JP4450719B2 - 半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Description
2;ギャップ層
3a、3b;導電性ダイヤモンド層
4;高抵抗ダイヤモンド層
5;ゲート絶縁膜
6a、6b;保護膜
7;電極金属層
8、104、115、124、133;ソース電極
9、105、116、126、134;ドレイン電極
10、107、118、125、137;ゲート電極
11、120、130;FET
100、110;MISFET
102a、102b、132a、132b;高ドープp型半導体ダイヤモンド層
103、135;低ドープp型半導体ダイヤモンド層
106;アンドープダイヤモンド層
111;シリコン基板
112;下地層
113a、113b;n型半導体ダイヤモンド層
114;p型半導体ダイヤモンド層
117;ダイヤモンド絶縁体層
121、123;半導体ダイヤモンド層
122;高抵抗ダイヤモンド層
136;酸化シリコン絶縁層
Claims (3)
- 絶縁性ダイヤモンド基板上にその幅がソース領域及びドレイン領域間の距離と等しいギャップ層を形成する工程と、前記ギャップ層の両側にソース領域及びドレイン領域となる第1及び第2の導電性ダイヤモンド層を形成する工程と、前記ギャップ層を除去する工程と、前記基板上の前記第1及び第2の導電性ダイヤモンド層間の領域上に前記第1及び第2の導電性ダイヤモンド層に接触するように、前記第1及び第2の導電性ダイヤモンド層よりも電気抵抗が高くチャネル層となる高抵抗ダイヤモンド層を選択的に形成する工程と、前記高抵抗ダイヤモンド層上にゲート絶縁膜を選択的に形成する工程と、ゲート電極形成予定領域とソース電極形成予定領域との間及びゲート電極形成予定領域とドレイン電極形成予定領域との間に保護膜を形成する工程と、金属層を形成する工程と、前記金属層におけるソース電極形成予定領域、ドレイン電極形成予定領域及びゲート電極形成予定領域以外の部分を収束イオンビームにより除去する工程と、を有することを特徴とする半導体素子の製造方法。
- 前記第1及び第2の導電性ダイヤモンド層は、高濃度でBがドープされた高ドープダイヤモンド層であり、前記高抵抗ダイヤモンド層は、前記第1及び第2の導電性ダイヤモンド層よりも低濃度でBがドープされた低ドープダイヤモンド層又は不純物をドープしていないアンドープダイヤモンド層であることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記ギャップ層は、高融点金属、高融点金属の窒化物、高融点金属の炭化物、貴金属、酸化シリコン、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウム、窒化シリコン、窒化アルミニウム、窒化ジルコニウム、チタン酸バリウム及びチタン酸ストロンチウムからなる群から選択された少なくとも1種の材料により形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体素子の製造方法。
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