JP4466092B2 - ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品 - Google Patents
ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4466092B2 JP4466092B2 JP2004023312A JP2004023312A JP4466092B2 JP 4466092 B2 JP4466092 B2 JP 4466092B2 JP 2004023312 A JP2004023312 A JP 2004023312A JP 2004023312 A JP2004023312 A JP 2004023312A JP 4466092 B2 JP4466092 B2 JP 4466092B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- photosensitive resin
- component
- resin composition
- general formula
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
(式中、Mは単結合を示し、R1’、R1”、R2’及びR2”は各々独立に水素原子、フッ素原子又は1価の有機基であり、R1’及びR1”の少なくとも1つ、R2’及びR2”の少なくとも1つはフッ素原子又は1価の有機基である)で示される構造であり、この構造上の一般式(I)中のアミド基又はOH基との結合手は全て芳香環上に存在する)で表される繰り返し単位を有する芳香族ポリアミド、(b)o−キノンジアジド化合物、(c)溶剤、(d)フェノール性水酸基を有する化合物並びに(e)アルカリ水溶液に対する(a)成分の溶解を抑制するオニウム塩、ジアリール化合物及びテトラアルキルアンモニウム塩、から選ばれるいずれかひとつの化合物を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物。
(式中、Xは単結合又は2価の基を示し、R3、R4及びR5は各々独立にアルキル基又はアルケニル基を示し、m及びnは各々独立に1又は2であり、p及びqは各々独立に0〜3の整数である)で表される化合物である[1]又は[2]記載のポジ型感光性樹脂組成物。
(式中、X−は対陰イオンを示し、R7及びR8は各々独立にアルキル基、アルケニル基
を示し、a及びbは各々独立に0〜5の整数である)で表されるジアリールヨードニウム塩を含む[1]〜[4]のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
合成例1
ポリベンゾオキサゾール前駆体の合成
攪拌機、温度計を備えた0.5リットルのフラスコ中に、2,2’−ジメチル−4,4’−ビフェニルカルボン酸16.2g、N−メチルピロリドン90gを仕込み、フラスコを5℃に冷却した後、塩化チオニル14.3gを滴下し、30分間反応させて、ジカルボン酸クロリドの溶液を得た。次いで、攪拌機、温度計を備えた0.5リットルのフラスコ中に、N−メチルピロリドン87.5gを仕込み、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン18.30gを添加し、攪拌溶解した後、ピリジン9.53gを添加し、温度を0〜5℃に保ちながら、前記ジカルボン酸クロリドの溶液を30分間で滴下した後、30分間攪拌を続けた。溶液を3リットルの水に投入し、析出物を回収、純水で3回洗浄した後、減圧乾燥してポリヒドロキシアミドを得た(以下、ポリマーIとする)。得られたポリヒドロキシアミドの標準ポリスチレン換算により求めた重量平均分子量は18580、分散度は1.5であった。
合成例1で使用した2,2’−ジメチル−4,4’−ビフェニルカルボン酸を2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ビフェニルカルボン酸22.7gに置き換えた以外は合成例1と同様の条件にて合成を行った。得られたポリヒドロキシアミド(以下、ポリマーIIとする)の標準ポリスチレン換算により求めた重量平均分子量は17260、分散度は1.5であった。
合成例1で使用したビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパンを2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−ビス(3−ヒドロキシ−4−アミノ)ビフェニル22.89gに置き換え、2,2’−ジメチル−4,4’−ビフェニルカルボン酸を4,4’−ジフェニルエーテルジカルボン酸15.48gに置き換えた以外は合成例1と同様の条件にて合成を行った。得られたポリヒドロキシアミド(以下、ポリマーIIIとする)の標準ポリスチレン換算により求めた重量平均分子量は20150、分散度は1.7であった。
合成例1で使用したビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパンを2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−ビス(3−ヒドロキシ−4−アミノ)ビフェニル22.89gに置き換えた以外は合成例1と同様の条件にて合成を行った。得られたポリヒドロキシアミド(以下、ポリマーIVとする)の標準ポリスチレン換算により求めた重量平均分子量は22350、分散度は1.6であった。
4,4’‐イソプロピリデンジフタル酸二無水物(6HDA)8.44gと4,4’‐ジアミノビフェニル(BZ)4.48gとをN‐メチルピロリドン(NMP)30gに溶解し、60℃で4時間、その後室温下で一晩かくはんし、ポリアミド酸を得た。この溶液を1リットルの水に投入し、析出物を回収、純水で3回洗浄した後、減圧乾燥してポリアミド酸を得た(以下、ポリマーVする)。ポリマーVの標準ポリスチレン換算により求めた重量平均分子量は34580、分散度は1.8であった。
合成例5で使用した4,4’‐ジアミノビフェニル(BZ)を1,4−ジアミノシクロヘキサンに置き換えた以外は合成例1と同様の条件にて合成を行った。得られたポリヒドロキシアミド(以下、ポリマーVIとする)の標準ポリスチレン換算により求めた重量平均分子量は17260、分散度は1.5であった。
合成例1で使用した2,2’−ジメチル−4,4’−ビフェニルカルボン酸を4,4’−ジフェニルエーテルジカルボン酸21.25gに、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパンをビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)プロパン15.50gに置き換えた以外は合成例1と同様の条件にて合成を行った。得られたポリヒドロキシアミド(以下、ポリマーVIIとする)の標準ポリスチレン換算により求めた重量平均分子量は18860、分散度は1.5であった。
測定装置;(株)日立製作所製L4000 UV Detector
(株)日立製作所製L6000 Pum
(株)島津製作所製C−R4A Chromatopac
測定条件;カラム:日立化成工業(株)製Gelpack
GL−S300MDT−5 x2本
溶離液:THF/DMF=1/1 (容積比)
LiBr(0.03mol/l)、H3PO4(0.06mol/l)
流速:1.0ml/min、検出器:UV270nm
ポリマー0.5mgに対して溶媒[THF/DMF=1/1 (容積比)]1mlの溶液を用いて測定した。
得られたポリベンゾオキサゾール前駆体およびポリイミド前駆体100重量部に対し、(b)〜(e)成分を表2に示した所定量にて配合した。
Claims (8)
- (a)一般式(I)
(式中、Uは4価の有機基を示し、Vは2価の有機基を示し、U又はVの少なくとも一方が、一般式(III)
(式中、Mは単結合を示し、R1’、R1”、R2’及びR2”は各々独立に水素原子、フッ素原子又は1価の有機基であり、R1’及びR1”の少なくとも1つ、R2’及びR2”の少なくとも1つはフッ素原子又は1価の有機基である)で示される構造であり、この構造上の一般式(I)中のアミド基又はOH基との結合手は全て芳香環上に存在する)で表される繰り返し単位を有する芳香族ポリアミド、(b)o−キノンジアジド化合物、(c)溶剤、(d)フェノール性水酸基を有する化合物並びに(e)アルカリ水溶液に対する(a)成分の溶解を抑制するオニウム塩、ジアリール化合物及びテトラアルキルアンモニウム塩、から選ばれるいずれかひとつの化合物を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物。 - 前記の一般式(III)において、R1’、R1”、R2’及びR2”は各々独立に水素原子又は1価のアルキル基(フッ素原子を含有するアルキル基を含む)であり、R1’及びR1”の少なくとも1つ、R2’及びR2”の少なくとも1つは1価のアルキル基(フッ素原子を含有するアルキル基を含む)である請求項1に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
- (a)成分100重量部に対して、(b)成分5〜100重量部、(d)成分1〜30
重量部、(e)成分0.01〜15重量部を配合する請求項1〜5のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物。 - 請求項1〜6のいずれかに記載のポジ型感光性樹脂組成物を支持基板上に塗布し乾燥する工程、前記乾燥工程により得られた感光性樹脂膜を露光する工程、前記露光後の感光性樹脂膜を加熱する工程、前記加熱後の感光性樹脂膜をアルカリ水溶液を用いて現像する工程、及び前記現像後の感光性樹脂膜を加熱処理する工程を含むパターンの製造法。
- 請求項7に記載の製造法により得られるパターンの層を有してなる電子デバイスを有する電子部品であって、前記電子デバイス中に前記パターンの層が層間絶縁膜層又は表面保護膜として設けられることを特徴とする電子部品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004023312A JP4466092B2 (ja) | 2004-01-30 | 2004-01-30 | ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004023312A JP4466092B2 (ja) | 2004-01-30 | 2004-01-30 | ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005215436A JP2005215436A (ja) | 2005-08-11 |
JP4466092B2 true JP4466092B2 (ja) | 2010-05-26 |
Family
ID=34906384
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004023312A Expired - Fee Related JP4466092B2 (ja) | 2004-01-30 | 2004-01-30 | ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4466092B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4775261B2 (ja) * | 2004-05-07 | 2011-09-21 | 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 | ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品 |
JP5123846B2 (ja) * | 2006-04-28 | 2013-01-23 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | 感光性樹脂組成物及び感光性フィルム |
JP5035094B2 (ja) * | 2007-08-29 | 2012-09-26 | 住友ベークライト株式会社 | 感光性樹脂組成物、絶縁膜、保護膜および電子機器 |
KR101523798B1 (ko) | 2007-09-06 | 2015-05-28 | 도레이 카부시키가이샤 | 폴리아미드의 제조 방법 및 수지 조성물 |
WO2018179674A1 (ja) * | 2017-03-31 | 2018-10-04 | 東洋紡株式会社 | 感光性ctpフレキソ印刷原版 |
-
2004
- 2004-01-30 JP JP2004023312A patent/JP4466092B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005215436A (ja) | 2005-08-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100774672B1 (ko) | 포지티브형 감광성 수지 조성물, 패턴의 제조방법 및전자부품 | |
KR101275474B1 (ko) | 포지티브형 감광성 수지 조성물, 패턴의 제조방법 및 전자부품 | |
JP2006227063A (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品 | |
JP5146610B2 (ja) | 感光性重合体組成物、パターンの製造方法及び電子部品 | |
JP2011053458A (ja) | 感光性樹脂組成物、該樹脂組成物を用いたパターン硬化膜の製造方法及び電子部品 | |
JP3846103B2 (ja) | 感光性重合体組成物、レリーフパターンの製造法及び電子部品 | |
JP5136079B2 (ja) | 低温硬化用のポジ型感光性樹脂組成物、パターン硬化膜の製造方法及び電子部品 | |
JP5625549B2 (ja) | 感光性重合体組成物、パターンの製造方法及び電子部品 | |
JP4250982B2 (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品 | |
JP4466092B2 (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品 | |
JP5136179B2 (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物、パターン硬化膜の製造方法及び電子部品 | |
JP4207960B2 (ja) | 感光性重合体組成物、パターンの製造法及び電子部品 | |
JP2002169283A (ja) | 感光性重合体組成物、パターンの製造法及び電子部品 | |
JP4337847B2 (ja) | 感光性重合体組成物、レリーフパターンの製造法及び電子部品 | |
JP5029386B2 (ja) | ポジ型感光性樹脂前駆体組成物、パターン硬化膜の製造方法及び電子部品 | |
JP3799957B2 (ja) | 感光性重合体組成物、パターンの製造法及び電子部品 | |
JP4487177B2 (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品 | |
JP2011141323A (ja) | 感光性重合体組成物、パターンの製造方法及び電子部品 | |
JP5029385B2 (ja) | ポジ型感光性樹脂前駆体組成物、パターン硬化膜の製造方法及び電子部品 | |
JP5365704B2 (ja) | 感光性重合体組成物、パターンの製造方法及び電子部品 | |
JP4500100B2 (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物及びパターン製造法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061227 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090528 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090604 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090803 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20090803 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091013 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091125 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100202 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100215 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4466092 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140305 Year of fee payment: 4 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |