JP4491205B2 - スイッチング素子アレイ基板の修復方法 - Google Patents
スイッチング素子アレイ基板の修復方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4491205B2 JP4491205B2 JP2003277251A JP2003277251A JP4491205B2 JP 4491205 B2 JP4491205 B2 JP 4491205B2 JP 2003277251 A JP2003277251 A JP 2003277251A JP 2003277251 A JP2003277251 A JP 2003277251A JP 4491205 B2 JP4491205 B2 JP 4491205B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- switching element
- element array
- array substrate
- repair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Description
アクティブマトリクス型液晶表示装置の不良のうち、これらの線欠陥を生じる不良が5%、点欠陥を生じる不良が10〜15%であり、したがって、本発明のスイッチング素子アレイ基板およびその修復方法を用いることによって、必然的にアクティブマトリクス型液晶表示装置の15〜20%の歩留向上が可能であり、また、それによって、4〜5%のコスト低減が期待できる。
まず、透明基板10の1主面上に、膜厚3000ÅのCr薄膜層を堆積した後、所望の形状にパターニングすることによって、複数のゲート配線1、および、リペア配線2を形成する(図3)。ゲート配線1には、後の工程において形成されるTFTのゲート電極となるゲート電極部1Aが形成されている。次に、それらのゲート配線1およびリペア配線2を覆うように、透明基板10の前記1主面の全面に渡って、例えばシリコン窒化膜(SiNx)よりなる膜厚5000Åの層間絶縁膜をCVD(Chemical Vapor Deposition)法を用いて形成する。次いで、その上に、アモルファスシリコン(a−Si)層とn+型a−Si層とを堆積した後パターニングして、ゲート電極部1Aの上に層間絶縁膜を介して、a−Si層とn+型a−Siオーミック層とが積層されたa−Siの島3Aを形成する(図4)。続いて、膜厚3000ÅのCr薄膜層を堆積した後パターニングして、ドレイン配線5および補助電極4を同時に形成する。ドレイン配線5のドレイン電極部5Aおよび補助電極4のソース電極部4Aは、a−Siの島3Aの一部とオーバーラップして形成される。また、パターニングの際に、ドレイン電極部5Aとソース電極部4Aとの間に露出したオーミック層も、同時に取り除かれ、それによって、a−Siの島3AはTFT3となる(図5)。次に、補助電極4の内側を埋めるように1000Å厚の透明電極6を、TFT3の形成されている領域にTFT3を覆って2000Å厚の保護絶縁膜を、それぞれ、透明電極層、SiNx薄膜層を堆積した後パターニングすることによって形成して、図2に示す本実施例に係るスイッチング素子アレイ基板の製造工程を完了する。
まず、ドレイン配線5の不良箇所12’ ’を挟む両側に切断部24を形成して、不良箇所12’ ’の存在する領域をドレイン配線5から完全に分離させる。次に、実施例2と同様の修復手順を用いて、不良箇所12’ ’の存在する画素領域に隣接する画素領域の補助電極を加工してバイパス配線20aを形成した後、リペア配線2’と、バイパス配線20aおよびドレイン配線5との、層間絶縁膜11を介して重なった部分をスポット的にレーザーでショットして、リペア配線2’と、バイパス配線20aおよびドレイン配線5とを溶接することによって、ドレイン配線5のバイパス通路を形成する。不良箇所12’ ’がドレイン配線5から分離されたので、ゲート配線の走査の度毎にドレイン配線から補助電極に電荷が流れ込むことはなく、したがって、点欠陥を生ずることもない。また、不良箇所12’ ’を迂回するバイパス通路が、隣接する画素領域の補助電極を用いて形成されているから、ドレイン配線の一端から入力された信号電圧は、不良箇所12’ ’を迂回して、このバイパス通路を通り、そのドレイン配線の他端側にも伝達されていく。
1A ゲート電極部
2、2’ リペア配線
3 TFT
3A a−Siの島
4 補助電極
4A ソース電極部
4a 補助電極の一部
5 ドレイン配線
5A ドレイン電極部
6 透明電極
6a 透明電極の一部
7 液晶
8、10 透明基板
9 カラーフィルタ
11 層間絶縁膜
12、12’、12’ ’ 不良箇所
14、24 切断部
20 画素電極
20a バイパス配線
21 共通電極
Claims (9)
- 第1の方向と該第1の方向に直交する第2の方向とにマトリクス状に二次元配置された複数のスイッチング素子と、前記複数のスイッチング素子に電気信号を印加するための、少なくとも前記第2の方向に並んだ、前記第1の方向に延びる複数の配線と、前記複数のスイッチング素子の各々に1個ずつ接続された、透明電極と該透明電極の周縁部に形成された補助電極との2層を有する画素電極と、を有するスイッチング素子アレイ基板の前記第1の方向に延びる配線に生じた不良箇所を迂回して、前記不良箇所の前後をつなぐ迂回路を形成するスイッチング素子アレイ基板の修復方法であって、前記補助電極の一部を、前記画素電極から切断して、前記迂回路の一部を形成する配線(以後、「バイパス配線」という)として用いることを特徴とするスイッチング素子アレイ基板の修復方法。
- 前記スイッチング素子アレイ基板は、さらに、1対のリペア配線が、前記第1の方向に延びる配線および前記補助電極との間に形成されている絶縁膜を挟んで、前記第1の方向および第2の方向に直交する第3の方向に一方の端部を同一の補助電極と、他方の端部を同一の第1の方向に延びる配線と重ね合わせて形成されているスイッチング素子アレイ基板であって、前記バイパス配線が、前記1対のリペア配線の前記一方の端部が重ね合わされている前記同一の補助電極の2つの領域を含むように、前記画素電極から切断されて形成されるバイパス配線形成過程を有することを特徴とする請求項1に記載のスイッチング素子アレイ基板の修復方法。
- 前記1対のリペア配線の前記一方の端部および他方の端部が配置されている領域の前記絶縁膜を破壊して、前記1対のリペア配線の前記一方の端部と前記バイパス配線とを、また、前記他方の端部と前記第1の方向に延びる配線とを、電気的に接続する迂回路形成過程を有することを特徴とする請求項2に記載のスイッチング素子アレイ基板の修復方法。
- 前記スイッチング素子アレイ基板は、前記第1の方向に延びる配線と、前記画素電極とが、絶縁膜を挟んで形成されており、また、1対のリペア配線が、その端部を、前記絶縁膜を挟んで、前記第1の方向および第2の方向に直交する第3の方向に同一の補助電極または同一の第1の方向に延びる配線と重ね合わせて、同一の第2の方向に延びる配線または同一の補助電極から分岐して形成されているスイッチング素子アレイ基板であって、前記バイパス配線が、前記1対のリペア配線の前記端部が重ね合わされている前記同一の補助電極の2つの領域を含むように、または、前記1対のリペア配線が分岐している同一の補助電極の2つの領域を含むように、前記画素電極から切断されて形成されるバイパス配線形成過程を有することを特徴とする請求項1に記載のスイッチング素子アレイ基板の修復方法。
- 前記1対のリペア配線の前記端部が配置されている領域の前記絶縁膜を破壊して、前記1対のリペア配線の前記端部を、前記バイパス配線または前記第1の方向に延びる配線に、電気的に接続する迂回路形成過程を有することを特徴とする請求項4に記載のスイッチング素子アレイ基板の修復方法。
- 前記スイッチング素子アレイ基板は、前記補助電極が、絶縁膜を挟んで、前記第1の方向および第2の方向に直交する第3の方向に、前記第1の方向に延びる配線と重なり合う重なり部分を有するスイッチング素子アレイ基板であって、前記バイパス配線が、前記重なり部分の前記補助電極の少なくとも一部を用いて形成され、前記第1の方向に延びる配線の前記不良箇所を挟む2つの領域にある前記絶縁膜が破壊されて、前記2つの領域において前記第1の方向に延びる配線と前記バイパス配線とが電気的に接続されるバイパス配線形成過程を有することを特徴とする請求項1に記載のスイッチング素子アレイ基板の修復方法。
- 前記スイッチング素子アレイ基板は、前記1対のリペア配線が、前記第1の方向に向かって、前記第1の方向に延びる配線の左右両側に形成されているスイッチング素子アレイ基板であって、前記第1の方向に延びる配線の左右両側に形成されている前記1対のリペア配線のうちのいずれか一方の1対のリペア配線に対して、前記バイパス配線形成過程が行われることを特徴とする請求項2から5のいずれかに記載のスイッチング素子アレイ基板の修復方法。
- 前記第1の方向に延びる配線が、前記第3の方向に前記1対のリペア配線の端部と重なり合っている2つの領域の間で、または前記バイパス配線と重なり合っている領域において、前記不良箇所の領域を切断される不良箇所切断過程を有することを特徴とする請求項2から7のいずれかに記載のスイッチング素子アレイ基板の修復方法。
- 前記絶縁膜を破壊する手段および/または前記不良箇所の領域を切断する手段としてレーザーが用いられることを特徴とする請求項3、5から8のいずれかに記載のスイッチング素子アレイ基板の修復方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003277251A JP4491205B2 (ja) | 2003-07-22 | 2003-07-22 | スイッチング素子アレイ基板の修復方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003277251A JP4491205B2 (ja) | 2003-07-22 | 2003-07-22 | スイッチング素子アレイ基板の修復方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005043639A JP2005043639A (ja) | 2005-02-17 |
JP4491205B2 true JP4491205B2 (ja) | 2010-06-30 |
Family
ID=34264027
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003277251A Expired - Fee Related JP4491205B2 (ja) | 2003-07-22 | 2003-07-22 | スイッチング素子アレイ基板の修復方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4491205B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018233407A1 (zh) * | 2017-06-20 | 2018-12-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种阵列基板及其维修方法、显示装置 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100365496C (zh) * | 2005-10-13 | 2008-01-30 | 友达光电股份有限公司 | 有源器件矩阵基板及其修补方法 |
JP2008152156A (ja) | 2006-12-20 | 2008-07-03 | Sony Corp | 表示装置およびその製造方法 |
KR101327847B1 (ko) * | 2007-03-13 | 2013-11-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치와 그 제조방법 |
CN101614916B (zh) | 2008-06-25 | 2012-05-30 | 北京京东方光电科技有限公司 | Tft-lcd像素结构和液晶显示器修复断线的方法 |
KR100986845B1 (ko) | 2008-08-14 | 2010-10-08 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기전계발광 표시장치의 배선수리구조 및 그 수리방법 |
CN102023438B (zh) * | 2009-09-18 | 2012-02-29 | 上海天马微电子有限公司 | 液晶显示装置及制造方法、缺陷修复方法 |
CN102034810B (zh) * | 2009-09-29 | 2012-07-18 | 北京京东方光电科技有限公司 | 阵列基板及其制造方法 |
WO2012176701A1 (ja) * | 2011-06-22 | 2012-12-27 | シャープ株式会社 | 素子基板、表示装置、テレビ受信装置、及び素子基板の製造方法 |
JP5971849B2 (ja) * | 2012-07-11 | 2016-08-17 | パナソニック液晶ディスプレイ株式会社 | 表示装置及び画素欠陥修正方法 |
KR102333563B1 (ko) * | 2014-12-31 | 2021-12-01 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광 디스플레이 장치와 픽셀의 리페어 방법 |
CN107894682A (zh) * | 2017-11-03 | 2018-04-10 | 惠科股份有限公司 | 一种显示面板及制造方法 |
CN111880346B (zh) * | 2020-08-19 | 2022-11-29 | 成都中电熊猫显示科技有限公司 | 阵列基板、显示面板及配线断线的修复方法 |
CN112748615B (zh) * | 2021-01-04 | 2022-11-29 | 成都中电熊猫显示科技有限公司 | 阵列基板及阵列基板的修复方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0961852A (ja) * | 1995-08-29 | 1997-03-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶画像表示装置およびその断線不良救済方法 |
JPH09325363A (ja) * | 1996-06-05 | 1997-12-16 | Advanced Display:Kk | 液晶表示装置の修復方法 |
JP2000250436A (ja) * | 1999-02-26 | 2000-09-14 | Nec Corp | 薄膜トランジスタアレイ及びその製造方法 |
JP2002023195A (ja) * | 2000-07-10 | 2002-01-23 | Hitachi Ltd | 液晶表示素子 |
JP2003107501A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Fujitsu Display Technologies Corp | 液晶表示装置用基板及びそれを備えた液晶表示装置 |
JP2003280021A (ja) * | 2002-03-26 | 2003-10-02 | Tfpd Kk | 断線欠陥を矯正したアレイ基板、及び、その製造方法 |
WO2003081329A1 (fr) * | 2002-03-26 | 2003-10-02 | Tfpd Corporation | Substrat en reseau et procede de fabrication |
JP2004198718A (ja) * | 2002-12-18 | 2004-07-15 | Fujitsu Ltd | 表示装置及びその欠陥修正方法 |
-
2003
- 2003-07-22 JP JP2003277251A patent/JP4491205B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0961852A (ja) * | 1995-08-29 | 1997-03-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶画像表示装置およびその断線不良救済方法 |
JPH09325363A (ja) * | 1996-06-05 | 1997-12-16 | Advanced Display:Kk | 液晶表示装置の修復方法 |
JP2000250436A (ja) * | 1999-02-26 | 2000-09-14 | Nec Corp | 薄膜トランジスタアレイ及びその製造方法 |
JP2002023195A (ja) * | 2000-07-10 | 2002-01-23 | Hitachi Ltd | 液晶表示素子 |
JP2003107501A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Fujitsu Display Technologies Corp | 液晶表示装置用基板及びそれを備えた液晶表示装置 |
JP2003280021A (ja) * | 2002-03-26 | 2003-10-02 | Tfpd Kk | 断線欠陥を矯正したアレイ基板、及び、その製造方法 |
WO2003081329A1 (fr) * | 2002-03-26 | 2003-10-02 | Tfpd Corporation | Substrat en reseau et procede de fabrication |
JP2004198718A (ja) * | 2002-12-18 | 2004-07-15 | Fujitsu Ltd | 表示装置及びその欠陥修正方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018233407A1 (zh) * | 2017-06-20 | 2018-12-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种阵列基板及其维修方法、显示装置 |
US10989971B2 (en) | 2017-06-20 | 2021-04-27 | Chongqing Boe Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Array substrate and maintenance method therefor, and display apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005043639A (ja) | 2005-02-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4627065B2 (ja) | アクティブマトリクス基板、その画素欠陥修正方法及び製造方法 | |
US7330222B2 (en) | Display device and method for fabricating the same | |
KR100750548B1 (ko) | 표시 장치 및 표시 장치의 단선 수복 방법 | |
JP4088619B2 (ja) | アクティブマトリクス基板及び表示装置 | |
US8976331B2 (en) | Liquid crystal display device and method of repairing bad pixels therein | |
US5121236A (en) | Liquid crystal display element and method for treating defective pixels therein | |
KR101209809B1 (ko) | 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
EP0456338B1 (en) | An active matrix display device and a method of manufacturing the same | |
US20010028418A1 (en) | Liquid crystal display device and fault repairing method for the liquid crystal display device | |
JP4491205B2 (ja) | スイッチング素子アレイ基板の修復方法 | |
JP4636820B2 (ja) | 薄膜トランジスタ表示板及びこれを含む液晶表示装置の修理方法 | |
JP2669954B2 (ja) | アクティブマトリクス表示装置 | |
JP2000250436A (ja) | 薄膜トランジスタアレイ及びその製造方法 | |
KR100405236B1 (ko) | 매트릭스 어레이기판 | |
JP4173332B2 (ja) | 表示装置、表示装置の画素修復方法及び表示装置の製造方法 | |
JP4004050B2 (ja) | アクティブ基板、表示装置およびその製造方法 | |
JP3973223B2 (ja) | アクティブ基板、表示装置およびその製造方法 | |
JP4954395B2 (ja) | 表示装置の断線修復方法 | |
JP3310600B2 (ja) | アクティブマトリクス型液晶表示装置およびその欠陥修正方法 | |
JP2994905B2 (ja) | アクティブマトリクス表示装置の修正方法 | |
KR101803798B1 (ko) | 액정표시장치 | |
JP4627081B2 (ja) | アクティブマトリクス基板及び表示装置 | |
JP2009251353A (ja) | アクティブマトリクス型表示装置 | |
KR101715836B1 (ko) | 액정표시장치 | |
KR101595828B1 (ko) | 액정표시장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060605 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20070417 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090123 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090302 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090413 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090917 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091106 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100324 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100405 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130409 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |