JP4430298B2 - 半導体メモリ装置のポストリペア回路及び方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する従来技術】
本発明は半導体メモリ装置のリペア構造及びリペア方法に係り、より詳細にはポストリペア構造及び方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体メモリ装置、例えば、DRAM(Dynamic Random Access Memory)はロー/カラムアレイに配列される非常に多くのメモリセルを含む。各メモリセルは通常1ビットの情報を貯蔵する。アレイはロー信号線(ローライン)とロー信号線に直交して配列されるカラム信号線(カラムライン)とを含む。メモリセルはローラインとカラムラインとの各交差点に位置する。特定のメモリセルに連結されたアレイローラインとアレイカラムラインとをアドレッシングすることによって対応するメモリセルにアクセスする。
【0003】
半導体メモリ装置では、メモリラインのあらゆるメモリセル、ローライン、カラムラインが正常に動作せねばならない。実際には、与えられたウェーハ上にあるメインメモリセルアレイが100%動作可能なわけではない。したがって、大部分の半導体装置はいくつかの不良セルを代替できる比較的少ない冗長メモリセルアレイを具備するように設計される。
【0004】
一つの通常的な設計方法によれば、冗長アレイは冗長メモリセルカラムで構成される。この方法によれば、冗長メモリセルのそれぞれはメインメモリセルアレイローラインと交差する冗長カラムラインに連結される。各冗長カラムラインは一つ以上の不良セルを有すると考えられるメインメモリセルアレイカラムを代替できる。メインアレイカラムがアドレスされるごとに、冗長性制御ブロックはカラムアドレスを欠陥カラムアドレスと比較する。欠陥カラムがアドレスされるごとに、冗長性制御ブロックは欠陥カラムの代りに欠陥カラムに関連する(または結合された)冗長カラムを選択する。
【0005】
欠陥ローを冗長ローに取り替える冗長性スキームも使われる。一部の半導体装置は関連回路内に冗長ロー及び冗長カラムを含む。
【0006】
冗長性制御ブロック及びこれに関する冗長カラム/ローを使用する前に、欠陥ラインアドレスが制御ブロックにプログラムされねばならない。プログラミングするために冗長性制御ブロックはヒューズブロックを含む。半導体メモリ装置がウェーハ状態である場合、メインメモリアレイをテストして欠陥セルの位置を把握する。カラムの代替を仮定すると、与えられた欠陥カラムを代替するために冗長性制御ブロック及び冗長カラムが選択される。欠陥カラムのアドレスはヒューズブロックにあるヒューズを選択的に切断することによって、そのカラムアドレスを示すように冗長性制御ブロック内に設定される。ヒューズは一般的にレーザービームを使用して物理的に切断される。
【0007】
大部分のメモリアレイ欠陥はウェーハ状態でのテスト過程で検出可能であるが、一部の欠陥は半導体装置のパッケージング後に発生する。その欠陥に対してパッケージング後にメモリアレイをリペア(救済)できるか否かによって半導体装置が良品になるか、不良品になるかが決定される。パッケージング後のアレイのリペアをポストリペアという。
【0008】
ポストリペアの冗長性は、パッケージング中に発生する欠陥を修正できる長所があるが、ポストリペア冗長性制御ブロック及びこれに関する電気的プログラミング回路はレーザー切断されたヒューズによる冗長性制御ブロックに比べて多くの回路領域を占めるので、コスト面で不利な短所がある。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明が解決しようとする技術的課題は、ウェーハ状態(例えば、レーザー切断)のヒューズプログラミングの長所とポストリペアプログラミングの長所とを調和させて、リペア効率を向上させうるデュアルモード冗長性回路を含む半導体メモリ装置を提供することである。
【0010】
本発明が解決しようとする他の技術的課題は、ウェーハ状態(例えば、レーザー切断)のヒューズプログラミングの長所とポストリペアプログラミングの長所とを調和させて、リペア効率を向上させうる半導体メモリ装置のリペア方法を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明の一態様は、デュアルモード冗長性回路を含む半導体メモリ装置である。デュアルモード冗長性回路は複数の冗長メモリラインを含む。各冗長メモリラインは一つの冗長性制御ブロックと結合(関連)される。冗長性制御ブロックの大部分は半導体装置のパッケージング前にのみプログラムされるレーザーヒューズブロックを含む。冗長性制御ブロックの少なくとも一つは半導体装置のパッケージング後にのみプログラムされる電気的にプログラム可能なヒューズブロックを含む。したがって、前記装置はデュアル−サイクルリペア方法を可能にする。デュアル−サイクルリペア方法によれば、大部分のリペアはもっと経済的なレーザーヒューズブロックを利用してウェーハ状態で行われ、少数の電気的ヒューズブロックは場合(例えば、パッケージングに関連した欠陥が発生した場合)によってポストリペアモードでパッケージング後に利用される。
【0012】
前記リペアスキームは、レーザーリペア専用の一部の冗長メモリライン及びポストリペア専用の一部の冗長メモリラインを有する。ポストリペア専用の冗長メモリライン自体が不良であればポストリペアは不可能である。不良のないレーザーリペア用の冗長メモリラインが使われずに残っていても、ポストリペアは不可能である。
【0013】
したがって、本発明の他の一態様は、ポストリペア効率性を高めるデュアルモード冗長性回路を含む半導体メモリ装置である。前記回路はウェーハ状態アドレス貯蔵部(すなわち、レーザーヒューズブロック)を一つの冗長ラインと結合させる。第2構成では、前記回路はポストリペアアドレス貯蔵部(すなわち、電気的ヒューズブロック)を同じ冗長メモリラインと結合させる。したがって、前記デュアルモードの冗長性を採用する半導体メモリ装置はさらにリペア自由度を有する。例えば、ウェーハ状態のテスト中には各冗長メモリラインはレーザーヒューズブロックと結合される。欠陥のない一つの冗長メモリラインはテスト中にポストリペア用に割当てられる。割当てられた冗長メモリラインはポストリペアを可能にするために、ポストリペアアドレス貯蔵部と結合される。
【0014】
かかる方法によれば、半導体メモリ装置は、それぞれが一つのレーザーヒューズ/比較器に結合されている複数の冗長メモリラインを具備する。各ラインの良否を調べるためにメイン及び冗長メモリラインがテストされる。各不良メインメモリラインに対して、前記不良メインメモリラインを代替するために割当てられる前記不良のない冗長メモリラインのうち一つと結合された前記レーザーヒューズ/比較器を構成する。前記欠陥メモリラインの代替後にも不良のない冗長メモリラインが残っている場合、残っている不良のない冗長メモリラインをポストリペア用に割当てる。前記割当てられたポストリペア用の冗長メモリラインを前記割当てられたポストリペア用の冗長メモリラインと結合されたレーザーヒューズ/比較器の代りにポストリペア比較器と結合させる。
【0015】
【発明の実施の形態】
本発明と本発明の動作上の利点及び本発明の実施によって達成される目的を十分に理解するためには、本発明の望ましい実施形態を例示する添付図面及び添付図面に記載された内容を参照せねばならない。
【0016】
以下、添付した図面を参照して本発明の望ましい実施形態を説明することによって、本発明を詳細に説明する。各図面に提示された同じ参照符号は同様の構成要素を示す。
【0017】
図1は、本発明の1実施形態による半導体メモリ装置20を示すブロック図である。図1に示された半導体メモリ装置20は同期式DRAM(SDRAM)である。メインセルアレイ30及び冗長カラムセルアレイ32はロー及びカラム回路部により動作する。カラム回路部は感知増幅器34及びカラムデコーダ50を具備する。カラムデコーダ50は各カラムアドレスCAに対してデータの書込みあるいは読出しが行われるカラムラインを選択する。カラムデコーダ50内で、冗長メモリライン制御回路100はカラムアドレスCA及びカラム選択イネーブル信号CSLENによってメインカラムを代替する冗長カラムを決定する。
【0018】
ロー回路部は、ローデコーダ40及びローアドレスマルチプレクサ42を含む。ローデコーダ40は各ローアドレスRAに対して活性化されるロー(ワード)ラインを選択する。ロー選択イネーブル信号RSLENはRAが有効な時点を示す。半導体メモリ装置20には冗長ローライン及び回路部は図示されていないが、冗長カラムセルアレイ32及び冗長メモリライン制御回路100と類似した冗長ローライン及び回路部が備わりうる。ローアドレスマルチプレクサ42は、アドレスレジスタ80から出力される外部ローアドレスと、リフレッシュ制御器44により制御されるリフレッシュカウンタ46から出力されるリフレッシュローアドレスとを受信していずれか一つをローアドレスRAに出力する。
【0019】
回路入力及び出力は3つのレジスタセットを通じて行われる。命令語レジスタ70は外部メモリコントローラから命令語バスCMDを通じてワードライン活性化、読出し、書込み、プリチャージ、オートリフレッシュ、モードレジスタ印加のような命令語信号を受信する。アドレスレジスタ80はメモリコントローラからアドレスバスを通じてアドレス信号ADD[0:m]を受信する。そして、データI/Oレジスタは両方向データラインDQ[0:w]に連結される。
【0020】
命令語デコーダ60は受信された命令語を解釈して他のメモリ装置ブロックに適切な制御信号を生じる。モードレジスタセット(Mode RegisterSet:MRS)62はモードレジスタ印加命令がCMDバスに受信される場合には、アドレスバスADDを通じて装置設定信号を受信する。一般的に、MRSはバーストタイプ、バースト長、レイテンシなどSDRAMの動作パラメータを定義するために使われるレジスタである。望ましい実施形態で、MRSの機能の一つは、特定の命令がCMDバスに受信される場合には、ADDバスに提供されるアドレスによって電気的ヒューズボックス内のヒューズ部を設定することである。
【0021】
本発明が適用されるメモリ装置により多くの進歩的な特性がありうるが、前述した特徴は本発明の一実施形態を支援できる大部分のSDRAMに共通する基本的な特徴である。本発明の実施形態に特に関連のある半導体メモリ装置20の特徴は詳細に後述される。
【0022】
図2は、本発明の第1実施形態による基本的なデュアルモード冗長カラム制御回路100のブロック図である。図2を参照すれば、デュアルモード冗長カラム制御回路100は電気的ヒューズボックス110、アドレス比較器120、電気的冗長性制御ブロック131、レーザー冗長性制御ブロック132〜13n(nは整数)及びRCSL発生器14i(i=1〜n)を具備する。
【0023】
冗長カラム制御回路100は冗長カラムセルアレイ(図1の32)でのn個の冗長カラムに対するアクセスを制御する。RCSL発生器14iが対応する冗長性カラム選択信号RCSLi(i=1〜n)を生じると、欠陥のあるメインアレイカラムの代りにn個の冗長カラムのうち一つが選択される。
【0024】
各RCSL発生器14i(i=1〜n)は冗長性制御ブロックから出力される対応するRCSLイネーブル信号RCSLENi(i=1〜n)に応答して活性化される。各RCSL発生器14i(i=1〜n)は直列で連結される二つのインバータ(図示せず)を利用して具現できる。
【0025】
図3は、電気的冗長性制御ブロック131及びレーザー冗長性制御ブロック132〜13nの詳細な回路図である。各レーザー冗長性制御ブロック132〜13nはレーザーヒューズボックス及びアドレス比較器、すなわち、レーザーヒューズ/比較器150を含む。レーザービームはウェーハ段階のリペア動作中にレーザーヒューズボックスにある選択されたヒューズを切断する。その後、レーザーヒューズ/比較器150はカラムアドレスCAをレーザーヒューズボックスに貯蔵された欠陥カラムアドレスと比較して、カラムアドレスCAが貯蔵されたアドレスと一致すればOUTを出力する。直列で連結されたインバータ154と共にNANDゲート152はOUTとCSLENとを論理積演算してRCSLENiを生じる。RCSLENiが発生すれば、冗長カラムiが選択される。
【0026】
電気的冗長性制御ブロック131はNANDゲート160とこれに直列で連結されたインバータ162とを含み、ENとCSLENとを論理積(AND)演算してRCSLEN1を生じる。RCSLEN1が発生すれば、冗長カラム1が選択される。
【0027】
ENはアドレス比較器120の出力であり、CAがECAと一致する時に発生する(図2参照)。ECAは電気的ヒューズボックス110に電気的に貯蔵された欠陥カラムアドレスである。したがって、冗長カラムライン2〜nはウェーハ段階リペア過程でのみプログラムされるのに対して、冗長カラム1はいずれの段階でも、すなわち、ポストリペア過程でもプログラムされる。
【0028】
図4及び図5は電気的ヒューズボックス110の一例を示す。まず図4を参照すれば、電気的ヒューズボックス110はバッファリングされる出力を有する多数の電気的ヒューズ部31a、31i(i=0〜k)を含む。各電気的ヒューズ部は1ビットのデータを貯蔵する。ヒューズ部31aはOUTaビットを貯蔵する。OUTaはバッファリングされて、電気的ヒューズボックス110がプログラムされたかどうかを示すマスタアクセス信号MAになる。ヒューズ部31i(i=0〜k)はOUTiを貯蔵する。OUTiはバッファリングされて電気的カラムアドレス信号ビットECAiになる。
【0029】
MRS(図1の62)は、外部命令語に応答してヒューズボックス110にプログラミング入力MRSA、MRSCA0〜MRSCAkを生じる。各電気的ヒューズ部は最初には第1状態にあるように、例えば、非設定アドレスビットを示すように組立てられる。MRSプログラミング入力が印加されれば対応する電気的ヒューズ部は第2状態、すなわち、設定アドレスビットを示すように設定される。したがって、ヒューズボックス110をプログラムするために、MRS62はリペアされるカラムアドレスをプログラムするために対応するカラムアドレスをMRSCA0〜kに印加し、マスタアクセスビットをプログラムするためにMRSAを活性化する。
【0030】
図5は、電気的ヒューズ部31i(i=a、0〜k)の一具現例を示す詳細な回路図である。各電気的ヒューズ部31a、31i(i=0〜k)は第1及び第2ヒューズ素子F1、F2、第1〜第5NMOSトランジスタN1〜N5、第1〜第2PMOSトランジスタP1、P2を含む。
【0031】
第1及び第2NMOSトランジスタN1、N2のドレーン、第1PMOSトランジスタP1のドレーン、第2PMOSトランジスタP2のゲート及び第3NMOSトランジスタN3のゲートが第1ノード411に共通で接続される。そして、第1PMOSトランジスタP1のゲート、第2NMOSトランジスタN2のゲート、第3及び第4トランジスタN3、N4のドレーン及び第2PMOSトランジスタP2のドレーンが第2ノード412に共通で接続される。第2ノード412の信号が出力信号OUTになる。各NMOSトランジスタのソースはグラウンドに接続され、P1、P2のソースはそれぞれヒューズF1、F2を通じてVDDに接続される。そして、N5のドレーンはP1のソースに接続される。
【0032】
ヒューズ部31iはヒューズF2の抵抗をヒューズF1の抵抗より大きくする。したがって、両ヒューズがいずれも切断されなければ、ヒューズ部に電源が供給される場合にノード412はロジックロー状態で駆動し、ノード411はロジックハイ状態で駆動する。
【0033】
第1及び第4NMOSトランジスタN1、N4のゲートに正常状態がロジックロー状態である第1入力信号MRS1が入力される。第1入力信号MRS1はヒューズF1が切断されているか否かを調べるために必要な信号であり、簡略に後述される。
【0034】
第5NMOSトランジスタN5のゲートには第2入力信号MRS2が入力される。第2入力信号MRS2は第1ヒューズ素子F1を電気的に切断するために使われる。第2入力信号MRS2がハイレベルになれば、第5NMOSトランジスタN5がターンオンされて第1ヒューズ素子F1に過電流が流れる。よって、第1ヒューズ素子F1が燃えて電気的に切断される。第1ヒューズ素子F1が切断されれば、第1PMOSトランジスタP1のソースがターンオンされる第5NMOSトランジスタN5によって低電位になり、したがって、第1ノード411の電圧が下降する。第1ノード411の電圧が下降するにつれて第2PMOSトランジスタP2はターンオンされて第2ノード412の電圧は上昇する。第2ノード412の電圧が上昇するにつれて、第2NMOSトランジスタN2がさらにターンオンされて第1ノード411の電圧はさらに下降する。このような過程を通じて結局出力信号OUTはハイレベルになる。
【0035】
プログラミング後、第1入力信号MRS1は第2入力信号MRS2の印加によりヒューズF1が完全に切断されたかどうかを決定するのに使われうる。テストモードで、MRS1は瞬間的にロジックハイ状態になって、両側ノード411、412をロジックロー状態にする。もし、ヒューズF1が切断されなかったならば、ノード411はMSR1がロー状態に回復される時にハイ状態に復帰する。
【0036】
MRS1の印加/非印加によってリペアされたアドレスラインがテストされる。テストが成功しなければ、一つ以上のヒューズが完全に切断されず、したがって冗長カラムが欠陥カラムを正常に代替できなかったことを意味する。その場合には、電気的プログラミング及びテスト過程がヒューズ切断を再試行するために反復されることがある。
【0037】
図6は、図2のアドレス比較器の一具現例を詳細に示す回路図である。アドレス比較器120は、多数の比較部51i(i=0〜k)、多数の論理積ゲート520、522、524を含む。各論理積ゲートはNANDゲートとインバータとで構成される。
【0038】
各比較部51i(i=0〜k)は1ビットXNOR(exclusive−NOR)機能を実行する。各比較部51i(i=0〜k)は電気的リペアアドレスビットECAi(i=0〜k)及び外部アドレスの対応するビットCAi(i=0〜k)を受信して同一かどうかを比較する。両ビットが同一であれば、ハイレベルの信号が出力され、両ビットが相異なればローレベルの信号が出力される。
【0039】
各比較部51i(i=0〜k)から出力される信号とマスタ信号MAとが論理積演算されて電気的リペア活性信号ENに出力される。したがって、各比較部51i(i=0〜k)から出力される出力信号がいずれもハイレベルである場合には、電気的リペア活性信号ENがハイレベルに活性化される。
【0040】
図2〜図6に図示及び説明されたように、冗長カラム制御ブロックは一つの冗長カラムをポストリペア用に使用するために、レーザーヒューズだけの冗長性スキームに比べてリペア能力を向上させる。同時に、本実施形態は、大部分のアレイ欠陥がウェーハ段階のリペア過程で存在して検出できるという認識に基づいて、大部分の冗長カラムをより経済的なレーザーヒューズ制御回路で駆動する。
【0041】
図2に示された実施形態によれば、電気的冗長性制御ブロックに関連する冗長カラムに不良が発生すれば、リペアが不可能である。すなわち、この冗長カラムが不良であれば、冗長カラム2〜nのうち一つ以上の冗長カラムが欠陥がなくて使われなかったしてもポストリペアは不可能である。これに対し、第2実施形態によれば、電気的冗長性制御信号に関するいくつかの冗長カラムのうち一つを選択させることによってポストリペアを実施する可能性を向上させる。望ましくは、ウェーハ組立て後に、欠陥のない冗長カラムがポストリペア用に割当てられる。また望ましくは、それぞれの欠陥のない冗長カラムはレーザーリペアにも割当てられる。
【0042】
図7は、第2実施形態による冗長カラム制御回路200を示すブロック図である。いろいろな面で図2と類似しているが、図7はポストリペア制御ブロック251〜25n、他の冗長性制御ブロック231〜23nを含み、制御信号が異なる。このような相異点は図7〜図10を参照して後述される。簡単に言えば、各冗長性制御ブロック23iはレーザーヒューズ機能を有するが、電気的リペア活性信号ENにも応答するように構成される。したがって、ポストリペア用にのみ具現される冗長カラムはなく、あらゆる冗長カラムはレーザーリペア用に使われてもよく、必要であれば欠陥のない冗長カラムはウェーハ組立て後にポストリペア電気的ヒューズ回路に割当てられる。このような融通性により、ウェーハ段階及びポストリペア段階で欠陥のない冗長カラムを効率的に使用できる。
【0043】
図2の冗長カラム制御回路と類似して、図7の制御回路200はMRSを利用して所望のポストリペアカラムアドレスに設定されうる電気的ヒューズボックス210を具備する。アドレス比較器220は、電気的ヒューズボックス210にプログラムされたアドレスECAとカラムアドレスCAとを比較する。アドレス比較器220はプログラムされたアドレスECAと外部アドレスCAとが一致すれば、電気的リペア活性信号ENをハイレベルに活性化する。
【0044】
図2では、電気的冗長性制御ブロック131だけが電気的リペアアドレス比較器120からENを受信するのに対し、図7では、各冗長性制御ブロック231〜23nはアドレス比較器220からENを受信する。各冗長性制御ブロック23iはまたカラムアドレスCA、及び対応するポストリペア制御ブロック25iから制御信号CSiを受信する。制御信号CSiは冗長性制御ブロック23iがENに応答するか、レーザーヒューズ/比較器と結合してCAを使用するかを決定する。典型的には、ポストリペア制御ブロック25iのうち1ブロックのヒューズだけ切断されるであろう。ポストリペア制御ブロック25i内のヒューズが切断されれば対応する制御信号CSiが活性化されるが、これは対応する冗長カラムがポストリペア用に使われうることを意味する。
【0045】
図8は、冗長性制御ブロックを詳細に示す図面である。冗長性制御ブロック23iは対応するRCSL発生器24i(i=1〜n)に冗長性活性信号RCSLENi(i=1〜n)を出力する。各冗長性制御ブロック23iはレーザーリペアのためにレーザーリペア処理パート610、ポストリペアのためにポストリペア処理パート620を含む。
【0046】
レーザーリペア処理パート610は、レーザーヒューズボックス611、アドレス比較部612及び第1論理部613を含む。
【0047】
レーザーヒューズボックス611は、多数のレーザーで切断されるヒューズを含む。レーザーヒューズは、レーザーによって選択的に切断されることによって不良セルが発生したカラムを指定するアドレスLCAにプログラムされる。
【0048】
アドレス比較部612はアドレス比較器220と同じく、レーザーヒューズボックス611にプログラムされたアドレスLCAと外部から印加されるアドレスCAとが同一であれば活性化される出力信号OUTを生じる。
【0049】
第1論理部613は、アドレス比較部612から出力される出力信号OUTと制御信号CSiとを論理和演算して第1論理信号TS1を出力する。制御信号CSiは前述したようにポストリペア制御ブロック25iから出力される信号であり、第1レベル(ここでは、ハイレベル)である場合にはポストリペアを指示する。
【0050】
ポストリペア処理パート620はインバータ621と第2論理部622とを含む。インバータ621はCSiの反転信号CSi#を生じる。第2論理部622は、制御信号CSiの反転信号CSi#と電気的リペア活性信号ENとを論理和演算して第2論理信号TS2を出力する。
【0051】
第3論理部631は、レーザーリペア処理パート610及びポストリペア処理パート620に共有されるものであり、第1及び第2論理信号TS1、TS2とカラム選択信号CSLENとを論理積演算して冗長性活性化信号RCSLENi(i=1〜n)を出力する。
【0052】
読出しまたは書込み命令が半導体メモリ装置に受信される時、外部カラムアドレスCAも共に受信される。CAにより指定されたメインカラムがリペアされなければ、いかなるリペアヒューズボックスもそのアドレスを含んでいない。CAにより指定されたメインカラムがウェーハ段階のレーザーリペア過程で代替されれば、そのカラムアドレスは冗長性制御ブロック23iのうち一つのレーザーヒューズボックス611に貯蔵される。そして、CAにより指定されたメインカラムがポストリペア過程で代替されれば、そのカラムアドレスは電気的ヒューズボックス210に貯蔵される。CAは電気的ヒューズアドレス比較器220だけでなく、各冗長性制御ブロック23iのアドレス比較器612にも提供される。各アドレス比較器はCAをそれ自体の貯蔵されたアドレスと比較する。すなわち、アドレス比較器612はCAをレーザーヒューズアドレスLCAと比較し、アドレス比較器220はCAを電気的ヒューズアドレスECAと比較する。欠陥のあるメインカラムがリペアされたとすれば、アドレス比較器のうち一つはCAと貯蔵されたアドレスとが一致することを検出して出力信号OUTまたはENを活性化する。CAにより指定されたメインカラムがリペアされなかったならば、どの比較器も出力信号を活性化しないであろう。
【0053】
第1または主要動作モードでは各冗長性制御回路23iはレーザーヒューズ−プログラムによるリペアアドレスに応答する。このモードで制御信号CSiは非活性化され、TS1はOUTに応答し、TS2は常に活性化される。したがって、CAとLCAとが一致してCSLENが活性化されれば、冗長カラム選択信号RCSLENiが活性化される。そうでなければ、冗長カラム選択信号RCSLENiは非活性状態に維持される。
【0054】
代替動作モードでは各冗長性制御回路23iは、電気的ヒューズプログラムによるリペアアドレスに応答する。このモードで制御信号CSiは活性化され、TS1は常に活性化され、TS2はENに応答する。したがって、CAとECAとが一致してCSLENが活性化されれば、冗長カラム選択信号RCSLENiが活性化される。そうでなければ、冗長カラム選択信号RCSLENiは非活性状態に維持される。
【0055】
図7の実施形態では冗長性制御ブロック23iのうち多くとも一つのブロックが代替動作モードに設定される。他のあらゆる冗長性制御ブロックは主要動作モードに設定される。どの制御ブロック23iが代替動作モードに設定されるかはポストリペア制御ブロック25iの状態によって決定される。各ポストリペア制御ブロック25iはヒューズまたは他の設定可能な素子を含む。例えば、図9はポストリペア制御ブロックの一具現例を示す。
【0056】
図9で、ポストリペア制御ブロック25iはポストリペアヒューズ710を含む。ポストリペアヒューズ710はウェーハ段階でレーザーで切断可能なヒューズであることが望ましい。制御信号CSiが活性されるか否かはポストリペアヒューズ710が切断されるか否かによって決定される。すなわち、ポストリペアヒューズ710が切断されていない場合には制御信号CSiはローレベルに非活性化され、ポストリペアヒューズ710が切断される場合には制御信号CSiはハイレベルに活性化される。
【0057】
ポストリペア制御ブロック25iは、ヒューズ710以外に二つのPMOSトランジスタP3、P4、一つのNMOSトランジスタN6及び二つのインバータ712、714を含む。PMOSトランジスタP3、P4のそれぞれはそのソースはVDDに、そのドレーンはヒューズ710の一端のノード810に接続される。NMOSトランジスタN6は、そのソースはグラウンドに、そのドレーンはヒューズ710の他の一端に接続される。
【0058】
ノード810はインバータ712の入力に接続される。ノード812はインバータ712の出力をインバータ714の入力及びPMOSトランジスタP4のゲートに連結させる。インバータ714の出力は制御信号CSiになる。
【0059】
ポストリペア制御ブロック25iの入力信号はパワーアップ信号VCCHである。パワーアップ信号VCCHの波形は図10に示されている。パワーアップ信号VCCHは半導体メモリ装置に電源POWERが印加されれば(T1)、初期にはローレベルであるが、電源レベルが一定レベル以上になれば(T2)ハイレベルになる信号である。パワーアップ信号VCCHはトランジスタP3、N6のゲートに印加される。
【0060】
ポストリペア制御ブロック25iの動作は次の通りである。まず、ポストリペアヒューズ710が切断された状態であると仮定する。半導体メモリ装置がパワーオンされれば(図10のT1時点)、パワーアップ信号VCCHはローレベル状態にあり、PMOSトランジスタP3はターンオンされる。ヒューズ710は切断された状態であるためノード810はハイレベルになる。インバータ712によってノード812はローレベルになり、制御信号CSiはハイレベルになる。
【0061】
図10のT2時点後にパワーアップ信号VCCHがハイレベルになってPMOSトランジスタP3がターンオフされても、PMOSトランジスタP4のゲートに印加される信号はローレベルであるため、PMOSトランジスタP4がターンオンされてノード810はハイレベルに維持され、制御信号CSiもハイレベルに維持される。
【0062】
一方、ポストリペア制御用ヒューズ710がレーザーで切断されていない状態であると仮定する。この状態でパワーアップ信号VCCHが入力されれば、PMOSトランジスタP3がターンオンされてノード810が一時的にハイレベルになるが、まもなくパワーアップ信号VCCHがハイレベルになれば、NMOSトランジスタN6がターンオンされてPMOSトランジスタP3はターンオフされて、ノード810はローレベルになる。インバータ712によってノード812はハイレベルになり、PMOSトランジスタP4をターンオフさせる。インバータ714はローレベルの制御信号CSiを出力する。
【0063】
本実施形態で、ポストリペア用に使われる冗長カラムラインiはウェーハ状態で決定されることが望ましい。例えば、不良が発生しない冗長カラムを調べるために冗長カラムラインがテストされる。欠陥のない冗長メモリラインはポストリペア用に割当てられる。ポストリペア用への割当ては、そのメモリラインに関するポストリペア制御ブロックのヒューズ710の切断により行われる。
【0064】
また望ましくは、ポストリペア用に使われる冗長メモリラインの選択はウェーハ段階のレーザーヒューズリペア動作と関連して行われる。例えば、どんなラインが不良であるかを調べるためにメイン及び冗長カラムラインがウェーハ段階でテストされる。各不良メインアレイカラムラインに対しては欠陥のない冗長メモリラインが指定され、冗長メモリラインに関するレーザーヒューズボックス(図8の611)が不良メインアレイカラムラインのアドレスでプログラムされる。あらゆる不良メインメモリラインがリペアされて欠陥のない冗長メモリラインが指定されないまま残っている場合、残っている欠陥のない冗長メモリラインのうち一つがポストリペア用に割当てられる。ポストリペア用への割当ては、そのメモリラインに関するポストリペア制御ブロックのヒューズ710の切断により行われる。
【0065】
そして、半導体メモリ装置はパッケージングされ、パッケージ状態で第2のテストが行われる。
【0066】
前記半導体メモリ装置のパッケージ状態で不良メモリカラムが発生すると、MRS260を利用して電気的ヒューズボックス210を欠陥カラムアドレスでプログラムする命令語を印加することによってリペアが行われる。ポストリペア制御ブロック25iがレーザーリペア後に使用可能でありポストリペア用に割当てられたならば、ポストリペアが可能になる。
【0067】
ウェーハ段階テスト及びプログラミング中にポストリペア用カラムを選択することが望ましいが、他の実施形態も可能である。例えば、図11は、ボンディングパッド830を通じてポストリペア用カラムを選択する他のポストリペア制御ブロック27iの具現例を示す。一状態ではボンディングパッド830は連結されないまま残っている。NMOSトランジスタ N7、N8、N9はノード820をローレベルに引き下げることによって、インバータ720、722によりローレベルの制御信号CSiが出力されるようにする。
【0068】
他の状態ではボンディングパッド830はVDDに接続される。したがって、ノード820及び制御信号CSiはハイレベルになる。制御信号CSiをハイレベルにしてポストリペア用冗長カラムを選択するためには、ボンディングパッド830はワイヤボンディング中にVDDパッドにワイヤボンディングされねばならない。ポストリペア用冗長カラムを選択するための他の方法は、ボンディングパッド830を半導体メモリ装置外部のチップキャリア上のリード(lead)線でVDDに接続されるリード線にワイヤボンディングすることである。
【0069】
さらに他の選択方法の実施形態が図12及び図13に示される。この例はパッケージング後にポストリペア比較器220に関する冗長カラムの選択を可能にする。図12で、各ポストリペア制御ブロック28i(i=1〜n)はMRS290から出力される対応する制御ラインMRSPRCiを通じて電気的にプログラム可能である。与えられたポストリペア制御ブロック28iを電気的ヒューズボックスアドレス比較器220と結合させるために制御ラインMRSPRCiを活性化する命令が印加される。すると、ポストリペア制御ブロック28i内の電気的ヒューズが切断されて、制御信号CSiが活性化される。
【0070】
この例では、どの冗長性制御ブロック23iが相変らず使用可能であり、欠陥がないかを調べるのが困難である。このような問題を解決するために、各ポストリペア制御ブロック28iはポストリペア制御ブロック28i内の電気的ヒューズが切断されることを防止するレーザーヒューズを含む。したがって、ウェーハ段階プログラミング中に各冗長性制御ブロック23iはレーザーリペア用に使われ、対応するポストリペア制御ブロック28i内のレーザーヒューズは対応するポストリペア制御ブロックの電気的プログラミングを防止するためにまた切断される。与えられた冗長カラムが不良であると分かれば、対応するポストリペア制御ブロック内のレーザーヒューズはまた、そのポストリペア制御ブロックの電気的プログラミングを防止するために切断される。
【0071】
その後、欠陥カラムのポストリペア中に、最初のiに対してポストリペア制御ブロックの選択及び電気的ヒューズ切断が行われる。この最初の選択後、欠陥カラムがリペアされなかったならば、対応するポストリペア制御ブロックはディスエーブルされたと推定される。すると、リペアが正常に完了するまで新しいiを選択して前記過程を繰り返し、全てのiに対してリペアが成功しなければ、ポストリペアは失敗したことになる。
【0072】
図13は、図12に示されたポストリペア制御ブロック28iの一具現例を示す回路図である。
【0073】
制御ブロック28iは、ヒューズ730が切断されていない状態ではパワーアップ後に制御信号CSiがロジックローレベルになり、ヒューズ730が切断された状態ではパワーアップ後に制御信号CSiがロジックハイレベルになるという点で、図9に示された制御ブロック25iと類似して動作する。ヒューズ730を切断するために、MRSPRCiが活性化されてトランジスタP7をターンオンさせることによってヒューズ730を通じて過電流を流す。この過電流はヒューズ740を通じて流れる。したがって、ヒューズ740は切断されずに、これを通じて電流が流れねばならない。
【0074】
制御ブロック28iのプログラミングを防止するためには、ヒューズ740がレーザーで切断される。ヒューズ740が切断されればMRSPRCiが活性化された場合には、ヒューズ730を通じて過電流が流れられない。
【0075】
前記実施形態は一回のポストリペア動作を行うが、本発明はこれに限定されない。すなわち、ポストリペア用冗長性カラムの数は可変である。例えば、図14は、2回のポストリペア動作を行えるリペア回路900を示すブロック図である。リペア回路900は、図7に示されたポストリペア回路200と類似して、冗長性制御ブロック93i(i=1〜n)、RCSL発生器94i(i=1〜n)及びポストリペア制御ブロック95i(i=1〜n)を具備する。図7に示されたポストリペア回路200との差異点は、リペア回路900は2つの電気的ヒューズボックス911、912及びアドレス比較器921、922を具備するという点である。
【0076】
2つの電気的ヒューズボックス911、912は、MRS260から出力される多数の信号MRS1、MRSCAiにより制御されて、内部の電気的ヒューズが選択的に切断されることによって欠陥カラムを指定する第1及び第2電気的カラムアドレスECA1、ECA2でそれぞれプログラムされる。ヒューズボックスのプログラムが独立して行われるように、電気的ヒューズボックスは一つのMRS信号を他のMRS信号をゲート制御するのに使用できる。
【0077】
アドレス比較器921は、第1電気的ヒューズボックス911にプログラムされた第1電気的カラムアドレスECA1と外部から印加されるアドレスCAとを比較して両アドレスECA1、CAが一致すれば、第1電気的リペア活性信号EN1を活性化する。アドレス比較器922は、第2電気的ヒューズボックス912にプログラムされた第2電気的カラムアドレスECA2と外部から印加されるアドレスCAとを比較して両アドレスECA2、CAが一致すれば第2電気的リペア活性信号EN2を活性化する。
【0078】
第1及び第2電気的リペア活性信号EN1、EN2は冗長性制御ブロック93i(i=1〜n)に入力される。
【0079】
冗長性制御ブロック93i(i=1〜n)はポストリペア制御ブロック95i(i=1〜n)から入力される制御信号CSi(i=1〜n)、第1及び第2電気的リペア活性信号EN1、EN2によって、レーザーリペアを行うこともあり、ポストリペアを行うこともある。回路900で各制御信号CSiは2つの信号線で構成されて、一つの信号線CSi_1はEN1と、もう一つの信号線CSi_2はEN2と対をなす。冗長性制御ブロック93iはCSi_1とCSi_2がいずれもローレベルである時はレーザーリペアブロックとして動作する。冗長性制御ブロック93iはCSi_1がハイレベルであり、CSi_2がローレベルである場合はリペアアドレスECA1に応答してポストリペアブロックとして動作する。冗長性制御ブロック93iはCSi_1がローレベルであり、CSi_2がハイレベルである場合はリペアアドレスECA2に応答してポストリペアブロックとして動作する。
【0080】
2つの制御信号を生じるために各ポストリペア制御ブロック95iは、2つのレーザーヒューズ及び図9に示された回路と類似した回路を2セット含む。
【0081】
図15は、図12に示されたリペア回路200に一部の変更を加えた回路のブロック図である。この実施形態は、図12に示された実施形態により修正されない、2つの起こりうる失敗の場合を修正できるようにする。第1の失敗の場合は、メインカラムをレーザーリペアしたが、そのレーザーリペアに関するリペアカラムも不良である場合である。第2の失敗の場合は、ポストリペア用に割当てられたカラムがこのリペア後に不良であると明らかになった場合である。両方の場合において、図12に示された実施形態は、特定アドレスを他の冗長カラムに更にリペアできない。
【0082】
このような失敗の場合をカバーするために、図15に示された実施形態は、ポストリペア制御ブロックのオーバーライドの概念を導入する。その概念は冗長性制御ブロック間に適用される。図15に示されたように、冗長性制御ブロック291は冗長性制御ブロック292にオーバーライド信号OVR1を生じ、冗長性制御ブロック292は冗長性制御ブロック293にオーバーライド信号OVR2を生じ、前記パターンは冗長性制御ブロック29nまで続く。ある冗長性制御ブロックがロジックローレベルのオーバーライド信号を受信すれば、これに応答して2つの動作を行う。一つはロジックローレベルのオーバーライド信号を次の冗長性制御ブロックにパスする動作であり、もう一つはアドレスマッチが発生してもそれ自体のRCSLENが活性化されないように遮断する動作である。冗長性制御ブロックはまた、遮断されずにそれ自体のプログラムされたアドレスとアドレスマッチが発生すれば、それ自体のオーバーライド信号を活性化する。
【0083】
実際に、本実施形態で冗長性制御ブロック29i及びポストリペア制御ブロック28iはブロックnから始まってブロック1に上がりながら使用できる。例えば、レーザーリペア中にいくつかの不良カラムがリペアされると仮定する。そのうち最後のものは冗長性制御ブロック293をリペアアドレスRA3でレーザープログラミングすることによってリペアされ、冗長性制御ブロック292、291はポストリペア用に利用できると仮定する。この場合、ポストリペア制御ブロック283〜28nは前述したように、レーザーリペア中にディスエーブルされる。冗長性制御ブロック293はCAがRA3と一致して、CSLENが活性化されるごとにRCSLEN3を活性化する。
【0084】
その後、パッケージング後にポストリペアテスト中にアドレスRA3に対して不良が検出されたと仮定する。これは冗長制御ブロック293に関する冗長カラムに不良が発生した可能性が高い。しかし、ポストリペアテスト過程でこのアドレスが一回リペアされたかどうかが分からない。したがって、このアドレスに対して再びリペアする。アドレスRA3は電気的ヒューズボックス210にプログラムされる。リペアシステムはポストリペア制御ブロック28nをプログラミングしようとするが、このポストリペア制御ブロック28nはレーザーリペア中にディスエーブルされたため、その試みは失敗する。リペアシステムは次のポストリペア制御ブロック28n−1をプログラミングしようとし、その試みはポストリペア制御ブロック282まで続く。ポストリペア制御ブロック282はレーザーリペアに使われないため、ポストリペアに使われうる。プログラミングが完了すれば、CS2がハイレベルに活性化される。
【0085】
カラムRA3がテストされる場合には、CAとECAとが一致する。したがって、ENとCS2とがいずれも活性化されれば、制御ブロック292は対応する冗長カラムを選択するためにRCSLEN2を活性化する。同時に、冗長制御ブロック292はオーバーライド信号OVR2をロジックローレベルにする。ロジックローレベルのOVR2を受信する冗長性制御ブロック293はそれ自体の内部アドレス比較器がアドレスマッチを検出しても、RCSLEN3が活性化されることを遮断する。
【0086】
前記例で一段階進めると、RCSL2に関するリペアカラムが不良である場合も可能である。すると、電気的ポストリペアにもかかわらず、カラムRA3がテストされる場合に不良が発生する。ポストリペアシステムは他のポストリペア制御ブロック281を使用してプログラムする。すると、CS1とCS2とがいずれも活性化される。CAとRA3とが一致するごとに、冗長性制御ブロック291、292、293は内部アドレスマッチを検出する、しかし、冗長性制御ブロック291の優先度が高いので、OVR1信号を利用して冗長性制御ブロック292がRCSLEN2を活性化することを遮断する。また、ブロック292は冗長性制御ブロック293を遮断する。
【0087】
図16は、前記の機能を行う冗長性制御ブロック29iの一例を示す。レーザーヒューズボックス611及びアドレス比較器612は図8に示されたブロックと同様に動作する。ロジック素子613は、OUTを制御信号CSiと否定論理和演算して第1ロジック信号TS1#を出力する。ロジック素子622はCSi#を電気的リペア活性信号ENと否定論理和演算して第2ロジック信号TS2#を出力する。NORゲート641は、第1ロジック信号TS1#及び第2ロジック信号TS2#を受信してロジック素子631に入力される信号を生じる。ロジック素子631の他の入力はCSLEN及びOVR(i−1)である。ロジック素子631は前記3つの信号を論理積演算してカラム選択イネーブル信号RCSLENiを生じる。OVR(i−1)がロジックローレベルである場合には、RCSLENiの活性化が防止される。
【0088】
さらにもう2つのロジックゲートは出力優先信号OVRiを生じるのに使われる。インバータ642はOVR(i−1)を反転する。NORゲート643はNORゲート641の出力及びインバータ642の出力を受信して出力優先信号OVR(i)を出力する。OVR(i−1)がロジックローであればOVR(i)もロジックローになる。OVR(i)はまた、冗長性制御ブロック29iがアドレスマッチを検出して第1及び第2ロジック信号TS1#、TS2#がいずれもローレベルになれば、ロジックローになる。
【0089】
本発明は図面に示された一実施形態を参考して説明されたが、これは例示的なものに過ぎず、当業者によればこれより多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解できよう。例えば、冗長性制御ブロックと冗長性メモリラインとの関連性は多様な構成で表現可能である。一部の冗長性制御ブロックだけデュアルモード(ウェーハ段階のレーザープログラミング及びポストリペアプログラミング)機能を有し、残りの冗長性制御ブロックはデュアルモード機能を有しなくてもよい。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は特許請求の範囲の技術的思想により決まらねばならない。
【0090】
【発明の効果】
本発明によれば、ポストリペア用冗長性ラインがレーザーリペア用冗長性ラインと別途に備わる必要がない。そして、レーザーリペアに使われない冗長性ラインを予めテストして不良のない良品の冗長性ラインをポストリペア用に選択することによってポストリペアの成功確率が非常に高まる。
【0091】
したがって、本発明によればリペア効率が向上して半導体メモリ装置の収率が大きく増加する効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施形態による半導体メモリ装置を示すブロック図である。
【図2】デュアルモードリペア回路の一実施形態を示すブロック図である。
【図3】図2の冗長性制御ブロックを詳細に図示する回路図である。
【図4】図2の電気的ヒューズブロック及びアドレス比較器の詳細な回路図である。
【図5】図2の電気的ヒューズブロック及びアドレス比較器の詳細な回路図である。
【図6】図2の電気的ヒューズブロック及びアドレス比較器の詳細な回路図である。
【図7】電気的ヒューズブロックを多数の冗長カラムのうち一つに結合させる手段を有するデュアルモードリペア回路の第2実施形態を示すブロック図である。
【図8】図7の冗長性制御ブロックを詳細に示す回路図である。
【図9】図7のポストリペア制御ブロックの詳細な回路図である。
【図10】図9のポストリペア制御ブロックに入力されるパワーアップ信号の波形図である。
【図11】図7のポストリペア制御ブロックの他の具現例を示す図面である。
【図12】電気的ヒューズポストリペアブロックを有するデュアルモードリペア回路の第3実施形態を示すブロック図及びポストリペア制御ブロックの回路図である。
【図13】電気的ヒューズポストリペアブロックを有するデュアルモードリペア回路の第3実施形態を示すブロック図及びポストリペア制御ブロックの回路図である。
【図14】2回のポストリペア動作を行える電気的なヒューズブロックを有するデュアルモードリペア回路の第4実施形態を示すブロック図である。
【図15】以前の失敗したリペア動作の試みをオーバーライドする機能を有する冗長性制御ブロックを有するデュアルモードリペア回路の第5実施形態を示すブロック図である。
【図16】図15の冗長性制御ブロックの一具現例である。
【符号の説明】
210 電気的ヒューズボックス
220 アドレス比較器
231、232、233、23n 冗長性制御ブロック
241、242、243、24n RCSL発生器
251、252、253、25n ポストリペア制御ブロック
260 モードレジスタセット(MRS)
Claims (36)
- それぞれが対応する複数のメインメモリセルに連結されてアドレス可能なメインメモリラインの集合と、
複数の第1冗長メモリセルに連結される第1冗長メモリラインと、
入力アドレスが選択されたメモリラインアドレスと一致する度に前記第1冗長メモリラインを選択できる冗長メモリライン制御回路と、
を具備し、
前記冗長メモリライン制御回路は、前記入力アドレスを第1主要貯蔵アドレスと比較する第1比較に基づいて前記複数の第1冗長メモリラインのいずれかを選択する主要モードと、前記入力アドレスを第1代替貯蔵アドレスと比較する第2比較に基づいて前記複数の第1冗長メモリラインのいずれかを選択する代替モードとを有し、
前記冗長メモリライン制御回路は、前記代替モードでは、前記第1主要貯蔵アドレスに対して不良が検出された場合に、前記第1主要貯蔵アドレスが入力されると、前記主要モードで使用するために選択された第1冗長メモリラインを前記代替モードで選択される第1冗長メモリラインで代替し、
前記第1代替貯蔵アドレスはメモリ装置がパッケージングされた後に貯蔵されうることを特徴とする半導体メモリ装置。 - 前記冗長メモリライン制御回路は、
前記第1主要貯蔵アドレスを貯蔵する第1レーザーヒューズボックスと、
前記第1代替貯蔵アドレスを貯蔵する第1ポストリペアアドレスボックスと、
前記第1比較を行って前記第1比較結果が真である時に第1主要信号をイネーブルする第1主要アドレス比較器と、
前記第2比較を行って前記第2比較結果が真である時に第1代替信号をイネーブルする第1ポストリペアアドレス比較器と、
前記主要モードでは前記第1主要信号に応答して前記第1冗長メモリラインを選択し、前記代替モードでは前記第1代替信号に応答して前記第1冗長メモリラインを選択するモード選択回路と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置。 - 前記半導体メモリ装置はモードレジスタセット回路をさらに具備し、
前記第1ポストリペアアドレスボックスは前記第1代替貯蔵アドレスを貯蔵する多数の電気的ヒューズ部を含み、
前記電気的ヒューズ部は、半導体メモリ装置のパッケージング後に印加される外部命令語に応答して前記モードレジスタセット回路から発生するモードレジスタセット信号の集合に応答して前記第1代替貯蔵アドレスを貯蔵することを特徴とする請求項2に記載の半導体メモリ装置。 - 前記モード選択回路は、
レーザーヒューズを含んで制御信号を生じるポストリペア制御ブロックを有し、前記ポストリペア制御ブロックは、前記レーザーヒューズが切断されていない場合には前記制御信号を第1ロジックレベルに設定し、前記レーザーヒューズが切断された場合には前記制御信号を第2ロジックレベルに設定することを特徴とする請求項2に記載の半導体メモリ装置。 - 前記半導体メモリ装置は、前記半導体メモリ装置のパワーアップ後に前記半導体メモリ装置に供給される電圧が所定の閾値に到達するまではロジックローレベルのパワーアップ信号を生じるパワーアップ信号回路をさらに具備し、
前記ポストリペア制御ブロックは、前記パワーアップ信号がロジックハイレベルにスイッチングされた後に前記パワーアップ信号に応答することを特徴とする請求項4に記載の半導体メモリ装置。 - 前記ポストリペア制御ブロックは前記パワーアップ信号に応答するラッチを含み、
前記ポストリペア制御ブロックは前記パワーアップ信号がロジックローレベルである間には前記ラッチを前記第1ロジックレベルに設定し、前記パワーアップ信号がロジックハイレベルに転換された後にはレーザーヒューズが切断されるか否かによって前記第1ロジックレベルに維持されるか、又は前記第2ロジックレベルに転換されることを特徴とする請求項5に記載の半導体メモリ装置。 - 前記モード選択回路は、
前記制御信号が前記第1または第2ロジックレベルのうちいずれに設定されるかによって前記第1主要信号及び前記第1代替信号のうち一つを複製するゲートロジックをさらに含むことを特徴とする請求項4に記載の半導体メモリ装置。 - 前記モード選択回路はカラム選択信号をさらに受信し、
前記第1冗長メモリラインは前記カラム選択信号の状態によってイネーブルされることを特徴とする請求項7に記載の半導体メモリ装置。 - 前記モード選択回路は、
ボンディングパッドを含んで制御信号を生じるポストリペア制御ブロックを有し、前記ポストリペア制御ブロックは、前記ボンディングパッドが基準電圧にワイヤされた場合には前記制御信号を第1ロジックレベルに設定し、前記ボンディングパッドが前記基準電圧にワイヤされていない場合には前記制御信号を第2ロジックレベルに設定することを特徴とする請求項2に記載の半導体メモリ装置。 - 前記ポストリペア制御ブロックはプルダウン回路及びバッファをさらに具備し、
前記プルダウン回路は前記バッファ入力及び前記ボンディングパッドに連結されるプルダウンノードを有し、前記ボンディングパッドが前記基準電圧にワイヤされていない場合には前記バッファ入力をロジックローレベルに引き下げて、前記ボンディングパッドが前記基準電圧にワイヤされた場合には前記バッファ入力を前記基準電圧に実質的に維持させることを特徴とする請求項9に記載の半導体メモリ装置。 - 前記モード選択回路は、
ボンディングパッドを含んで制御信号を生じるポストリペア制御ブロックを有し、前記ポストリペア制御ブロックは、前記ボンディングパッドが電源供給電圧にワイヤされている場合には前記制御信号を第1ロジックレベルに設定し、前記ボンディングパッドが前記グラウンド電圧にワイヤされている場合には前記制御信号を第2ロジックレベルに設定することを特徴とする請求項2に記載の半導体メモリ装置。 - 前記半導体メモリ装置はモードレジスタセット回路をさらに具備し、
前記モード選択回路は電気的ヒューズを含んで制御信号を生じるポストリペア制御ブロックを有し、前記ポストリペア制御ブロックは、前記電気的ヒューズが切断されていない場合には前記制御信号を第1ロジックレベルに設定し、前記電気的ヒューズが切断された場合には前記制御信号を第2ロジックレベルに設定し、
前記電気的ヒューズは、半導体メモリ装置のパッケージング後に印加される外部命令に応答して前記モードレジスタセットから発生するモードレジスタセット信号に応答して切断されることを特徴とする請求項2に記載の半導体メモリ装置。 - 前記ポストリペア制御ブロックは、
電気的プログラミングによって前記制御信号の状態が変更されることを防止するレーザーヒューズをさらに含むことを特徴とする請求項12に記載の半導体メモリ装置。 - 前記半導体メモリ装置は複数の第2冗長メモリセルに連結される第2冗長メモリラインをさらに具備し、
前記冗長メモリライン制御回路は、
前記第2主要貯蔵アドレスを貯蔵する第2レーザーヒューズボックス、及び前記入力アドレスを前記第2主要貯蔵アドレスと比較して比較結果が真である時に第2主要信号をイネーブルする第2主要アドレス比較器を含み、前記主要モードで前記第2主要信号に応答して前記第2冗長メモリラインを選択することを特徴とする請求項2に記載の半導体メモリ装置。 - 前記モード選択回路は、
前記代替モードでは前記第1代替信号に応答して前記第1冗長メモリラインの代りに前記第2冗長メモリラインを選択できることを特徴とする請求項14に記載の半導体メモリ装置。 - 前記半導体メモリ装置は、
第2代替貯蔵アドレスを貯蔵する第2ポストリペアアドレスボックスと、
前記入力アドレスを前記第2代替アドレスと比較する第3比較を行って、前記第3比較結果が真である時に第2代替信号をイネーブルする第2ポストリペアアドレス比較器とを具備し、
前記モード選択回路は前記代替モードで前記第2代替信号に応答して前記第1冗長メモリラインを選択できることを特徴とする請求項14に記載の半導体メモリ装置。 - それぞれが対応する複数のメインメモリセルに連結されてアドレス可能なメインメモリラインの集合と、
複数の第1冗長メモリセルに連結される第1冗長メモリラインと、
複数の第2冗長メモリセルに連結される第2冗長メモリラインと、
それぞれがメモリラインアドレスを貯蔵でき、前記メモリラインアドレスを入力アドレスと比較して前記比較結果が真である時に比較器の出力信号をイネーブルする第1及び第2レーザーヒューズ/比較器と第1電気的ヒューズ/比較器と、
第1プログラムによる構成で前記第1レーザーヒューズ/比較器出力信号及び前記第1電気的ヒューズ/比較器出力信号の選択に基づいて前記第1冗長メモリラインを選択でき、第2プログラムによる構成で前記第2レーザーヒューズ/比較器出力信号及び前記第1電気的ヒューズ/比較器出力信号の選択に基づいて前記第2冗長メモリラインを選択できる冗長メモリライン制御回路と、
を具備し
前記冗長メモリライン制御回路は、前記メモリラインアドレスに対して不良が検出された場合に、前記メモリラインアドレスが入力されると、前記第1プログラムによる構成で選択された第1冗長メモリラインを前記第2プログラムによる構成で選択される第2冗長メモリラインで代替することを特徴とする半導体メモリ装置。 - 前記半導体メモリ装置は前記第1電気的ヒューズ/比較器と類似した第2電気的ヒューズ/比較器をさらに具備し、
前記冗長メモリライン制御回路は、また第3プログラムによる構成で前記第2電気的ヒューズ/比較器出力信号の選択に基づいて前記第1冗長メモリラインを選択できることを特徴とする請求項17に記載の半導体メモリ装置。 - 前記半導体メモリ装置は外部命令の一部として電気的ヒューズプログラミング信号を受信することができるモードレジスタセット回路をさらに具備し、
前記モードレジスタセット回路は前記プログラミング信号のプログラミングターゲットが前記第1電気的ヒューズ/比較器か、あるいは前記第2電気的ヒューズ/比較器かを検出して、前記プログラミング信号の一部として提供されるリペアアドレスで前記プログラミングターゲットをプログラミングすることを特徴とする請求項18に記載の半導体メモリ装置。 - 前記半導体メモリ装置は、外部命令の一部として電気的ヒューズプログラミング信号を受信できるモードレジスタセット回路をさらに具備し、
前記モードレジスタセット回路は、前記プログラミング信号の一部として提供されるリペアアドレスで前記第1電気的ヒューズ/比較器をプログラミングすることを特徴とする請求項17に記載の半導体メモリ装置。 - 前記冗長メモリライン制御回路は、
電気的ヒューズを含み、前記プログラムによる構成を選択するのに使われる制御信号を生じるポストリペア制御ブロックを有し、前記ポストリペア制御ブロックは、前記電気的ヒューズが切断されていない場合には前記制御信号を第1ロジックレベルに設定し、前記電気的ヒューズが切断された場合には前記制御信号を第2ロジックレベルに設定し、
前記電気的ヒューズは、半導体メモリ装置のパッケージング後に印加される外部命令語に応答して前記モードレジスタセット回路から発生するモードレジスタセット信号に応答して切断されることを特徴とする請求項20に記載の半導体メモリ装置。 - 前記半導体メモリ装置は、
前記冗長メモリライン制御回路が前記第1及び第2冗長メモリラインの両方を選択しても強制的に前記第1冗長メモリラインを選択させるオーバーライド回路をさらに具備することを特徴とする請求項21に記載の半導体メモリ装置。 - 前記半導体メモリ装置は、前記第1及び第2冗長メモリラインと前記第1及び第2レーザーヒューズ/比較器と類似した第3冗長メモリライン及び第3レーザーヒューズ/比較器をさらに具備し、
前記冗長メモリライン制御回路は、第3プログラムによる構成で前記第3レーザーヒューズ/比較器出力信号または前記第1電気的ヒューズ/比較器出力信号の選択に基づいて前記第3冗長メモリラインを選択でき、
前記オーバーライド回路は、前記冗長メモリライン制御回路が前記第2及び第3冗長メモリラインの両方を選択しても強制的に前記第2冗長メモリラインを選択させ、前記冗長メモリライン制御回路が前記第1及び第3冗長メモリラインの両方を選択しても強制的に前記第1冗長メモリラインを選択させることを特徴とする請求項22に記載の半導体メモリ装置。 - 前記ポストリペア制御ブロックはレーザーで切断可能なヒューズを含み、
前記レーザーで切断可能なヒューズが切断されたかどうかによって、前記電気的ヒューズがモードレジスタセット信号に応答して切断されるかどうかが決定されることを特徴とする請求項21に記載の半導体メモリ装置。 - 前記半導体メモリ装置は、
前記冗長メモリライン制御回路が前記第1及び第2冗長メモリラインの両方を選択しても強制的に前記第1冗長メモリラインを選択させるオーバーライド回路をさらに具備することを特徴とする請求20に記載の半導体メモリ装置。 - それぞれが一つのレーザーヒューズ/比較器に結合されている複数の冗長メモリライン及びメインメモリラインの集合を具備する半導体メモリ装置をリペアする方法において、
前記半導体メモリ装置をパッケージに組立てる前には、
どのラインが不良であり、どのラインが不良でないかを決定するために前記メインメモリラインをテストする段階と、
各不良メインメモリラインに対して、前記不良メインメモリラインを代替するために割当てられる前記冗長メモリラインのうち一つと結合された前記レーザーヒューズ/比較器を構成する段階とを具備し、
前記半導体メモリ装置をパッケージに組立てた後には、
不良メモリラインが存在するかどうかを調べるために前記外部でアドレス可能なメモリラインをテストする段階と、
前記レーザーヒューズ/比較器を構成する段階で結合された前記冗長メモリラインに不良が検出された場合、前記不良が検出された冗長メモリラインを代替するために他の冗長メモリラインを電気的に割当てる段階とを具備する半導体メモリ装置のリペア方法。 - 前記半導体メモリ装置のリペア方法は、
前記組立て前に、前記割当てられた冗長メモリラインのそれぞれが前記半導体メモリ装置の組立て後に電気的に割当てられることを防止するために、前記割当てられた冗長メモリラインのそれぞれと結合されたレーザーで設定可能なヒューズを設定する段階をさらに具備することを特徴とする請求項26に記載の半導体メモリ装置のリペア方法。 - 前記半導体メモリ装置のリペア方法は、
前記組立て前に、どの冗長メモリラインが不良でないかを調べるために前記冗長メモリラインをテストする段階をさらに具備することを特徴とする請求項27に記載の半導体メモリ装置のリペア方法。 - 前記半導体メモリ装置のリペア方法は、
前記組立て前に、前記割当てられた冗長メモリラインのそれぞれが前記半導体メモリ装置の組立て後に電気的に割当てられることを防止するために、前記割当てられた冗長メモリラインのそれぞれと結合されたレーザーで設定可能なヒューズを設定する段階をさらに具備することを特徴とする請求項28に記載の半導体メモリ装置のリペア方法。 - 前記不良メモリラインを代替するために冗長メモリラインを電気的に割当てる段階は、
前記不良メモリラインと結合されたアドレスを電気的ヒューズボックスに設定する段階と、
利用可能な冗長メモリラインが全部試みられるか、または前記不良メモリラインが代替されるまで、冗長メモリラインに関するリペアアドレスの集合をルーピングする段階と、
前記リペアアドレスに関する電気的ヒューズを設定するように試みる段階と、
前記リペアアドレスに関するメモリラインが相変らず不良であるかどうかを調べるために前記不良メモリラインに関するアドレスをテストする段階とを具備することを特徴とする請求項27に記載の半導体メモリ装置のリペア方法。 - 前記リペアアドレスの集合をルーピングする段階は、
前記リペアアドレスをこれらの各々の冗長メモリラインに対するオーバーライド優先度によって所定の順序に配列する段階を含み、
前記所定の順序で後ろのアドレスはより高いオーバーライド優先度を有し、
高いオーバーライド優先度に基づいて、低い優先度を有するメモリラインが不良メモリラインアドレスと既に関連しているとしても、前記高いオーバーライド優先度を有するリペアアドレスに関する冗長メモリラインを選択することを特徴とする請求項30に記載の半導体メモリ装置のリペア方法。 - 前記半導体メモリ装置のリペア方法は、
前記組立て前に、前記冗長メモリラインのうち一つを不良メインメモリラインの代替のために割当てる場合には、前記オーバーライド優先度に対応する所定の順序に冗長メモリラインを割当てる段階をさらに具備することを特徴とする請求項31に記載の半導体メモリ装置のリペア方法。 - それぞれが一つのレーザーヒューズ/比較器に結合されている複数の冗長メモリライン及びメインメモリラインの集合を具備する半導体メモリ装置をリペアする方法において、
前記半導体メモリ装置をパッケージに組立てる前に、
どのラインが不良であり、どのラインが不良でないかを調べるために前記メインメモリライン及び前記冗長メモリラインをテストする段階と、
各不良メインメモリラインに対して、前記不良メインメモリラインを代替するために割当てられる前記不良のない冗長メモリラインのうち一つと結合された前記レーザーヒューズ/比較器を構成する段階と、
欠陥メモリラインの代替後にも前記不良のない冗長メモリラインが残っている場合、前記残っている不良のない冗長メモリラインをポストリペア用に割当てる段階と、
前記レーザーヒューズ/比較器を構成する段階において結合された前記冗長メモリラインに不良が検出された場合、前記不良が検出された冗長メモリラインを、前記割当てられたポストリペア用冗長メモリラインと代替するために前記レーザーヒューズ/比較器の代りに前記ポストリペア比較器と結合させる段階とを具備する半導体メモリ装置のリペア方法。 - 前記半導体メモリ装置のリペア方法は、
前記半導体メモリ装置をパッケージに組立てた後に、
前記メインメモリラインのうちどのラインが不良かを調べるために前記メインメモリラインを再びテストする段階と、
前記再テスト過程中に前記メインメモリラインのうち一ラインが不良であると決定されれば、前記不良メインメモリラインを代替するために前記割当てられたポストリペア冗長メモリラインと結合されたポストリペア比較器を構成する段階とをさらに具備することを特徴とする請求項33に記載の半導体メモリ装置のリペア方法。 - 前記割当てられたポストリペア用冗長メモリラインを前記ポストリペア比較器と結合させる段階は、
ヒューズを切断することによって、前記ポストリペア比較器が前記割当てられたポストリペア用冗長メモリラインと結合されるように選択ロジックを構成する段階と、
前記割当てられたポストリペア用冗長メモリラインに結合されたレーザーヒューズ/比較器との結合を遮断する段階とを含むことを特徴とする請求項33に記載の半導体メモリ装置のリペア方法。 - 前記ヒューズの切断は、前記半導体メモリ装置のパッケージング後に外部命令により行われることを特徴とする請求項35に記載の半導体メモリ装置のリペア方法。
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