JP4431373B2 - 駆動連結機構及びその駆動連結機構を備えた真空ロボット - Google Patents

Description

本発明は、固定された位置で回転駆動される駆動回転軸の回転駆動力を移動可能な受動回転軸に伝達する駆動連結機構及びその駆動連結機構を備えた真空ロボットに関するものである。

半導体製造装置等においては、減圧又は真空下で処理を行う複数の工程があり、これらの工程のなかには、真空容器内で基板を搬送することが行われている工程がある。真空容器内で基板を搬送する装置として、例えば特許文献１に開示されている真空ロボットが知られている。

この真空ロボットは、真空容器内に搬送部が収納され、大気側の機台内に駆動部が収納されているものである。この真空ロボットでは、駆動部のモータを駆動させることによって、モータの回転駆動力を真空容器内で２つのプーリとこれらプーリに掛け渡されたベルトとによりアームやハンドに伝達させることが行われている。
特開２００２−６６９７６号公報

ところで、真空中で使用するベルトとしては、スチールベルトやディップ付スチールベルトが知られている。しかし、スチールベルトは、プーリの外周に掛け渡されてその摩擦力により駆動されるため、スリップが起こる可能性がある。また、スチールベルトは、安全率を考慮して十分な応力を有するベルトを使用しても、例えば取付精度が悪かったりすると、応力が異常に集中する箇所が生じてベルトが破損したり切断されたりすることがあり得る。また、ディップ付スチールベルトは、ピンピッチと孔ピッチとが正確に形成されていないと、その誤差をピンで修正することになりベルトを傷つけるために、ベルトの破損や切断の原因になることもあり得る。

本発明は、前述した問題を解決するためになされたものであって、その目的は、スリップや切断することがなく動力を伝達することができる駆動連結機構及びその駆動連結機構を備えた真空ロボットを提供することにある。

前記の目的を達成する駆動連結機構は、固定された位置で回転駆動される駆動回転軸の回転駆動力を、該駆動回転軸の軸と平行に延びると共に駆動回転軸に対して直交する面に沿って移動する受動回転軸に伝達する駆動連結機構であって、
前記駆動回転軸に対して直交する方向に延び、一端部が前記駆動回転軸の軸を中心に回転可能に取り付けられている第１アームと、
前記駆動回転軸に対して直交する方向に延び、一端部が前記受動回転軸の軸を中心に回転可能に取り付けられている第２アームと、
前記第１アームの他端部及び前記第２アームの他端部に回転可能に取り付けられている中間軸と、
前記駆動回転軸に対して直交する方向に延び、一端部が前記駆動回転軸の偏心位置に該駆動回転軸と直交する方向に回転可能に軸着されていると共に、他端部が前記中間軸の偏心位置に該中間軸と直交する方向に回転可能に軸着されている２つの第１リンクと、
前記駆動回転軸の軸に対して直交する方向に延び、一端部が前記中間軸の偏心位置に該中間軸と直交する方向に回転可能に軸着されていると共に、他端部が前記受動回転軸の偏心位置に該受動回転軸と直交する方向に回転可能に軸着されている２つの第２リンクと、を備え、
前記第１リンクの各両端部の間には、前記駆動回転軸の軸及び前記中間軸の軸を中心として回転する前記第１クランク及び前記第２クランクがそれぞれ配置されており、
前記第２リンクの各両端部の間には、前記中間軸の軸及び前記受動回転軸の軸を中心として回転する前記第３クランク及び前記第４クランクがそれぞれ配置されており、さらに、
前記第１アームが取り付けられた前記駆動回転軸の上部には、該駆動回転軸に取り付けられている第１回転部材と、該第１回転部材の偏心位置の第１偏心軸にはその一端部が回転可能に軸着する前記第１リンクの一方と、該第１リンクの一方に軸着した前記第１偏心軸の前記第１回転部材の反対側に回転可能に軸着する第１クランクと、該第１クランクの前記第１偏心軸と位相がずれた偏心位置の第２偏心軸にその一端部が回転可能に軸着する前記第１リンクの他方と、がその順で取り付けられており、
前記中間軸は、前記第１アームと互いに回転自在に支持された第１中間軸及び前記第２アームと互いに回転自在に支持された第２中間軸を有し、当該第１中間軸の上部には、該第１中間軸に取り付けられている第２回転部材と、該第２回転部材の偏心位置の第３偏心軸にその一端部が回転可能に軸着する前記第１リンクの一方と、該第１リンクの一方に軸着した前記第３偏心軸の前記第２回転部材の反対側に回転可能に軸着する第２クランクと、該第２クランクの前記第３偏心軸と位相がずれた偏心位置の第４偏心軸にその一端部が回転可能に軸着する前記第１リンクの他方と、該第４偏心軸の上部に回転可能に軸着する第３回転部材と、がその順で取り付けられており、かつ、当該第３回転部材上に取り付けられた前記第２中間軸の上部には、該第２中間軸に取り付けられている第４回転部材と、該第４回転部材の偏心位置の第５偏心軸にその一端部が回転可能に軸着する第２リンクの一方と、該第２リンクの一方に軸着した前記第５偏心軸の前記第４回転部材の反対側に回転可能に軸着する第３クランクと、該第３クランクの前記第５偏心軸と位相がずれた偏心位置の第６偏心軸にその一端部が回転可能に軸着する前記第２リンクの他方と、がその順で取り付けられており、
前記受動回転軸は、前記第２アームと互いに回転自在に支持されており、当該受動回転軸の上部には、該第受動回転軸に取り付けられている第６回転部材と、該第６回転部材の偏心位置の第７偏心軸にその一端部が回転可能に軸着する前記第２リンクの一方と、該第２リンクの一方に軸着した前記第７偏心軸の前記第６回転部材の反対側に回転可能に軸着する第４クランクと、該第４クランクの前記第７偏心軸と位相がずれた偏心位置の第８偏心軸にその一端部が回転可能に軸着する前記第２リンクの他方と、該第８偏心軸の上部に回転可能に軸着する第７回転部材と、がその順で取り付けられており、さらに、
固定された位置で前記駆動回転軸が回転したとき、前記第１リンク及び前記第２リンクを介して、当該駆動回転軸の軸と平行に延びると共に駆動回転軸に対して直交する面に沿って移動する前記受動回転軸が回転駆動することを特徴とする。

この発明によれば、駆動回転軸が回転されると、駆動回転軸の偏心位置に回転可能に取り付けられた第１リンクを介して中間軸が回転される。中間軸の偏心位置に回転可能に取り付けられた第２リンクを介して受動回転軸が回転されて駆動回転軸の回転駆動力が受動回転軸に伝達される。また、受動回転軸が移動すると、第１アーム及び第２アームがそれに伴って回転して中間軸が移動するが、中間軸は常に第１アーム及び第２アームに回転可能に支持されているため、受動回転軸が移動しても駆動回転軸の回転駆動力を受動回転軸に伝達することができる。従って、本発明の駆動連結機構は、ベルトを用いることがないので、切断やスリップなどなく回転駆動力の伝達を行え、信頼性が高いものである。また、バックラッシュなどなく、駆動伝達精度も高いものである。

本発明の駆動連結機構において、前記２つの第１リンクは、平行に配置されていると共に、前記各クランクに３０〜１５０°（３３０〜２１０°）の位相差で取り付けられ、前記２つの第２リンクは、平行に配置されていると共に、前記各クランクに３０〜１５０°（３３０〜２１０°）の位相差で取り付けられていること、前記２つの第１リンクは、平行に配置されていると共に、前記各クランクに９０°の位相差で取り付けられ、前記２つの第２リンクは、平行に配置されていると共に、前記各クランクに９０°の位相差を隔てると共に前記第１リンクより１８０°の位相差で取り付けられていること、が好ましい。

この発明によれば、リンクがクランクに３０〜１５０°（３３０〜２１０°）特に９０°（２７０°）の位相差で取り付けられているため、駆動回転軸の回転力を中間軸に、及び中間軸の回転力を受動回転軸に少ない駆動力で伝達することができ、効率がよい。

本発明の駆動連結機構において、前記各クランクには、当該各クランクの重心を回転する軸上に位置させるバランスウェイトが設けられていること、が好ましい。この発明によれば、バランスウェイトによりクランクの重心が回転する軸上に位置されるので、回転するときの振動の発生を抑制することができる。

本発明の駆動連結機構において、前記駆動回転軸が、前記受動回転軸が直線上を移動するとき、当該受動回転軸が移動する直線の近傍又はその直線上に配設されていること、前記中間軸が、前記第１アームの他端部及び前記第２アームの他端部にそれぞれ正面組合せ形アンギュラベアリングを介して回転可能に支持されていること、及び、前記第１アームの両端部の回転する軸間の長さと、前記第２アームの両端部の回転する軸間の長さとが異なること、が好ましい。

この発明によれば、受動回転軸が直線上を移動するときに、第１アームと第２アームとがクロスすると、第１アームと第２アームとの移動がスムーズに行われる。また、正面組合せ形アンギュラベアリングで第１アーム及び第２アームを支持することにより、第１アームと第２アームとが重なったときの精度誤差を吸収することができ、第１アームと第２アームとの移動がよりスムーズに行われる。また、第１アームの両端部の回転する軸間の長さと第２アームの両端部の回転する軸間の長さとが異なることにより、第１アームと第２アームとが重なったときに第１アームと第２アームとの移動がより一層スムーズに行われる。

また、本発明の真空ロボットは、前記の駆動連結機構を備えたことを特徴とする。この発明の真空ロボットは、前記の本発明の駆動連結機構を備えたので、信頼性が高く、かつ、駆動伝達精度も高いものである。

以上説明したように、本発明の駆動連結機構によれば、駆動回転軸が回転されると、第１リンク及び第２リンクを介して受動回転軸が回転されて駆動回転軸の回転駆動力が受動回転軸に伝達され、かつ、受動回転軸が移動しても第１アーム及び第２アームによって駆動回転軸の回転駆動力を受動回転軸に伝達することができるので、切断やスリップなどなく回転駆動力の伝達を行え、信頼性が高い。また、バックラッシュなどなく、駆動伝達精度も高い。また、本発明のロボットは、前記の本発明の駆動連結機構を備えたので、信頼性が高く、かつ、駆動伝達精度も高いものである。

以下、本発明の駆動連結機構及びその駆動連結機構を備える真空ロボットを添付図面に基づいて詳述する。

（真空ロボット）
図１、図２及び図４は本発明の真空ロボットの一例が示されている図である。図３は本発明の真空ロボットの搬送部本体の一例を示す図である。本発明の真空ロボットは、図１乃至図４に示すように、真空容器２（図８参照）内に配置される搬送部３と、真空容器２外に配置される駆動部４とから構成されている。搬送部３は、搬送部本体１１と、基板等を積載するフォーク部１２と、搬送部本体１１を直線往復移動可能に支持するガイド部１３とから構成されている。

搬送部本体１１は、真空容器２内に立設されている。搬送部本体１１は、重力方向に延びると共に、水平断面略矩形状に形成されている。搬送部本体１１内には、図３に示すように、その高さ方向（重力方向）に延びるボールネジ１５が設けられている。

ボールネジ１５の上部が上部軸受１６に回転可能に軸着されていると共に、下部が下部軸受１７に回転可能に軸着されており、ボールネジ１５が回転可能に支持されている。上部軸受１６及び下部軸受１７は、ボールネジの軸受として一般に知られているものであれば特に限定されず、例えばボールベアリング等が挙げられる。

ボールネジ１５の上部軸受１６及び下部軸受１７の間には、移動部１８が軸着されており、この移動部１８はボールネジ１５が回転駆動されるとボールネジ１５に沿って上下に移動するようになっている。移動部１８にはフォーク部１２が取り付けられている。

フォーク部１２は、図１、図２及び図４に示すように、移動部１８に取り付けられる取付体２０と、その取付体２０に取り付けられるフォーク２１とからなる。取付体２０は、水平方向に延びる細長の矩形箱状に形成されている。この取付体２０の上下には、水平方向に延びると共に所定の間隔で複数例えば上下６個合計１２個のフォーク２１が取り付けられている。

搬送部本体１１の底部は、搬送部本体１１を直線往復移動可能に支持するガイド部１３が設けられている。真空容器２の底部には、移動モータ２３が配設されており、この移動モータ２３の駆動により、搬送部本体１１がガイド部１３に案内されて移動するようになっている。ガイド部１３は、真空容器２の底部にフランジ２４を介して固定されている。ガイド部１３のほぼ中央部の近傍の真空容器２の底部には、駆動部４が設けられている。

駆動部４は、図８に示すように、駆動回転軸３１を回転駆動させる駆動モータ（図示せず）を備えている。この駆動モータは、正逆回転可能なモータであり、真空容器２の底部の外側に配設されている。駆動モータの駆動により回転駆動される駆動回転軸３１は、真空容器２の底部を貫通して真空容器２内で垂直方向に延びている。具体的には例えば、真空容器２の底部に例えば円筒状の貫通孔３３が設けられ、この貫通孔３３には、真空容器２の高さ方向に延びる壁部３４が取り付けられている。

壁部３４は、例えば、外径が貫通孔３３の径より小さな寸法の円筒状に形成されている。壁部３４の下部には駆動ボックス３５がボルト３６等の締結部材により着脱自在に取り付けられており、この駆動ボックス３５には、駆動モータ等が収納されている。

壁部３４の下方の外周が真空容器２の底部に密閉状態で取り付けられている。この壁部３４と真空容器２の底部との密閉構造は、特に限定されないが、例えば、ベローズ４１とＯリング４２、４３、４４を用いて行われている。具体的には例えば、貫通孔３３を形成する真空容器２の底部の内側には、固定体４５がボルト４６等の締結部材により取り付けられている。固定体４５は、外径が貫通孔３３の径より大きな径で、内径が貫通孔３３の径より小さな径のリング状に形成されており、貫通孔３３と略同軸上に取り付けられている。この固定体４５と真空容器２の底部との間には第１のＯリング４２が設けられてその間がシールされている。

真空容器２の外側の固定体４５には、第１取付体４７がボルト４８等の締結部材により取り付けられている。第１取付体４７は、外径が貫通孔３３の径より小さいと共に固定体４５の内径より大きな径で、内径が固定体４５の径より小さな径のリング状に形成されており、この第１取付体４７と固定体４５との間には第２のＯリング４３が設けられてその間がシールされている。第１取付体４７には、ベローズ４１の一端部が取り付けられている。

真空容器２内に位置される壁部３４の外周には、その径方向外方に延出するフランジ部４９が設けられ、このフランジ部４９の下面には、ボルト５１等の締結部材により第２取付体５０が取り付けられている。第２取付体５０は、外径が固定体４５の内径より若干小さな径のリング状に形成されており、この第２取付体５０とフランジ部４９との間には第３のＯリング４４が設けられてその間がシールされている。この第２取付体５０には、ベローズ４１の他端部が取り付けられており、第２取付体５０と第１取付体４７との間がシールされている。このベローズ４１と前記３つのＯリング４２、４３、４４によって、壁部３４と真空容器２の底部との間がシールされている。壁部３４のフランジ部４９は、そのフランジ部４９の上面が取付板５５の下面に当接した状態でボルト５２等の締結部材により取付板５５に取り付けられており、この取付板５５は、例えばガイド部１３のフランジ２４に固定されている。

壁部３４の内部には、駆動モータにより回転駆動される駆動回転軸３１が略同軸上に設けられている。駆動回転軸３１（壁部３４）は、ボールネジ１５が直線移動するほぼ中間部であってその直線に対してほぼ直交する線上に配置されており、壁部３４内に設けられた軸受５６により回転可能に支持されている。

壁部３４の上部は、取付板５５より真空容器２内に延び、この壁部３４の内部には、壁部３４と駆動回転軸３１との間をシールするシール部材５７が設けられている。シール部材５７としては、シールすることができれば特に限定されず、例えば磁気シール等が用いられる。これにより、駆動ボックス３５内と真空容器２内とがシールされている。駆動回転軸３１の上部は、外径が大きな段状のストッパ部３１ａが形成されている。この駆動回転軸３１の回転駆動力が駆動連結機構６０を介してボールネジ１５に連結されている受動回転軸６１に伝達される。ボールネジ１５の下部には、図１０に示すように、カップリング５８、５９を介して同軸上に受動回転軸６１が連結されている。

（駆動連結機構）
図５乃至図７は本発明の駆動連結機構の一例が示されている図である。本発明の駆動連結機構６０は、図５乃至図７に示すように、固定された位置で回転駆動される駆動回転軸３１の回転駆動力を、駆動回転軸３１の軸と略平行に延びると共に駆動回転軸３１に対して略直交する面例えば直線上に移動する受動回転軸６１に伝達するものである。

本発明の駆動連結機構６０は、一端部が駆動回転軸３１の軸を中心に回転可能に取り付けられている第１アーム６２と、一端部が受動回転軸６１の軸を中心に回転可能に取り付けられている第２アーム６３と、第１アーム６２の他端部及び第２アーム６３の他端部に回転可能に取り付けられている中間軸６４と、一端部が駆動回転軸３１の偏心位置に該駆動回転軸３１と略直交する方向に回転可能に軸着されていると共に、他端部が中間軸６４の偏心位置に中間軸６４と略直交する方向に回転可能に軸着されている２以上の第１リンク６５と、一端部が中間軸６４の偏心位置に該中間軸６４と略直交する方向に回転可能に軸着されていると共に、他端部が受動回転軸６１の偏心位置に受動回転軸６１と略直交する方向に回転可能に軸着されている２以上の第２リンク６６とを備えたものである。

第１アーム６２は、駆動回転軸３１に対して略直交する方向に延びており、第１アーム６２の一端部が駆動回転軸３１の軸を中心として駆動回転軸３１に対して略直交する面に沿って回転可能に取り付けられている（軸着されている）。第１アーム６２は、駆動回転軸３１の軸に対してほぼ直交する面に沿って回転するならば、その一端部の回転支持構造は特に限定されず、駆動回転軸３１に直接回転可能に取り付けてもよいが、図８に示すように、壁部３４に回転可能に取り付けてもよい。

具体的には例えば、第１アーム６２の一端部には、図８及び図１１に示すように、壁部３４の外径とほぼ同じか若干大きな寸法の内径の貫通孔６２ａが設けられており、この貫通孔６２ａに壁部３４が挿入されている。これらの互いに対向する壁部３４の外周及び貫通孔６２ａには、第１アーム６２を回転自在に支持するための軸受７０を収容する凹状の軸受収容部３７、６２ｂがそれぞれ設けられている。これらの軸受収容部３７、６２ｂを形成する側部（取付板と反対側の側部）３８、６２ｃは、ボルト３９、７１等の締結部材により壁部３４の上部又は第１アーム６２の側端部に着脱可能に取り付けられており、第１アーム６２を壁部３４に取り付けた（貫通孔６２ａに壁部３４が挿入された）状態で軸受７０を軸受収容部３７、６２ｂに装着することができるようになっている。この軸受７０としては、第１アーム６２を回転可能に支持できれば特に限定されないが、第１アーム６２を壁部３４で支持する場合には、クロスローラベアリング等が好ましく、第１アーム６２を駆動回転軸３１で支持する場合には、正面組合せ形アンギュラベアリング等が好ましい。

第２アーム６３は、駆動回転軸３１に対して略直交する方向に延びており、第２アーム６３の一端部が、図１０及び図１２に示すように、受動回転軸６１の軸を中心として受動回転軸６１に対して略直交する面に沿って回転可能に取り付けられている（軸着されている）。第２アーム６３は、受動回転軸６１の軸に対してほぼ直交する面に沿って回転するならば、その一端部の回転支持構造は特に限定されず、搬送部本体１１に回転可能に取り付けてもよいし、図示するように、受動回転軸６１（下部受動回転軸６１ａ）に直接回転可能に取り付けてもよい。

具体的には例えば、受動回転軸６１（下部受動回転軸６１ａ）の下部近傍には、外径が大きな段状のストッパ部６１ｂが形成されている。第２アーム６３の一端部には、受動回転軸６１のストッパ部６１ｂの径とほぼ同じか若干大きな寸法の内径の貫通孔６３ａが設けられており、この貫通孔６３ａに受動回転軸６１が設けられている。この貫通孔６３ａには、凹状の軸受収容部６３ｂが設けられており、この軸受収容部６３ｂに収容された軸受７２が第２アーム６３を回転自在に支持すると共に、第２アーム６３の受動回転軸６１からの抜出を防止するようになっている。軸受収容部６３ｂを形成する側部（ボールネジ側の側部）６３ｃは、第２アーム６３の側端部にネジ７３等の締結部材により着脱可能に取り付けられており、第２アーム６３が受動回転軸６１に取り付けられた（貫通孔６３ａに受動回転軸６１が挿入された）状態で軸受７２が軸受収容部６３ｂに装着できるようになっている。この軸受７２としては、第２アーム６３を回転可能に支持できれば特に限定されないが、第２アーム６３を受動回転軸６１で支持する場合には、正面組合せ形アンギュラベアリング等が好ましく、第２アーム６３を搬送部本体１１で支持する場合には、クロスローラベアリング等が好ましい。

第１アーム６２の他端部及び第２アーム６３の他端部には、図７及び図９に示すように、中間軸６４が回転可能に取り付けられている。中間軸６４は、駆動回転軸３１の軸と略平行に延びるように第１アーム６２の他端部及び第２アーム６３の他端部に互いに回転可能に支持されている。具体的には例えば、中間軸６４（第１中間軸６４ａ）の下部近傍には、外径が大きな段状のストッパ部６４ｂが形成されている。第１アーム６２の他端部には、中間軸６４のストッパ部６４ｂの径とほぼ同じか若干大きな寸法の内径の貫通孔６２ｄが設けられており、この貫通孔６２ｄに中間軸６４（第１中間軸６４ａ）が挿入されている。この貫通孔６２ｄには、凹状の軸受収容部６２ｅが設けられており、この軸受収容部６２ｅに収容された軸受７４が第１アーム６２を回転自在に支持すると共に、第１アーム６２の中間軸６４（第１中間軸６４ａ）からの抜出を防止するようになっている。軸受収容部６２ｅを形成する上方の側部６２ｆは、第１アーム６２の側端部にネジ７５等の締結部材により着脱可能に取り付けられており、第１アーム６２が中間軸６４に取り付けられた（貫通孔６２ｄに中間軸６４が挿入された）状態で軸受７４が軸受収容部６２ｅに装着できるようになっている。この軸受７４としては、第１アーム６２を回転可能に支持できれば特に限定されないが、正面組合せ形アンギュラベアリング等が好ましい。

また、中間軸６４（第２中間軸６４ｃ）の中央部よりやや上方には、外径が大きな段状のストッパ部６４ｄが形成されている。第２アーム６３の他端部には、中間軸６４のストッパ部６４ｄの径とほぼ同じか若干大きな寸法の内径の貫通孔６３ｄが設けられており、この貫通孔６３ｄに中間軸６４が挿入されている。この貫通孔６３ｄには、凹状の軸受収容部６３ｅが設けられており、この軸受収容部６３ｅに収容された軸受７６が第２アーム６３を回転自在に支持すると共に、第２アーム６３の中間軸６４からの抜出を防止するようになっている。軸受収容部６３ｅを形成する上方の側部６４ｆは、第２アーム６３の側端部にネジ７７等の締結部材により着脱可能に取り付けられており、第２アーム６３が中間軸６４に取り付けられた（貫通孔６３ｄに中間軸６４が挿入された）状態で軸受７６が軸受収容部６３ｅに装着できるようになっている。この軸受７６としては、第２アーム６３を回転可能に支持できれば特に限定されないが、正面組合せ形アンギュラベアリング等が好ましい。これにより、第１アーム６２と第２アーム６３とがほぼ中間軸６４の軸を軸心としてそれぞれ個別に回転するようになっており、受動回転軸６１が直線移動しても第１アーム６２及び第２アーム６３がそれぞれの両端部で回転して常に駆動回転軸３１と受動回転軸６１とが第１アーム６２及び第２アーム６３を介して連結されている。

第１アーム６２の長さ（第１アーム６２の両端部の回転する軸間の長さ）及び第２アーム６３の長さ（第２アーム６３の両端部の回転する軸間の長さ）は、特に限定されないが、受動回転軸６１が直線移動する最大の長さの１／４以上の寸法に形成されている。第１アーム６２の長さ及び第２アーム６３の長さは、駆動回転軸３１の位置に応じて任意に決められる。駆動回転軸３１の配置位置は、受動回転軸６１が直線上を移動するとき、第１アーム６２と第２アーム６３とがクロスするような位置であることが好ましく、例えば、図１８及び図１９に示すように、受動回転軸６１が移動する直線の近傍又はその直線上に配設されていることが好ましい。これは、受動回転軸６１が直線上を移動するときに、第１アーム６２と第２アーム６３とがクロスすると、第１アーム６２と第２アーム６３との移動がスムーズに行われる理由からである。なお、図２０に示すように、受動回転軸６１が移動しても２つのアームが重ならないように駆動回転軸３１が配置されていてもよい。

また、第１アーム６２の長さ及び第２アーム６３の長さは同じでもよいが、異なる方が好ましい。これは、２つのアームの長さが同じである場合には、第１アーム６２と第２アーム６３とが重なったときの精度誤差を吸収することが難しいが、このとき、正面組合せ形アンギュラベアリングで第１アーム６２及び第２アーム６３を支持することにより、第１アーム６２と第２アーム６３とが重なったときの精度誤差を吸収することができ、第１アーム６２と第２アーム６３との移動がよりスムーズに行われる。また、第１アーム６２の両端部の回転する軸間の長さと第２アーム６３の両端部の回転する軸間の長さとが異なることにより、第１アーム６２と第２アーム６３とが重なったときに第１アーム６２と第２アーム６３との移動がより一層スムーズに行われる。

第１リンク６５は、駆動回転軸３１の回転駆動力を中間軸６４に伝達するものであり、一端部が駆動回転軸３１の偏心位置に軸着されていると共に、他端部が中間軸６４の偏心位置に軸着されている。第１リンク６５の数は、特に限定されないが、２以上、例えば図５乃至図９に示す態様においては２である。２つのリンク（第１ａリンク６５ａ及び第１ｂリンク６５ｂ）は同一のものが用いられている。第１リンク６５（第１ａリンク６５ａ及び第１ｂリンク６５ｂ）は、駆動回転軸３１に対して略直交する方向に延びており、第１リンク６５（第１ａリンク６５ａ及び第１ｂリンク６５ｂ）の一端部が駆動回転軸３１に対して略直交する面に沿って回転可能に駆動回転軸３１の偏心位置に取り付けられている（軸着されている）。

具体的には例えば、駆動回転軸３１の上部に、第１回転部材８１、第１リンクの一方のリンク（第１ａリンク６５ａ）（第１偏心軸８４）、第１クランク８２及び第１リンクの残りのリンク（第１ｂリンク６５ｂ）（第２偏心軸８７）が順次取り付けられている。

第１回転部材８１は、図１６に示すように、細長の板状に形成されており、その一方の面の長手方向の略中央部には、図８及び図１６に示すように、駆動回転軸３１の上部が嵌合される軸嵌合凹部８１ａが設けられている。すなわち、駆動回転軸３１の上部は、壁部３４から突出しており、この突出した駆動回転軸３１の上部に第１回転部材８１が取り付けられている。

軸嵌合凹部８１ａ内には、その周方向に所定の間隔で８つの貫通孔が設けられている。これらの貫通孔のうち第１回転部材の中央線（長手方向に延びる中央線）上の２つの貫通孔は、第１回転部材を駆動回転軸３１に取り付けるときの位置きめ孔８１ｂである。残りの６つの貫通孔は、ボルト８３等の締結部材により第１回転部材を駆動回転軸３１に取り付けるためのネジ溝が設けられた装着孔８１ｃであり、これらの装着孔８１ｃには、ボルト８３等の頭部が収容されるように段状に拡径された拡径部８１ｄが設けられている。

第１回転部材８１の一方の端部側には、軸嵌合凹部８１ａ内の８つの貫通孔と略同じように配置された８つの貫通孔が設けられている。これらの貫通孔のうち第１回転部材８１の中央線（長手方向に延びる中央線）上の２つの貫通孔は、第１偏心軸８４を取り付けるときの位置きめ孔８１ｅである。残りの６つの貫通孔は、ボルト８６等の締結部材により第１偏心軸８４を取り付けるためのネジ溝が設けられた装着孔８１ｆであり、これらの装着孔８１ｆには、ボルト等の頭部が収容されるように段状に拡径された拡径部８１ｇが設けられている。この第１回転部材８１の一方の端部側に第１偏心軸８４が取り付けられている。

第１偏心軸８４には、第１ａリンク６５ａの一端部が回転可能に取り付けられている。すなわち、第１ａリンク６５ａの一端部には、図８及び図１３に示すように、貫通孔６５ａａが設けられており、この貫通孔６５ａａに第１偏心軸８４が挿入された状態で第１ａリンク６５ａの一端部が第１偏心軸８４に取り付けられている（軸着されている）。この第１ａリンク６５ａの貫通孔６５ａａと第１偏心軸８４との間には、第１ａリンク６５ａを回転可能に支持する軸受８５が設けられており、この軸受８５としては第１ａリンク６５ａを回転可能に支持するものであれば特に限定されない。これにより、第１ａリンク６５ａの一端部が駆動回転軸３１の偏心位置に取り付けられていることになる。なお、図８において、第１偏心軸８４及び第１ａリンク６５ａ等は通常図示されない位置にあるが、対応関係を分かり易くするために図面上に記載してある。

第１偏心軸８４の第１回転部材８１と反対側には、第１クランク８２が取り付けられている。第１クランク８２は、図１４に示すように、四つの角部がＲに形成された略正方形の板状に形成されており、中央部には中心を軸とする円形状の孔８２ａが設けられている。第１クランク８２の四隅の１つには、第１回転部材８１（の一方の端部側）の８つの貫通孔と略同じように配置された８つの貫通孔が設けられている。これらの貫通孔のうち２つの貫通孔は、第１偏心軸８４を取り付けるときの位置きめ孔８２ｂであり、第１クランク８２を第１偏心軸８４に取り付けたとき、第１クランク８２の中心が駆動回転軸３１の軸上に位置されるようにするためのものである。残りの６つの貫通孔は、ボルト８６等の締結部材により第１偏心軸８４に取り付けるための孔８２ｃであり、これらの孔８２ｃには、ボルト８６等の頭部が収容されるように段状に拡径された拡径部８２ｄが設けられている。

第１偏心軸８４が取り付けられた箇所に隣接する一方の第１クランク８２の隅には、第１偏心軸８４が取り付けられた面と反対側の面に第２偏心軸８７を取り付けるための８つの貫通孔が設けられている。これらの貫通孔のうち２つの貫通孔は、第２偏心軸８７を取り付けるときの位置きめ孔８２ｅである。残りの６つの貫通孔は、ボルト８８等の締結部材により第２偏心軸８７に取り付けるための孔８２ｆであり、これらの孔８２ｆには、ボルト８８等の頭部が収容されるように段状に拡径された拡径部８２ｇが設けられている。すなわち、駆動回転軸３１の上部に取り付けられた第１回転部材８１、第１偏心軸８４、第１クランク８２及び第２偏心軸８７が、駆動回転軸３１と共に一体的に回転駆動されるようになっている。

また、第１クランク８２には、当該クランク８２の重心を駆動回転軸３１上に位置させるバランスウェイト８２ｈが設けられていることが好ましい。バランスウェイト８２ｈは、第１クランク８２の重心を駆動回転軸３１上に位置させることができれば特に限定されず、第１クランク８２に一体的に設けてもよいし、個別に設けてもよい。

第２偏心軸８７には、図８に示すように、第１ｂリンク６５ｂの一端部が回転可能に取り付けられている（軸着されている）。すなわち、第１ｂリンク６５ｂの一端部には、貫通孔６５ｂａが設けられており、この貫通孔６５ｂａに第２偏心軸８７が挿入された状態で第１ｂリンク６５ｂの一端部が第２偏心軸８７に取り付けられている。この第１ａリンク６５ａの貫通孔６５ｂａと第１偏心軸８７との間には、第１ｂリンク６５ｂを回転可能に支持する軸受８９が設けられており、この軸受８９としては第１ｂリンク６５ｂを回転可能に支持するものであれば特に限定されない。これにより、第１ｂリンク６５ｂの一端部が駆動回転軸３１の偏心位置であって第１ａリンク６５ａと略９０°（略２７０°）位相がずれた位置に取り付けられている。２つの第１リンク６５ａ、６５ｂは、第１クランク８２への取付位置に関しては特に限定されないが、好ましくは、略３０〜１５０°（略３３０〜２１０°）の位相差で取り付けられていることがよく、特に好ましくは略９０°（略２７０°）の位相差で取り付けられていることが好ましい。

なお、図示例の態様においては、第１リンクとして２つのリンクを用いたが、３つ以上のリンクを用いてもよく、この場合、第１ａリンクの上にクランクを介して第１ｂリンクを取り付けた場合と略同様に３つ目以上のリンクを取り付けることができる。また、３つ以上のリンクを用いる場合には、これらのリンクは、位相差が等間隔になるように取り付けることが好ましい。例えば、３つのリンクを用いる場合には、１２０°の位相差で取り付けることが好ましい。

第１ａリンク６５ａの他端部及び第１ｂリンク６５ｂの他端部は、図７及び図９に示すように、第１アーム６２と第２アーム６３との間の中間軸６４の偏心位置に取り付けられている。第１ａリンク６５ａの他端部及び第１ｂリンク６５ｂの他端部の中間軸６４への取付は、駆動回転軸３１への取付と略同様に行われている。すなわち、第１アーム６２と互いに回転自在に支持されている第１中間軸６４ａの上部に、第２回転部材９０、第１ａリンク６５ａ（第３偏心軸９１）、第２クランク９２、第１ｂリンク６５ｂ（第４偏心軸９３）及び第３回転部材９４が順次取り付けられており、この第３回転部材が第２アーム６３と互いに回転自在に支持されている第２中間軸６４ｃの下部に取り付けられている。すなわち、第２回転部材９０、第３偏心軸９１、第２クランク９２、第４偏心軸９３及び第３回転部材９４が中間軸６４の一部を構成していることになる。

第２回転部材９０は、前記の第１回転部材８１と同一のものが用いられる。この第２回転部材９０の軸嵌合凹部９０ａ内に第１中間軸６４ａの上部が嵌合されてボルト９６等の締結部材により第２回転部材９０が第１中間軸６４ａに取り付けられている。第２回転部材９０の一方の端部側には、ボルト等の締結部材により第３偏心軸９１が取り付けられている。この第３偏心軸９１には、第１ａリンク６５ａの他端部が軸受９７を介して回転可能に軸着されており、第１ａリンク６５ａの他端部が中間軸６４ａの偏心位置に取り付けられている。

第３偏心軸９１の第２回転部材９０との反対側には、中心が中間軸６４の軸上になるように第２クランク９２が取り付けられている。第２クランク９２は、第１クランク８２と同一のものが用いられる。第２クランク９２には、第３偏心軸９１と略９０°（略２７０°）の位相差で第４偏心軸９３が取り付けられており、第４偏心軸９３には、第１ａリンク６５ａと略平行に配置されるように第１ｂリンク６５ｂの他端部が軸受９８を介して回転可能に取り付けられている（軸着されている）。

第４偏心軸９３の上部には、第３回転部材９４が取り付けられている。第３回転部材９４は、第１回転部材８１と形状はほぼ同じに形成されているが、異なる点は、８つの貫通孔のうちの第３回転部材９４の長手方向に延びる２つの側部の近傍の２つの貫通孔が位置きめ孔９４ａ、９４ｂとして形成されている点である。この第３回転部材９４の一方の端部側に第３偏心軸９３の上部がボルト９９等の締結部材により取り付けられており、第２回転部材９０と第３回転部材９４とは互いに略直交するように取り付けられている。第３偏心軸９３が取り付けられた面とは反対側の第３回転部材９４の中央部には、第２回転軸６４ｃの下部がボルト１００等の締結部材により取り付けられている。こうして、中間軸６４の間（第１中間軸６４ａと第２中間軸６４ｃとの間）には、第２回転部材９０、第３偏心軸９１、第２クランク９２、第４偏心軸９３及び第３回転部材９４が設けられており、駆動回転軸３１が回転駆動されると、第１ａリンク６５ａ及び第１ｂリンク６５ｂによって中間軸６４が回転駆動されるように構成されている。

第２リンク６６は、図５乃至図７、図９に示すように、中間軸６４の回転駆動力を受動回転軸６１に伝達するものであり、一端部が中間軸６４の偏心位置に軸着されていると共に、他端部が受動回転軸６１の偏心位置に軸着されている。第２リンク６６の数は、特に限定されないが、第１リンク６５の数と同じであることが好ましく、例えば２等である。

第２リンク６６の中間軸６４及び受動回転軸６１への取付構造は、第１リンク６５の取付構造と略同じように構成されている。すなわち、第２リンク６６は、第２ａリンク６６ａと第２ｂリンク６６ｂの２つから構成されており、第２ａリンク６６ａ及び第２ｂリンク６６ｂは、同一のものが用いられている。第２ａリンク６６ａ及び第２ｂリンク６６ｂは、第１リンク６５とその長手方向の長さが異なるだけでその他の形状は同じに形成されている。また、第２中間軸６４ｃの上部には、第４回転部材１０１、第５偏心軸１０２（第２ａリンク６６ａ）、第３クランク１０３及び第６偏心軸１０４（第２ｂリンク６６ｂ）が順次取り付けられており、これら第４回転部材１０１、第５偏心軸１０２、第３クランク１０３及び第６偏心軸１０４が中間軸６４の一部を構成していることになる。これら第４回転部材１０１、第５偏心軸１０２、第３クランク１０３及び第６偏心軸１０４は、それぞれ第１回転部材８１、第１偏心軸８４、第１クランク８２及び第２偏心軸８７と同じものが用いられている。なお、図９において、第３偏心軸９１、第１ａリンク６５ａ、第５偏心軸１０２及び第２ａリンク６６ａ等は通常図示されない位置にあるが、対応関係を分かり易くするために図面上に記載してある。

第４回転部材１０１の軸嵌合凹部１０１ａ内に第２中間軸６４ｃの上部が嵌合されてボルト１０６等の締結部材により第４回転部材１０１が第２中間軸６４ｃに取り付けられている。このとき、第４回転部材１０１は、第２回転部材９１とは第２ａリンク６６ａの取付位置が中間軸６４の軸を中心に対向した位置（略１８０°ずれた位置）になるように第２中間軸６４ｃに取り付けられている。この第４回転部材１０１の一方の端部側には、ボルト等の締結部材により第５偏心軸１０２が取り付けられている。この第５偏心軸１０２には、第２ａリンク６６ａの一端部が軸受１０７を介して回転可能に軸着されており、第２ａリンク６６ａの一端部が中間軸６４の偏心位置に取り付けられている。

第５偏心軸１０２の第４回転部材１０１と反対側には、中心が中間軸６４の軸上になるように第３クランク１０３が取り付けられている。第３クランク１０３は、第５偏心軸１０２と略９０°（略２７０°）の位相差で第６偏心軸１０４が取り付けられており、中間軸６４と共に第４回転部材１０１、第５偏心軸１０２、第３クランク１０３及び第６偏心軸１０４が回転するようになっている。第６偏心軸１０４には、第２ｂリンク６６ｂの一端部が軸受１０８を介して回転可能に軸着されており、２つの第２リンク６６ａ、６６ｂは、第１リンク６５ａ、６５ｂより略１８０°の位相差で、つまり、４つのリンク６６ａ、６６ｂ、６５ａ、６５ｂは、略９０°の位相差で配置されている。

第２ａリンク６６ａの他端部及び第２ｂリンク６６ｂの他端部は、図５乃至図７、図１０に示すように、それぞれ受動回転軸６１の偏心位置に取り付けられている。第２ａリンク６６ａの他端部及び第２ｂリンク６６ｂの他端部の受動回転軸６１への取付は、第１ａリンク６５ａの他端部及び第１ｂリンク６５ｂの他端部の中間軸６４への取付と略同様に行われている。すなわち、第２アーム６３と互いに回転自在に支持されている下部受動回転軸６１ａの上部には、第６回転部材１１１、第７偏心軸１１２（第２ａリンク６６ａ）、第４クランク１１３、第８偏心軸１１４（第２ｂリンク６６ｂ）及び第７回転部材１１５が順次取り付けられている。これら第６回転部材１１１、第７偏心軸１１２、第４クランク１１３、第８偏心軸１１４及び第７回転部材１１５が受動回転軸６１の一部を構成していることになる。これら第６回転部材１１１、第７偏心軸１１２、第４クランク１１３及び第８偏心軸１１４は、第２回転部材９０、第３偏心軸９１、第２クランク９２及び第４偏心軸９３と同じものが用いられており、第７回転部材１１５は、形状だけが異なるだけで機能は第３回転部材９４と略同じものが用いられている。なお、図１０において、第７偏心軸１１２及び第２ａリンク６６ａ等は通常図示されない位置にあるが、対応関係を分かり易くするために図面上に記載してある。

第６回転部材１１１の軸嵌合凹部１１１ａ内に下部受動回転軸６１ａの上部が嵌合されてボルト１２０等の締結部材により第６回転部材１１１が下部受動回転軸６１ａに取り付けられている。この第６回転部材１１１の一方の端部側には、ボルト等の締結部材により第７偏心軸１１２が取り付けられている。この第７偏心軸１１２には、第２ａリンク６６ａの他端部が軸受１２１を介して回転可能に軸着されており、第２ａリンク６６ａの他端部が受動回転軸６１の偏心位置に取り付けられている。

第７偏心軸１１２の第６回転部材１１１と反対側には、中心が受動回転軸６１の軸上になるように第４クランク１１３が取り付けられている。第４クランク１１３には、第７偏心軸１１２と略９０°（略２７０°）の位相差で第８偏心１１４軸が取り付けられており、この第８偏心軸１１４には、第２ｂリンク６６ｂの他端部が軸受１２２を介して回転可能に軸着されている。

第８偏心軸１１４の上部には、第７回転部材１１５がボルト１２３等の締結部材により取り付けられている。第７回転部材１１５は、図１７に示すように、第３回転部材９４と形状だけが異なるだけで機能は第３回転部材９４と略同じものである。第７回転部材１１５の一方の端部側には、第３回転部材９４と略同様に８つの貫通孔が設けれているが、第７回転部材１１５の中央部には、ボールネジ１５の同軸上にカップリング５８、５９により接続するための上部受動回転軸６１ｃに取り付ける貫通孔１１５ａが所定の間隔で８つ設けられている。この第７回転部材１１５が上部受動回転軸６１ｃを介してボールネジ１５に連結されることにより、受動回転軸６１が回転されるとボールネジ１５が回転されるようになっている。

次に本発明の駆動連結機構の作用を説明する。駆動モータが駆動されて駆動回転軸３１が回転すると、この駆動回転軸３１に取り付けられている第１回転部材８１、第１偏心軸８４、第１クランク８２及び第２偏心軸８７が回転する。第１偏心軸８４及び第２偏心軸８７は偏心回転し、これらの第１偏心軸８４及び第２偏心軸８７に取り付けられている第１ａリンク６５ａ及び第１ｂリンク６５ｂを介して中間軸６４が回転する。中間軸６４が回転すると、この中間軸６４（第２回転軸）に取り付けられている第４回転部材１０１、第５偏心軸１０２、第３クランク１０３及び第６偏心軸１０４が回転する。第５偏心軸１０２及び第６偏心軸１０４は偏心回転し、これらの第５偏心軸１０２及び第６偏心軸１０４に取り付けられている第２ａリンク６６ａ及び第２ｂリンク６６ｂを介して受動回転軸６１が回転され、ボールネジ１５が回転駆動されてフォーク部１２が上下いずれかの方向に移動する。これにより、フォーク部１２によって基板等の積み下ろしが行える。

第１リンク６５及び第２リンク６６は、それぞれ２つのリンクからなり、これらリンク６５ａ、６５ｂ、６６ａ、６６ｂが略９０°（略２７０°）の位相差で取り付けられているため、駆動回転軸３１の回転力を中間軸６４に、及び中間軸６４の回転力を受動回転軸６１にそれぞれ少ない駆動力で伝達することができ、効率がよい。

また、第１クランク８２、第２クランク９２、第３クランク１０３及び第４クランク１１３には、バランスウェイト８２ｈが設けられていることにより、クランク８２、９２、１０３、１１３の重心が回転する軸上に位置されるので、回転するときの振動の発生を抑制することができる。また、中間軸６４では、４つのリンクを９０°位相をずらして取り付けることにより、特に中間軸６４での振動の発生をより一層抑制することができる。これにより、高速回転にも対応可能である。

また、移動モータ２３の駆動により、搬送部本体１１がガイド部１３に沿って直線移動したとき、第１アーム６２の一端部が壁部３４に回転可能に支持されていると共に他端部が中間軸６４に回転可能に支持され、かつ、第２アーム６３の一端部が中間軸６４に回転可能に支持されていると共に他端部が受動回転軸６１に回転可能に支持されているので、第１アーム６２及び第２アーム６３がそれに伴って回転して中間軸６４が移動する。中間軸６４は移動しても常に第１アーム６２及び第２アーム６３に回転可能に支持されているため、駆動回転軸３１の回転駆動力を受動回転軸６１に伝達することができる。すなわち、中間軸６４が第１アーム６２及び第２アーム６３によって回転可能に支持されていないと、中間軸６４が回転せずに回転動力を伝達することができないからである。

従って、本発明の駆動連結機構６０は、ベルトを用いることなく回転駆動力の伝達を行えるので、切断やスリップなどなく信頼性が高いものである。また、バックラッシュなどなく、駆動伝達精度も高いものである。また、平面上の任意な箇所に駆動力を出力することができるので、汎用性がよい。

また、本発明の駆動連結機構６０は、アーム６２、６３やリンク６５、６６等を用いているため、ベルト例えばスチールベルトに比べて剛性も高いので、制御性も高くなり、かつ、遠い距離に動力を伝達することが可能となる。また、ベルトに比べて滑りがほとんどないことから、発塵がほとんどなくクリーンな環境を維持できる。また、アーム６２、６３やリンク６５、６６等の部材自体が屈曲したりして変形することがないので、高寿命で耐久性に優れたものである。

なお、本発明の形態では、第１アームと第２アームとの２つのアーム、及び第１リンクと第２リンクとの２種のリンクを用いて回転動力を伝達したが、さらに第３のアームや第３のリンクを用いて回転動力を伝達してもよいし、さらに第４、第５のアーム等を用いて回転動力を伝達してもよい。

本発明の真空ロボットの一例を示す側面図である。 本発明の真空ロボットの一例を示す平面図である。 本発明の真空ロボットの搬送部本体の一例を示す一部概略断面図である。 本発明の真空ロボットの一例を示す斜視図である。 本発明の駆動連結機構の一例を示す斜視図である。 本発明の駆動連結機構の一例を示す平面図である。 本発明の駆動連結機構の一例を示す構成図である。 図７中のＡで示す部分の拡大断面図である。 図７中のＢで示す部分の拡大断面図である。 図７中のＣで示す部分の拡大断面図である。 本発明の第１アームの一例を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。 本発明の第２アームの一例を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。 本発明のリンクの一例を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。 本発明のクランクの一例を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。 本発明の第１回転部材の一例を示す図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）中のＤ−Ｄ線矢視図、（ｃ）は（ａ）中のＥ−Ｅ線矢視図である。 本発明の第２回転部材の一例を示す図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）中のＦ−Ｆ線矢視図、（ｃ）は（ａ）中のＧ−Ｇ線矢視図である。 本発明の第３回転部材の一例を示す図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図である。 駆動回転軸が直線移動したときの第１アームと第２アームとの軌跡を示す図である。 駆動回転軸が直線移動したときの第１アームと第２アームとの軌跡を示す図である。 駆動回転軸が直線移動したときの第１アームと第２アームとの軌跡を示す図である。

符号の説明

１ 真空ロボット
３１ 駆動回転軸
６１ 受動回転軸
６２ 第１アーム
６３ 第２アーム
６４ 中間軸
６５ 第１リンク
６６ 第２リンク
８２ 第１クランク
９２ 第２クランク
１０３ 第３クランク
１１３ 第４クランク

Claims (8)

1. 固定された位置で回転駆動される駆動回転軸の回転駆動力を、該駆動回転軸の軸と平行に延びると共に駆動回転軸に対して直交する面に沿って移動する受動回転軸に伝達する駆動連結機構であって、
   前記駆動回転軸に対して直交する方向に延び、一端部が前記駆動回転軸の軸を中心に回転可能に取り付けられている第１アームと、
   前記駆動回転軸に対して直交する方向に延び、一端部が前記受動回転軸の軸を中心に回転可能に取り付けられている第２アームと、
   前記第１アームの他端部及び前記第２アームの他端部に回転可能に取り付けられている中間軸と、
   前記駆動回転軸に対して直交する方向に延び、一端部が前記駆動回転軸の偏心位置に該駆動回転軸と直交する方向に回転可能に軸着されていると共に、他端部が前記中間軸の偏心位置に該中間軸と直交する方向に回転可能に軸着されている２つの第１リンクと、
   前記駆動回転軸の軸に対して直交する方向に延び、一端部が前記中間軸の偏心位置に該中間軸と直交する方向に回転可能に軸着されていると共に、他端部が前記受動回転軸の偏心位置に該受動回転軸と直交する方向に回転可能に軸着されている２つの第２リンクと、を備え、
   前記第１リンクの各両端部の間には、前記駆動回転軸の軸及び前記中間軸の軸を中心として回転する前記第１クランク及び前記第２クランクがそれぞれ配置されており、
   前記第２リンクの各両端部の間には、前記中間軸の軸及び前記受動回転軸の軸を中心として回転する前記第３クランク及び前記第４クランクがそれぞれ配置されており、さらに、
   前記第１アームが取り付けられた前記駆動回転軸の上部には、該駆動回転軸に取り付けられている第１回転部材と、該第１回転部材の偏心位置の第１偏心軸にはその一端部が回転可能に軸着する前記第１リンクの一方と、該第１リンクの一方に軸着した前記第１偏心軸の前記第１回転部材の反対側に回転可能に軸着する第１クランクと、該第１クランクの前記第１偏心軸と位相がずれた偏心位置の第２偏心軸にその一端部が回転可能に軸着する前記第１リンクの他方と、がその順で取り付けられており、
   前記中間軸は、前記第１アームと互いに回転自在に支持された第１中間軸及び前記第２アームと互いに回転自在に支持された第２中間軸を有し、当該第１中間軸の上部には、該第１中間軸に取り付けられている第２回転部材と、該第２回転部材の偏心位置の第３偏心軸にその一端部が回転可能に軸着する前記第１リンクの一方と、該第１リンクの一方に軸着した前記第３偏心軸の前記第２回転部材の反対側に回転可能に軸着する第２クランクと、該第２クランクの前記第３偏心軸と位相がずれた偏心位置の第４偏心軸にその一端部が回転可能に軸着する前記第１リンクの他方と、該第４偏心軸の上部に回転可能に軸着する第３回転部材と、がその順で取り付けられており、かつ、当該第３回転部材上に取り付けられた前記第２中間軸の上部には、該第２中間軸に取り付けられている第４回転部材と、該第４回転部材の偏心位置の第５偏心軸にその一端部が回転可能に軸着する第２リンクの一方と、該第２リンクの一方に軸着した前記第５偏心軸の前記第４回転部材の反対側に回転可能に軸着する第３クランクと、該第３クランクの前記第５偏心軸と位相がずれた偏心位置の第６偏心軸にその一端部が回転可能に軸着する前記第２リンクの他方と、がその順で取り付けられており、
   前記受動回転軸は、前記第２アームと互いに回転自在に支持されており、当該受動回転軸の上部には、該第受動回転軸に取り付けられている第６回転部材と、該第６回転部材の偏心位置の第７偏心軸にその一端部が回転可能に軸着する前記第２リンクの一方と、該第２リンクの一方に軸着した前記第７偏心軸の前記第６回転部材の反対側に回転可能に軸着する第４クランクと、該第４クランクの前記第７偏心軸と位相がずれた偏心位置の第８偏心軸にその一端部が回転可能に軸着する前記第２リンクの他方と、該第８偏心軸の上部に回転可能に軸着する第７回転部材と、がその順で取り付けられており、さらに、
   固定された位置で前記駆動回転軸が回転したとき、前記第１リンク及び前記第２リンクを介して、当該駆動回転軸の軸と平行に延びると共に駆動回転軸に対して直交する面に沿って移動する前記受動回転軸が回転駆動することを特徴とする駆動連結機構。
2. 前記２つの第１リンクは、平行に配置されていると共に、前記各クランクに３０〜１５０°の位相差で取り付けられ、前記２つの第２リンクは、平行に配置されていると共に、前記各クランクに３０〜１５０°の位相差で取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の駆動連結機構。
3. 前記２つの第１リンクは、平行に配置されていると共に、前記各クランクに９０°の位相差で取り付けられ、前記２つの第２リンクは、平行に配置されていると共に、前記各クランクに９０°の位相差を隔てると共に前記第１リンクより１８０°の位相差で取り付けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の駆動連結機構。
4. 前記各クランクには、当該各クランクの重心を回転する軸上に位置させるバランスウェイトが設けられていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の駆動連結機構。
5. 前記駆動回転軸が、前記受動回転軸が直線上を移動するとき、当該受動回転軸が移動する直線の近傍又はその直線上に配設されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の駆動連結機構。
6. 前記中間軸が、前記第１アームの他端部及び前記第２アームの他端部にそれぞれ正面組合せ形アンギュラベアリングを介して回転可能に支持されていることを特徴とする請求項５に記載の駆動連結機構。
7. 前記第１アームの両端部の回転する軸間の長さと、前記第２アームの両端部の回転する軸間の長さとが異なることを特徴とする請求項５又は６に記載の駆動連結機構。
8. 前記請求項１乃至７のいずれか１項に記載の駆動連結機構を備えたことを特徴とする真空ロボット。
   

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