JP4475330B2 - 酸化イリジウム粉、その製造方法及びそれを用いた厚膜抵抗体用ペースト - Google Patents
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Description
(1)金属イリジウム箔を原料として用いて、管状炉内で酸化性雰囲気下に加熱して酸化イリジウム粉を得る方法(例えば、非特許文献1参照。)。
(2)塩化イリジウムを原料として用いて、酸素雰囲気下で焙焼する方法(例えば、非特許文献2参照。)。
(3)塩化イリジウム、塩化イリジウム酸、あるいは塩化イリジウム塩を溶解した水溶液を原料として用いて、これを中和し得られた水酸化イリジウムを焙焼する方法(例えば、非特許文献3参照。)。
本発明の酸化イリジウム粉の製造方法は、カリウム成分を全量に対し0.02〜0.3重量%含有するヘキサクロロイリジウム(IV)酸アンモニウムを、酸化性雰囲気下に700〜1000℃の温度で焙焼することを特徴とする。
上記厚膜抵抗体形成用ペーストの調製方法としては、従来のルテニウム酸鉛粉を導電粉として使用する通常の方法が用いられる。例えば、酸化イリジウム粉とガラス結合剤及び有機ビヒクルを混合した後、スリーロールミルなどにより混練して調製する。ここで、ガラス結合剤としては、ペーストを用いる対象部品や使用条件などに応じて選定され、例えば、PbO、SiO2、B2O3、Al2O3、CaOなどを含むガラスフリットが用いられる。また、有機ビヒクルとしては、ペーストを用いる対象部品や使用条件などに応じて選定することができ、例えば、セルロース系樹脂などの有機バインダーをターピネオールなどの溶剤に溶解させたものが用いられる。
(1)原料と焙焼物のカリウムの分析:原子吸光分析法で行った。
(2)焙焼物の金属イリジウムの分析:X線回折法により定量分析を行った。
(3)焙焼物の平均粒径の測定:BET法で比表面積を求め、それから算出した。
(4)焙焼物の組織の同定:X線回折で行った。
(5)抵抗体の電気的特性の測定:電気的特性として面積抵抗値とノイズを測定した。面積抵抗値は4端子法で測定した。ノイズは1/10W印加時の電圧変動を測定することにより求めた。
(1)酸化イリジウム粉の調製
カリウム濃度が0.02重量%であるヘキサクロロイリジウム(IV)酸アンモニウム(住友金属鉱山製)6gをアルミナ製容器に入れ、これを3リットル/分の流量で酸素ガスを流した小型管状炉に装入し、焙焼した。焙焼条件としては、室温から10℃/分の速度で746℃まで昇温しこの温度で4時間保持した。次に、炉内で冷却して焙焼物を得た。なお、この間、炉内温度が300℃以下になるまで酸素ガスを流し続けた。その後、得られた焙焼物のカリウム濃度、平均粒径及び組織を評価した。また、組織が金属イリジウム相を含む場合には、金属イリジウム濃度を評価した。結果を表1に示す。
次いで、得られた酸化イリジウム粉を導電粉として用いて、ガラス結合剤及び有機ビヒクルと混練してペーストを調製した。ここで、ガラス結合剤としては、10重量%SrO−43重量%SiO2−16重量%B2O3−4重量%Al2O3−20重量%ZnO−Na2Oの組成を有する鉛フリーのガラスフリットを使用した。また、有機ビヒクルとしては、エチルセルロースとターピネオールが主成分のものを使用した。なおペーストの配合は、酸化イリジウム粉とガラス結合剤を合計6g、そして有機ビヒクルを4gとした。ここで、酸化イリジウム粉とガラス結合剤の重量比率を15〜25%の範囲内で調整して、面積抵抗値が100kΩ/□になるようにした。
最後に、得られたペーストを、通常の方法で膜状に塗布し、次いで850℃の温度で30分間焼成して厚膜抵抗体(1mm×1mm)を形成した。その後、得られた抵抗体の電気的特性として面積抵抗値とノイズを測定した。なお、面積抵抗値は100kΩ/□になるように調整されていることを確認した。結果を表1に示す。
酸化イリジウム粉の調製において、焙焼温度が841℃であったこと以外は、実施例1と同様に行ない、その後、得られた焙焼物のカリウム濃度、平均粒径及び組織、また得られた抵抗体の電気的特性を評価した。結果を表1に示す。
酸化イリジウム粉の調製において、カリウム濃度が0.05重量%であるヘキサクロロイリジウム(IV)酸アンモニウム(住友金属鉱山製)を用いたこと、及び焙焼温度が841℃であったこと以外は、実施例1と同様に行ない、その後、得られた焙焼物のカリウム濃度、平均粒径及び組織、また得られた抵抗体の電気的特性を評価した。結果を表1に示す。
酸化イリジウム粉の調製において、カリウム濃度が0.08重量%であるヘキサクロロイリジウム(IV)酸アンモニウム(住友金属鉱山製)を用いたこと、及び焙焼温度が950℃であったこと以外は、実施例1と同様に行ない、その後、得られた焙焼物のカリウム濃度、平均粒径及び組織、また得られた抵抗体の電気的特性を評価した。結果を表1に示す。
酸化イリジウム粉の調製において、出発原料として下記調製方法によるヘキサクロロイリジウム(IV)酸アンモニウムと塩化カリウムの混合物を用いたこと、及び焙焼温度が880℃であったこと以外は、実施例1と同様に行ない、その後、得られた焙焼物のカリウム濃度、平均粒径及び組織、また得られた抵抗体の電気的特性を評価した。結果を表1に示す。
[出発原料の調製方法]
カリウム濃度が0.02重量%以下でイリジウム濃度が43.6重量%であるヘキサクロロイリジウム(IV)酸アンモニウム(株式会社フルヤ金属製)10gと塩化カリウム(試薬特級、和光純薬工業株式会社製)0.06gとをメノウ乳鉢を用いて混合した。混合後のヘキサクロロイリジウム(IV)酸アンモニウムのカリウム濃度は0.3重量%であった。
酸化イリジウム粉の調製において、出発原料として下記の調製方法によるヘキサクロロイリジウム(IV)酸アンモニウムとヘキサクロロイリジウム(IV)酸カリウムの混合物を用いたこと以外は、実施例5と同様に行ない、その後、得られた焙焼物のカリウム濃度、平均粒径及び組織、また得られた抵抗体の電気的特性を評価した。結果を表1に示す。
[出発原料の調製方法]
カリウム濃度が0.02重量%以下でイリジウム濃度が43.6重量%であるヘキサクロロイリジウム(IV)酸アンモニウム(株式会社フルヤ金属製)10gとヘキサクロロイリジウム(IV)酸カリウム(K2IrCl6)(株式会社フルヤ金属製)0.2gとをメノウ乳鉢を用いて混合した。混合後のヘキサクロロイリジウム(IV)酸アンモニウムのカリウム濃度は0.3重量%であった。
酸化イリジウム粉の調製において、酸素ガスの代わりに空気を流したこと以外は、実施例2と同様に行ない、その後、得られた焙焼物のカリウムと金属イリジウム濃度、平均粒径及び組織、また得られた抵抗体の電気的特性を評価した。結果を表1に示す。
酸化イリジウム粉の調製において、酸素ガスの代わりに空気を流したこと以外は、実施例5と同様に行ない、その後、得られた焙焼物のカリウムと金属イリジウム濃度、平均粒径及び組織、また得られた抵抗体の電気的特性を評価した。結果を表1に示す。
酸化イリジウム粉の調製において、カリウム濃度が0.02重量%以下でイリジウム濃度が43.6重量%であるヘキサクロロイリジウム(IV)酸アンモニウム((NH4)2IrCl6)(株式会社フルヤ金属製)を用いたこと、及び焙焼温度が701℃であったこと以外は、実施例1と同様に行ない、その後、得られた焙焼物のカリウム濃度、平均粒径及び組織、また得られた抵抗体の電気的特性を評価した。結果を表1に示す。
これに対して、比較例1では、出発原料のカリウム濃度がこれらの条件に合わないので、得られた酸化イリジウム粉は粒子径が大きくペースト中に均一に分散させることができないため、これを用いて得られた抵抗体の面積抵抗値が100kΩ/□でのノイズ特性において、満足すべき結果が得られないことが分かる。
Claims (6)
- カリウム成分を全量に対し0.02〜0.3重量%含有するヘキサクロロイリジウム(IV)酸アンモニウムを、酸化性雰囲気下に700〜1000℃の温度で焙焼することを特徴とする酸化イリジウム粉の製造方法。
- 前記酸化性雰囲気は、酸素雰囲気又は空気雰囲気であることを特徴とする請求項1に記載の酸化イリジウム粉の製造方法。
- 前記カリウム成分の含有量は、ヘキサクロロイリジウム(IV)酸アンモニウムにカリウム化合物を添加して調整することを特徴とする請求項1又は2に記載の酸化イリジウム粉の製造方法。
- 前記カリウム化合物は、ヘキサクロロイリジウム(IV)酸カリウム、塩化カリウム、水酸化カリウム又はカリウムの炭酸塩から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項3に記載の酸化イリジウム粉の製造方法。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の製造方法によって得られる、カリウムを全量に対し0.03〜0.2重量%、かつ金属イリジウムを全量に対し3重量%以下含有し、組織が酸化イリジウム単相又は酸化イリジウム相と金属イリジウム相からなるとともに、平均粒径が20〜100nmである酸化イリジウム粉。
- 請求項5に記載の酸化イリジウム粉を用いてなる厚膜抵抗体用ペースト。
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