JP4465310B2 - ドリル穴明機及びその穴明加工方法 - Google Patents

Description

本発明は、プリント基板等に穴明を行う新規なドリル穴明機及びその穴明加工方法に関する。

図９は、従来のプリント基板用のドリル穴明機の斜視図である。以下の説明において、座標系は図中に示す通りである。ベッド１は機械の土台であり、床に設置される。このベッド１の上に、門型コラムレール２が固定される。テーブル３は、Ｘ軸案内レール８、これと対になるスライダ１２を介して、Ｘ方向に移動可能にベッド１に載置される。門型コラムレール２には、Ｙ軸案内レール９、これと対になる図示しないスライダを介して、Ｙ方向に移動可能にスライド板４が取り付けられる。スライド板４には、Ｚ軸案内レール１０、これと対になる図示しないスライダを介して、Ｚ方向に移動可能にハウジング５が取り付けられる。ハウジング５には、スピンドル６が固定され、スピンドル６の先端には図示しないドリルが装着される。この例では、スピンドル６が６軸取り付けられており、同時に６枚の基板の穴加工が可能である。

テーブル３の下部には、送りねじ７と螺合するテーブル送りナット１５が固定されている。送りねじ７は、送りねじ受け１１を介して、回転可能な状態でベッド１に固定されており、他端に取り付けられている図示しない駆動モータによって回転させられることにより、テーブル３をＸ方向に移動させる。同様に、スライド板４の背後には、図示しないＹ方向用送りねじがあり、スライド板４の裏面にはこの送りねじと螺合するナットが固定されており、図示しない駆動モータによってこの送りねじを回転させることにより、スライド板４をＹ方向に移動させる。また、ハウジング５は図示しない送りねじ、又は、リニアモータにより、Ｚ方向に移動する。

このようなドリル穴明機において穴加工は次のように行われる。各スピンドル軸ごとに１枚ずつ、６枚の基板をテーブル３の上に載置する。スピンドル６にドリルを装着して、ドリルを所定の速度で回転させ、テーブル３をＸ方向の所定の位置に、又、スライド板４をＹ方向の所定の位置に移動させて、ドリルを基板上の所定の位置に位置決めした後、ハウジング５と共にスピンドル６を６軸同時にＺ方向に下降させて、６枚の基板に同時に穴加工する。以下、この動作を繰り返し、６枚の基板に同一パターンの複数穴を加工する。

このようなドリル穴明機として、特許文献１が知られている。

特開平１０−３１５０９１号公報

小型の携帯機器の需要増などによりプリント基板の穴の高密度化が進んでおり、ドリル穴明機には高生産性、高加工精度が求められている。高生産性を満足するため、ドリル穴明機のスピンドル軸数は徐々に増えており、現在では、図９のように６軸のスピンドルを備えたタイプが標準的になっている。また、スピンドルの下降、上昇速度を上げることで加工時間を短縮し、生産性の向上を図ってきた。

しかしながら、スピンドルの軸数が増加し、スパンが拡大したことにより、門型コラムレールの変形剛性が低下してきた。また、スピンドルの下降、上昇に伴う門型コラムレールへの負荷荷重も、下降、上昇速度の向上により、増大してきた。その結果、加工動作時の門型コラムレールの変形、振動が大きくなっており、高加工精度の要請を満足することが困難になってきた。

すなわち、従来構造のドリル穴明機では、高生産性を追及すると、門型コラムレールの変形剛性の低下、又は、負荷荷重の増大を招き、そのため機械の変形が増大して加工精度が低下するということになり、高生産性と高加工精度の両立が難しくなってきた。具体的には、スピンドルが下降、上昇するとき、駆動の反力がスライド板面の上下方向に作用する力により、門型コラムレールの中央部は、スピンドルが下降するときには上方へ、スピンドルが上昇するときには下方へ曲げ変形する。また同時に、この力は門型コラムレールを捻るように作用するので、門型コラムレールは、曲げと捻れの両方の変形を生じて、振動する。その結果、スライド板に取り付けられたスピンドル及びドリル先端も振動し、テーブルに載置されたプリント基板との間に相対位置誤差を生じ、加工穴の位置精度の低下、穴形状品質の低下、ドリルの折損などを招く。

本発明の目的は、門型コラムレールの変形又は振動を低減し、高速で高精度なドリル穴加工ができるドリル穴明機及びその穴明加工方法を提供することにある。

本発明は、ベッドと、該ベッドに固定された門型コラムレールと、前記ベッドに水平方向に移動可能に載置されたテーブルと、前記門型コラムレールに前記テーブルの移動方向と直交する方向に移動可能に取り付けられたスライド板と、該スライド板にその鉛直方向に移動可能に取り付けられたスピンドルと、該スピンドルに固定されたドリルとを備え、前記テーブルに載置された被加工物を前記ドリルによって穴加工するドリル穴明機において、前記門型コラムレールの前記スライダ板の設置側に前記穴加工時に生じる前記門型コラムレールの変形又は振動を抑制する以下の制御手段を有することを特徴とする。

前記制御手段は、前記ベッドと門型コラムレールの前記スライド板の設置側との間に設けられた支柱と、前記穴明加工時に生じる前記門型コラムレールの変形又は振動を前記支柱を通して抑制する制御部材とを有し、前記テーブルにはその移動方向に沿って設けられその移動の妨げにならないように前記制御手段に対応した開口部を有するものである。

前記支柱はピストン部材であり、前記制御部材は前記ピストン部材が移動可能であるシリンダ部材と該シリンダ部材内に設けられたアクチュエータとを有するものであり、前記門型コラムレールに設けられた変位及び加速度の少なくとも一方を検出する検出器の出力に基づいて前記アクチュエータの動作をフィードバック制御し前記門型コラムレールの振動をアクティブ制振する制御装置を有することが好ましい。

前記支柱はオリフィス絞り孔を設けたピストン部材であり、前記制御部材は前記ピストンが挿入されるシリンダ部材と該シリンダ部材内に充填された粘性流体とを有すること、又、前記支柱はピストン部材であり、前記制御部材は前記ピストン部材を介して両側に設けられたスタンド部材と該スタンド部材と前記ピストン部材との間に挿入固定された粘弾性体とを有することが好ましい。

前記スピンドルを多軸に複数有すること、前記制御手段は、隣り合う前記スピンドル軸間の中央近傍に配置されていること、前記テーブルは複数有し、前記制御手段は隣り合う前記テーブル間に設けられていること、又、前記制御手段は、前記門型コラムレールの中央近傍の前記スライダ板側に配置されていることが好ましい。

又、本発明は、ベッドに固定された門型コラムレールと、前記ベッドに水平方向に移動可能に載置されたテーブルと、前記門型コラムレールに前記テーブルの移動方向と直交する方向に移動可能に取り付けられたスライド板と、該スライド板にその鉛直方向に移動可能に取り付けられたスピンドルと、該スピンドルに固定されたドリルとを備えたドリル穴明機の前記ドリルによって前記テーブルに載置された被加工物を穴加工すると共に、前記門型コラムレールの前記スライドイ板の設置側に前記穴加工時に生じる前記門型コラムレールの変形又は振動を制御手段によって抑制しながら前記穴加工するドリル穴明加工方法であって、
前記制御手段は、前記ベッドと門型コラムレールの前記スライド板の設置側との間に設けられた支柱と、前記穴明加工時に生じる前記門型コラムレールの変形又は振動を前記支柱を通して抑制する制御部材とを有し、前記テーブルにはその移動方向に沿って設けられその移動の妨げにならないように前記制御手段に対応した開口部を有することを特徴とする。

前記抑制を前記門型コラムレールと前記テーブルとの間を粘性流体又は粘弾性体の緩衝によって行うこと、又、前記穴加工時に生じる前記門型コラムレールの変位及び加速度の少なくとも一方を検出し、該検出された出力に基づいて前記門型コラムレールをアクチュエータとによってアクティブ制振することが好ましい。

複数の前記スピンドルによって一度に複数の前記穴加工を行うこと、前記抑制を左右対称に配置した前記スピンドル軸間にて行うことが好ましい。

本発明によれば、門型コラムレールの変形及び振動を低減し、高速で、高精度なドリル穴加工を行うことができるドリル穴明機及びその穴明加工方法を提供することができる。

以下、本発明を実施するための最良の形態を具体的な実施例によって説明する。

図１は、本発明に係るプリント基板用ドリル穴明機の斜視図であり、図１（ａ）が全体斜視図及び（ｂ）がテーブルを外した斜視図である。ベッド１は鋳鉄製で、機械の土台であり、床に設置される。このベッド１の上に、鋳鉄製の門型コラムレール２が固定される。ベッド１には、穴加工時に生じる門型コラムレール２の変形又は振動を抑制する制御手段１３が固定されている。テーブル３は、Ｘ軸案内レール８、このＸ軸案内レール８と対になるスライダ１２を介して、Ｘ方向に移動可能にベッド１に載置される。このテーブル３には開口部１４が設けられ、この開口部１４を通して制御手段１３が突き出しており、制御手段１３が門型コラムレール２とベッド１とを繋いでいる。

門型コラムレール２には、Ｙ軸案内レール９、これと対になる図示しないスライダを介して、Ｙ方向に移動可能にスライド板４が取り付けられる。スライド板４には、Ｚ軸案内レール１０、これと対になる図示しないスライダを介して、Ｚ方向に移動可能にハウジング５が取り付けられる。ハウジング５には、スピンドル６が固定され、スピンドル６の先端には図示しないドリルが装着される。この例では、スピンドル６が６軸取り付けられており、同時に６枚の基板の穴加工が可能である。テーブル３の下部には、送りねじ７と螺合するテーブル送りナット１５が固定されている。

送りねじ７は、送りねじ受け１１を介して、回転可能な状態でベッド１に固定されており、他端に取り付けられている図示しない駆動モータによって回転させられることにより、テーブル３をＸ方向に移動させる。同様に、スライド板４の背後には、図示しないＹ方向用送りねじがあり、スライド板４の裏面にはこの送りねじと螺合するナットが固定されており、図示しない駆動モータによってこの送りねじを回転させることにより、スライド板４をＹ方向に移動させる。また、ハウジング５は図示しない送りねじ、又は、リニアモータによりＺ方向に移動する。

このように、門型コラムレール２の中央近傍を制御手段１３で支持したので、スピンドル６の上下動に伴って駆動反力が作用したとしても、門型コラムレール２の変形、振動を低減することができる。これにより、ドリル先端における誤差振動を低減し、加工精度を向上させることができる。また、テーブル３に開口部１４を設けたので、制御手段１３がテーブルの移動を妨げることは無い。

図２は、本発明に係るドリル穴明機の正面図（ａ）と上面図（ｂ）である。本実施例では、加工する際の原点位置にスライド板４を静止させたときの６本のスピンドル６の軸間の中央部に、２つの制御手段１３を対称に配置したものである。この条件を満足し、かつ、できるだけ門型コラムレール２の中央に近いところに、制御手段１３を配置することにより、制御手段１３を設けても、各スピンドル軸の加工領域はほとんど減少せず、各軸とも等しい加工領域を確保することができる。スピンドル６の軸間中央以外の場所に制御手段１３を設けると、いずれかのスピンドル６軸の加工領域がＹ方向に狭くなってしまい、結果的に生産効率が低下する。

図３は、本発明係るドリル穴明機のテーブルの斜視図である。本発明係るドリル穴明機のテーブル３は、１枚の鋳鋼製からなり、その移動の妨げにならないように、テーブル３の移動方向に移動できるように制御手段１３に対応した開口部１４が設けられる。テーブル３の中央近傍に開口部１４となる２本のスリットが切ってあり、スリットの一端は開放されている。開放されている部分に、補強プレート２０１を補強プレート固定ボルト２０２で剛的に固定する。このように補強プレート２０１は別部品として取り外し可能にしたので、機械の組立、又は、分解のとき、制御手段１３がベッド１に取り付けられた状態であっても、テーブル３をベッド１に取り付け、取り外しすることができる。このような取り付け、取り外しを考慮しなくてよい場合には、補強プレート２０１を一体として、開口部１４が開放端を持たないように、テーブル３を一体鋳造してもよい。開放端と反対側の端部にはその下部に薄肉の段差を有する。

以上のように、テーブル３に、開口部１４を設けたので、制御手段１３とテーブル３との干渉を避けることができ、門型コラムレール２の中央近傍に制御部材１３を設けた構造を実現できる。

図４は、本実施例に係るドリル穴明機の正面図（ａ）と側面図（ｂ）及び制御手段の正面図（ｃ）と側面図（ｄ）である。制御手段１３は、ピストン部材１０１、シリンダ部材１０２、ピエゾアクチュエータ１０３から構成される。ピストン部材１０１の一端は、門型コラムレール２に設けられた取付端子１０８に、レール側取付ボルト１０９、レール側取付ナット１１０を用いて剛的に固定される。ピストン部材１０１の他端は、シリンダ部材１０２に摺動可能に挿入されている。シリンダ部材１０２は、ベッド側取付ボルト１１１でベッド１に固定されている。ピストン部材１０１の下面とシリンダ部材１０２の底面の間にセラミックス製のピエゾアクチュエータ１０３が設置され、コントローラからの電圧印加により力を発生し、ピストン部材１０１を上下動する。門型コラムレール２の中央上部には、加速度計１１２が取り付けられている。

この加速度計１１２の出力をモニターし、ピエゾアクチュエータ１０３に電圧を印加するコントローラ１１３が備えられている。このような構成において、スピンドル６が上下動すると、駆動反力により門型コラムレール２が変形、振動する。この変形は中央近傍で最大になるので、中央上部に取り付けた加速度計１１２は効果的に変形に応じた電圧を出力する。コントローラ１１３は、この加速度信号をモニターして、加速度が小さくなるように、ピエゾアクチュエータ１０３の印加電圧をフィードバック制御して、ピストン部材１０１を上下動させて、門型コラムレール２の変形を抑制する。

このように門型コラムレール２の変形をアクティブに制御するようにしたので、スピンドル６を高速で上下動させた場合でも、門型コラムレール２の変形、振動を低減することができ、加工精度を向上させることができる。ここではアクチュエータとして、ピエゾアクチュエータ１０３を使用した例を示したが、これに限られるわけではなく、リニアモータなどの電磁アクチュエータ、油圧アクチュエータなどを用いてもよい。その場合においても、構成は同様であり、変形の大きい箇所において変位、又は、加速度をモニターし、これを小さくするようにアクチュエータの変位方向をフィードバック制御する。

以上、本実施例によれば、ベッドに固定した制御手段１３によって門型コラムレール２の中央近傍を支持するので、スピンドル６の下降、上昇動作に伴う上下方向の荷重に対する門型コラムレール２の変形、振動を低減することができる。特に、制御手段１３として、アクチュエータを設け、門型コラムレールの振動をアクティブ制振するようにしたので、振動を低減でき、加工精度を向上させることができる。更に、この制御手段１３として振動減衰機能を有する支持部材としたので、共振のピークを下げることができ、精度の安定性を向上させることができる。又、制御手段１３を隣り合うスピンドル６軸間の中央近傍に配置する構成にしたので、制御手段１３を回避するためにテーブル３に設けた開口部１４が加工領域の減少を招くことが無い。

従来構造のドリル穴明機では、高生産性を追及すると、門型コラムレール２の変形剛性の低下、負荷荷重の増大を招き、そのため、機械の変形が増大して加工精度が低下することになり、高生産性と高加工精度の両立が難しかったが、本実施例によればこれらの問題を解決できるものである。

以上の実施例では、プリント基板用のドリル穴明機の場合について説明したが、位置決めテーブルを有する一般的な工作機械、製造装置に本発明の構造を適用することも可能である。

図５は、本実施例に係るドリル穴明機の制御手段の正面図（ａ）と上面図（ｂ）である。本実施例のドリル穴明機の全体構成は実施例１と同様であり、その制御手段が異なる。制御手段は、ピストン部材１０１、シリンダ部材１０２、シリコンオイル等の粘性を有する粘性流体１０５から構成される。ピストン部材１０１の一端は、門型コラムレール２に設けられた取付端子１０８に、レール側取付ボルト１０９、レール側取付ナット１１０を用いて剛的に固定される。ピストン部材１０１の他端は、シリンダ部材１０２に摺動可能に挿入されている。

シリンダ部材１０２は、ベッド側取付ボルト１１１でベッド１に固定されている。シリンダ部材１０２の中には粘性流体１０５が充填され、キャップ１０６で封止されている。また、ピストン部材１０１には、オリフィス絞り口１０４が設けられている。

このようなドリル穴明機において、スピンドルが上下動すると、駆動反力により門型コラムレール２が変形し振動する。この振動はピストン部材１０１に伝達され上下動するが、ピストン部材１０１にはオリフィス絞り口１０４を設けてあるので、ピストン部材１０１の上下動に伴って、運動エネルギーが粘性流体１０５による粘性抵抗によって消費され振動が減衰する。減衰の程度は、オリフィス絞り口１０４の径、個数、又は、粘性流体１０５の粘度により調整することができる。

このように制御手段に減衰機能を持たせたので、門型コラムレールの振動を効果的に低減することができ、加工精度を向上することができる。この構成では、パッシブに振動を減衰する方式を採用したので、コントローラ、アクチュエータ、センサなどが不要であり、簡便で安価に実現できる。本実施例においても実施例１と同様の効果を有する。

図６は、本実施例に係るドリル穴明機の制御手段の正面図（ａ）と上面図（ｂ）である。本実施例のドリル穴明機の全体構成は実施例１と同様であり、その制御手段が異なる。制御手段は、ピストン部材１０１、スタンド部材１１５、粘弾性体１０７から構成される。ピストン部材１０１の一端は、門型コラムレール２に設けられた取付端子１０８に、レール側取付ボルト１０９、レール側取付ナット１１０を用いて剛的に固定される。ピストン部材１０１と粘弾性体１０７、及びスタンド部材１１５と粘弾性体１０７は、それぞれ接着されている。粘弾性体１０７は、例えば振動減衰性の高いゴム、又は、複合材料のようなものである。門型コラムレール２が振動してピストン部材１０１が変位すると、粘弾性体１０７がせん断変形し、運動エネルギーが消費される。これにより門型コラムレール２の振動が低減して、加工精度が向上する。この構成では、パッシブに振動を減衰する方式を採用したので、コントローラ、アクチュエータ、センサなどが不要であり、簡便で安価に実現できる。本実施例においても実施例１と同様の効果を有する。

図７は、本実施例に係るドリル穴明機のテーブルの分解斜視図である。本実施例のドリル穴明機の全体構成は実施例１と同様であり、そのテーブルの構造が異なる。このテーブルは、鋳鉄製の一体鋳造したフレーム構造３０４の上に、天板プレート３０１をボルトにて一体に固定した構造になっている。このような構造は軽量化に有利である。通常、テーブルの移動距離を大きくしたいときは、制御手段１３との干渉を避けるため、開口部１４のX方向の長さを大きくする必要がある。しかし、単純な長方形形状のテーブルの構造において開口部１４を長くすると、テーブル全体の寸法が大きくなり、質量の増加、設置スペースの増加が発生し、好ましくない。そこで、この実施例では、部分的に突き出し部３０２を設けた。これにより、テーブルの外形寸法をほとんど変えずに、突き出し部３０２による質量の増加、スペースの増加だけで、テーブルの移動距離を大きくすることができる。

又、一般に、テーブルに開口部１４のような空間を設けると剛性が低下し変形が増大するが、本実施例では、開口部１４の近傍に、スライダ１２が取り付けられる脚部１６を設け、開口部１４とテーブルの支持点である脚部１６を近接させることにより変形を小さくする。また、開口部１４の周辺にテーブル厚さ増加部分３０３を設けることにより、テーブルの面外方向の剛性低下を補う。この開口部１４の位置において突き出し部３０２を設けたので、この突き出し部３０２による断面２次モーメントの増加が、テーブルの面内方向の曲げ剛性の低下を補う。

このように、突き出し部３０２、テーブル厚さ増加部分３０３を設けたので、質量及び設置スペースの大幅な増加を招くこと無く、また、テーブルの変形を増大させること無く、門型コラムレール２に制御手段１３を設けることができる。本実施例においては、テーブルの開口部１４に開放端を設けず、一体鋳造した例を示したが、組立等の関係で、開口部１４の一端を開放する必要がある場合には、図２のように補強プレート２０１を使用することができる。この場合、突き出し部３０２の部分を分割して別部品とし、これを補強プレート２０１として、ボルト等でテーブル３に剛的に固定する。

以上のように、テーブルに、開口部１４を設けたので、制御手段１３とテーブル３との干渉を避けることができ、門型コラムレール２の中央近傍に制御手段１３を設けた構造を実現できる。本実施例においても実施例１と同様の効果を有する。

図８は、本実施例に係るドリル穴明機の斜視図である。本実施例のドリル穴明機の全体構成は実施例１と同様であるが、独立した位置決め機構を持つテーブル３を複数用いると共に、互いのテーブルの間に制御手段１３を設置した実施例である。図のように、２つのテーブル３ａ、３ｂがベッド１に載置され、各テーブルは独立した位置決め機構を有し、それぞれＸ軸送りねじ７ａ、７ｂによって移動する。Ｘ軸送りねじ７ａ、７ｂはＸ軸送りねじ受け１１ａ、１１ｂによって、回転自由にベッド１に取り付けられ、図示しないモータによって回転駆動される。二つのテーブル３ａ、３ｂの間には、図４〜６に示す制御手段１３が設置できる間隔が設けてある。制御手段１３の一端はベッド１に固定されており、他端は門型コラムレール２の中央に固定され、制御手段１３は門型コラムレール２の中央部を支持している。この構成によると、各テーブルの位置決め機構が増えるのでコストが増加するが、各テーブルに開口部を設けなくともよいというメリットがある。また、一個当りのテーブルの質量が小さくなるので、駆動系のモータ等を小さくできるというメリットがある。コストの増加が問題にならない場合には、このような構成も可能である。本実施例では、２つのテーブルを用いた場合を示したが、３つ以上にすることも可能である。本実施例においても実施例１と同様の効果を有する。

本発明に係るドリル穴明機の斜視図。 本発明に係るドリル穴明機の正面図と上面図。 本発明係るドリル穴明機のテーブルの斜視図。 本発明に係るドリル穴明機の正面図と側面図及び制御手段の正面図と側面図。 本発明に係るドリル穴明機の制御手段の正面図及び側面図。 本発明に係るドリル穴明機の制御手段の正面図及び側面図。 本発明に係るドリル穴明機のテーブルの斜視図。 本発明に係るドリル穴明機の斜視図。 従来のドリル穴明機の斜視図。

符号の説明

１…ベッド、２…門型コラムレール、３…テーブル、４…スライド板、５…ハウジング、６…スピンドル、７…Ｘ軸送りねじ、８…Ｘ軸案内レール、９…Ｙ軸案内レール、１０…Ｚ軸案内レール、１１…Ｘ軸送りねじ受け、１２…スライダ、１３…制御手段、１４…開口部、１５…テーブル送りナット、１６…脚部、１０１…ピストン部材、１０２…シリンダ部材、１０３…ピエゾアクチュエータ、１０４…オリフィス絞り口、１０５…粘性流体、１０７…粘弾性体、１１２…加速度計、１１３…コントローラ、２０１…補強プレート、３０１…天板プレート。

Claims (5)

1. ベッドと、該ベッドに固定された門型コラムレールと、前記ベッドに水平方向に移動可能に載置されたテーブルと、前記門型コラムレールに前記テーブルの移動方向と直交する方向に移動可能に取り付けられたスライド板と、該スライド板にその鉛直方向に移動可能に取り付けられたスピンドルと、該スピンドルに固定されたドリルとを備え、前記テーブルに載置された被加工物を前記ドリルによって穴加工するドリル穴明機において、
   前記門型コラムレールの前記スライド板の設置側に前記穴加工時に生じる前記門型コラムレールの変形又は振動を抑制する制御手段を有し、
   前記制御手段は、前記ベッドと門型コラムレールの前記スライド板の設置側との間に設けられた支柱と、前記穴明加工時に生じる前記門型コラムレールの変形又は振動を前記支柱を通して抑制する制御部材とを有し、
   前記テーブルにはその移動方向に沿って設けられその移動の妨げにならないように前記制御手段に対応した開口部を有する
   ことを特徴とするドリル穴明機。
2. 請求項１において、前記支柱はピストン部材であり、前記制御部材は前記ピストン部材が移動可能であるシリンダ部材と該シリンダ部材内に設けられたアクチュエータとを有するものであり、前記門型コラムレールに設けられた変位及び加速度の少なくとも一方を検出する検出器の出力に基づいて前記アクチュエータの動作をフィードバック制御し前記門型コラムレールの振動をアクティブ制振する制御装置を有することを特徴とするドリル穴明機。
3. 請求項１において、前記支柱はオリフィス絞り孔を設けたピストン部材であり、前記制御部材は前記ピストン部材が挿入されるシリンダ部材と、該シリンダ部材内に充填された粘性流体とを有することを特徴とするドリル穴明機。
4. 請求項１において、前記支柱はピストン部材であり、前記制御部材は前記ピストン部材を介して両側に設けられたスタンド部材と、該スタンド部材と前記ピストン部材との間に挿入固定された粘弾性体とを有することを特徴とするドリル穴明機。
5. ベッドに固定された門型コラムレールと、前記ベッドに水平方向に移動可能に載置されたテーブルと、前記門型コラムレールに前記テーブルの移動方向と直交する方向に移動可能に取り付けられたスライド板と、該スライド板にその鉛直方向に移動可能に取り付けられたスピンドルと、該スピンドルに固定されたドリルとを備えたドリル穴明機の前記ドリルによって前記テーブルに載置された被加工物を穴加工すると共に、前記門型コラムレールの前記スライド板の設置側に前記穴加工時に生じる前記門型コラムレールの変形又は振動を制御手段によって抑制しながら前記穴加工するドリル穴明加工方法であって、
   前記制御手段は、前記ベッドと門型コラムレールの前記スライド板の設置側との間に設けられた支柱と、前記穴明加工時に生じる前記門型コラムレールの変形又は振動を前記支柱を通して抑制する制御部材とを有し、
   前記テーブルにはその移動方向に沿って設けられその移動の妨げにならないように前記制御手段に対応した開口部を有する
   ことを特徴とするドリル穴明加工方法。

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