KR20210034168A - 기판 이송 장치 - Google Patents

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KR20210034168A
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장희동
전병천
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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 기판을 파지하도록 구성되는 복수의 클램프; 복수의 클램프에 인접하게 배치되어 기판을 감지하는 복수의 센서; 및 복수의 센서가 각각 기판을 감지하는지 여부에 따라 기판의 이송 방향에 대한 기판의 경사도를 검출하고 기판의 경사도를 기초로 복수의 클램프를 기판과 정렬시키는 제어 유닛을 포함할 수 있다.

Description

기판 이송 장치{APPARATUS FOR CONVEYING SUBSTRATE}
본 발명은 기판을 이송하도록 구성되는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(이하, '기판'이라 함)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(이하, '단위 기판'이라 함)을 사용한다.
기판을 단위 기판으로 절단하는 공정은, 기판의 절단의 기준이 되는 절단 예정선을 따라, 다이아몬드와 같은 재질의 스크라이빙 휠을 기판에 가압하면서 이동시켜 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정을 포함한다.
이러한 스크라이빙 공정에서는, 기판이 지지 스테이지 상에 지지된 상태에서 기판의 후행단이 복수의 클램프에 의해 파지되어 스크라이빙 유닛으로 이송된다.
한편, 다양한 원인으로 인해 기판이 기판의 이송 방향에 대하여 경사진 상태로 지지 스테이지에 반입될 수 있다.
기판의 이송 방향에 대하여 기판이 경사진 상태로 반입되는 경우 복수의 클램프가 기판의 후행단을 균일하게 파지하지 못하는 문제가 발생할 수 있다. 즉, 복수의 클램프 중 일부가 기판의 후행단을 파지하지 못할 수 있다. 또한, 클램프가 기판의 후행단을 파지하는 파지 면적이 복수의 클램프 마다 다를 수 있다. 이로 인하여, 기판이 복수의 클램프에 의해 안정적으로 파지되지 못하여 기판의 이송 시 기판이 의도하지 않는 방향으로 이송될 수 있거나 기판이 진동할 수 있거나 기판이 복수의 클램프로부터 이탈될 수 있는 문제가 있다.
본 발명의 목적은 기판의 이송 방향에 대하여 기판이 경사진 상태로 반입되는 경우에도 복수의 클램프가 기판을 파지하도록 구성되는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 기판을 파지하도록 구성되는 복수의 클램프; 복수의 클램프에 인접하게 배치되어 기판을 감지하는 복수의 센서; 및 복수의 센서가 각각 기판을 감지하는지 여부에 따라 기판의 이송 방향에 대한 기판의 경사도를 검출하고 기판의 경사도를 기초로 복수의 클램프를 기판과 정렬시키는 제어 유닛을 포함할 수 있다.
복수의 클램프는 기판의 이송 방향으로 이동 가능하게 구성되는 프레임에 장착될 수 있고, 프레임에는 복수의 클램프를 각각 기판의 이송 방향으로 이동시키도록 구성되는 복수의 클램프 구동 모듈이 구비될 수 있으며, 제어 유닛은 기판의 경사도를 기초로 복수의 클램프 구동 모듈을 제어하여 복수의 클램프를 기판과 정렬시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는 기판이 지지되는 지지 스테이지를 더 포함할 수 있고, 제어 유닛은 기판의 경사도를 기초로 복수의 클램프 구동 모듈을 제어하여 기판을 지지 스테이지와 정렬시킬 수 있다.
복수의 클램프는 기판의 이송 방향으로 이동 가능하게 구성되는 프레임에 장착될 수 있고, 프레임의 양단은 기판의 이송 방향으로 연장되는 한 쌍의 가이드 레일에 이동 가능하게 지지될 수 있으며, 제어 유닛은 기판의 경사도를 기초로 한 쌍의 가이드 레일에 대한 프레임의 양단의 이동량을 조절하여 복수의 클램프를 기판과 정렬시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는 기판이 지지되는 지지 스테이지를 더 포함할 수 있고, 제어 유닛은 기판의 경사도를 기초로 한 쌍의 가이드 레일에 대한 프레임의 양단의 이동량을 조절하여 기판을 지지 스테이지와 정렬시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는 기판을 파지하도록 구성되는 복수의 클램프; 복수의 클램프가 장착되며 기판의 이송 방향으로 이동 가능하게 구성되는 프레임; 프레임에 장착되고 프레임을 따라 이동 가능하게 설치되어 기판의 이송 방향에 대한 기판의 경사도를 검출하도록 구성되는 센서; 및 센서에 의해 검출된 기판의 경사도를 기초로 복수의 클램프를 기판과 정렬시키는 제어 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 기판의 이송 방향에 대하여 기판이 경사진 상태로 반입되는 경우에도 복수의 클램프가 기판을 파지하도록 구성되는 기판 이송 장치를 제공함으로써, 기판을 균일하게 파지하여 안정적으로 이송할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치가 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 다른 예가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 4 내지 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 작동 과정이 순차적으로 도시된 도면이다.
도 10 내지 도 12는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 작동 과정의 다른 예가 순차적으로 도시된 도면이다.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 다른 예가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 14는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 또 다른 예가 개략적으로 도시된 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치에 대하여 설명한다.
이하, 기판 이송 장치에 의해 기판이 이송되는 방향을 Y축 방향이라 정의하고, 기판이 이송되는 방향(Y축 방향)에 수직인 방향을 X축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판이 놓이는 X-Y 평면에 수직인 방향을 Z축 방향이라 정의한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는 기판(S)을 지지하는 지지 스테이지(10)와, 지지 스테이지(10) 상에 지지된 기판(S)의 후행단을 파지하도록 구성되는 클램프(50)와, 클램프(50)가 장착되며 X축 방향으로 연장되는 프레임(20)과, 프레임(20)과 연결되며 Y축 방향으로 연장되는 가이드 레일(30)을 포함할 수 있다.
지지 스테이지(10)는 Y축 방향으로 왕복으로 이동 가능한 벨트로서 구성될 수 있다. 지지 스테이지(10)가 Y축 방향으로 이동됨에 따라, 지지 스테이지(10) 상에 지지된 기판(S)이 Y축 방향으로 이동될 수 있다.
예를 들면, 지지 스테이지(10)는 기판(S)의 전체 면적 이상의 면적을 갖는 하나의 벨트로 구성될 수 있다. 지지 스테이지(10)가 벨트로 구성되는 경우, 지지 스테이지(10)는 복수의 풀리(11)에 의해 지지된다. 복수의 풀리(11) 중 적어도 하나는 지지 스테이지(10)를 회전시키는 구동력을 제공하는 구동 풀리일 수 있다.
지지 스테이지(10)에는 기판(S)이 지지되는 지지면을 가질 수 있다. 지지 스테이지(10)의 지지면에는 클램프(50)가 삽입되어 수용되는 수용부(12)가 형성될 수 있다. 복수의 수용부(12)가 복수의 클램프(50)에 대응하도록 X축 방향을 따라 배치될 수 있다. 수용부(12)의 개수는 클램프(50)의 개수와 동일할 수 있다. 수용부(12)는 지지 스테이지(10)를 Z축 방향으로 관통하는 관통홀의 형태로 형성될 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 지지 스테이지(10)가 두꺼운 경우, 수용부(12)는 지지 스테이지(10)를 관통하지 않고 지지 스테이지(10)에 오목하게 형성된 홈의 형태로 형성될 수 있다. 수용부(12)가 관통홀 또는 오목홈의 형태로 형성되는 경우, 수용부(12)와 기판(S) 사이의 간섭이 방지될 수 있다.
일 예로서, 클램프(50)는 수용부(12)에 선택적으로 수용될 수 있다. 즉, 클램프(50)는 Z축 방향으로 이동하면서 수용부(12)에 수용될 수 있거나 수용부(12)로부터 이격될 수 있다. 다른 예로서, 클램프(50)는 수용부(12)에 수용된 상태로 계속 유지될 수 있다.
다른 예로서, 도 3에 도시된 바와 같이, 지지 스테이지(10)는 에어 테이블로서 구성될 수 있다. 이 경우, 기판(S)이 클램프(50)에 의해 파지되고 에어 테이블에 의해 부양된 상태에서, 클램프(50)가 Y축 방향으로 이동함에 따라, 기판(S)이 Y축 방향으로 이동할 수 있다.
프레임(20)은 지지 스테이지(10)의 상방에 구비된다. 프레임(20)은 가이드 레일(30)을 따라 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 프레임(20)의 양단은 한 쌍의 가이드 레일(30)에 개별적으로 이동 가능하게 지지된다.
프레임(20)과 가이드 레일(30) 사이에는 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 클램프(50)가 기판(S)의 후행단을 파지한 상태에서 프레임(20)이 직선 이동 기구에 의해 Y축 방향으로 이동됨에 따라, 기판(S)이 Y축 방향으로 이송될 수 있다. 이때, 지지 스테이지(10)는 클램프(50)의 이동과 동기화되어 이동하면서 기판(S)을 안정적으로 지지할 수 있다.
복수의 클램프(50)는 프레임(20)에 장착되며 기판(S)의 후행단을 파지하도록 구성된다. 예를 들면, 클램프(50)는 한 쌍의 클램핑 부재를 포함할 수 있다. 한 쌍의 클램핑 부재가 기판을 사이에 두고 서로 대향하게 배치된 다음 한 쌍의 클램핑 부재가 기판을 향하여 이동됨에 따라, 기판이 한 쌍의 클램핑 부재에 의해 가압되어 파지될 수 있다.
복수의 클램프(50)는 프레임(20)을 따라 X축 방향으로 배치될 수 있다. 클램프(50)는 프레임(20)을 따라 연장된 가이드(70)를 따라 X축 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 이를 위해, 클램프(50)와 가이드(70) 사이에는 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 복수의 클램프(50)가 직선 이동 기구에 의해 X축 방향으로 이동됨에 따라 복수의 클램프(50) 사이의 간격이 조절될 수 있다. 따라서, 복수의 클램프(50)가 기판(S)의 폭에 적절하게 대응하게 배치되어 기판(S)을 안정적으로 파지할 수 있다. 복수의 클램프(50)가 직선 이동 기구에 의해 X축 방향으로 이동됨에 따라 복수의 클램프(50)가 지지 스테이지(10)의 복수의 수용부(12)에 각각 대응하도록 위치될 수 있다.
클램프(50)와 프레임(20) 사이에는 클램프(50)를 Z축 방향으로 이동시키는 클램프 승강 모듈(80)이 구비될 수 있다. 클램프 승강 모듈(80)로는 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 적용될 수 있다. 기판(S)이 지지 스테이지(10)로 반입되거나 지지 스테이지(10)로부터 반출될 때, 클램프(50)가 클램프 승강 모듈(80)에 의해 지지 스테이지(10)로부터 이격되게 이동되며, 이에 따라, 클램프(50)와 기판(S) 사이의 간섭이 방지될 수 있다.
클램프(50)가 클램프 승강 모듈(80)에 의해 Z축 방향으로 이동되면서 지지 스테이지(10)의 수용부(12)에 수용되거나 수용부(12)로부터 이탈될 수 있다. 클램프(50)가 지지 스테이지(10)로부터 이격되게 이동된 상태에서는, 클램프(50)가 지지 스테이지(10)의 수용부(12)로부터 이격될 수 있다. 따라서, 기판(S)이 지지 스테이지(10)로 반입되는 과정에서, 기판(S)과 클램프(50) 사이의 간섭이 방지될 수 있다.
클램프(50)가 클램프 승강 모듈(80)에 의해 Z축 방향으로 이동되어 지지 스테이지(10)의 수용부(12) 내에 수용될 수 있다. 이에 따라, 기판(S)이 지지 스테이지(10)의 지지면과 동일 높이에서 클램프(50)에 의해 파지될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 기판(S)의 이송 방향(Y축 방향)에 대하여 기판(S)이 경사져 반입되는 경우에도, 복수의 클램프(50)가 기판(S)을 균일하게 파지하도록 구성된다.
이를 위해, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 복수의 클램프(50)에 대하여 소정의 위치에 배치되어 기판(S)의 존부를 감지하는 복수의 센서(60)와, 복수의 센서(60)가 각각 기판(S)을 감지하는지 여부에 따라 기판(S)의 이송 방향에 대한 기판(S)의 경사도를 검출하고 기판(S)의 경사도를 기초로 복수의 클램프(50)를 기판(S)과 정렬시키는 제어 유닛(미도시)을 더 포함할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 프레임(20)에 장착되고 클램프(50)와 연결되어 클램프(50)를 Y축 방향으로 이동시키도록 구성되는 클램프 구동 모듈(40)을 더 포함할 수 있다.
센서(60)로서 기판(S)의 존부를 감지할 수 있는 다양한 종류의 센서가 채용될 수 있다. 예를 들면, 센서(60)는 카메라로서 구성될 수 있다. 다른 예로서, 센서(60)는 발광부 및 수광부를 포함하는 광학 센서로서 구성될 수 있다. 센서(60)는 기판(S)의 표면 또는 에지부를 감지하도록 구성될 수 있다. 다른 예로서, 센서(60)는 기판(S) 상에 미리 표시된 얼라인먼트 마크를 검출하도록 구성될 수 있다.
센서(60)는 프레임(20)에 설치될 수 있다. 따라서, 프레임(20)이 가이드 레일(30)을 따라 Y축 방향으로 이동함에 따라, 복수의 센서(60)가 Y축 방향으로 이동하면서 지지 스테이지(10) 상에 안착된 기판(S)을 감지할 수 있다. 다만, 본 발명은 복수의 센서(60)가 프레임(20)에 설치되는 구성에 한정되지 않으며, 복수의 센서(60)는 기판(S)의 표면, 기판(S)의 에지부 또는 기판(S) 상의 얼라인먼트 마크를 검출할 수 있는 다양한 위치에 설치될 수 있다.
예를 들면, 클램프 구동 모듈(40)은 프레임(20)에 대하여 클램프(50)를 Y축 방향으로 이동시키도록 구성된다. 클램프 구동 모듈(40)로서 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구가 채용될 수 있다.
복수의 클램프 구동 모듈(40)이 복수의 클램프(50)에 각각 연결될 수 있다. 복수의 클램프(50)가 복수의 클램프 구동 모듈(40)에 의해 각각 Y축 방향으로 개별적으로 이동될 수 있다. 복수의 클램프(50)가 복수의 클램프 구동 모듈(40)에 의해 이동됨에 따라, 복수의 클램프(50)가 배열되는 방향이 X축 방향 및 Y축 방향에 대하여 소정의 각도로 경사질 수 있다.
이하, 도 4 내지 도 9를 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 작동 과정에 대하여 설명한다.
먼저, 도 4에 도시된 바와 같이, 지지 스테이지(10) 상에 기판(S)이 반입되면, 지지 스테이지(10)가 지지 스테이지(10) 또는 프레임(20)에 대하여 경사졌는지 여부를 확인하는 과정, 즉, 기판(S)의 경사도를 검출하는 과정이 수행된다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 프레임(20)이 Y축 방향으로 이동되며, 이에 따라, 복수의 센서(60)가 지지 스테이지(10) 상에 안착된 기판(S)을 스캔한다. 예를 들면, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 프레임(20)이 Y축 방향으로 이동되면서, 복수의 센서(60) 중 어느 하나의 센서(60)가 기판(S)의 에지부를 감지할 때의 프레임(20)의 위치와 복수의 센서(60) 중 다른 어느 하나의 센서(60)가 기판(S)의 에지부를 감지할 때의 프레임(20)의 위치를 측정하는 것에 의해, Y축 방향에 대한 기판(S)의 경사도를 검출할 수 있다.
한편, 복수의 센서(60)가 기판(S)을 스캔하도록 프레임(20)이 이동할 때, 클램프 승강 모듈(80)에 의해 클램프(50)가 지지 스테이지(10)로부터 상승하며, 이에 따라, 클램프(50)가 지지 스테이지(10) 또는 기판(S)과 간섭하는 것이 방지될 수 있다.
이와 같이, 기판(S)의 경사도가 검출되면, 도 7에 도시된 바와 같이, 기판(S)의 경사도를 기초로 복수의 클램프(50)가 복수의 클램프 구동 모듈(40)에 의해 개별적으로 Y축 방향으로 이동한다. 따라서, 복수의 클램프(50)의 배열 방향이 기판(S)의 후행단의 방향과 일치한다.
그리고, 도 8에 도시된 바와 같이, 프레임(20)이 Y축 방향으로 이동되는 것에 의해, 복수의 클램프(50)가 기판(S)의 후행단에 인접될 수 있다. 이때, 복수의 클램프(50)의 배열 방향이 기판(S)의 후행단의 방향과 일치하므로, 복수의 클램프(50)가 균일한 파지 면적으로 기판(S)의 후행단을 안정적으로 파지할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치에 따르면, 기판(S)의 이송 방향에 대하여 기판(S)이 경사져 반입되는 경우에도 복수의 클램프(50)가 기판(S)을 안정적으로 파지하여 이송할 수 있다.
한편, 경우에 따라, 도 9에 도시된 바와 같이, 복수의 클램프 구동 모듈(40)에 의해 복수의 클램프(50)가 도 7에 도시된 방향과 반대 방향으로 이동함에 따라, 기판(S)이 회전될 수 있다. 따라서, 기판(S)의 경사도를 기초로 복수의 클램프 구동 모듈(40)에 의해 기판(S)이 지지 스테이지(10)와 정렬될 수 있다.
도 10 내지 도 12는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 작동 과정의 다른 예를 순차적으로 도시한다.
도 5 및 도 6에 도시된 과정에 의해, 기판(S)의 경사도가 검출되면, 도 10에 도시된 바와 같이, 기판(S)의 경사도를 기초로 한 쌍의 가이드 레일(30)에 대한 프레임(20)의 양단의 이동량이 조절된다. 일 예로서 들면, 프레임(20)의 양단은 동일한 방향으로 상이한 이동량으로 이동될 수 있다. 다른 예로서, 프레임(20)의 양단은 상이한 방향으로 상이한 이동량으로 이동될 수 있다. 또 다른 예로서, 프레임(20)의 양단은 상이한 방향으로 동일한 이동량으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 프레임(20)은 X축 방향 및 Y축 방향에 대하여 소정의 각도로 경사진다.
기판(S)의 경사도를 기초로 프레임(20)이 X축 방향 및 Y축 방향에 대하여 소정의 각도로 경사짐에 따라, 복수의 클램프(50)의 배열 방향이 기판(S)의 후행단의 방향과 일치할 수 있다.
그리고, 도 11에 도시된 바와 같이, 프레임(20)이 Y축 방향으로 이동되는 것에 의해, 복수의 클램프(50)가 기판(S)의 후행단에 인접될 수 있다. 이때, 복수의 클램프(50)의 배열 방향이 기판(S)의 후행단의 방향과 일치하므로, 복수의 클램프(50)가 균일한 파지 면적으로 기판(S)의 후행단을 안정적으로 파지할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치에 따르면, 기판(S)의 이송 방향에 대하여 기판(S)이 경사져 반입되는 경우에도 복수의 클램프(50)가 기판(S)을 안정적으로 파지하여 이송할 수 있다.
한편, 경우에 따라, 도 12에 도시된 바와 같이, 프레임(20)의 양단이 도 10에 도시된 방향과 반대 방향으로 이동함에 따라, 기판(S)이 회전될 수 있다. 따라서, 기판(S)의 경사도를 기초로 한 쌍의 가이드 레일(30)에 대한 프레임(20)의 양단의 이동량을 조절하여 기판(S)이 지지 스테이지(10)와 정렬될 수 있다.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 다른 예가 개략적으로 도시된 도면이다. 도 13에 도시된 바와 같이, 복수의 센서(60)는 각각 복수의 클램프(50)에 장착될 수 있다.
센서(60)는 클램프 구동 모듈(40)에 의해 클램프(50)와 함께 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 따라서, 기판(S)이 지지 스테이지(10)로 반입되면, 프레임(20)이 Y축 방향으로 이동하고/하거나 클램프 구동 모듈(40)에 의해 클램프(50)가 Y축 방향으로 이동하며, 이에 따라, 복수의 센서(60)가 Y축 방향으로 이동하면서, 지지 스테이지(10)에 안착된 기판(S)의 경사도를 검출할 수 있다.
도 14는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 다른 예가 개략적으로 도시된 도면이다. 도 14에 도시된 바와 같이, 하나의 센서(60)가 프레임(20)에 장착될 수 있다. 또한, 하나의 센서(60)는 프레임(20)을 따라 X축 방향으로 이동될 수 있다. 따라서, 기판(S)이 지지 스테이지(10)로 반입되면, 프레임(20)이 Y축 방향으로 이동함에 따라 센서(60)가 Y축 방향으로 이동하고, 센서(60)가 자체적으로 프레임(20)을 따라 X축 방향으로 이동하면서, 지지 스테이지(10)에 안착된 기판(S)의 경사도를 검출할 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.
10: 지지 스테이지
20: 프레임
30: 가이드 레일
40: 클램프 구동 모듈
50: 클램프
60: 센서
70: 가이드
80: 클램프 승강 모듈

Claims (6)

  1. 기판을 파지하도록 구성되는 복수의 클램프;
    상기 복수의 클램프에 인접하게 배치되어 상기 기판을 감지하는 복수의 센서; 및
    상기 복수의 센서가 각각 상기 기판을 감지하는지 여부에 따라 상기 기판의 이송 방향에 대한 상기 기판의 경사도를 검출하고 상기 기판의 경사도를 기초로 상기 복수의 클램프를 상기 기판과 정렬시키는 제어 유닛을 포함하는 기판 이송 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수의 클램프는 상기 기판의 이송 방향으로 이동 가능하게 구성되는 프레임에 장착되고,
    상기 프레임에는 상기 복수의 클램프를 각각 상기 기판의 이송 방향으로 이동시키도록 구성되는 복수의 클램프 구동 모듈이 구비되며,
    상기 제어 유닛은 상기 복수의 클램프 구동 모듈을 제어하여 상기 복수의 클램프를 상기 기판과 정렬시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 기판이 지지되는 지지 스테이지를 더 포함하고,
    상기 제어 유닛은 상기 기판의 경사도를 기초로 상기 복수의 클램프 구동 모듈을 제어하여 상기 기판을 상기 지지 스테이지와 정렬시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수의 클램프는 상기 기판의 이송 방향으로 이동 가능하게 구성되는 프레임에 장착되고,
    상기 프레임의 양단은 상기 기판의 이송 방향으로 연장되는 한 쌍의 가이드 레일에 이동 가능하게 지지되며,
    상기 제어 유닛은 상기 한 쌍의 가이드 레일에 대한 상기 프레임의 양단의 이동량을 조절하여 상기 복수의 클램프를 상기 기판과 정렬시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 기판이 지지되는 지지 스테이지를 더 포함하고,
    상기 제어 유닛은 상기 기판의 경사도를 기초로 상기 한 쌍의 가이드 레일에 대한 상기 프레임의 양단의 이동량을 조절하여 상기 기판을 상기 지지 스테이지와 정렬시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  6. 기판을 파지하도록 구성되는 복수의 클램프;
    상기 복수의 클램프가 장착되며 상기 기판의 이송 방향으로 이동 가능하게 구성되는 프레임;
    상기 프레임에 장착되고 상기 프레임을 따라 이동 가능하게 설치되어 상기 기판의 이송 방향에 대한 상기 기판의 경사도를 검출하도록 구성되는 센서; 및
    상기 센서에 의해 검출된 상기 기판의 경사도를 기초로 상기 복수의 클램프를 상기 기판과 정렬시키는 제어 유닛을 포함하는 기판 이송 장치.
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