JP4435124B2 - Ｘ線管 - Google Patents

Description

本発明は、Ｘ線管に係り、特に、陽極が固定されている固定陽極型Ｘ線管に関する。

従来、代表的なＸ線管として固定陽極型Ｘ線管がある。固定陽極型Ｘ線管では、電子が陰極のフィラメントによって生成される。この電子が高電圧電場によって陽極ターゲットへ向けて加速され、この高エネルギー電子が陽極ターゲットに衝突してＸ線が生成される。

この高エネルギー電子が陽極ターゲットに衝突したときに熱が発生する。この発生した熱を外部に放出するために固定陽極型Ｘ線管には、絶縁油浸漬式、強制液冷式、強制空冷式などの冷却構造が採用されている。

絶縁油浸漬式のＸ線管では、陰極組立体及び陽極組立体がガラス製の外囲器内に真空封止されている。この外囲器が絶縁油で満たされたハウジングの内部に取り付けられている。この絶縁油は電気的な絶縁をすると同時に陽極組立体で発生した熱を吸収する。絶縁油に吸収された熱はハウジングの外壁を通して外気に放熱される。

また、例えば、実公平１−３２７２０号公報に開示されるように強制液冷式のＸ線管では、陽極ターゲットは円筒状の陽極支持体で支持されている。この陽極支持体の内部空間は陽極部分を冷却するために冷却液が通る冷却路に形成されている。

また、例えば、特表２００１−５０４９８８号公報に開示されるように強制空冷式のＸ線管では、一端側に設けられた真空外囲器と他端側に設けられた絶縁外囲器とで外囲器が構成される。陽極ターゲットを一端部に支持した陽極支持体の他端部が絶縁外囲器の他端部から外側に延長され、この陽極支持体の他端部は陽極ターゲットへの高電圧供給用リード線が取り付けられている。さらに、絶縁外囲器の外面及び陽極支持体の他端部はポッティング材、即ち、モールド材で包囲されている。陽極部分の冷却のため、ポッティング材の外面に空気を強制的に通過させている。

従来の絶縁油浸漬式のＸ線管では、他の冷却方式を採用するＸ線管に比べてハウジングのサイズが大きくなる。絶縁油浸漬式の採用はＸ線管をコンパクトに設計するうえでの障害となる。また、絶縁油浸漬式では、絶縁油が使用されるため、Ｘ線管の組立、修理、廃棄が困難となる。

また、従来の強制液冷式のＸ線管は、陽極部分を冷却するための冷却液に絶縁性の液体として絶縁油、純水が使用され、専用の熱交換器、循環ポンプ及びホースを使用した循環冷却システムを必要とする。従って、コストがかかるうえ、信頼性も低い。特に、純水を使用する場合には、使用中に純水の電気伝導度が上昇することを防ぐための特殊なイオン交換樹脂を使ったフィルタが必要となる。フィルタが必要とされることは、維持管理の手間並びにコストが掛かる問題となる。

また、従来の強制空冷式のＸ線管は、前述した絶縁油浸漬式及び強制液冷式のＸ線管のような問題はないものの、陽極支持体から熱伝導率の低いポッティング材に熱を伝達して放熱するため、放熱特性が悪い。故に、陽極ターゲットの熱負荷を十分に低下させることができない問題がある。更に、陽極支持体からポッティング材に放熱する放熱部と高電圧供給用リード線が取り付けられた高電圧供給部とが互いに近接して配置されている。従って、ポッティング材の温度が高くなり、ポッティング材の絶縁特性が比較的早期に劣化する問題がある。

本発明の目的は、放熱特性が高く、長期にわたって絶縁特性を確保できるＸ線管を提供することにある。

本発明の一態様に従うＸ線管は、Ｘ線を透過する出力窓が形成された第１の外囲部を一端側に有し、電気絶縁性を有する第２の外囲部を他端側に有する筒状の外囲器と；前記第１の外囲部内に設けられた陽極ターゲットと；前記第１の外囲部内に設けられ、前記陽極ターゲットに照射する電子を放出する陰極と；前記外囲器内に設けられ、一端側に前記第２の外囲部の内面と接合する接合部を有し、他端側に前記陽極ターゲットを支持する支持体と；前記支持体とは、間隙を介して実質的に熱的に分離されて配置された前記支持体に電圧を供給する端子と；前記支持体と前記端子を電気的に接続する接続部と；を具備して構成するようにした。

本発明によれば、接合部によって第２の外囲部の内面に支持体が接合するので、支持体から第２の外囲部への熱伝達性が向上し、放熱特性を向上できる。また、この接合部から離れた位置に陽極ターゲットへ電圧を供給する端子を設けるので、端子を絶縁する例えば絶縁モールド樹脂などの温度を低くでき、長期にわたって絶縁特性を確保できる。

以下、図面を参照して本発明の実施形態に係る固定陽極型のＸ線管を説明する。
図１及び図２には、Ｘ線管として固定陽極型のＸ線管１１が示されている。Ｘ線管１１は、内部を真空状態に保持する外囲器１２を備えている。外囲器１２は、Ｘ線管１１の管軸に沿った軸方向の一端側の金属で作られた第１の外囲部１３と、絶縁部を構成する他端側の第２の外囲部１４とを組み合わせて構成されている。

第１の外囲部１３は、先端外径が徐々に細くなるキャップ状（筒状）に形成されている。この第１の外囲部１３の先端面は平坦に形成されている。この平坦部分にはＸ線を透過する出力窓１５が設けられ、この出力窓１５は、Ｘ線の減衰の少ない材料として例えばベリリウム（Ｂｅ）で作られ、厚さが数１０〜数１００μｍ程度に形成されている。

第２の外囲部１４は、アルミナ等の電気絶縁性セラミックスからなる絶縁材料で有底筒状に形成されている。即ち、第２の外囲部１４は、第１の外囲部１３に連結される一端側に開口を有する円筒状の筒部１４ａ、この筒部１４ａの他端面に形成され、有底部に相当する端面部１４ｂを有する。この端面部１４ｂの中央には、端子を取り付けるための取付孔１４ｃが形成されている。

また、第１の外囲部１３の内部には、出力窓１５に対向して陽極ターゲット２１が配置されている。陽極ターゲット２１の外周に集束電極２２が配置され、この集束電極２２の外周に陰極２３が配置されている。陰極２３は、集束電極２２の外周部に固定されている。

また、外囲器１２内の中心部には、陽極ターゲット２１を支持する支持体２５が配置されている。支持体２５は、導電性を有する例えば銅または銅合金製で、一端側が小径、他端側が大径に形成されている。一端側は集束電極２２の内側に配置され、その先端で陽極ターゲット２１を支持している。他端側の周面は第２の外囲部１４の筒部１４ａの内周面に接合されている。この陽極ターゲット２１の先端面は、タングステン層で被覆されている。

支持体２５の他端面と第２の外囲部１４の端面部１４ｂとは、直接接触されず、その間には間隙２９が設けられるように分離して配置されている。また、支持体２５の他端面に開口する軸方向の孔部３０が形成されている。更に、接合部２８の位置より一端側で孔部３０に連通する径方向の孔部３１が形成されている。これら間隙２９及び孔部３０、３１によって第１の外囲部１３内から第２の外囲部１４の取付孔１４ｃに至る排気通路３２が形成されている。

また、第２の外囲部１４の端面部１４ｂの取付孔１４ｃには、排気管３４が取り付けられている。排気管３４は、支持体２５の内部を通る排気通路３２を通じて外囲器１２内を排気した後に真空封止するための封止部品である。排気管３４は、排気管３４を第２の外囲部１４の取付孔１４ｃに取り付けるための取付部３５が設けられている。

また、排気管３４には陽極ターゲット２１に高電圧を印加するための高圧ケーブル３７が接続されている。即ち、この排気管３４は外囲器１２を封止する為の封止部品であるとともに、陽極ターゲット２１に高電圧を印加するための高圧ケーブル３７が接続される端子３８としての機能をも有している。更に、端子３８は、第２の外囲部１４中の接合部２８が接合する位置から離れた位置に設けられている。

第２の外囲部１４には、接合部２８と端子３８とを電気的に接続するメタライズ層３９が形成されている。メタライズ層３９は、第２の外囲部１４の内面に形成されている。メタライズ層３９は、支持体側接続部４０と端子側接続部４１を有する。支持体側接続部４０は、第２の外囲部１４と接合部２８との間に設けられ、接合部２８を電気的に接続している。また、端子側接続部４１は、端子３８と第２の外囲部１４の取付孔１４ｃとの間に設けられ、端子３８を電気的に接続している。

第２の外囲部１４の端面部１４ｂの外面、端子３８及び高圧ケーブル３７などは、例えばシリコ−ン樹脂などの絶縁性を有する絶縁モールド樹脂である絶縁材４２で覆われている。

また、接合部２８に対向する第２の外囲部１４の筒部１４ａの外周面には放熱部としての放熱体４４が接合されている。この放熱体４４は、セラミックスよりも熱伝導率の高い金属材料によって筒状に形成されている。第２の外囲部１４の筒部１４ａの外周面には、図示しないセラミックと金属層との界面相当するメタライズ層、即ち、金属層膜が形成されて筒部１４ａの外周面が放熱体４４の内面に接合されている。放熱体４４の外周面には、外径方向へ突出する複数のフィン４５が放熱体４４の軸方向に沿った幅で放熱体４４の周方向に間隔をあけて設けられている。

放熱体４４の内周面の表面形状は、高温時の熱応力を緩和するために凹凸形状に形成されている。即ち、軸方向及び周方向に沿って形成された複数の凹部４６によって軸方向及び周方向に分割された複数の凸部４７が形成されている。

また、Ｘ線管１１は、少なくとも放熱体４４を流体により強制的に冷却する図示しない強制冷却システムを具備している。この強制冷却システムとしては、Ｘ線管１１の発熱に応じて流体として例えば空気を用いる空冷または水を主成分とする不凍液などの液体を用いる液冷を選択できるが、維持管理が容易な空冷が好ましい。

次に、図１及び図２に示されるＸ線管１１の動作について説明する。

Ｘ線管１１の動作時には、外囲器１２内に収容された陰極２３と陽極ターゲット２１との間に高電圧が印加されて陰極２３から電子が放出される。この電子は陰極２３と陽極ターゲット２１との電位差によって加速されて陽極ターゲット２１に衝突され、Ｘ線が発生され、発生したＸ線は出力窓１５から放射される。

陽極ターゲット２１への電子の衝突によって熱が発生し、この熱は支持体２５に伝わる。この支持体２５に伝わった熱は接合部２８を介して第２の外囲部１４に伝達される。第２の外囲部１４に伝達された熱は放熱体４４に伝達される。この放熱体４４に伝達された熱は、放熱体４４に作用する図示しない強制冷却システムの流体によって強制的に放熱される。

このＸ線管１１では、第２の外囲部１４の筒部１４ａの内周面に支持体２５の接合部２８が接合されている。故に、接触面積が大きく、支持体２５から第２の外囲部１４への熱伝達性が向上し、放熱特性を向上できる。

また、接合部２８から離れた位置、即ち、第２の外囲部１４の端面部１４ｂに端子３８は設けられている。故に、この端子３８を絶縁モールドする絶縁材４２の温度を低く保つことができ、長期にわたって絶縁特性を確保できる。

また、支持体２５と端子３８とは、直接接触されず、間隙２９を介して分離して配置されているが、支持体２５と端子３８とは第２の外囲部１４に形成したメタライズ層３９によって電気的に接続されている。

また、端子３８は、外囲器１２の真空封止部品を兼ねる排気管３４によって構成されている。従って、部品点数が削減され、構造が簡素化される。

また、支持体２５は接合部２８付近の表面形状が凹凸状に形成され、該凸部２７によって接合部２８が形成されている。従って、高温時における支持体２５の熱膨張は該凹凸部分が弾性変形することによって吸収され、熱応力を緩和できる。

同様に、放熱体４４の内周面の表面形状は凹凸状に形成されている。従って、高温時における放熱体４４の熱膨張は該凹凸部分が弾性変形することによって吸収され、熱応力を緩和できる。

また、放熱体４４は、セラミックスよりも熱伝導率の大きい金属材料によって形成されているため、放熱特性が高い。さらに、放熱体４４の外周面に複数のフィン４５を設けているため、放熱体４４の表面積が大きくなり、放熱特性が高い。

また、図示しない強制冷却システムによって第２の外囲部１４の外周面を流体により強制的に冷却できる。この強制冷却システムにおいては、放熱体４４により放熱特性をより向上することができる。

次に、図３及び図４には、本発明の第２の実施形態に係るＸ線管が示されている。

尚、図３及び図４において、図１及び図２に示したと同一部分には同一符号を付してその説明は省略する。

放熱体４４の外周面には、外径方向へ突出する複数のフィン４５が放熱体４４の周方向に沿った環状で放熱体４４の軸方向に間隔をあけて設けられている。このような冷却構造によれば、放熱体４４の表面積が大きくなり、放熱特性をより向上することができる。

次に、図５及び図６には、本発明の第３の実施形態に係るＸ線管が示されている。

尚、図５及び図６において、図３及び図４の説明と同様に図１及び図２に示したと同一部分には同一符号を付してその説明は省略する。

接合部２８と第２の外囲部１４の筒部１４ａの内周面との間に、金属製で筒状に形成された可撓性部品５１が介在されている。この可撓性部品５１の内周面の表面形状は、凹凸の無い曲面に形成されている。また、可撓性部品５１の外周面の表面形状は、高温時に熱膨張で生ずる熱応力を緩和するために凹凸形状に形成されている。即ち、軸方向及び周方向に沿って形成された複数の凹部５２によって軸方向及び周方向に分割された複数の凸部５３が形成されている。これら複数の凸部５３の表面が第２の外囲部１４の筒部１４ａの内周面に接合されている。

この可撓性部品５１を通じて接合部２８から第２の外囲部１４に熱を伝達できる。また、高温時における支持体２５の熱膨張を可撓性部品５１が弾性変形することによって吸収し、熱応力を緩和することができる。

次に、図７及び図８には、本発明の第４の実施形態に係るＸ線管が示されている。

尚、図７及び図８において、図１に示したと同一部分には同一符号を付して示し、その説明を省略する。

支持体２５の他端部が第２の外囲部１４の端面部１４ｂの内面に接合されている。支持体２５の他端部の表面形状は、高温時の熱応力を緩和するために凹凸状に形成されている。即ち、図８に示すように格子状に形成された複数の凹部２６によって分割された複数の凸部２７が形成されている。これら複数の凸部２７の表面が第２の外囲部１４の端面部１４ｂの内面に接合される接合部２８として形成されている。また、支持体２５の周面部には軸方向に沿って排気通路３２が形成されている。

また、第２の外囲部１４の筒部１４ａに取付孔１４ｃが形成されている。取付孔１４ｃに真空封止部品及び端子３８を兼ねる排気管３４が取り付けられている。排気管３４に高圧ケーブル３７が接続されている。端子３８は、第２の外囲部１４に接合部２８が接合する位置から十分に離れたて配置されている。

第２の外囲部１４には、接合部２８と端子３８とを電気的に接続するメタライズ層３９が形成されている。メタライズ層３９は、第２の外囲部１４の内面に形成されている。メタライズ層３９は、支持体側接続部４０と端子側接続部４１を有する。支持体側接続部４０は、第２の外囲部１４と接合部２８との間に設けられ、接合部２８を電気的に接続している。また、端子側接続部４１は、端子３８と第２の外囲部１４の取付孔１４ｃとの間に設けられ、端子３８を電気的に接続している。

第２の外囲部１４の筒部１４ａの外面、端子３８及び高圧ケーブル３７などは絶縁材４２で覆われている。

また、接合部２８に対向する第２の外囲部１４の端面部１４ｂの外面にははんだ５７によって放熱体４４の一端面が接合されている。この放熱体４４の他端面には外方へ突出する複数のフィン４５が設けられている。放熱体４４の一端面の表面形状は、高温時の熱応力を緩和するために凹凸状に形成されている。即ち、格子状に形成された複数の凹部４６によって分割された複数の凸部４７が形成されている。また、Ｘ線管１１は放熱体４４を流体により強制的に冷却する図示しない強制冷却システムを具備している。

そして、このＸ線管１１の動作時には、外囲器１２内に収容された陰極２３と陽極ターゲット２１との間に高電圧を印加することにより、陰極２３から電子が放出される。この電子が陰極２３と陽極ターゲット２１との電位差で加速されて陽極ターゲット２１に衝突し、Ｘ線が発生する。Ｘ線は出力窓１５から放射される。

陽極ターゲット２１への電子の衝突によって熱が発生する。この熱は支持体２５に伝わる。この支持体２５に伝わった熱は接合部２８を介して第２の外囲部１４に伝達される。第２の外囲部１４に伝達された熱は放熱体４４に伝達される。放熱体４４に伝達された熱は放熱体４４に作用する図示しない強制冷却システムの流体によって強制的に放熱される。

このＸ線管１１では、第２の外囲部１４の端面部１４ｂの内面に接合部２８が接合されているので、接触面積が大きい。従って、支持体２５から第２の外囲部への熱伝達性が高く、放熱特性を向上できる。

また、接合部２８から離れた位置、即ち第２の外囲部１４の筒部１４ａに端子３８が設けられている。従って、端子３８を絶縁モールドする絶縁材４２の温度を低く保つことができ、長期にわたって絶縁特性を確保できる。

また、支持体２５と端子３８は間隙２９を介して分離して設けられているが、メタライズ層３９によって電気的に接続されている。
また、端子３８は、外囲器１２の真空封止部品を兼ねる排気管３４によって構成されているため、部品点数を削減でき、構造を簡素化できる。

また、第２の外囲部１４の端面部１４ｂの内面に接合する支持体２５は、接合部２８付近の表面形状が凹凸状に形成され、凸部２７によって接合部２８が形成されている。この凹凸部分が弾性変形することによって高温時における支持体２５の熱膨張を吸収し、熱応力を緩和できる。

同様に、放熱体４４の一端面の表面形状が凹凸状に形成されているため、高温時における放熱体４４の熱膨張を該凹凸部分が弾性変形することによって吸収し、熱応力を緩和できる。

また、前述の通り放熱体４４は、セラミックスよりも熱伝導率の高い金属材料によって形成されているため、放熱特性が高い。さらに、放熱体４４の他端面に複数のフィン４５を設けているため、放熱体４４の表面積が大きくなり、放熱特性を向上できる。また、図示しない強制冷却システムによって放熱体４４を流体により強制的に冷却できる。

次に、図９には、本発明の第５の実施形態に係るＸ線管が示されている。
尚、図９においては、図７に示す同一部分には同一符号を付してその説明を省略する。

接合部２８が第２の外囲部１４の端面部１４ｂの内面に接合する、Ｘ線管１１の基本構造は、第４の実施形態と同様である。

放熱体４４の外周面には、外径方向へ突出する複数のフィン４５が放熱体４４のベース部の周方向に設けられている。このフィン４５は、放熱体４４のベース部の周囲に沿って環状に形成され、しかも、放熱体４４の軸方向に沿って間隔をあけて設けられている。このような構造においては、放熱体４４の表面積が大きくなり、放熱特性をより向上することができる。

次に、図１０には、本発明の第６の実施形態に係るＸ線管が示されている。

尚、図１０においては、図７に示す同一部分には同一符号を付してその説明を省略する。 接合部２８が第２の外囲部１４の端面部１４ｂの内面に接合する、Ｘ線管の基本構造は第４の実施形態と同様である。

放熱体４４を冷却する強制冷却システム６１は、流体の流通するパイプ６２を放熱体４４のベース部に接合されている。パイプ６２内に流体として水を主成分とする不凍液などの液体を流通させることにより、放熱体４４に伝達された熱をパイプ６２内の液体と熱交換して強制的に冷却する。この流体として液体を用いた強制冷却システム６１により、放熱特性をより向上することができる。

次に、図１１には本発明の第７の実施形態に係るＸ線管が示されている。
尚、図１１において、図１０に示す同一部分には同一符号を付してその説明を省略する。 接合部２８が第２の外囲部１４の端面部１４ｂの内面に接合する、Ｘ線管１１の基本構造、及び強制冷却システム６１などは第６の実施形態と同様である。

接合部２８と第２の外囲部１４の端面部１４ｂの内面との間に、金属製で円板状に形成された可撓性部品５１が介在されて両者が接合されている。接合部２８と接合する可撓性部品５１の一端面の表面形状は、凹凸の無い曲面に形成されている。また、第２の外囲部１４の端面部１４ｂの内面に接合する可撓性部品５１の他端面の表面形状は、高温時の熱応力を緩和するために凹凸状に形成されている。即ち、格子状に形成された複数の凹部５２によって分割された複数の凸部５３が形成されている。これら複数の凸部５３の表面が第２の外囲部１４の端面部１４ｂの内面に接合されている。

接合部２８と第２の外囲部の端面部１４ｂの内面との間に介在させた可撓性部品５１を通じて接合部２８から第２の外囲部１４に熱を伝達できる。しかも、高温時における支持体２５の熱膨張を可撓性部品５１が弾性変形することによって吸収し、熱応力を緩和することができる。

次に、図１２には、本発明の第８の実施形態に係るＸ線管が示されている
尚、図１２において、図７に示す同一部分には同一符号を付してその説明を省略する。 接合部２８が第２の外囲部１４の端面部１４ｂの内面に接合する、Ｘ線管１１の基本構造は第４の実施形態と同様である。

図１２に示されるように放熱体４４には、ベース部６０が一体的に固定され、このベース部６０には、放熱部４４を冷却する強制冷却システム６１が取り外し可能にベース部６０にねじ留め固定されている。この強制冷却システム６１により、放熱特性をより向上することができる。また、強制冷却システム６１はねじ留めされているため、着脱、交換が容易にできる。

次に、図１３には、本発明の第９の実施形態に係るＸ線管を示している。
尚、図１３において、図１２に示す同一部分には同一符号を付してその説明を省略する。 接合部２８が第２の外囲部１４の端面部１４ｂの内面に接合する、Ｘ線管１１の基本構造、及び強制冷却システム６１などは第８の実施形態と同じである。尚、図１３に示された構造と同様に強制冷却システム６１は、ベース部６０に取り外し可能に螺旋止め固定されている。

ベース部６０には、金属筒７０が第２の外囲部１４の外周を被うように固定され、この金属等７０と第２の外囲部１４の外周との間には、絶縁材４２が設けられ、第２の外囲部１４の筒部１４ａの外面の全体、端子３８及び高圧ケーブル３７などは、この絶縁材４２で覆われている。この構造では、第２の外囲部１４の筒部１４ａの外面の全体が絶縁材４２で覆われているため、高い絶縁特性を実現することができる。この絶縁材４２としては、シリコ−ン樹脂にアルミナ或いは窒化アルミを混合した材料が用いられる。

次に、図１４に本発明の第１０の実施形態に係るＸ線管を示している。
尚、図１４においては、図１同一部分には同一符号を付してその説明を省略する。 接合部２８が第２の外囲部１４の筒部１４ａの内面に接合する、Ｘ線管１１の基本構造などは第１の実施形態と同じである。

放熱部４４の一端面は第２の外囲部１４の筒部１４ａに接合されている。また、放熱体４４の他端面は絶縁材４２を覆うよう延長されてその他端側にベース部６０が設けられ、このベース部６０に強制冷却システム６１がねじ留めされている。

本実施形態によれば、絶縁材４２は放熱体４４を介して放熱が可能なため、放熱特性を向上でき、長期にわたって確実な絶縁特性を確保できる。特に、放熱部４４が直接強制冷却システム６１によって冷却されるために効果的にＸ線管を冷却することができる。また、強制冷却システム６１はねじ留めされているため、着脱、交換が容易である。

なお、この発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また上記実施形態に開示されている複数の構成要素を適宜組み合わせることによって種々の発明を形成できる。また例えば、実施形態に示される全構成要素からいくつかの構成要素を削除した構成も考えられる。さらに、異なる実施形態に記載した構成要素を適宜組み合わせてもよい。

その他、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を施しても同様に実施可能であることはいうまでもない。

本発明の第１の実施形態に係るＸ線管を概略的に示す断面図である。 図１に示すＸ線管のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。 本発明の第２の実施形態に係るＸ線管を概略的に示す断面図である。 図３に示すＸ線管のＩＶ−ＩＶに沿った断面図である。 本発明の第３の実施形態に係るＸ線管を概略的に示す断面図である。 図５に示すＸ線管のＶＩ−ＶＩに沿った断面図である。 本発明の第４の実施形態に係るＸ線管を概略的に示す断面図である。 図７に示した接合部端面を概略的に示す平面図である。 本発明の第５の実施形態に係るＸ線管を概略的に示す断面図である。 本発明の第６の実施形態に係るＸ線管を概略的に示す断面図である。 本発明の第７の実施形態に係るＸ線管を概略的に示す断面図である。 本発明の第８の実施形態に係るＸ線管を概略的に示す断面図である。 本発明の第９の実施形態に係るＸ線管を概略的に示す断面図である。 本発明の第１０の実施形態に係るＸ線管を概略的に示す断面図である。

符号の説明

１１…Ｘ線管
１２…外囲器
１３…第１の外囲部
１４…第２の外囲部
１４ａ…筒部
１４ｂ…端面部
１４ｃ…取付孔
１５…出力窓
２１…陽極ターゲット
２２…集束電極
２３…陰極
２５…支持体
２６…凹部
２７…凸部
２８…接合部
２９…間隙
３０…孔部
３１…孔部
３２…排気通路
３４…排気管
３５…取付部
３７…高圧ケーブル
３８…端子
３９…メタライズ層
４０…支持体側接続部
４１…端子側接続部
４２…絶縁材
４４…放熱体
４５…フィン
４６…凹部
４７…凸部
５１…可撓性部品
５２…凹部
５３…凸部
５７…はんだ
６０…ベース部
６１…強制冷却システム
６２…パイプ
７０…金属筒

Claims (8)

1. Ｘ線を透過する出力窓が形成された第１の外囲部を一端側に有し、電気絶縁性を有する第２の外囲部を他端側に有する筒状の外囲器と、
   前記第１の外囲部内に設けられた陽極ターゲットと、
   前記第１の外囲部内に設けられ、前記陽極ターゲットに照射する電子を放出する陰極と、
   前記外囲器内に設けられ、一端側に前記第２の外囲部の内面と接合する接合部を有し、他端側に前記陽極ターゲットを支持する支持体と、
   前記支持体とは間隙を介して実質的に熱的に分離され、前記第２の外囲部に取り付けられる、前記支持体に電圧を供給する端子と、
   電気絶縁性を有し、前記端子を覆うモールド材と、
   前記第２の外囲部の内面に形成され、前記支持体と前記端子を電気的に接続する接続部と、
   を具備するＸ線管。
2. 前記接続部は、前記第２の外囲部の内面に形成されたメタライズ層である請求項１記載のＸ線管。
3. 前記第２の外囲部には、前記陽極ターゲットで発生され、前記支持体を介して伝達される熱を外部に放出する為の放熱部が設けられている請求項１記載のＸ線管。
4. 前記端子は、更に前記外囲器を真空封止する封止部を有する請求項１記載のＸ線管
5. 前記接合部は、前記第２の外囲部と前記支持体とが径方向及び管軸方向のいずれか一方で対向し合う位置に配置される請求項１記載のＸ線管。
6. 前記支持体は一部の表面形状が凹凸状に形成され、前記接合部は該凸状に形成された部分を含む請求項１記載のＸ線管。
7. 前記接合部と前記第２の外囲部との間に設けられる可撓性部品を更に具備する請求項１記載のＸ線管。
8. 前記第２の外囲部の外面を流体により強制的に冷却する冷却システムを更に具備する請求項１記載のＸ線管。

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