JP4478625B2 - 厚膜誘電体パターンの製造方法、及び、画像表示装置の製造方法 - Google Patents
厚膜誘電体パターンの製造方法、及び、画像表示装置の製造方法 Download PDFInfo
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Description
基板1上に第一の感光性誘電体ペーストを付与して乾燥し、第一の前駆体層2aを形成する。次いで、該第一の前駆体層2aの上に、第二の感光性誘電体ペーストを付与して乾燥し、第二の前駆体層3aを形成する。これで、第一の前駆体層2aと第二の前駆体層3aの積層体4が形成される〔図1(a)〕。
工程1で形成した積層体4に、所定のパターンを有するマスク5を介して一括露光を施す。各前駆体層2a、3aはそれぞれ光重合して硬化層2b、3bからなる前駆体パターンとなる〔図1(b)〕。露光は通常プロキシミティ露光装置により、所定の場所にアライメントして平行光7が所望の厚膜部材パターン9に対応するマスク5の開口部8を介して微小ギャップを経て積層体4に照射される。この時、各前駆体層2a、3aは一括で露光されるため各々の潜像である硬化層2b、3bに位置的なズレがまったく発生せず、最終的に均一な断面形状が得られる。
図1(c)は一括現像後の状態を示す。通常、現像は未露光部に対して可溶する弱アルカリ性の溶液にて現像した後、純水のリンスにより現像を止め、エアーナイフにより水切り乾燥を実施する。本発明においては、第一の前駆体層2a、第二の前駆体層3aの両層の未露光部に同時に可溶する現像液を使用して一括現像する。
前駆体パターン6を焼成する。焼成によって、前駆体パターン6の硬化層2b、3bはそれぞれ、軟化・結合・溶融しながら流動して体積収縮する。本発明においては、硬化層3bに含まれる誘電体材料の平均軟化点が硬化層2bに含まれる誘電体材料の平均軟化点よりも高いため、先ず、硬化層3bに含まれる誘電体材料の平均軟化点よりも低い温度で、且つ、硬化層2bに含まれる誘電体材料の平均軟化点よりも高い温度において、硬化層2bの体積収縮が進む〔図1(d)〕。硬化層2bの形状変化は基板1に平行な方向と膜厚方向とがあるが、この時、硬化層3bの体積収縮はあまり進まないため、硬化層3bが硬化層2bの変形抑制部材として働き、硬化層2bの体積収縮は、膜厚方向の体積収縮はそのパターンエッジが盛り上がることなく、どの場所も均一に収縮する。
画像表示装置用の電子放出部材が配置される電子源基板用で、上下電極間に配置する絶縁体パターンを本発明の製造方法により製造した。
画像表示装置用電子源基板の列方向配線と行方向配線の層間絶縁層パターンを本発明の製造方法により製造した。
2a 第一の前駆体
2b 第一の硬化層
3a 第二の前駆体層
3b 第二の硬化層
4 積層体
5 マスク
6 前駆体パターン
7 平行光
8 開口部
9 厚膜誘電体パターン
Claims (4)
- 基板上に配置された厚膜誘電体パターンの製造方法において、
基板上に、誘電体材料を含む第一の感光性誘電体ペーストを付与し、乾燥して、第一の前駆体層を形成する工程と、
前記第一の前駆体層上に、前記第一の感光性誘電体ペーストに含まれる前記誘電体材料よりも平均軟化点の高い誘電体材料を含む第二の感光性誘電体ペーストを付与し、乾燥して、第二の前駆体層を形成する工程と、
前記第一の前駆体層と前記第二の前駆体層の積層体を、所定パターンのマスクを介して一括して露光し、現像して前駆体パターンを形成する工程と、
前記前駆体パターンを一括焼成して厚膜誘電体パターンを形成する工程と、
を有することを特徴とする厚膜誘電体パターンの製造方法。 - 前記第一の感光性誘電体ペーストに含まれる前記誘電体材料と、前記第二の感光性誘電体ペーストに含まれる前記誘電体材料とが、それぞれ、単独のガラスフリット、または軟化点の異なる2種類以上のガラスフリットの混合物である請求項1に記載の厚膜誘電体パターンの製造方法。
- 複数の電子放出部材と、前記複数の電子放出部材をマトリクス配線した、複数の行方向配線及び複数の列方向配線と、前記行方向配線と列方向配線との間に配置された厚膜誘電体パターンとを備える画像表示装置の製造方法であって、
基板上に、誘電体材料を含む第一の感光性誘電体ペーストを付与し、乾燥して、第一の前駆体層を形成する工程と、
前記第一の前駆体層上に、前記第一の感光性誘電体ペーストに含まれる前記誘電体材料よりも平均軟化点の高い誘電体材料を含む第二の感光性誘電体ペーストを付与し、乾燥して、第二の前駆体層を形成する工程と、
前記第一の前駆体層と前記第二の前駆体層の積層体を、所定パターンのマスクを介して、一括して露光し、現像して前駆体パターンを形成する工程と、
前記前駆体パターンを一括焼成して厚膜誘電体パターンを形成する工程と、
を有することを特徴とする画像表示装置の製造方法。 - 前記第一の感光性誘電体ペーストに含まれる前記誘電体材料と、前記第二の感光性誘電体ペーストに含まれる前記誘電体材料とが、それぞれ、単独のガラスフリット、または軟化点の異なる2種類以上のガラスフリットの混合物である請求項3に記載の画像表示装置の製造方法。
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