CN101262985B - 输送机构、输送装置及真空处理装置 - Google Patents

输送机构、输送装置及真空处理装置 Download PDF

Info

Publication number
CN101262985B
CN101262985B CN2006800338897A CN200680033889A CN101262985B CN 101262985 B CN101262985 B CN 101262985B CN 2006800338897 A CN2006800338897 A CN 2006800338897A CN 200680033889 A CN200680033889 A CN 200680033889A CN 101262985 B CN101262985 B CN 101262985B
Authority
CN
China
Prior art keywords
connecting rod
aforementioned
linkage
fulcrum
conveying
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN2006800338897A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101262985A (zh
Inventor
南展史
藤村和广
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ulvac Inc
Original Assignee
Ulvac Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ulvac Inc filed Critical Ulvac Inc
Publication of CN101262985A publication Critical patent/CN101262985A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101262985B publication Critical patent/CN101262985B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/106—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
    • B25J9/1065—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041—Cylindrical coordinate type
    • B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
    • B25J11/0095—Manipulators transporting wafers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J18/00—Arms
    • B25J18/02—Arms extensible
    • B25J18/04—Arms extensible rotatable
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/13—Handlers utilizing parallel links
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/139—Associated with semiconductor wafer handling including wafer charging or discharging means for vacuum chamber

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Transmission Devices (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

提供一种可防止由粉尘引起输送对象物的污染、能将输送对象物输送到正确的位置的输送装置。本发明由第一及第二平行四边形联动装置(13、14)构成。第二平行四边形联动装置(14)利用第一平行四边形联动装置(13)的连杆(10)而构成，4条边的长度相等，并沿着线性导向件(12a)直线地伸缩。在第一及第二平行四边形联动装置(13、14)的共有的连杆(10)的两端的支点(7c、9c)处，第一平行四边形联动装置(13)的连杆(7a、9a)和第二平行四边形联动装置(14)的连杆(7b、9b)分别在被约束为90°的状态下旋转。在第一平行四边形联动装置(13)的与连杆(10)对置的连杆(8b)的端部的支点(2)处设置有臂(8a)，所述臂(8a)构成为在相对连杆(8b)被约束为90°的状态下旋转。

Description

输送机构、输送装置及真空处理装置
技术领域
本发明涉及例如对半导体晶片等被加工基板进行输送的输送装置，尤其涉及一种在具有对被加工基板进行各种加工处理的一个或多个处理室(process chamber)的基板处理装置中，适合进行被加工基板的送入取出的输送装置。 
背景技术
以往，在半导体制造装置等基板处理装置中，提出了一种用于对进行各种加工处理的处理室送入取出基板的输送装置。 
作为这种输送装置，以往例如公知有特许第2531261号公报所公开的装置。 
图33是表示现有的输送装置的概略构成的俯视图。 
如图33所示，在该输送装置50中，以共有连杆51的形态连结第一、第二平行连杆机构50A、50B。 
第一平行连杆机构50A由连杆51、52、53、54构成，第二平行连杆机构由连杆51、55、56、57构成。 
其中，连杆51、52、55的有效长度相同，连杆53、54、56、57的有效长度也相同。 
各连杆53、54、56、57的两侧端部以能够旋转的状态而连结。而且，在连杆53的连杆51侧的一端固定有齿轮63，在连杆57的连杆51侧的一端固定有齿轮64，齿轮63和齿轮64直径相同且相互啮合。 
在具有这种构成的现有输送装置50中，当使固定于连杆53的马达61的驱动轴62旋转时，连杆53将旋转，齿轮63将与该连杆53一同旋转。 
该情况下，由于连杆51和连杆52基于第一平行连杆机构50A而保持平行状态，所以，齿轮63相对连杆51以与驱动轴62相同大小的角速度旋转。并且，当齿轮63旋转时，与之啮合的齿轮64将以大小相同、方向相反的角速度旋转，所以，属于第二平行连杆机构50B的连杆57也一同旋转。结果，被固定在属于第二平行连杆机构50B的连杆55上的输 送台58将进行往复直进运动。 
然而，在这种现有技术中，由于固定在连杆53的连杆51侧的一端的齿轮63、和固定在连杆57的连杆51侧的一端的齿轮64构成为相互啮合，所以，齿轮63与齿轮64的啮合部分会相互摩擦，由此会产生金属等的粉尘。并且，该粉尘会污染输送台58上载置的半导体晶片等输送对象物(未图示)。 
另外，在现有技术中，齿轮63与齿轮64的啮合部分相互摩擦，会引起齿的部分磨损，导致啮合部分的间隙(齿隙)增大，结果，第一平行连杆机构50A的动力不能准确地传递到第二平行连杆机构50B，使得输送对象物无法被输送到正确的位置。 
专利文献1：特许第2531261号公报 
发明内容
本发明为了解决上述现有技术的课题而提出，其目的在于，提供一种不产生金属等的粉尘，由此可防止输送台上所支承的半导体晶片等输送对象物的污染的输送装置。 
而且，本发明的其他目的在于，提供一种消除滑动部的磨损、将第一平行连杆机构的动力正确地传递给第二平行连杆机构，从而能够将输送对象物输送到正确的位置的输送装置。 
为了解决上述课题而提出的本发明所涉及的输送机构，具有第一连杆机构和第二连杆机构，所述第一连杆机构由平行四边形连杆机构构成，所述第二连杆机构由共有前述第一连杆机构的既定连杆的共有连杆、与长度和该共有连杆相等的连杆构成，且能够沿既定方向直线地伸缩；在前述共有连杆的至少一端部的支点处，构成前述第一连杆机构的第一约束连杆和构成前述第二连杆机构的第二约束连杆构成为在被约束为既定角度的状态下旋转，前述第一连杆机构中，在与前述共有连杆对置的对置连杆的既定端部的支点处设置有输送用腕部件，所述输送用腕部件构成为在相对该对置连杆被约束为既定角度的状态下旋转。 
本申请第一发明所涉及的输送机构具有第一平行四边形连杆机构和第二平行四边形连杆机构，所述第二平行四边形连杆机构利用前述第一平行四边形连杆机构的既定连杆而构成，四边的长度相等且能够沿既定方向直线地伸缩；在前述第一及第二平行四边形连杆机构所共有的共有连杆的两端的支点处，构成前述第一平行四边形连杆机构的第一约束连杆和构成前述第二平行四边形连杆机构的第二约束连杆分别构成为在被拘束为既定角度的状态下旋转，前述第一平行四边形连杆机构中，在与前述共有连杆对置的对置连杆的既定端部的支点处设置有输送用腕部件，所述输送用腕部件构成为在相对该对置连杆被约束为既定角度的状态下旋转。
本申请第二发明所涉及的输送机构具有第一连杆机构和第二连杆机构，所述第一连杆机构由平行四边形连杆机构构成，所述第二连杆机构具有：共有前述第一连杆机构的既定连杆的共有连杆、和第二约束连杆，所述第二约束连杆长度与该共有连杆相等，且在前述共有连杆一方的端部处与前述第一连杆机构的第一约束连杆一同在被约束为既定角度的状态下旋转；前述第一连杆机构中，在与前述共有连杆对置的对置连杆的既定端部的支点处设置有输送用腕部件，所述输送用腕部件构成为在相对该对置连杆被约束为既定角度的状态下旋转。 
本发明中，在前述发明的输送机构中，前述第一约束连杆的长度可以与前述输送用腕部件的长度相等。 
本发明中，在前述发明的输送机构中，也可以令前述第一约束连杆与前述第二约束连杆所成的角度为90°以外的角度。 
本发明中，在前述发明的输送机构中，也可具有第三平行四边形连杆机构，所述第三平行四边形连杆机构利用前述第一约束连杆构成，在该第一约束连杆的两端的支点处具有第一连杆和第二连杆，所述第一连杆构成为在相对前述共有连杆被约束为既定角度的状态下旋转，所述第二连杆构成为在相对前述对置连杆被约束为既定角度的状态下旋转。 
另一方面，本发明的输送装置具备：输送机构，具有第一连杆机构和第二连杆机构，所述第一连杆机构由平行四边形连杆机构构成，所述第二连杆机构由共有前述第一连杆机构的既定连杆的共有连杆、与长度和该共有连杆相等的连杆构成，且能够沿既定方向直线地伸缩，在前述共有连杆的至少一端部的支点处，构成前述第一连杆机构的第一约束连杆和构成前述第二连杆机构的第二约束连杆构成为在被约束为既定角度的状态下旋转，前述第一连杆机构中，在与前述共有连杆对置的对置连杆的既定端部的支点处设置有输送用腕部件，所述输送用腕部件构成为 在相对该对置连杆被约束为既定角度的状态下旋转；利用前述输送用腕部件构成的平行连杆型臂机构；和被前述平行连杆型臂机构驱动，对输送对象物进行支承的输送部。 
另外，本发明的真空处理装置是具有与真空排气系统连接的多个处理室的真空处理装置，其中，包括：具备输送装置的输送室、和构成为与前述输送室连通且利用前述输送装置来进行处理对象物的交接的真空处理室，所述输送装置具备：输送机构，具有第一连杆机构和第二连杆机构，所述第一连杆机构由平行四边形连杆机构构成，所述第二连杆机构由共有前述第一连杆机构的既定连杆的共有连杆、与长度和该共有连杆相等的连杆构成，且能够沿既定方向直线地伸缩，在前述共有连杆的至少一端部的支点处，构成前述第一连杆机构的第一约束连杆和构成前述第二连杆机构的第二约束连杆构成为在被约束为既定角度的状态下旋转，前述第一连杆机构中，在与前述共有连杆对置的对置连杆的既定端部的支点处设置有输送用腕部件，所述输送用腕部件构成为在相对该对置连杆被约束为既定角度的状态下旋转；利用前述输送用腕部件构成的平行连杆型臂机构；和被前述平行连杆型臂机构驱动，对输送对象物进行支承的输送部。 
下面，参照附图对本发明的动作原理进行说明。其中，下面说明的第一及第二发明都包含于上述的本发明。 
图1是表示第一发明的输送机构的动作原理的概略构成图(之一)，表示了将第一平行四边形连杆机构安装在旋转轴(点O)的情况。 
在图1所示的输送机构中，由连杆Lad、Lcd、Lco、Lao构成了第一平行四边形连杆机构，由连杆Lbo、Lbe、Lce、Lco构成了第二平行四边形连杆机构。其中，在与本发明的关系中， 
连杆Lco相当于共有连杆 
连杆Lad相当于对置连杆 
连杆Lao、Lcd相当于第一约束连杆 
连杆Lbo、Lce相当于第二约束连杆 
连杆Laf相当于输送用腕部件。 
而且，在通过第二平行四边形连杆机构的点O及点E的直线上设置有线性导向件(图中由单点划线表示)。 
在图1中，若将以X轴为基准的连杆Lao的旋转角设为θa、连杆Lce 与连杆Lcd的固定角度设为θ1、连杆Lbo与连杆Lao的固定角度设为θ2、连杆Lad与连杆Laf的固定角度设为θ3、连结旋转轴(点O)和连杆Laf的前端部(点F)的直线(由双点划线表示)与X轴的角度为γ、线性导向件与X轴的角度为θe，则点F的坐标(Xf，Yf)在满足下述条件A的情况下，可由以下的(1)式和(2)式表示。 
<条件A> 
1.第一平行四边形连杆机构的长边为相同的长度 
(Lcd＝Lao＝Laf≡Lb) 
2.第二平行四边形连杆机构的4条边为相同的长度 
(Lbo＝Lbe＝Lce＝Lco≡Ls) 
3.连杆Lce与连杆Lcd的固定角度、和连杆Lbo与连杆Lao的固定角度相同 
(θ1＝θ2≡θ12) 
<数学式表述> 
Xf＝OF·cosγ、Yf＝OF·sinγ——(1) 
Yf＝tanγ·Xf——(2) 
其中，具有 
OF＝2Lb·cosβ、γ＝θe-π-(θ12-θ3)/2、 
β＝π-(θ12+θ3)/2-α、α＝θe-θ12-θa的关系。 
根据上述关系式可知，由于θe、θ12、θ3是不依赖于θa的一定的角度，所以，γ成为不依赖于θa的一定的值。 
这如(2)式所记述那样，表示了点F位于通过点O而与X轴以一定角度γ交叉的直线上。 
而且，由于直线OF的长度只是θa的一次函数，所以，当连杆Lao的旋转角θa变化时，点F会在由(2)式记述的直线上移动。 
另一方面，在连杆Laf的长度与连杆Lao的长度不同的情况下，点F 在图3所示的曲线上移动。 
图3是利用与上述的数学式的记述相同的方法，对θ1＝θ2＝30°、θ3 ＝90°、θe＝150°、Lbo＝Lco＝Lce＝Lbe＝30mm、Lao＝Lcd＝120mm时的点F的轨迹进行计算的图。 
由图3可知，在Laf＝120mm的情况下，即连杆Laf的长度与连杆Lao的长度相同的情况下，点F在由(2)式表示的直线上移动。 
但是，在Laf＝100mm或Laf＝140mm的情况下，即连杆Laf的长度与连杆Lao的长度不同的情况下，点F的轨迹以曲线方式变化，不在由(2)式表示的直线上移动。 
图2是表示本发明的输送机构的动作原理的概略构成图(之二)，表示了将第一平行四边形连杆机构安装在支点移动机构上(点E)的情况。 
在图2所示的机构中，由连杆Lad、Lcd、Lce、Lae构成了第一平行四边形连杆机构，由连杆Lbo、Lbe、Lce、Lco构成了第二平行四边形连杆机构。其中，在与本发明的关系中， 
连杆Lce相当于共有连杆 
连杆Lad相当于对置连杆 
连杆Lae、Lcd相当于第一约束连杆 
连杆Lco、Lbe相当于第二约束连杆 
连杆Laf相当于输送用腕部件。 
而且，在通过第二平行四边形连杆机构的点O及点E的直线上设置有线性导向件(图中由单点划线表示)。 
在图2中，若以X轴为基准的连杆Lbo的旋转角为θb、连杆Lco与连杆Lcd的固定角度为θ1、连杆Lbe与连杆Lae的固定角度为θ2、连杆Lad与连杆Laf的固定角度为θ3、连结旋转轴(点O)和连杆Laf的前端部(点F)的直线(由双点划线表示)与X轴的角度为γ、线性导向件与X轴的角度为θe，则点F的坐标(Xf，Yf)在满足下述条件B的情况下，可由以下的(3)式和(4)式表示。 
<条件B> 
1.第一平行四边形连杆机构的长边为相同的长度 
(Lcd＝Lae＝Laf≡Lb) 
2.第二平行四边形连杆机构的4条边为相同的长度 
(Lbo＝Lbe＝Lce＝Lco≡Ls) 
3.连杆Lco与连杆Lcd的固定角度、和连杆Lbe与连杆Lae的固定 
角度相同 
(θ1＝θ2≡θ12) 
4.连杆Lco与连杆Lcd的固定角度θ1、和连杆Lad与连杆Laf的固定角度θ3的关系为大小相同、相位相同或相反(θ1＝±θ3) 
<数学式表述> 
Xf＝OF·cosγ、Yf＝OF·sinγ——(3) 
Yf＝tanγ·Xf——(4) 
其中，当θ1＝θ3时，具有 
OF＝2A·cosα、γ＝θe-cos-1{(Ls2+A2-Lb2)/(2Ls·A)}、 
A2＝Lb2+Ls2-2Lb·Ls·cosθ2、α＝θe-θb的关系， 
另外，当θ1＝-θ3时，具有 
OF＝2Ls·cosα-2Lb·cos(α+θ12)、γ＝θe、α＝θe-θb的关系。 
根据上述关系式可知，由于当θ1＝θ3时，Lb、Ls、θ2是不依赖于Lbo的旋转角θb的一定值，所以，A成为一定值。而且，由于θe也是不依赖于旋转角θb的一定值，所以，γ成为不依赖于θb的一定的值。并且，在θ1＝-θ3时，γ＝θe(＝一定值)。 
这如(4)式所记述那样，表示了在θ1＝±θ3时，点F位于通过点O而与X轴以一定角度γ交叉的直线上。 
而且，由于直线OF的长度只是θb的一次函数，所以，当连杆Lbo的旋转角θb变化时，点F会在由(4)式记述的直线上移动。 
另一方面，在连杆Laf的长度与连杆Lao的长度不同的情况下，点F在图4所示的曲线上移动。 
图4是利用与上述的数学式的记述相同的方法，对θ1＝θ2＝θ3＝30°、θe＝150°、Lbo＝Lco＝Lce＝Lbe＝30mm、Lae＝Lcd＝120mm时的点F的轨迹进行计算的图。 
由图4可知，在Laf＝120mm的情况下，即连杆Laf的长度与连杆Lao的长度相同的情况下，点F在由(4)式表示的直线上移动。 
但是，在Laf＝100mm或Laf＝140mm的情况下，即连杆Laf的长度与连杆Lae的长度不同的情况下，点F的轨迹以曲线方式变化，不在由(4)式表示的直线上移动。 
接着，参照附图对第二发明的原理进行说明。 
图5～图11是表示第二发明的输送机构的动作原理的概略构成图。 
该输送机构的构成条件如下所述。 
<构成条件[1]>...参照图5、图6 
(1)连杆101、连杆102a、连杆103a、连杆103b、连杆104被连结成可围绕支点(轴)O、A、B、C、D旋转。其中，由连杆101、连杆102a、连杆103a、连杆104构成了四节连杆机构(第一连杆机构)。 
(2)连杆103b在支点C处相对连杆103a被约束固定为任意的角度(η＝∠BCD)，由连杆103a和连杆103b构成了L型臂103(第一及第二约束连杆)。 
(3)支点O、A、B、C、D垂直于水平面(图的纸面)。 
(4)支点O和支点D仅在连结支点O与支点D的直线上相对移动(支点O与支点D之间的约束条件)。另外，其他支点的动作中没有约束条件。 
如果满足该构成条件[1]，则在连杆101、连杆102a、连杆103a、连杆103b、连杆104的任意一个围绕该连杆所直接连结的支点旋转时，基于支点O与支点D的约束条件(上述条件(4))的存在，相对于其旋转角度各支点的位置确定(如果不存在支点O与支点D的约束条件，则支点O、A、B、C、D的位置不确定)。 
但是，由于因这些各连杆的长度的关系而具有连杆彼此顶住而不能动作的区域，所以，存在着“在各连杆的可动范围内”的限制。 
<构成条件[2]>...参照图5、图6 
连杆101与连杆103a的长度相等(OA＝CB)，连杆102a、连杆103b与连杆104的长度相等(AB＝OC＝CD)。 
其中，在与本发明的关系中，连杆103b和连杆104相当于第二连杆机构，连杆104相当于共有连杆。 
若在构成条件[1]中附加构成条件[2]，则当连杆101、连杆102a、 连杆103a、连杆103b、连杆104的任意一个围绕与该连杆直接连结的轴旋转了角度θ时，四边形OABC的各内角变化2θ。 
利用图5及图6来说明该动作。 
基于上述构成条件[2]，四边形OABC为平行四边形，三角形OCD为等腰三角形。 
图5及图6表示使连杆围绕支点O旋转的情况，图5中，Y轴与连杆101所成的角度(θ)，在和连杆102a与连杆101所成的角度(γ＝∠OAB)之间满足γ＝-2θ+η，在和连杆102a与连杆103a所成的角度(β＝∠ABC)之间满足β＝2θ+(π-η)，在和连杆104与连杆103b分别与X轴所成的角度(ν＝∠COD＝∠CDO)之间满足ν＝θ+(π/2-η)。 
在图6所示的连杆机构的情况下，同样满足γ＝2θ+(π-η)、β＝-2θ+η、ν＝-θ-(π/2-η)。其中，虽然在图5的情况和图6的情况下表示γ、β、ν的公式不同，但这是因为附图中各角度的选取方法不同而引起的，本质上是相同的。 
而且，由于如上所述，连杆103b被固定于连杆103a(η＝一定角度)，所以，若使连杆101围绕支点O旋转Δθ，则连杆102a与连杆101所成的角度的变化量(Δγ)、连杆102a与连杆103a所成的角度的变化量(Δβ)，成为连杆101的角度变化(Δθ)的2倍的变化量(2Δθ)。 
并且，由于Δν＝Δθ，所以，即便在使连杆104围绕支点O旋转Δθ时，连杆102a与连杆101所成的角度的变化量(Δγ)也会成为连杆104的旋转角(Δθ)的2倍的变化量(2Δθ)。 
上面叙述的内容是使连杆围绕支点O旋转Δθ的情况，由于四边形OABC为平行四边形、三角形OCD为等腰三角形，所以，所有的连杆都围绕直接连结的支点相对旋转Δθ。 
因此，在令连杆101、连杆102a、连杆103a、连杆103b、连杆104的任意一个围绕该连杆所直接连结的支点旋转了Δθ的情况下，四边形OABC的各内角会变化2Δθ。 
构成条件[3]...参照图7～图9 
(1)在连杆101、连杆102a、连杆103a、连杆103b、连杆104或L型臂103的任意一个连杆(下面称为“连杆U”)上，围绕该连杆U的一个支点(下面称作“支点S”)可旋转地连结臂102b(输送用腕部件)。 
(2)臂102b的长度与连杆U的支点间的长度相等。 
(3)臂102b相对与连杆U的支点S连结的其他连杆，被约束固定为任意的角度(ξ)。 
下面，利用图7～图9对构成条件[3]进行说明。 
图7或图8是在图5或图6所示的连杆机构中组入了构成条件[3]的构成，围绕支点A可旋转地连结臂102b，臂102b的长度与连杆101及连杆103a的长度相等(OA＝AE)，臂102b相对连杆102a被约束固定为任意的角度(ξ＝∠BAE)，由连杆102a和臂102b构成了L型臂102。其他构成与图5、图6所示的情况相同。 
若在构成条件[1]中附加构成条件[2]和[3]，则臂102b与连杆102a成为一体而围绕支点A旋转，结果，由上述构成条件[2]的说明可知，若使连杆101围绕支点O旋转Δθ、或使连杆104围绕支点O旋转Δθ、或者使连杆103b围绕支点D旋转Δθ，则臂102b与连杆101所成的角度(∠OAE)围绕支点A旋转连杆101的旋转角(Δθ)的2倍的角度(2Δθ)。 
而且，三角形OAE为等腰三角形，∠AOE＝∠AEO。即，在臂102b与连杆101所成的角度(∠OAE)增加2Δθ时，∠AOE和∠AEO分别减少Δθ。 
因此，若使连杆101或连杆104围绕支点O旋转、或使连杆103b围绕支点D旋转，则臂102的前端(E)在连结该臂102b的前端(E)和支点O的直线(L)上移动。 
另一方面，图9是在图8所示的构成中使连杆103b围绕支点D旋转的情况的例子，这里，将与支点D和支点B的长度相等的臂102b(BD＝BE)以能够围绕支点B旋转的方式连结，臂102b相对连杆102a被约束固定为任意的角度(ξ＝∠ABE)，由连杆102a和臂102b构成了L型臂102。 
在本实例的情况下，若使连杆101或连杆104围绕支点O旋转、或使连杆103b围绕支点D旋转，则臂102b的前端(E)会在连结该臂102b的前端(E)与支点D的直线(L)上移动。 
构成条件[4]...参照图10、图11 
(1)连杆105、连杆107被连结成能够围绕第一连杆机构的连杆101的两端的支点A、支点O旋转，连杆106被连结成能够围绕这些连杆105 的端部的支点F和连杆107的端部的支点G旋转，由此构成了四节连杆机构(第三连杆机构)。 
(2)支点F和支点G垂直于水平面(图的纸面)。 
(3)连杆105相对连杆102a被约束固定为一定角度(∠BAF)，连杆107相对连杆104被约束固定为一定角度(∠COG)。而且，连杆105与连杆102a所成的角度(∠BAF)和连杆107与连杆104所成的角度(∠COG)相等，是0°及180°以外的任意角度(μ＝∠BAF＝∠COG，μ≠0、180°)。 
(4)连杆105与连杆107的长度相等(AF＝OG)，连杆106与连杆101的长度相等(GF＝OA)。 
下面，利用图10、图11对构成条件[4]进行说明。 
图10、图11是将构成条件[4]组入到图5、图6所示的输送机构而构成的，其他的构成与图5、图6相同。 
若在构成条件[1]中附加构成条件[2]和[4]，则即便在由连杆101、102a、103a、104构成的第一连杆机构成为死点状态(一直线状态)的情况下，基于由连杆101、105、106、107构成的平行四边形连杆机构的动作，连杆102a与连杆101所成的角度(γ＝∠OAB)也会变化连杆101、连杆104、连杆103b的旋转角度(θ)的2倍的角度(2θ)。而且，在由连杆101、105、106、107构成的第三连杆机构成为死点状态的情况下，基于由连杆101、102a、103a、104构成的第一连杆机构的动作，也会成为同样的动作状态。 
根据以上所说明的本发明，不存在现有技术那样的因齿轮的啮合而形成的滑动部分，仅通过连杆机构的组合就能够传递动力，进行输送。 
因此，不会产生金属等的粉尘，可防止作为输送对象物的半导体晶片等的污染。 
而且，由于没有因滑动部分的磨损等而产生间隙的问题，所以，可将输送对象物输送到正确的位置。 
尤其是根据第一发明，由于第二平行四边形连杆机构由4个连杆构成，所以，例如图1所示的点E可高精度地直进运动，能够获得输送精度优良的输送机构。 
另一方面，根据第二发明，可减少连杆的数量，得到构成更简洁的输送机构。 
并且，在本发明中，当第一约束连杆的长度与输送用腕部件的长度相等时，可以使输送用腕部件的前端部直线移动。 
在本发明中，如果对置连杆与输送用腕部件所成的角度为90°、且第一约束连杆与第二约束连杆所成的角度为90°，则能够使输送用腕部件的前端部沿第二连杆机构的伸缩方向移动。 
另外，第一发明中，在第一约束连杆与第二约束连杆所成的角度为90°以外的角度时，由于在输送用腕部件与第一约束连杆重叠的位置，第二平行四边形连杆机构不成为一直线状，而形成平行四边形，所以，可使输送用腕部件稳定地旋转。 
而且，本发明中，当具备下述第三平行四边形连杆机构时，所述第三平行四边形连杆机构利用第一约束连杆构成，在该第一约束连杆的两端的支点处具有第一连杆和第二连杆，所述第一连杆构成为在相对共有连杆被约束为既定角度的状态下旋转，所述第二连杆构成为在相对对置连杆被约束为既定角度的状态下旋转，由于第一平行四边形连杆机构和第三平行四边形连杆机构不同时位于不动点位置，所以，在各自的不动点位置处旋转方向不会不确定，能够使输送用腕部件稳定地旋转。 
并且，根据这样的本发明可提供下述的真空处理装置，该真空处理装置不仅可防止作为输送对象物的半导体晶片等的污染，而且，能够将输送对象物输送到正确的位置，从而有助于提高生产率。 
根据本发明，不会污染半导体晶片等输送对象物，而且能够高精度地将输送对象物输送到正确的位置。 
附图说明
图1是表示第一发明的输送机构的动作原理的概略构成图(之一)。 
图2是表示第一发明的输送机构的动作原理的概略构成图(之二)。 
图3是表示图1的输送机构中的点F的轨迹的曲线图。 
图4是表示图2的输送机构中的点F的轨迹的曲线图。 
图5是表示第二发明的输送机构的动作原理的概略构成图(构成条件[1][2])。 
图6是表示第二发明的输送机构的动作原理的概略构成图(构成条件[1][2])。 
图7是表示第二发明的输送机构的动作原理的概略构成图(构成条件[3])。 
图8是表示第二发明的输送机构的动作原理的概略构成图(构成条件[3])。 
图9是表示第二发明的输送机构的动作原理的概略构成图(构成条件[3])。 
图10是表示第二发明的输送机构的动作原理的概略构成图(构成条件[4])。 
图11是表示第二发明的输送机构的动作原理的概略构成图(构成条件[4])。 
图12是表示第一发明的输送机构的实施方式的基本构成的概略图。 
图13(a)～(d)是表示该输送机构的动作的说明图。 
图14是表示利用了第一发明的输送机构的输送装置的实施方式的概略构成图。 
图15(a)～(d)是表示该实施方式的输送装置的伸缩动作的说明图。 
图16是表示该输送装置的变形例的概略构成图。 
图17(a)是表示该实施方式的输送装置位于重叠位置的状态的说明图，(b)是表示此时输送机构的状态的说明图。 
图18(a)～(c)是表示第一发明的输送机构的其他实施方式的构成及其伸缩动作的概略构成图。 
图19是表示本发明的输送装置的其他实施方式的概略构成图。 
图20(a)～(c)是用于说明本发明的课题的图。 
图21是表示不动点位置处的输送机构的状态的说明图。 
图22是表示第一发明的输送机构的其他实施方式的概略构成图。 
图23是表示第一发明的输送机构的其他实施方式的概略构成图。 
图24是表示第二发明的输送机构的实施方式的基本构成的概略图。 
图25是表示第二发明的输送机构的实施方式的基本构成的概略图。 
图26是表示第二发明的输送装置的实施方式的概略构成图。 
图27是表示第二发明的输送装置的实施方式的概略构成图。 
图28是表示第二发明的输送装置的实施方式的概略构成图。 
图29是表示第二发明的输送装置的其他实施方式的概略构成图。 
图30是表示第二发明的输送装置的其他实施方式的概略构成图。 
图31是表示第二发明的输送装置的其他实施方式的概略构成图。 
图32是概略地表示具备本发明的输送装置的真空处理装置的实施方式的构成的俯视图。 
图33是表示现有输送装置的概略构成的俯视图。 
附图标记说明 
1、2、3、4、5、6…支点，7…L型臂，7a…臂(第一约束连杆)，7b…连杆(第二约束连杆)，8…L型臂，8a…臂(输送用腕部件)，8b…连杆，9…L型臂，9a…连杆(第一约束连杆)，9b…连杆(第二约束连杆)，12…支点移动机构，12a…线性导向件(导向部)，13…第一平行四边形联动装置(第一平行四边形连杆机构)，14…第二平行四边形联动装置(第二平行四边形连杆机构)，15、15a、15b、15c…输送机构，16…输送台(输送部)，26…平行连杆型臂机构，27…上腕联动装置，28…下腕联动装置，40…真空处理装置，60a、60b、60c…输送装置，101、102a、104…连杆，102b…臂(输送用腕部件)，102…L型臂，103…L型臂，103a…连杆(第一约束连杆)，103b…连杆(第二约束连杆)，200A、200B…输送机构，300A～300F…输送装置。 
具体实施方式
下面，参照附图对本发明的优选实施方式进行详细说明。 
图12是表示第一发明的输送机构的实施方式的基本构成的概略图，图13(a)～(d)是表示该输送机构的动作的说明图。 
如图12所示，本实施方式的输送机构15是在图1所说明的旋转轴(点0)安装了第一平行四边形连杆机构的类型的输送机构，具有：第一平行四边形联动装置(第一平行四边形连杆机构)13、和第二平行四边形联动装置(第二平行四边形连杆机构)14。 
第一平行四边形联动装置13由臂(连杆)7a、连杆8b、连杆9a、连杆10构成。 
在本实施方式的情况下，臂7a及连杆9a利用了比连杆8b及连杆10长的部件。 
另一方面，第二平行四边形联动装置14由第一平行四边形联动装置13的连杆(共有连杆)10、长度分别与该连杆10相同的连杆7b、连杆 11、连杆9b构成。 
连杆10被安装成能够以其两端的支点1和支点4为中心旋转，而且，与连杆10对置的连杆(对置连杆)8b被安装成能够以其两端的支点2和支点3为中心旋转。 
本实施方式的情况下，在第一及第二平行四边形联动装置13、14共有的连杆10的一端的支点7c处，构成第一平行四边形联动装置13的臂7a(第一约束连杆)和构成第二平行四边形联动装置14的连杆7b(第二约束连杆)构成为在被约束为90°的角度(θ2)的状态下旋转。 
即，臂7a和连杆7b连接而构成L型臂7，臂7a和连杆7b的连接部7c被安装成能够以支点1为中心旋转，并且，臂7a的与连接部7c相反侧的端部可旋转地安装于支点2，进而，连杆7b的与连接部7c相反侧的端部可旋转地安装于支点5。 
而且，对该L型臂7赋予未图示的马达的驱动力。 
另外，在第一及第二平行四边形联动装置13、14所共有的连杆10的另一端的支点9c处，构成第一平行四边形联动装置13的连杆9a(第一约束连杆)和构成第二平行四边形联动装置14的连杆9b(第二约束连杆)构成为在被约束为90°的角度(θ1)的状态下旋转。 
即，连杆9a和连杆9b连接而构成L型连杆9，连杆9a和连杆9b的连接部9c被安装成能够以支点4为中心旋转，并且，连杆9a的与连接部9c相反侧的端部可旋转地安装于支点3，进而，连杆9b的与连接部9c相反侧的端部可旋转地安装于支点6。 
这里，第二平行四边形联动装置14构成为：在使支点4与支点5的高度不同、使L型臂7旋转的情况下，例如支点5通过支点4的下侧。 
并且，本实施方式中，在与第一平行四边形联动装置13的连杆10对置的连杆8b的一方端部的支点2处，设置有臂8a(输送用腕部件)，其构成为在相对于该连杆8b被约束为例如90°的角度(θ3)的状态下旋转。 
即，臂8a和连杆8b连接而构成L型臂8，臂8a和连杆8b的连接部8c被安装成能够以支点2为中心旋转，并且，连杆8b的与连接部8c相反侧的端部可旋转地安装于支点3。 
在本实施方式的情况下，臂8a构成为与臂7a及连杆9a长度相等，由此，如后所述，臂8a的前端部80会通过连结支点1及支点6的直线 (输送线)上。 
另一方面，在本实施方式中，上述支点1设置在长条状基板29的一端部。 
在该基板29上设置有线性导向件(导向部)12a，所述线性导向件12a沿着该基板29的长度方向延伸，构成为相对于支点1相对位置关系不发生变化。 
并且，第二平行四边形联动装置14的支点6安装在沿着线性导向件12a移动的支点移动机构12上，由此，第二平行四边形联动装置14沿着线性导向件12a直线地伸缩，支点6沿着通过图中支点1的单点划线而移动。 
图13(a)～(d)是表示本实施方式的动作原理的说明图。 
将图13(a)设为初始状态。该状态与图12所示的状态相同。 
现在，若以支点1为中心使L型臂7沿CW(顺时针)方向旋转角度θ，则连杆7b将与臂7a一同以支点1为中心沿CW方向旋转角度θ。 
此时，支点6通过支点移动机构12，与连杆7b和连杆11的动作同步而沿着线性导向件12a向远离支点1的方向直线移动。 
由此，第二平行四边形联动装置14在保持平行四边形的形状的同时改变形式，连杆10以支点1为中心沿CCW(逆时针)方向旋转角度θ。 
在本实施方式的情况下，由于由臂7a、连杆8b、连杆9a、连杆10构成了第一平行四边形联动装置13，所以，当连杆10以支点1为中心沿CCW方向旋转角度θ时，连杆8b将以支点2为中心沿CCW方向旋转角度θ，由此，臂8a与连杆8b一同以支点2为中心沿CCW方向旋转角度θ。 
若以支点2为基准考虑这一系列的动作，则由于臂7a以支点2为中心沿CW方向旋转角度θ，同时，臂8a以支点2为中心沿CCW方向旋转角度θ，所以，臂8a相对臂7a以支点2为中心沿CCW方向旋转了角度2θ(图13(b)所示的状态)。 
在本实施方式中，由于臂8a的长度与臂7a的长度相同，所以，通过上述臂8a的旋转，其前端部80朝向支点1在线性导向件12a(输送线)上移动。 
并且，在本实施方式中，由于使支点4与支点5的高度不同，所以，若使L型臂7沿CW方向旋转，则支点5通过支点4的下侧，如图13(c)所示，支点4与支点5位置关系成为相反的状态。 
这里，由于在本实施方式中臂8a的长度与臂7a的长度相等，所以，臂8a的前端部80沿着输送线移动、通过支点1上。 
接着，若使L型臂7沿CW方向旋转，则如图13(d)所示，臂8a的前端部80向远离支点1的方向移动。 
为了从图13(d)的状态返回到图13(a)的状态，使L型臂7向与前述的动作相反的方向(CCW)旋转。这样，L型臂7的旋转动力可传递到L型臂8，控制动作，以使L型臂8以L型臂7的旋转角的2倍角度旋转。 
图14是表示利用了第一发明的输送机构的输送装置的实施方式的概略构成图，是基于平行连杆型臂机构的输送装置。 
如图14所示，本实施方式的输送装置60a采用了与上述输送机构15同样构成的输送机构15a，具有平行连杆型臂机构26。下面，对与上述实施方式对应的部分省略其详细的说明。 
该平行连杆型臂机构26具有：由分别平行对置的上臂17a、17b和连杆23、24构成的上腕联动装置27、及由分别平行对置的下臂18a、18b、连杆24、输送台(输送部)16构成的下腕联动装置28。 
上腕联动装置27的上臂17a对应于上述臂7a，连杆23、24分别可旋转地安装在其两端部的支点1、2处，并且，在与连杆23、24的支点1、2相反侧的支点22、19处可旋转地安装有连杆17b。 
其中，支点22设置在基板29上的线性导向件12a的延长线上。 
另外，下腕联动装置28的下臂18a对应于上述臂8a，与上述连杆8b连接而构成L型臂18，其连接部被能够旋转地安装在支点2处。 
而且，与下臂18a对置的下臂18b可旋转地安装在上腕联动装置27的支点19处，这些下臂18a、18b可旋转地被安装在设置于输送台16的支点20、21处。 
在本实施方式的情况下，连杆23、24的长度(支点间距离)和输送台16的支点间距离(支点20与21之间的长度)分别相同。而且，上臂17a、17b、下臂18a、18b的长度(支点间距离)也分别相同。 
在输送台16一方的前端部，安装有例如用于载置晶片等输送对象物(未图示)的末端操作器(end effector)25。 
在本实施方式的输送装置60a的情况下，由于将线性导向件12a、支点1、连杆23、支点22分别安装在公共的基板29上，所以，在进行伸 缩动作、回转动作的情况下，线性导向件12a、支点1、连杆23、支点22的相对位置关系不发生变化。 
另外，在本实施方式的输送装置60a中，构成了由连杆23将支点1和支点22连结的结构，但也可以在公共的基板29上直接设置支点1和支点22。该情况下，不需要连杆23，输送装置的伸缩动作、回转动作也能够与本实施方式的输送装置60a同样地进行。 
图15(a)～(d)是表示本实施方式的输送装置的伸缩动作的说明图，图15(a)表示初始状态的收缩状态。 
在本实施方式的情况下，由于由上臂17a、17b、连杆23、24构成了平行四边形的上腕联动装置27，所以，若以支点1为中心使上臂17a沿CCW方向旋转角度θ，则上臂17b也以支点22为中心沿CCW方向旋转角度θ，由此，连杆24与连杆23保持平行状态而移动。 
与此同时，如在图13的动作原理中所说明那样，下臂18a基于输送机构15a的动作，相对上臂17a以支点2为中心沿CCW方向旋转角度2θ。 
这样，当上臂17a以支点1为中心沿CCW方向旋转角度θ时，由于下臂18a和连杆24的位置确定，使得下腕联动装置28的平行四边形的形态被唯一确定，所以，输送装置如图15(b)→图15(c)→图15(d)所示那样，进行伸展动作。由此，末端操作器25在线性导向件12a的延长线(输送线)上向从支点1朝向支点22的方向(图中为右方向)移动。 
在从图15(d)所示的伸展状态返回为图15(a)所示的收缩状态时，使上臂17a沿着与前述的动作相反的方向(CCW方向)旋转。 
这样，通过使上臂17a旋转来进行输送装置的伸缩动作，可以使输送台16和末端操作器25在输送线上平行移动。 
如以上说明地那样，在本实施方式的输送装置60a中，共有构成第一平行四边形联动装置13的连杆10来构成第二平行四边形联动装置14，并且，第二平行四边形联动装置14的支点6通过支点移动机构12而平行移动。因此，由于上臂17a的旋转运动可传递到下臂18a，使下臂18a旋转上臂17a的旋转角的2倍角度，所以，上腕联动装置27的动作可正确地传递给下腕联动装置28。 
这样，根据本实施方式，不存在现有技术那样的因齿轮的啮合而形成的滑动部分，仅通过连杆机构的组合就能够传递动力、进行输送。 
因此，不会产生金属等的粉尘，能够防止作为输送对象物的半导体晶片等的污染。 
而且，根据本实施方式，不会产生因滑动部分的磨损等而引起的间隙的问题，在上腕联动装置27及下腕联动装置28之间可正确地传递动力，将输送对象物输送到正确的位置。 
另外，在上述的实施方式中，针对输送装置60a的伸缩动作，举例说明了以支点1为中心使上臂17a旋转的情况，但在以支点22为中心使上臂17b旋转的情况下也可进行伸缩动作。由于该动作与使上臂17a旋转的情况相同，所以，省略其详细的说明。 
而且，在上述的实施方式中，针对输送装置60a的伸缩动作，举例说明了以支点1为中心使上臂17a旋转的情况，但通过在支点1处设置驱动轴32，在该驱动轴32上安装上臂17a，并使驱动轴32旋转，也能够围绕支点1使上臂17a旋转。 
另一方面，在使本实施方式的输送装置60a回转时，平行连杆型臂机构26在图15(a)所示的收缩状态下，以不改变基板29与上臂17a的相对位置的状态使基板29围绕支点1旋转来进行。或者，在相同的收缩状态下，使基板29和驱动轴32同时向相同方向旋转相同角度来进行。 
另一方面，在上述的输送装置60a中，仅在输送台16的一方安装了末端操作器25，但本发明不限定于此，例如也可如图16所示，在输送台16两侧的两个位置安装末端操作器25a、25b。 
根据这样的构成，可以提高输送对象物的输送效率。由于该输送装置的伸缩动作与图15(a)～(d)所示的输送装置60a基本相同，所以，省略其说明。 
不过，在具备本发明的输送装置的基板处理装置中，有同时保持2枚晶片等输送对象物的要求、和想要减小输送装置的回转半径的要求。 
为了对应这样的要求，需要图14所示的输送装置60a的下腕联动装置28越过与上腕联动装置27重叠的位置(下面称作“重叠位置”)而移动。 
图17(a)是表示本实施方式的输送装置处于重叠位置的状态的说明图，图17(b)是表示此时输送机构的状态的说明图。 
由图17(a)(b)可知，这里，构成第二平行四边形联动装置14的连杆7b、连杆11、连杆9b、连杆10成为一直线状(在图17(b)中 为了明确连杆的位置关系而将支点1、2、6分割为2个来表示)。 
如图17(b)所示，当在该状态下以支点1为中心使上臂17a沿CW方向旋转时，由于无法强制确定连杆10的旋转方向，所以，不能确定连杆10以支点1为中心沿CW方向、CCW方向中哪一方向旋转。 
结果，由于构成第一平行四边形联动装置13的连杆8b的旋转方向不确定，所以，下臂18a的旋转方向也不确定，有下腕联动装置28不能越过重叠位置而移动的情况。这样，将导致重叠位置处各联动装置的动作不稳定。 
图18(a)～(c)是表示第一发明的输送机构的其他实施方式的构成及其伸缩动作的概略构成图，是用于解决上述问题的方案。 
如图18(a)～(c)、尤其如图18(b)所示，在本实施方式的输送机构15b中，以90°以外的角度相等地构成连杆7b相对臂7a的安装角度θ2和连杆9b相对连杆9a的安装角度θ1(在图18(b)中为了明确连杆的位置关系而将支点2及支点3分割为2个来表示)。 
并且，伴随于此，将线性导向件12a相对输送线(X轴方向)的安装角度θ4设为不是0°的角度，尤其在本实施方式中，构成为与连杆7b相对臂7a的安装角度θ2(＝连杆9b相对连杆9a的安装角度θ1)相等。 
而且，根据该构成，连杆8a的前端部80和支点移动机构12(支点6)以不是0°的角度相对移动。 
在本发明的情况下，对于连杆7b相对臂7a的安装角度θ2和连杆9b相对连杆9a的安装角度θ1、及线性导向件12a相对输送线的安装角度θ4 而言，只要满足θ1＝θ2即可，除此之外没有特别的限定，根据各装置构成与可动范围等的要求来设定最佳的角度即可。 
图18(a)是表示本实施方式的初始状态的收缩状态的图，若在该状态下使臂7a以支点1为中心沿CW方向旋转角度θ，则基于图13中所说明的原理，臂8a将相对臂7a以支点2为中心沿CCW方向旋转角度2θ。 
而且，由此将如图18(b)所示，臂8a到达臂7a的正上方。 
此时，臂8a和臂7a位于重叠位置，在本实施方式的情况下，由于连杆7b相对臂7a的安装角度θ2和连杆9b相对连杆9a的安装角度θ1 为90°以外的角度，所以，构成第二平行四边形联动装置14的连杆7b、连杆11、连杆9b、连杆10与图13所示的输送机构15的情况不同，不成为一直线状而形成了平行四边形。 
因此，若使臂7a以支点1为中心沿CW方向旋转，则由于连杆7b以支点1为中心沿CW方向旋转，连杆10以支点1为中心沿CCW方向旋转，所以，臂8a在臂7a的正上方通过，如图18(c)所示，臂8a到达远离支点1的位置。 
另一方面，在从图18(c)所示的状态返回到图18(a)所示的状态时，使臂7a沿着与前述的动作相反的方向(CCW)旋转。臂8a基于这样的动作，在重叠位置处旋转方向不再不确定，可以稳定地在臂7a的正上方通过。 
图19是表示第一发明的输送装置的其他实施方式的概略构成图，是基于平行连杆型臂机构的输送装置。 
如图19所示，本实施方式的输送装置60b利用了上述的输送机构15b，具有平行连杆型臂机构26。 
这里，平行连杆型臂机构26与图14所示的输送装置60a同样，利用上腕联动装置27、下腕联动装置28、输送台16和末端操作器25而构成，省略其详细说明。 
而且，输送机构15b构成为，图16中所说明的臂7a对应于上臂17a，且臂8a对应于下臂18a。并且，由于输送机构15b的其他部分的构成与图16中的说明相同，因此省略说明。 
本实施方式的输送装置60b的动作除了上述输送机构15b的动作之外与图14所示的输送装置60a相同，而且，输送机构15b的部分的动作与图18(a)～(c)所说明的相同。因此，省略本实施方式的伸缩动作和回转动作的详细说明。 
如以上说明地那样，在本实施方式的输送装置60b中，共有构成第一平行四边形联动装置13的连杆10来构成第二平行四边形联动装置14，并且，第二平行四边形联动装置14的支点6通过支点移动机构12而平行移动。因此，由于上臂17a的旋转运动可传递到下臂18a，使下臂18a旋转上臂17a的旋转角的2倍角度，所以，上腕联动装置27的动作可正确地传递给下腕联动装置28。 
这样，根据本实施方式，与上述实施方式同样，不会在滑动部产生金属等的粉尘，可防止作为输送对象物的半导体晶片等的污染，并且，在上腕联动装置27及下腕联动装置28之间可正确地传递动力，将输送对象物输送到正确的位置。 
并且，在本实施方式中，由于连杆7b相对上臂17a的安装角度和连杆9b相对连杆9a的安装角度为90°以外的相等角度，并且，支点移动机构12被安装成相对输送台16的伸缩移动方向(输送线)以0°以外的角度移动，所以，可在重叠位置处旋转方向不会不确定的情况下使下臂18a稳定地在上臂17a的正上方通过，由此，可使下腕联动装置28越过重叠位置而稳定地移动。 
另一方面，在具备本发明的输送装置的基板处理装置中，有想要将晶片等输送对象物输送更远的要求。 
针对这样的要求，可考虑使上臂17a沿CW方向旋转，如图20(c)所示，增长末端操作器25的到达距离，以便尽量增大图20(a)所示的平行连杆型臂机构26的下腕联动装置28与上腕联动装置27所成的角度。 
该动作中，在输送装置的平行连杆型臂从图20(a)变为图20(c)的状态的途中，会引起图20(b)所示的上臂17a、连杆10、连杆9a、连杆8b成为一直线状的状态(下面将该位置称作“不动点位置”)。 
图21表示不动点位置处的输送机构15a的状态(在图21中为了明确连杆的位置关系而将支点2、4分割为2个来表示)。 
当在图21中使上臂17a以支点1为中心沿CW方向旋转时，连杆10基于支点移动机构12的动作而沿CCW方向旋转，但由于在该状态下无法强制确定连杆8b的旋转方向，所以，连杆8b以支点2为中心沿CW、CCW中哪一个方向旋转无法确定。 
结果，由于无法确定构成第一平行四边形联动装置13的连杆8b的旋转方向，所以，也不能确定下臂18a的旋转方向，有下腕联动装置28无法越过不动点位置而移动的情况。这样，在不动点位置处各联动装置的动作变得不稳定。 
图22是表示第一发明的输送机构的其他实施方式的概略构成图，表示了用于解决上述问题的方案。 
在本实施方式的输送机构15c中，在L型臂8的连接部8c处安装有能够以支点2为中心与连杆8b一体旋转的连杆8d，并且，安装有能够以支点1为中心与连杆10一体旋转的连杆30。 
这里，将连杆30相对连杆10的安装角度、和连杆8d相对连杆8b的安装角度构成为相同大小(θ5)。 
而且，在连杆8d的与支点2相反侧的端部33和连杆30的与支点1 相反侧的端部34上，分别可旋转地安装有连杆9d。该连杆9d的长度与臂7a的长度相同(支点间的距.离相同)。 
并且，由连杆8d、连杆9d、连杆30、臂7a构成第三平行四边形联动装置31。除此之外的构成与图12所示的输送机构15相同，因此省略说明。 
在本实施方式的输送机构15c中，连杆30相对连杆10的安装角度θ5、和连杆8d相对连杆8b的安装角度θ5约为60°，但优选根据装置构成、可动范围等设为最佳的安装角度。 
尤其是当连杆30相对连杆10的安装角度θ5、和连杆8d相对连杆8b的安装角度θ5小时，由于第一平行四边形联动装置13和第三平行四边形联动装置31的不动点位置相互靠近，无法稳定地通过不动点位置，所以，从该观点出发，优选将上述安装角度θ5设为约30°～约60°。 
利用图22，对本实施方式的输送机构15c的动作原理进行说明。 
在图22中，与图21所示的情况相同，表示了臂7a、连杆10、连杆9a、连杆8b成为一直线状的状态(在图22中为了明确连杆的位置关系而将支点2、4分割为2个来进行表示)。 
当在图22中使臂7a以支点1为中心沿CW方向旋转时，与图21所示的输送机构15a的情况相同，连杆10基于支点移动机构12的动作而沿CCW方向旋转，但由于未强制确定连杆8b的旋转方向，所以，不能确定连杆8b以支点2为中心沿着CW、CCW中哪一个方向旋转。 
但是，在本实施方式的情况，由于和连杆10的动作成为一体，连杆30以支点1为中心沿CCW方向旋转，所以，构成第三平行四边形联动装置31的连杆8d以支点2为中心沿CCW方向旋转。 
结果，由于连杆8b和连杆8d一体地以支点2为中心沿CCW方向旋转，所以，可以从不动点位置脱离。 
同样，当构成第三平行四边形联动装置31的连杆8d、连杆9d、连杆30、臂7a成为一直线状(不动点位置)时，基于构成第一平行四边形联动装置13的连杆8b、连杆9a、连杆10、臂7a的动作，连杆8d可从不动点位置脱离。 
这样，根据本实施方式，臂8a在不动点位置处其旋转方向不会不确定，能够稳定地围绕支点2旋转。 
图23是表示第一发明的输送装置的其他实施方式的概略构成图，是 基于平行连杆型臂机构的输送装置。 
如图23所示，本实施方式的输送装置60c采用了上述的输送机构15c，具有上述的平行连杆型臂机构26。 
这里，平行连杆型臂机构26的上腕联动装置27、下腕联动装置28、输送台16、末端操作器25的构成与图14所示的输送装置60a相同，因此，省略其详细的说明。 
而且，输送机构15c构成为图22中所说明的臂7a对应于上臂17a，臂8a对应于下臂18a。并且，输送机构15c的其他部分的构成与图22中的说明相同，因此省略说明。 
本实施方式的输送装置60c的动作除了上述的输送机构15c的动作以外与图14所示的输送装置相同，且输送机构15c的部分的动作与图22所说明的相同。因此，省略本实施方式的伸缩动作和回转动作的详细说明。 
如以上说明地那样，根据本实施方式的输送装置60c，与上述实施方式同样，由于上臂17a的旋转运动可传递到下臂18a，使下臂18a旋转上臂17a的旋转角的2倍角度，所以，上腕联动装置27的动作可正确地传递给下腕联动装置28。 
这样，根据本实施方式，与上述实施方式同样，不会在滑动部产生金属等的粉尘，可防止作为输送对象物的半导体晶片等的污染，并且，在上腕联动装置27及下腕联动装置28之间可正确地传递动力，将输送对象物输送到正确的位置。 
并且，在本实施方式中，由于共有构成第一平行四边形联动装置13的上臂17a来构成第三平行四边形联动装置31，所以，下臂18a在不动点位置处旋转不会不确定，能够稳定地围绕支点2旋转，结果，可使下腕联动装置28越过不动点位置而稳定移动。 
另外，在本实施方式的输送机构15c中，其支点移动机构12的配置与图12所记载的支点移动机构12相同，相对输送台16的伸缩方向以0°的角度安装，但也可与图18所示的实施方式相同，与输送台16的伸缩方向以0°以外的角度进行安装。该情况下，不动点位置处的臂8a或下臂18a的动作也不存在问题。 
接着，参照附图，对第二发明的实施方式进行说明。其中，除非特别必要，下面将省略与上述说明重复部分的说明。 
图24及图25是表示第二发明所涉及的输送机构的实施方式的基本构成的概略图。 
本实施方式的输送机构200A全部应用了前述的基本构成[1]～[4]，例如，在图7或图8所示的构成中添加了第三连杆机构。 
这里，连杆101、连杆102a、连杆103a、连杆104以能够围绕支点O、A、B、C旋转的方式连结，构成了作为平行四边形连杆机构的第一连杆机构201。 
而且，作为第二约束连杆的连杆103b在支点C处相对作为第一约束连杆的连杆103a被约束固定为任意的角度(η＝∠BCD)，该连杆103a和连杆103b围绕支点C成为一体、作为L型臂103而旋转。 
该连杆103b与作为共有连杆的连杆104长度相等，被连结成可围绕支点D旋转，由该连杆103b和连杆104构成了第二连杆机构202。 
而且，围绕支点A，长度与连杆101相等的作为输送用腕部件的臂102b在支点A处相对连杆102a被约束固定为任意的角度(ξ)，该连杆102a和臂102b围绕支点A成为一体、作为L型臂102而旋转。 
并且，连杆105、连杆107被连结成能够围绕第一连杆机构201的连杆101两端的支点A、支点O旋转，连杆106被连结成能够围绕连杆105的端部的支点F和连杆107的端部的支点G旋转，从而构成了第三连杆机构203，该第三连杆机构203是由与第一连杆机构201相同长度的连杆构成的平行四边形连杆机构。 
这里，连杆105相对连杆102a被约束固定为一定角度(∠BAF)，连杆107相对连杆104被约束固定为一定角度(∠COG)。而且，连杆105与连杆102a所成的角度(∠BAF)和连杆107与连杆104所成的角度(COG)相等，是0°及180°以外的任意角度(μ＝∠BAF＝∠COG，μ≠0、180°)。 
另外，对于角度μ而言，优选根据装置构成、可动范围等将其设为最佳的安装角度，若角度μ过小，则由于第一连杆机构201和第三连杆机构203的不动点位置相互靠近，不能稳定地通过不动点位置，所以，从该观点出发，优选将角度μ设为30°～60°。 
在本实施方式的输送机构200A中，若使连杆101或连杆104围绕支点O旋转、或者使连杆103b围绕支点D旋转，则臂102b的前端(E)将在连结该臂102b的前端(E)与支点O的直线(L)上移动。 
而且，根据本实施方式，由于设置有第三连杆机构203，与图21及 图22所示的实施方式中所说明的情况同样，能够脱离上述不动点位置，所以，臂102b在不动点位置处的旋转方向不会不确定，能够稳定地围绕支点A旋转。 
图26～图28是表示第二发明的输送装置的实施方式的概略构成图，是利用了上述输送机构200A和平行连杆型臂机构的输送装置。 
这里，图26及图27所示的输送装置300A、300B例如是在图24所示的输送机构200A中设η＝90°、μ＝60°、ξ＝90°时的构成。 
下面，若以图26所示的输送装置300A为例进行说明，则该输送装置300A具有与图14所示的平行连杆型臂机构26同样的平行连杆型臂机构126。 
平行连杆型臂机构126由上腕联动装置127和下腕联动装置128构成，其中，所述上腕联动装置127由分别平行对置的上臂和连杆构成，所述下腕联动装置128由分别平行对置的下臂、连杆和输送台构成。 
上腕联动装置127的上侧臂对应于上述连杆101，在其两端部的支点O、A处分别可旋转地安装着连杆123、124，并且，在连杆123、124的与支点O、A相反侧的支点122、119处，可旋转地安装着连杆117。 
这里，支点122被设置在连结支点D、支点O的直线(X轴)的延长线上。 
另外，下腕联动装置128的下侧臂对应于上述臂102b，与上述连杆102a连接，该连接部可旋转地安装在支点A处。 
而且，与臂102b对置的下臂118被可旋转地安装于上腕联动装置127的支点119处，这些臂102b、118被可旋转地安装在与输送台116连结的支点120、121处。 
本实施方式的情况下，构成为连杆123、124的长度(支点间距离)与输送台116的支点间距离(支点120与121之间的长度)分别相同。而且，连杆101、臂102b、臂118的长度(支点间距离)也分别相同。 
本实施方式的输送装置300A、300B的动作除了上述的输送机构200A、200B的动作以外与图23所示的输送装置60c相同，且输送机构200A的部分的动作如上所述。 
另外，图26与图27所示的输送装置300A、300B的构成差异，仅在于将图26所示的机构的连杆101和臂102b安装到平行连杆型臂机构126的上腕联动装置127的连杆124、123的哪一侧的端部。因此，围绕支点 O使连杆101旋转时，平行连杆型臂机构126的伸缩动作相同。 
另一方面，图28是表示第二发明的输送装置的其他实施方式的概略构成图。 
图28所示的输送装置300C改变了在上述的构成条件[4]中说明的第三连杆机构的安装位置。 
即，在该输送装置300C中，与图26所示的构成不同，在平行连杆型臂机构126的上腕联动装置127的连杆124、123的相反侧的端部(支点119、122)，安装了由连杆105、106、107、117构成的第三连杆机构203。 
并且，在本实例中，连杆107和连杆151围绕支点122被约束固定为角度μ，且连杆152的端部分别可旋转地安装于支点C和支点153，进而，连杆151的一端部可旋转地安装于支点153。 
在本实例中，使连杆101围绕支点O旋转时的平行连杆型臂机构126的伸缩动作也相同。 
图29～图31是表示第二发明的输送装置的其他实施方式的概略构成图，是利用了上述的输送机构200B和平行连杆型臂机构126的输送装置。 
这里，图29及图30所示的输送装置300D、300E例如是在图25所示的输送机构200B中设η＝210°、μ＝60°、ξ＝10°时的构成，该输送机构200B的动作如上所述。 
另外，图29与图30所示的输送装置300D、300E的构成差异，仅在于将输送机构200B安装到平行连杆型臂机构126的上腕联动装置127的连杆124、123的哪一侧的端部。因此，使连杆101围绕支点O旋转时的平行连杆型臂机构126的伸缩动作与上述实施方式相同。 
图31所示的输送装置300F改变了在上述构成条件[4]中说明的第三连杆机构的安装位置。 
即，在该输送装置300F中，与图29所示的构成不同，在平行连杆型臂机构126的上腕联动装置127的连杆124、123的相反侧的端部(支点119、122)，安装了由连杆105、106、107、117构成的第三连杆机构203。 
并且，在本实例中，连杆107和连杆151围绕支点122被约束固定为角度μ，且连杆152的端部分别可旋转地安装于支点C和支点153，进 而，连杆151的一端部可旋转地安装于支点153。 
在本实例中，使连杆101围绕支点O旋转时的平行连杆型臂机构126的伸缩动作也相同。 
在以上的实施方式中，将连杆102a、臂102b、连杆104、连杆105、连杆107作为独立的部件，但本发明例如也可以在图29所示的输送装置300D中将连杆104和连杆107构成为同一部件，将连杆102a和连杆105构成为同一部件。 
这里，在设η＝180°、μ＝30°、ξ＝0°的情况下，可以将支点B配置在臂102b上，将臂102b构成为与连杆105相同的部件。 
如以上说明地那样，根据第二发明的实施方式，也不会在滑动部产生金属等的粉尘，不仅可防止作为输送对象物的半导体晶片等的污染，而且，能够在上腕联动装置127及下腕联动装置128之间正确地传递动力，将输送对象物输送到正确的位置。 
图32是概略地表示具备本发明的输送装置的真空处理装置的实施方式的构成的俯视图。 
如图32所示，本实施方式的真空处理装置40在具有上述本发明的输送装置42的输送室T 1的周围配置有：3个能够并行加工处理的处理室P1、P2、P3；用于送入晶片43(43a、43b)的送入室C1；和用于送出晶片43的送出室C2。 
这些处理室P1～P3、送入室C1、送出室C2与未图示的真空排气系统连接，在与输送室T1之间分别设置有在晶片43的变换时进行开闭的闸门阀G1～G5。 
而且，在送入室C1中设置有从装置外部送入晶片43时进行开闭的闸门阀G6，在送出室C2中设置有向装置外部送出晶片时进行开闭的闸门阀G7。 
在具有这样的构成的真空处理装置40中，通过上述输送装置42取出在送入室C1中收纳的未处理晶片43a，对其进行保持，然后输送到例如处理室P1中。 
此时，输送装置42通过进行上述的动作，而从处理室P1接收处理完毕晶片43b，将其向其他的处理室P2、P3输送。 
以下同样，利用输送装置41在处理室P1～P3、送入室C1、送出室C2之间进行未处理晶片43a及处理完毕晶片43b的交接。 
根据具有这样构成的本实施方式，可提供一种不仅可以防止输送对象物的污染、而且可将输送对象物输送到正确的位置而有助于提高生产率的真空处理装置。 
另外，本发明不限定于上述的实施方式，其能够进行各种的变更。 
例如，在上述第一发明的实施方式中，将作为输送用腕部件的臂8a的长度构成为与作为第一约束连杆的连杆7a的长度相同，但本发明不限定于此，也可以使臂8a与连杆7a的长度不同。 
但是，为了使臂8a的前端部80直线地移动，优选如上述实施方式那样构成。 
而且，对于臂8a与连杆8b所成的角度而言，还能够设为90°以外的角度。 
并且，在上述的实施方式中，以将第一平行四边形联动装置安装在图1所示的旋转轴(点O)的类型的输送机构为例进行了说明，但本发明不限定于此，还能够使用如图2所示将第一平行四边形联动装置安装在支点移动机构上(点E)的类型的输送机构。 
该情况下，遵照对图2所示的输送机构所说明的条件。 
进而，在第一发明的实施方式中，以如图1及图2所示，将线性导向件设置在通过第二平行四边形连杆机构的点O及点E的直线上的类型的输送机构为例进行了说明，但本发明不限定于使用这样的线性导向件，根据上述的动作原理可知，只要是能够使点E朝向点O直线移动的机构即可。该情况下，由于点E朝向点O直线移动，所以，输送机构的动作原理、动作方法也遵从针对上述实施方式所说明的条件。 
该点在第二发明中也同样，只要是能够使点D朝向点O直线地移动的机构可使用任意线性导件。 

Claims (8)

1.一种输送机构，其特征在于，
具有第一连杆机构和第二连杆机构，所述第一连杆机构由平行四边形连杆机构构成，所述第二连杆机构由共有前述第一连杆机构的既定连杆的共有连杆、与长度和该共有连杆相等的连杆构成，且能够沿既定方向直线地伸缩；
在前述共有连杆的至少一端部的支点处，构成前述第一连杆机构的第一约束连杆和构成前述第二连杆机构的第二约束连杆构成为在被约束为既定角度的状态下旋转，
前述第一连杆机构中，在与前述共有连杆对置的对置连杆的既定端部的支点处设置有输送用腕部件，所述输送用腕部件构成为在相对该对置连杆被约束为既定角度的状态下旋转。
2.一种输送机构，其特征在于，
具有第一平行四边形连杆机构和第二平行四边形连杆机构，所述第二平行四边形连杆机构利用前述第一平行四边形连杆机构的既定连杆而构成，四边的长度相等且能够沿既定方向直线地伸缩；
在前述第一及第二平行四边形连杆机构所共有的共有连杆的两端的支点处，构成前述第一平行四边形连杆机构的第一约束连杆和构成前述第二平行四边形连杆机构的第二约束连杆分别构成为在被拘束为既定角度的状态下旋转，
前述第一平行四边形连杆机构中，在与前述共有连杆对置的对置连杆的既定端部的支点处设置有输送用腕部件，所述输送用腕部件构成为在相对该对置连杆被约束为既定角度的状态下旋转。
3.一种输送机构，其特征在于，
具有第一连杆机构和第二连杆机构，所述第一连杆机构由平行四边形连杆机构构成，所述第二连杆机构具有：共有前述第一连杆机构的既定连杆的共有连杆、和第二约束连杆，所述第二约束连杆长度与该共有连杆相等，且在前述共有连杆一方的端部处与前述第一连杆机构的第一约束连杆一同在被约束为既定角度的状态下旋转；
前述第一连杆机构中，在与前述共有连杆对置的对置连杆的既定端部的支点处设置有输送用腕部件，所述输送用腕部件构成为在相对该对置连杆被约束为既定角度的状态下旋转。
4.根据权利要求1～3中任意一项所述的输送机构，其特征在于，前述第一约束连杆的长度与前述输送用腕部件的长度相等。
5.根据权利要求1～3中任意一项所述的输送机构，其特征在于，
令前述第一约束连杆与前述第二约束连杆所成的角度为90°以外的角度。
6.根据权利要求1～3中任意一项所述的输送机构，其特征在于，
还具有另一平行四边形连杆机构(101、105、106、107)，所述另一平行四边形连杆机构(101、105、106、107)利用前述第一约束连杆(101)构成，在该第一约束连杆(101)的两端的支点(A、0)处具有第一连杆(105)和第二连杆(107)，所述第一连杆(105)构成为在相对前述共有连杆(102a)被约束为既定角度的状态下旋转，所述第二连杆(107)构成为在相对前述对置连杆(104)被约束为既定角度的状态下旋转。
7.一种输送装置，其特征在于，具备：
输送机构，具有第一连杆机构和第二连杆机构，所述第一连杆机构由平行四边形连杆机构构成，所述第二连杆机构由共有前述第一连杆机构的既定连杆的共有连杆、与长度和该共有连杆相等的连杆构成，且能够沿既定方向直线地伸缩，在前述共有连杆的至少一端部的支点处，构成前述第一连杆机构的第一约束连杆和构成前述第二连杆机构的第二约束连杆构成为在被约束为既定角度的状态下旋转，前述第一连杆机构中，在与前述共有连杆对置的对置连杆的既定端部的支点处设置有输送用腕部件，所述输送用腕部件构成为在相对该对置连杆被约束为既定角度的状态下旋转；
利用前述输送用腕部件构成的平行连杆型臂机构；和被前述平行连杆型臂机构驱动，对输送对象物进行支承的输送部。
8.一种真空处理装置，具有与真空排气系统连接的多个处理室，其特征在于，包括：具备输送装置的输送室、和构成为与前述输送室连通且利用前述输送装置来进行处理对象物的交接的真空处理室，
所述输送装置具备：
输送机构，具有第一连杆机构和第二连杆机构，所述第一连杆机构由平行四边形连杆机构构成，所述第二连杆机构由共有前述第一连杆机构的既定连杆的共有连杆、与长度和该共有连杆相等的连杆构成，且能够沿既定方向直线地伸缩，在前述共有连杆的至少一端部的支点处，构成前述第一连杆机构的第一约束连杆和构成前述第二连杆机构的第二约束连杆构成为在被约束为既定角度的状态下旋转，前述第一连杆机构中，在与前述共有连杆对置的对置连杆的既定端部的支点处设置有输送用腕部件，所述输送用腕部件构成为在相对该对置连杆被约束为既定角度的状态下旋转；
利用前述输送用腕部件构成的平行连杆型臂机构；和
被前述平行连杆型臂机构驱动，对输送对象物进行支承的输送部。
CN2006800338897A 2005-09-16 2006-09-19 输送机构、输送装置及真空处理装置 Active CN101262985B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP269741/2005 2005-09-16
JP2005269741 2005-09-16
PCT/JP2006/318520 WO2007032530A1 (ja) 2005-09-16 2006-09-19 搬送機構、搬送装置及び真空処理装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101262985A CN101262985A (zh) 2008-09-10
CN101262985B true CN101262985B (zh) 2011-12-14

Family

ID=37865107

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2006800338897A Active CN101262985B (zh) 2005-09-16 2006-09-19 输送机构、输送装置及真空处理装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7591625B2 (zh)
JP (1) JP4964777B2 (zh)
KR (1) KR100995498B1 (zh)
CN (1) CN101262985B (zh)
WO (1) WO2007032530A1 (zh)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101191074B1 (ko) * 2007-05-15 2012-10-15 가부시키가이샤 알박 반송 장치 및 이것을 사용한 진공 처리 장치
DE102007052183A1 (de) 2007-10-31 2009-06-25 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Ausrichten stoßempfindlicher Glasplatten in Reinsträumen
CN101992469A (zh) * 2009-08-18 2011-03-30 周兴权 一种机器人用机械臂的摆动装置
KR101205364B1 (ko) * 2010-05-13 2012-11-28 삼성중공업 주식회사 탈부착형 ４절 링크기구 구동장치를 갖는 산업용 로봇
JP5675258B2 (ja) * 2010-10-14 2015-02-25 Ntn株式会社 リンク作動装置
JP7124103B2 (ja) * 2018-09-27 2022-08-23 株式会社Kokusai Electric 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム
CN113231227A (zh) * 2021-05-06 2021-08-10 清华大学 喷涂机器人

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5187996A (en) * 1990-02-15 1993-02-23 Fanuc, Ltd. Industrial articulated robot provided with a driving linkage
CN2597345Y (zh) * 2002-11-14 2004-01-07 上海交通大学 按帖自动秤药输药的摆动输送机构
CN1623743A (zh) * 2003-12-02 2005-06-08 株式会社三协精机制作所 驱动连接机构及具有该驱动连接机构的真空机械手

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62106777U (zh) * 1985-12-25 1987-07-08
JPH0265988A (ja) * 1988-08-30 1990-03-06 Pentel Kk ロボットの動力伝達装置
JP3165170B2 (ja) * 1990-05-24 2001-05-14 株式会社東芝 運動伝達装置
JP2808826B2 (ja) * 1990-05-25 1998-10-08 松下電器産業株式会社 基板の移し換え装置
JP2972008B2 (ja) * 1991-11-07 1999-11-08 東京エレクトロン株式会社 搬送アーム
TW365568B (en) * 1996-03-22 1999-08-01 Komatsu Mfg Co Ltd Robotic machine for transporting articles
JP3926501B2 (ja) * 1998-11-13 2007-06-06 ナブテスコ株式会社 ロボットアーム及びその駆動装置
JP2000150617A (ja) 1998-11-17 2000-05-30 Tokyo Electron Ltd 搬送装置
JP2001150617A (ja) * 1999-11-30 2001-06-05 Japan Polychem Corp 積層フィルム
TW471084B (en) * 1999-12-22 2002-01-01 Jel Kk Transfer arm
JP2002066966A (ja) * 2000-08-25 2002-03-05 Ishii Hyoki Corp 搬送ロボット
KR100867293B1 (ko) * 2000-10-24 2008-11-06 가부시키가이샤 알박 반송장치 및 이를 이용한 진공처리장치
JP4489998B2 (ja) * 2001-02-06 2010-06-23 株式会社アルバック 搬送装置及び真空処理装置
JP4628602B2 (ja) * 2001-04-05 2011-02-09 ナブテスコ株式会社 ロボットアーム
JP3853645B2 (ja) * 2001-12-03 2006-12-06 ナブテスコ株式会社 ロボットアーム
JP4545371B2 (ja) * 2002-10-15 2010-09-15 ナブテスコ株式会社 アーム装置、作業ユニット及び作業装置
US7245989B2 (en) * 2002-12-20 2007-07-17 Brooks Automation, Inc. Three-degree-of-freedom parallel robot arm

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5187996A (en) * 1990-02-15 1993-02-23 Fanuc, Ltd. Industrial articulated robot provided with a driving linkage
CN2597345Y (zh) * 2002-11-14 2004-01-07 上海交通大学 按帖自动秤药输药的摆动输送机构
CN1623743A (zh) * 2003-12-02 2005-06-08 株式会社三协精机制作所 驱动连接机构及具有该驱动连接机构的真空机械手

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
CN 2597345 Y,全文.
JP特开2000-150617A 2000.05.30
JP特开2000-208588A 2000.07.28

Also Published As

Publication number Publication date
JP4964777B2 (ja) 2012-07-04
CN101262985A (zh) 2008-09-10
KR20080046192A (ko) 2008-05-26
US20080226430A1 (en) 2008-09-18
JPWO2007032530A1 (ja) 2009-03-19
KR100995498B1 (ko) 2010-11-19
US7591625B2 (en) 2009-09-22
WO2007032530A1 (ja) 2007-03-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101262985B (zh) 输送机构、输送装置及真空处理装置
CN101730613B (zh) 搬送装置及使用该搬送装置的真空处理装置
US20100076601A1 (en) Frog-leg-arm robot and control method thereof
JP4930949B2 (ja) 基板搬送装置
CN103329258B (zh) 晶圆搬运机器人
CN106863348A (zh) 一种机器人用的变刚度关节及其刚度调节方法
KR100671353B1 (ko) 반송 아암
CN103353761B (zh) 机器人连续加工方法、装置及平滑转接方法、装置
JP2004130459A (ja) 搬送アーム
CN101683935A (zh) 软板输送导正装置与方法
CN106181925B (zh) 一种角向旋转定位机构
JP2003209155A (ja) 搬送アーム
JPH02292153A (ja) 搬送装置
JP4757404B2 (ja) 搬送アーム
CN208663812U (zh) 理件机械臂、理件机器人
CN108381559A (zh) 理件机械臂、理件机器人及其控制方法
CN101804903A (zh) 蛙腿型移载装置
KR20090127334A (ko) 반송 장치
JP5104456B2 (ja) フロッグレッグアームロボット
US3068708A (en) Intermittent chain-and-crank drive with mathematically exact pauses
JP2004323165A (ja) 基板搬送装置
SI2052797T1 (sl) Naprava za koračno transportiranje obdelovancev skozi delovni prostor oblikovalnega stroja
JP2005012139A (ja) 基板搬送装置
RU1779575C (ru) Плоский механизм
JP5550197B2 (ja) 搬送装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
ASS Succession or assignment of patent right

Free format text: FORMER OWNER: SOWA CO., LTD. MD CENTER

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20110506

Address after: Kanagawa

Applicant after: Ulvac Inc.

Address before: Kanagawa

Applicant before: Ulvac Inc.

Co-applicant before: KK SOWA MD Center

C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant