側レール２４と、前
記両レール２、２４にガイドされる前記基板１を加工位
置まで搬送する搬送手段１７、１７と、前記加工位置に
停止した前記基板１の両側縁を挟み込んで位置決めする
固定側挟込み手段２、４、８及び幅寄せ側挟込み手段２
４、２５とを有する基板搬送装置において、前記固定側
挟込み手段２、４、８と前記幅寄せ側挟込み手段２４、
２５との何れか一方に、前記の位置決めすべき基板１を
相手側の前記挟込み手段に押し付ける規制用付勢手段２
７、２８、２９、２９ａを付加する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】最近では、電子機器の生産性を向
上するために、基板搬送方法とその装置についても、基
板を正確に安定して搬送・位置決めすることが重要な課
題になっている。

【０００２】従来例の挟み込み規制方式の基板搬送方法
とその装置を図７〜図１１に基づいて説明する。

【０００３】図７、図８において、１は基板、２は前記
基板１をガイドし位置決めするために上下方向のみに動
く固定側上下可動レール、４は固定側上側ガイドで基板
１の上面に接触して位置決めする部分にウレタンゴム層
５を有し、８は後述のテーブルフレーム１６に固定され
前記固定側上下可動レール２を上下方向にガイドする固
定ガイドであり、これらによって、基板１の一方の側縁
を挟み込む固定側挟込み手段を構成している。

【０００４】３は前記基板１の幅に合わせて基板１の幅
方向に移動し且つ上下方向にも動く移動側上下可動レー
ル、６は移動側上側ガイドで基板１の上面に接触して位
置決めする部分にウレタンゴム層７を有し、９は後述の
テーブルフレーム１６上を前記基板１の幅方向に移動し
且つ前記移動側上下可動レールを上下方向にガイドする
移動ガイドであり、これらによって、基板１の他方の側
縁を挟み込む幅寄せ側挟込み手段を構成している。

【０００５】１０は前記基板１を支持するサポートピ
ン、１１は前記サポートピン１０を取り付けるサポート
プレート、１２は前記固定側上下可動レール２と前記移
動側上下可動レール３とに下から当接して昇降させる昇
降バー、１３は前記サポートプレート１１と前記昇降バ
ー１２とを上下方向に移動させる上下駆動用シリンダ、
１４は前記上下駆動用シリンダの動作をガイドし前記サ
ポートプレート１１の水平度を確保する上下駆動用ガイ
ドシャフト、１５は前記上下駆動用ガイドシャフト１４
のガイドブッシュである。

【０００６】１６は前記固定側挟込み手段のベースにな
る前記固定ガイド８と前記幅寄せ側挟込み手段のベース
になる前記移動ガイド９と前記上下駆動用シリンダ１３
と前記上下駆動用ガイドシャフト１４と前記ガイドブッ
シュ１５とを取り付けてＸＹ方向に移動し基板１を位置
決めするテーブルフレーム、１７、１７は前記基板１を
搬送する基板搬送ベルト、１８は前記基板を止める基板
ストッパーである。

【０００７】図９において、１９、１９は、前述のよう
に、前記幅寄せ側挟込み手段を構成する移動ガイド９と
移動側上下可動レール３と移動側上側ガイド６とを基板
１の幅に合わせて幅寄せ移動させる幅寄せスクリューシ
ャフトである。２０、２０はベベルギア、２１はシャフ
トで前記左右の幅寄せスクリューシャフト１９、１９間
で駆動力を伝達する。２２は前記左右の幅寄せスクリュ
ーシャフト１９、１９を駆動して前記幅寄せ側挟込み手
段を構成する前記移動ガイド９と前記移動側上下可動レ
ール３と前記移動側上側ガイド６とを基板１の幅に合わ
せて幅寄せ移動させる幅寄せ用パルスモータである。

【０００８】図１０において、２３、２３は基板１の位
置を規制する基準ピンで、基板１の基準ピン穴２３ａ、
２３ａに挿通されて基板１を位置決めする。

【０００９】上記構成の従来例の動作を図７、図８に基
づいて説明する。

【００１０】図７、図８において、前記幅寄せ側挟込み
手段を構成する移動ガイド９と移動側上下可動レール３
と移動側上側ガイド６とを基板１の幅に対して少し余裕
を持たせて幅寄せした図７に示す状態で、基板搬送ベル
ト１７、１７が基板１を搬送してくる。基板１が所定位
置にくると、搬送されてきた基板１は基板ストッパー１
８に規制されて停止し、前記基板搬送ベルト１７、１７
も停止する。

【００１１】基板１が停止すると、上下駆動用シリンダ
１３が上昇して、サポートプレート１１と昇降バー１２
とを押し上げる。

【００１２】昇降バー１２が上昇し固定側上下可動レー
ル２と移動側上下可動レール３とに当接してこれらを持
ち上げる。固定側上下可動レール２と移動側上下可動レ
ール３とが基板１を持ち上げ、基板１は、基板搬送ベル
ト１７、１７と固定側上側ガイド４に設けたウレタンゴ
ム層５及び移動側上側ガイド６に設けたウレタンゴム層
７との間に挟み込まれた形で位置決めされる。このよう
にして位置決めされた基板１が実装される。

【００１３】実装が終わると、上下駆動用シリンダ１３
が下降し、それと共に、サポートプレート１１と昇降バ
ー１２とが下降し、固定側上下可動レール２と移動側上
下可動レール３とが下降する。これらの下降によって、
基板搬送ベルト１７、１７と前記ウレタンゴム層５及び
前記ウレタンゴム層７との間に挟み込まれていた基板１
が開放され、下降限に到達した固定側上下可動レール２
と移動側上下可動レール３とが備える基板搬送ベルト１
７、１７上に搭載された状態になる。

【００１４】次いで、基板ストッパー１８が下降し、基
板搬送ベルト１７、１７が動作して、実装済の基板１が
搬出され、代わって実装前の基板１が搬入され、上記の
動作を繰り返す。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の従来例
の構成では、基板１と、固定側挟込み手段の固定側上下
可動レール２及び幅寄せ側挟込み手段の移動側上下可動
レール３との間に緩衝機能が無いので、移動側上下可動
レール３を基板１の幅に合わせて幅寄せする場合、基板
１の損傷を避けるために、固定側上下可動レール２と移
動側上下可動レール３との間隔が基板１の幅より少し大
きいところで余裕を残して移動側上下可動レール３の移
動を停止させることが必要である。従って、間隔が基板
１の幅より少し広い前記の２つのレール間を基板搬送ベ
ルト１７、１７で搬送されてきた基板１を基板ストッパ
ー１８が止めることになり、図９に示すように、基板１
が少し傾いた状態で停止することが多い。このように基
板１が傾いていると、基板１の認識マークを使用し位置
補正して実装を行っても、正確な位置補正ができず、実
装位置がずれるという問題点がある。

【００１６】この問題点の対策には、作業者が手作業
で、基板１の側縁を固定側上下可動レール２の壁面に押
し当てるようにする必要があるという煩わしい問題点が
発生する。

【００１７】上記の手作業の代わりに、図１０に示すよ
うに、位置決め基準ピン２３、２３を突っ込んで位置決
めする基準ピン穴２３ａ、２３ａを基板１に設けると、
作業者の手作業による基板１の位置修正作業を省略でき
るが、位置決め基準ピン２３、２３の径に対して基準ピ
ン穴２３ａ、２３ａの径が大きすぎると、両者の径の差
だけ基板１が傾くという問題点が残る。

【００１８】更に、図８の状態から、基板搬送ベルト１
７、１７と、固定側上側ガイド４に設けたウレタンゴム
５層及び移動側上側ガイド６に設けたウレタンゴム層７
との間に挟み込まれていた基板１が開放された場合に、
基板１の表面の状態によっては、図１１に示すように、
固定側上側ガイド４に設けたウレタンゴム層５や移動側
上側ガイド６に設けたウレタンゴム層７に基板１が貼り
付いてしまい、搬送ミスを起こすという問題点がある。
この場合、ウレタンゴム層５、７を無くすると、実装時
には、基板１を保持するテーブルフレーム１６が基板１
を位置決するためにＸＹ方向へ移動するので、その移動
による慣性で基板１がずれてしまい、正確な実装ができ
なくなるという問題点が起きる。

【００１９】本発明は、上記の問題点を解決し、基板を
正確に安定して位置決めすることができ、且つ、搬出ミ
スがない基板搬送方法とその装置の提供を課題とする。

【００２０】

【課題を解決するための手段】本願第１発明の基板搬送
方法は、上記の課題を解決するために、搬送されてきた
基板をその両側縁をガイドレールでガイドしながら搬送
手段によって加工位置まで搬送し、前記加工位置に停止
した前記基板の両側縁を固定側挟込み手段と幅寄せ側挟
込み手段とで挟み込んで位置決めする基板搬送方法にお
いて、前記固定側挟込み手段と前記幅寄せ側挟込み手段
との何れか一方に設けた規制用付勢手段により、前記の
位置決めすべき基板を相手側の前記挟込み手段に押し付
けて位置決めすることを特徴とする。

【００２１】本願第２発明の基板搬送方法は、上記の課
題を解決するために、搬送されてきた基板をその両側縁
をガイドレールでガイドしながら搬送手段によって加工
位置まで搬送し、前記加工位置に停止した前記基板の両
側縁を固定側挟込み手段と幅寄せ側挟込み手段とで挟み
込んで位置決めする基板搬送方法において、前記固定側
挟込み手段と前記幅寄せ側挟込み手段との夫々に設けら
れ挟み込んだ基板に当接して基板を保持するゴム弾性体
層の近傍に貼付き防止付勢手段を設け、前記の挟み込ま
れた基板が挟み込みから開放される際に、前記貼付き防
止付勢手段の付勢が、前記基板を前記ゴム弾性体層から
離して前記基板が前記ゴム弾性体層に貼り付くのを防止
することを特徴とする。

【００２２】本願第３発明の基板搬送装置は、上記の課
題を解決するために、加工位置まで搬送される基板の両
側縁をガイドする固定側レール及び幅寄せ側レールと、
前記両レールにガイドされる前記基板を加工位置まで搬
送する搬送手段と、前記加工位置に停止した前記基板の
両側縁を挟み込んで位置決めする固定側挟込み手段及び
幅寄せ側挟込み手段とを有する基板搬送装置において、
前記固定側挟込み手段と前記幅寄せ側挟込み手段との何
れか一方に、前記の位置決めすべき基板を相手側の前記
挟込み手段に押し付ける規制用付勢手段を付加すること
を特徴とする。

【００２３】本願第４発明の基板搬送装置は、上記の課
題を解決するために、加工位置まで搬送される基板の両
側縁をガイドする固定側レール及び幅寄せ側レールと、
前記両レールにガイドされる前記基板を加工位置まで搬
送する搬送手段と、前記加工位置に停止した前記基板の
両側縁を挟み込んで位置決めする固定側挟込み手段及び
幅寄せ側挟込み手段と、前記固定側挟込み手段及び前記
幅寄せ側挟込み手段に設けられ挟み込んだ基板に当接し
て基板を保持するゴム弾性体層とを有する基板搬送装置
において、前記ゴム弾性体層の近傍に、前記の挟み込ま
れた基板が挟み込みから開放される際に、前記基板を前
記ゴム弾性体層から離して前記基板が前記ゴム弾性体層
に貼り付くのを防止する貼付き防止付勢手段を付加する
ことを特徴とする。

【００２４】

【作用】従来例の基板搬送方法を使用した基板搬送装置
で、加工位置まで搬送される基板の両側縁をガイドする
固定側レール及び幅寄せ側レールと、前記両レールにガ
イドされる前記基板を加工位置まで搬送する搬送手段
と、前記加工位置に停止した前記基板の両側縁を挟み込
んで位置決めする固定側挟込み手段及び幅寄せ側挟込み
手段とを有するものにおいては、搬送される基板の両側
縁と、前記固定側レール及び幅寄せ側レールとの間に、
前記基板を滑らかにガイドするための間隙があり、この
間隙を残したままで、前記固定側挟込み手段と前記幅寄
せ側挟込み手段とで前記基板を位置決めするので、位置
決めされた基板が前記間隙分だけ傾くという問題点があ
る。

【００２５】これに対して、本願第１発明及び本願第３
発明によれば、前記固定側挟込み手段と前記幅寄せ側挟
込み手段との何れか一方に規制用付勢手段を設け、前記
規制用付勢手段の付勢により、前記の位置決めすべき基
板を相手側の前記挟込み手段に押し付けて位置決めする
ので、従来例で問題になる間隙が無くなり、前記基板を
正確に位置決めできる。

【００２６】従来例の基板搬送方法を使用した基板搬送
装置で、加工位置まで搬送される基板の両側縁をガイド
する固定側レール及び幅寄せ側レールと、前記両レール
にガイドされる前記基板を加工位置まで搬送する搬送手
段と、前記加工位置に停止した前記基板の両側縁を挟み
込んで位置決めする固定側挟込み手段及び幅寄せ側挟込
み手段と、前記固定側挟込み手段及び前記幅寄せ側挟込
み手段に設けられ挟み込んだ基板に当接して基板を保持
するゴム弾性体層とを有するものにおいては、位置決め
された基板が前記固定側挟込み手段及び幅寄せ側挟込み
手段から開放される際に、基板の表面の状態によって
は、その基板が前記ゴム弾性体層に貼り付いて、搬出ミ
スが発生するという問題点がある。

【００２７】これに対して、本願第２発明及び本願第４
発明によれば、前記ゴム弾性体層の近傍に、前記の挟み
込まれた基板が挟み込みから開放される際に、前記基板
を前記ゴム弾性体層から離して前記基板が前記ゴム弾性
体層に貼り付くのを防止する貼付き防止付勢手段を付加
しているので、位置決めされた基板が前記固定側挟込み
手段及び幅寄せ側挟込み手段から開放される際に、基板
の表面の状態の如何に関わらず、その基板が前記ゴム弾
性体層に貼り付くことが無く、搬出ミスが無くなる。

【００２８】

【実施例】本願発明の基板搬送方法を使用する基板搬送
装置の実施例を図１〜図６に基づいて説明する。

【００２９】図１〜図６に示す本実施例が従来例と異な
るのは、基板搬送装置の幅寄せ側挟込み手段に取り付け
た基板を規制するための規制用付勢手段の部分と、固定
側挟込み手段に取り付けた貼付き防止付勢手段の部分と
である。従って、従来例と同じ部分には、図７〜図１１
の従来例と同一の符号を付けて説明を省略する。

【００３０】先ず、本実施例の幅寄せ側挟込み手段に取
り付けた基板を規制するための規制用付勢手段の部分を
図１、図２に基づいて説明する。２４はテーブルフレー
ム１６上を基板１に対して水平方向には移動するが上下
方向には移動しない移動側固定レール、２５は基板１の
上面に接触して位置決めする移動側上側ゴム層無しガイ
ド、２６は固定側のレールのみを昇降させる固定側レー
ル昇降用バー、２７は基板１に対する幅寄せのために基
板１の側縁を押す移動側レール内プッシャー部材、２８
は前記移動側レール内プッシャー部材２７を基板１の側
縁に対して弾性的に押し付ける規制用バネ材又は規制用
ゴム弾性材等からなる規制用付勢手段、２９ａは前記移
動側レール内プッシャー部材２７に設けられた前記基板
１の幅方向に長い長穴、２９は前記長穴２９ａに挿通さ
れて前記規制用付勢手段２８による移動側レール内プッ
シャー部材２７の移動を前記長穴２９ａの長さの範囲に
規制するストッパーピンである。

【００３１】又、本実施例の幅寄せ側挟込み手段の移動
側固定レール２４を基板１に対して幅寄せする機構を図
３に基づいて説明する。１９、１９は、幅寄せ側挟込み
手段を構成する移動側固定レール２４と移動側上側ゴム
層無しガイド２５とを基板１の幅に合わせて幅寄せ移動
させる幅寄せスクリューシャフトである。２０、２０は
ベベルギア、２１はシャフトで前記左右の幅寄せスクリ
ューシャフト１９、１９間で駆動力を伝達する。２２は
前記左右の幅寄せスクリューシャフト１９、１９を駆動
して前記の幅寄せ側挟込み手段を構成する移動側固定レ
ール２４と移動側上側ゴム層無しガイド２５とを基板１
の幅に合わせて幅寄せ移動させる幅寄せ用パルスモータ
である。

【００３２】そして、３０は前記幅寄せ用パルスモータ
２２を駆動するモータドライバー、３１は前記モータド
ライバー３０を制御するコントローラ、３２は前記コン
トローラ３１に制御用のデータを入力する操作盤であ
る。

【００３３】又、本実施例の固定側挟込み手段に取り付
けた貼付き防止付勢手段を図５、図６に基づいて説明す
る。

【００３４】図５、図６において、固定側上側ガイド４
に設けたウレタンゴム層５に基板１が貼付くのを防止す
るために、貼付き防止付勢手段３３をネジ３３ａを用い
て固定側上側ガイド４に取り付ける。基板１がウレタン
ゴム層５に接触するまでは、貼付き防止付勢手段３３の
先端３３ｂがウレタンゴム層５より下方に突き出してお
り、固定側上下可動レール２が上昇し基板１が上昇して
ウレタンゴム層５に接触する際には、基板１は、先ず、
前記貼付き防止付勢手段３３の先端に当接し、前記貼付
き防止付勢手段３３の付勢に抗して上昇してウレタンゴ
ム層５に接触する。従って、前記貼付き防止付勢手段３
３の付勢力は貼付きを防止できる程度の小さい力に設定
する。固定側上下可動レール２が下降する際には、貼付
き防止付勢手段３３の付勢によって、基板１はウレタン
ゴム層５に付着することなくウレタンゴム層５から離れ
る。この場合、貼付き防止付勢手段３３の固定側上側ガ
イド４の長手方向の長さは短くても良いので、図６に示
すように、幅の狭い貼付き防止付勢手段３３を複数個取
付ける。取り付ける個数は、貼付き防止に必要な力で決
まる。

【００３５】以下に、本実施例の動作を図１〜図６に基
づいて説明する。

【００３６】図１〜図４において、先ず、操作盤３２か
らコントローラ３１に操作用データを入力しモータドラ
イバー３１を動作させ幅寄せ用パルスモータ２２を駆動
して、移動側固定レール２４を基板１の幅方向に幅寄せ
し、移動側固定レール２４と固定側上下可動レール２と
の基板搬送間隔を、（基板１の幅ｙ）＋２×（所定間隙
Δｙ₁ ）とする。前記所定間隙Δｙ₁ は、基板１が基板
搬送ベルト１７、１７により搬送される際に、基板１が
滑らかに搬送されるに必要な両側の余裕分である。

【００３７】次いで、基板搬送ベルト１７、１７を動か
して基板１を搬送する。搬送されてきた基板１が基板ス
トッパー１８に規制されて停止すると、基板搬送ベルト
１７、１７も停止し、搬送動作が終了する。

【００３８】次いで、上下駆動用シリンダ１３が動作し
てサポートプレート１１と固定側レール昇降バー２６と
を押し上げる。この押し上げによって、サポートピン１
０が基板１の裏面に当接すると同時に、固定側レール昇
降バー２６が固定側上下可動レール２の下面に当接し、
基板１と固定側上下可動レール２とを平行して押し上げ
る。この押し上げは、基板１の上面が、固定側挟込み手
段を構成する固定側上側ガイド４のウレタンゴム層５に
当接し、且つ、幅寄せ側挟込み手段を構成する移動側上
側ゴム層無しガイド２５に当接した時点で停止する。
尚、基板１の上面が、固定側挟込み手段側で、固定側上
側ガイド４のウレタンゴム層５に当接する際には、基板
１は、先ず、前記貼付き防止付勢手段３３の先端に当接
し、前記貼付き防止付勢手段３３の付勢に抗して上昇し
てウレタンゴム層５に当接する。

【００３９】上記の押し上げが停止すると、図４におい
て、操作盤３２からコントローラ３１に予め入力されて
いるデータに基づいてモータドライバー３０が動作して
幅寄せ用パルスモータ２２を駆動し、移動側固定レール
２４を、基板１の幅方向に、２×（所定間隙Δｙ₁ ）＋
付勢距離Δｙ₂ だけ幅寄せする。

【００４０】上記の幅寄せの場合に、図３に示すように
基準ピンと基準ピン穴とが無い場合には、前記の２×
（所定間隙Δｙ₁ ）の余裕間隙が無くなり、規制用付勢
手段２８が長さＬから付勢距離Δｙ₂ だけ圧縮され、こ
の圧縮量に対応した付勢力で、基板１を固定側上下可動
レール２に押し付けて、基板１を正確に位置決めする。

【００４１】又、上記の幅寄せの場合に、図４に示すよ
うに基準ピン２３、２３と基準ピン穴２３ａ、２３ａと
がある場合には、基準ピン２３と基準ピン穴２３ａとの
間に遊びがあっても、その遊びを基準ピン２３の片側に
寄せ付けて、基板１を正確に位置決めする。

【００４２】なお本実施例では、基板１を上昇させた後
に、幅寄せをしているが、先に両挟み込み手段によって
基板１の位置決めを行った後に、固定側上下可動レール
２とサポートピン１０によって基板１を上昇させてもよ
い。

【００４３】上記のようにして正確に位置決めされた基
板１を実装し、実装が終了すると、操作盤３２からコン
トローラ３１に予め入力されているデータに基づいてモ
ータドライバー３０が動作して幅寄せ用パルスモータ２
２を駆動し、移動側固定レール２４を、基板１の幅方向
に、２×（所定間隙Δｙ₁ ）＋付勢距離Δｙ₂ だけ幅を
広げ、上下駆動用シリンダ１３が動作してサポートプレ
ート１１と固定側レール昇降バー２６とを下降させる。

【００４４】上記の下降によって、基板１が下降する
が、この場合に、固定側挟込み手段側では、貼付き防止
付勢手段３３の付勢によって、基板１はウレタンゴム層
５に付着することなくウレタンゴム層５から離れる。幅
寄せ側挟込み手段側では、貼付き防止付勢手段３３の付
勢により基板１が保持されるので、移動側上側ガイドに
はウレタンゴム層が不要になり、基板１の上面に当接し
ているのは移動側上側ゴム層無しガイド２５であるの
で、基板１は付着することなく移動側上側ゴム層無しガ
イド２５から離れる。

【００４５】次いで、基板ストッパー１８が下降し、基
板搬送ベルト１７、１７が動作して、実装済の基板１が
搬出され、代わって実装前の基板１が搬入され、上記の
動作を繰り返す。

【００４６】尚、本実施例では、規制用付勢手段を固定
側挟込み手段側に取り付けたが、これに限らず、規制用
付勢手段を幅寄せ側挟込み手段側に取り付けても良い。
又、固定側挟込み手段や幅寄せ側挟込み手段等の構造
は、本実施例の構造に限らず、目的に合わせて自由に設
計できる。又、貼付き防止付勢手段３３の付勢を働かせ
る時点も、本実施例の時点に限らず、目的と構造とに合
わせて自由に設定できる。

【００４７】

【発明の効果】本願第１発明及び本願第３発明によれ
ば、固定側挟込み手段と幅寄せ側挟込み手段との何れか
一方に規制用付勢手段を設け、前記規制用付勢手段の付
勢により、位置決めすべき基板を相手側の挟込み手段に
押し付けて位置決めするので、前記基板を傾き無く正確
に位置決めできるという効果を奏する。

【００４８】本願第２発明及び本願第４発明によれば、
ゴム弾性体層の近傍に、挟み込まれた基板が挟み込みか
ら開放される際に、基板を前記ゴム弾性体層から離して
前記基板が前記ゴム弾性体層に貼り付くのを防止する貼
付き防止付勢手段を付加しているので、位置決めされた
基板が固定側挟込み手段及び幅寄せ側挟込み手段から開
放される際に、基板の表面の状態の如何に関わらず、そ
の基板が前記ゴム弾性体層に貼り付くことが無く、搬送
ミスが無くなるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の構成を示す斜視図である。

【図２】本発明の実施例の構成を示す斜視図である。

【図３】本発明の実施例の構成を示す平面図である。

【図４】本発明の実施例の構成を示す平面図である。

【図５】本発明の実施例の構成の要部を示す断面図であ
る。

【図６】本発明の実施例の構成の要部を示す平面図であ
る。

【図７】従来例の構成を示す斜視図である。

【図８】従来例の構成を示す斜視図である。

【図９】従来例の問題点を示す平面図である。

【図１０】従来例の問題点を示す平面図である。

【図１１】従来例の問題点を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ 基板 ２ 固定側上下可動レール ４ 固定側上側ガイド ５ ウレタンゴム層 ８ 固定ガイド １０ サポートピン １１ サポートプレート １３ 上下駆動用シリンダ １４ 上下駆動用ガイドシャフト １５ ガイドブッシュ １６ テーブルフレーム １７ 基板搬送ベルト １８ 基板ストッパー １９ 幅寄せスクリューシャフト ２０ ベベルギア ２１ シャフト ２２ 幅寄せ用パルスモータ ２３ 基準ピン ２３ａ 基準ピン穴 ２４ 移動側固定レール ２５ 移動側上側ゴム層無しガイド ２６ 固定側レール昇降用バー ２７ 移動側レール内プッシャー部材 ２８ 規制用付勢手段 ２９ ストッパーピン ２９ａ 長穴 ３０ モータドライバー ３１ コントローラ ３２ 操作盤 ３３ 貼付き防止付勢手段 ３３ａ ネジ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬送されてきた基板をその両側縁をガイ
   ドレールでガイドしながら搬送手段によって加工位置ま
   で搬送し、前記加工位置に停止した前記基板の両側縁を
   固定側挟込み手段と幅寄せ側挟込み手段とで挟み込んで
   位置決めする基板搬送方法において、前記固定側挟込み
   手段と前記幅寄せ側挟込み手段との何れか一方に設けた
   規制用付勢手段により、前記の位置決めすべき基板を相
   手側の前記挟込み手段に押し付けて位置決めすることを
   特徴とする基板搬送方法。
2. 【請求項２】 搬送されてきた基板をその両側縁をガイ
   ドレールでガイドしながら搬送手段によって加工位置ま
   で搬送し、前記加工位置に停止した前記基板の両側縁を
   固定側挟込み手段と幅寄せ側挟込み手段とで挟み込んで
   位置決めする基板搬送方法において、前記固定側挟込み
   手段と前記幅寄せ側挟込み手段との夫々に設けられ挟み
   込んだ基板に当接して基板を保持するゴム弾性体層の近
   傍に貼付き防止付勢手段を設け、前記の挟み込まれた基
   板が挟み込みから開放される際に、前記貼付き防止付勢
   手段の付勢が、前記基板を前記ゴム弾性体層から離して
   前記基板が前記ゴム弾性体層に貼り付くのを防止するこ
   とを特徴とする基板搬送方法。
3. 【請求項３】 加工位置まで搬送される基板の両側縁を
   ガイドする固定側レール及び幅寄せ側レールと、前記両
   レールにガイドされる前記基板を加工位置まで搬送する
   搬送手段と、前記加工位置に停止した前記基板の両側縁
   を挟み込んで位置決めする固定側挟込み手段及び幅寄せ
   側挟込み手段とを有する基板搬送装置において、前記固
   定側挟込み手段と前記幅寄せ側挟込み手段との何れか一
   方に、前記の位置決めすべき基板を相手側の前記挟込み
   手段に押し付ける規制用付勢手段を付加することを特徴
   とする基板搬送装置。
4. 【請求項４】 加工位置まで搬送される基板の両側縁を
   ガイドする固定側レール及び幅寄せ側レールと、前記両
   レールにガイドされる前記基板を加工位置まで搬送する
   搬送手段と、前記加工位置に停止した前記基板の両側縁
   を挟み込んで位置決めする固定側挟込み手段及び幅寄せ
   側挟込み手段と、前記固定側挟込み手段及び前記幅寄せ
   側挟込み手段に設けられ挟み込んだ基板に当接して基板
   を保持するゴム弾性体層とを有する基板搬送装置におい
   て、前記ゴム弾性体層の近傍に、前記の挟み込まれた基
   板が挟み込みから開放される際に、前記基板を前記ゴム
   弾性体層から離して前記基板が前記ゴム弾性体層に貼り
   付くのを防止する貼付き防止付勢手段を付加することを
   特徴とする基板搬送装置。