JP4424473B2 - 防振装置及びこれを用いた防振対象装置 - Google Patents

Description

本発明は、高い防振効果が必要とされる光ディスク製造装置、半導体製造装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、特殊な光学系実験装置や回転機構を有するオーディオ装置、ビデオ装置など防振対象装置に用いて好適な防振装置及びこれを用いた防振対象装置に関する。

図５に示すように、防振を必要とする防振対象装置１は、通常、防振装置１０を介して大地に設置される。防振装置１０は大地より伝播する外乱としての機械振動を何らかの方法で吸収または遮断して防振対象装置１への振動を限りなくゼロに近づけることが要求される。

防振装置には大きく分けてアクティブ型とパッシブ型に分けることができるが、一般的にアクティブ型は高い防振効果が期待できる反面、非常に高価であり、大規模な装置が必要となるため、特殊な光学系実験、光ディスク製造装置、半導体設備など、その用途は限定されている。逆にパッシブ型は安価ではあるが、防振効果には或る程度の限界があるため、高い制振レベルを要求される場合には他の防振装置との組み合わせが必要であった。パッシブ型にはエアコンディショナーの台座などによく見られるようなゴム或いはスプリングなどの緩衝材により振動を自らが吸収し、制振する構造部材により振動を吸収するタイプが一般的である。

しかし、焼結合金のような減衰効果のある高剛性材料を用いて振動を遮断するする防振装置も少数ではあるが音響製品用などに存在する。この防振装置２０は、図６に示したように、高剛性部材である円錐型スパイク２１と台座２２との接触を限りなく点接触に近付けたものが使われるようになってきた。この高剛性剛部材を用いる場合、大地との接触部分をできるだけ点に近い状態で接触させ、その部分で伝播する振動を遮断するが、接触部分はできるだけ点に近くすることにより高い防振効果が期待できる。

しかし、この防振装置２０は防振対象装置自体の重量が重い場合、自重により円錐型スパイク２１の先端が変形し、実際には点接触としての効果が期待できなくなってくる。このため音響製品でよく見られる三角錐型スパイクは、たとえ先端部分を焼入れすることにより剛性を高めても、非常にミクロに見れば自重により台座２２受け面２３と面接触または線接触に近い状態にあり、その効果には疑問がある。

そこで一般工業用部品として安価に入手可能な市販の硬球を用い、簡単な機械構造でほぼ理想的な状態の点接触を実現することができる防振装置が使われている。その数例を挙げるならば、先ず、図７に示したような鋼球を用いた防振装置３０が特開平５−２０３４０４に開示されている。この公開特許公報における防振装置３０は、走査プローブ顕微鏡などの防振装置に用いられており、プローブＰを有するプローブヘッドＰＨのハウジングＨが３点接触脚を構成する３個の鋼球３１に支持されている。これらの鋼球３１はハウジングＨの下端面に形成されている凹部Ｈａに収容されている。そしてこれらの鋼球３１は台座３２の水平な座面３３に点接触状態で当接している。またハウジングＨは鋼球３１に支持されていると共に板バネ３４を介して固定台Ｂに固定されている。

また、図８に示す鋼球を用いた第２の従来技術の防振装置４０は、特開２００２−２７６７２５に開示されているもので、エンジンマウント機構に適用されている。この防振装置４０は、エンジンＥの振動を車体Ｂｄに出来るだけ伝達されないように、エンジンＥを支持するように配設されていて、マウントブラケットＢｒに溶接された上面板４１と下面板４２との間に介在するゴム４３とからなるラバーマウント４４がプレート４５の上面にねじ止めされ、プレート４５の下面にボルト４６で固定されている上面体４７と車体Ｂｄに固定されている下面体４８と、これらの間に介在する鋼球４９と中空の鼓状ゴム５０とからなる鋼球入りゴムマウント５１とから構成されている。

この防振装置４０は、プレート４５に設けられた孔に嵌合離脱可能なピン先５２を有するソレノイドピン５３を備えている。

ラバーマウント４４のゴム４３は、エンジンＥの重量による静荷重による歪み量が余り大きくならないように比較的堅いゴムが使用されており、エンジンＥからの上下方向と横方向の振動の両方に対しても効果的に振動を低減する。

鋼球入りゴムマウント５１の鋼球４９では、上面体４７と下面体４８との間に弱い剪断力が掛かった場合でも、両者は若干（約８ｍｍ程度）剪断方向に相対変位出来るので、エンジンＥのロール軸周りの振動を特に効果的に低減する。このように前記防振装置４０は構成されている。

前記従来技術の２例は、何れも鋼球が平面に接する構造のものであるが、図９に示したように、鋼球を受ける台座の座面が鋼球の半径よりも大なる半径で湾曲面で構成されていて、鋼球を回転自在に当接させた構造の防振装置が特開平９−２９６８４７に開示されている。

この防振装置６０は家具や構造物Ｆｕと床Ｆとの間に設置することにより地震が発生し、床Ｆが振動しても、家具や構造物Ｆｕに振動が伝達されないように構成されているもので、曲率半径ｒの窪み球面の座面を備えた受皿６１に鋼球６２が当接し、この鋼球６２が受皿６１の座面を転動する。この鋼球６２をボールベアリング６４を介して支える鋼球保持器６３は家具や構造物Ｆｕの底部に取り付けられ、受皿６１は床Ｆに取り付けられており、受皿６１と鋼球保持器６３とは自由に相対的に移動できる構造となっている。地震が発生しない常時は受皿６１と鋼球保持器６３とは電磁ストッパーＳにより固定されている。
特開平５−２０３４０４（第４頁、図２） 特開２００２−２７６７２５（第３〜４頁、図１） 特開平９−２９６８４７（第３頁、図１）

しかし、前記［特許文献１］（特開平５−２０３４０４）及び前記［特許文献２］（特開２００２−２７６７２５）の課題は、鋼球が平面上を自由に転げる構造であることから、鋼球の位置決めを行うための特別な位置決め手段を必要とする。例えば、［特許文献２］では、図８に示したチューブ状のゴム５０が必要である。

また、前記［特許文献３］（特開平９−２９６８４７）の防振装置６０は一見本発明の構成に似ているが、この防振装置６０における鋼球６２も自由に回動するものであり、点接触による振動遮断を一切用いていない。そして位置決め装置として電磁ストッパーＳが必要とされている。また、鋼球保持器６３で半球状に配列したボールベアリング６４を介して鋼球６２を保持する構造は製作上非常に困難なものである。

更に、これら従来技術の防振装置３０、４０、６０はそれぞれの台座３２、下面体４８、受皿６１側が固定され、鋼球３１、４９、６２より上方側が移動する構造で構成されている。

そして本発明の防振装置は、下面中央部に凹部が形成され、該凹部に通じるエアー抜き孔が形成されており、上面の前記凹部の上方に相当する部分に取付ネジが形成されている鋼球支持部材と、該鋼球支持部材の前記凹部に、一部を露出させて圧入、支持されている一個の鋼球と、該鋼球が点接触できるように前記鋼球の曲率半径より大なる曲率半径の座ぐり面が形成されている台座と、該台座の前記座ぐり面の周りの平面と同一面を形成する平面を備え、前記台座が埋め込まれ、そして前記鋼球に対して可動するベースとを備えて構成されている。そして前記ベースの前記平面に、前記台座を取り囲むように前記鋼球の前記露出部が落ち込める大きさの滑り止め凹溝を形成しておくことが好ましい。

また、本発明の第２の防振装置は、下面の外周部に鍔が、中央部に凹部が形成され、そして該凹部に通じるエアー抜き孔が形成されており、上面の前記凹部の上方に相当する部分に取付ネジが形成されている鋼球支持部材と、該鋼球支持部材の前記凹部に、一部を露出させて圧入、支持されている一個の鋼球と、該鋼球が点接触できるように前記鋼球の曲率半径より大なる曲率半径の座ぐり面が形成されている台座と、該台座全体と前記鋼球支持部材の前記鍔とが収容できる凹部が形成され、そして前記鋼球に対して可動するベースと、該ベースの前記凹部に前記台座全体と前記鋼球支持部材の前記鍔とを収容した状態で前記鍔部分の上面を抑えている抜け防止プレートを備えて構成されている。

何れの防振装置の台座も焼き入れしたステンレス鋼のような鋼材が好ましく、ベースは砲金のような減衰効果のある鋼材であることが望ましい。

更に、本発明の防振対象装置は、下面中央部に凹部が形成され、該凹部に通じるエアー抜き孔が形成されており、上面の前記凹部の上方に相当する部分に取付ネジが形成されている鋼球支持部材と、該鋼球支持部材の前記凹部に、一部を露出させて圧入、支持されている一個の鋼球と、該鋼球が点接触できるように前記鋼球の曲率半径より大なる曲率半径の座ぐり面が形成されている台座と、該台座の前記座ぐり面の周りの平面と同一面を形成する平面を備え、前記台座が埋め込まれ、そして前記鋼球に対して可動するベースとを備えた防振装置が少なくとも３個、前記取付ネジで底面に取り付けられて防振対策が採られていることを特徴とする。

そして更に、本発明の防振対象装置は、下面の外周部に鍔が、中央部に凹部が形成され、そして該凹部に通じるエアー抜き孔が形成されており、上面の前記凹部の上方に相当する部分に取付ネジが形成されている鋼球支持部材と、該鋼球支持部材の前記凹部に、一部を露出させて圧入、支持されている一個の鋼球と、該鋼球が点接触できるように前記鋼球の曲率半径より大なる曲率半径の座ぐり面が形成されている台座と、該台座全体と前記鋼球支持部材の前記鍔とが埋め込まれる凹部が形成され、そして前記鋼球に対して可動するベースと、該ベースの前記凹部に前記台座全体と前記鋼球支持部材の前記鍔とを埋め込んだ状態で前記鍔部分の上面を抑えている抜け防止プレートを備えた防振装置が少なくとも３個、前記取付ネジで底面に取り付けられて防振対策が採られていることを特徴とする。

防振対象装置は前記取付ネジを回動させることにより高さを調節できる。

本発明の防振装置によれば、
１．硬球は一切回転せず、かつ平面上を動くこともなく、鋼球支持部材に対して圧入され 、完全にその動きは拘束されていることから防振効果の高い点接触によるパッシブ型の 防振装置を構築することができ、微小振動の高周波振動を防振することができる
２．従来技術の防振装置に見られた振幅の大きい低周波の振動は従来のゴムやばねを利用 したパッシブ型の防振装置で十分対処できる
３．硬球を鋼球支持部材に圧入するだけなので製造工程も非常に単純になり、比較的安価 に製造できる。従って、民生用のオーディオ、ビデオ機器などにも十分に使用可能とな る
など、数々の優れた効果が得られる。

先ず、本発明の防振装置の原理を図を用いて説明する。

図１は本発明の防振装置の原理図で断面図で示した。この防振装置１００は一個の鋼球１１０と、その鋼球１１０の曲率半径ｒより僅かに大なる曲率半径Ｒの座ぐり面１２１が形成されている台座１２０とから構成されており、そして鋼球１１０を圧入などの回転できない状態で防振対象装置１３０の底面に取り付けられていて、その鋼球１１０は台座１２０の座ぐり面１２１に点接触させた構造を採っている。

従って、硬球１１０は一切回転せず、かつ平面上を動くことでもなく、防振対象装置に対して固定され、その動きを完全に拘束して硬球１１０の自由度を完全になくしてしまっていることから、点接触により伝播経路を限りなく最小化しているため振動を遮断でき、微小振動の外乱でも防振することができる。なお、振幅の大きい低周波の振動は従来のゴムやばねを利用したパッシブ型の防振装置で十分対処できる。

以下、図を用いて、前記原理を適用した本発明の実施例を説明する。

図２は本発明の第１実施例の防振装置を取り付けた状態の本発明の第１実施例の一部の防振対象装置の断面側面、そして図３は図２に示した防振装置及びこの防振装置を備えた防振対象装置の断面側面図である。

図２において、符号２００は本発明の第１実施例の防振装置を、そして符号２５０は本発明の第１実施例の防振対象装置を指す。この防振装置２００は防振対象装置２５０のハウジング２５１の底面の、例えば、四隅に、防振装置２００の上部に形成されている雄ネジ２２２をねじ込んで取り付けられている。

防振装置２００は鋼球２１０、鋼球支持部材２２０、台座２３０、ベース２４０から構成されている。

鋼球２１０は一般に市販されているものでよく、大きさは、例えば、直径が７ｍｍ程度である。

鋼球支持部材２２０は円盤形をしており、その下面は中央部で下方に膨出した構造で形成されている。その下面の中央部には鋼球２１０を、例えば、圧入できる大きさの断面が円形の凹部２２１が形成されている。その深さは鋼球２１０の半径に相当する深さかやや深い深さである。そしてその凹部２２１に鋼球２１０が圧入されている。鋼球２１０と鋼球支持部材２２０との接合方法は圧入方法の他に一般的な機械的接続で十分であるが、硬球２１０の圧入方法が一般的である。鋼球支持部材２２０の上面の前記凹部２２１の上方には、その上面に対して垂直に雄ネジ２２２が植設されている。この雄ネジ２２２のねじ込み量によって防振対象装置２５０の水平度が出される。なお、符号２２３は凹部２２１に通じるエアー抜き孔を指す。

鋼球支持部材２２０の直径は２８ｍｍ程度、厚みはその最も厚い中央部で１２．５ｍｍ程度であり、雄ネジ２２２の直径は６ｍｍ程度、その長さは１４ｍｍ程度である。

台座２３０には焼入れしたステンレス鋼の円柱状鋼材が用いられている。この台座２３０の表面には、図１に示したように、鋼球２１０の曲率半径ｒよりもやや大なる曲率半径Ｒの座ぐり面１２１が形成されている。その詳細な説明は重複説明を避けるために省略する。台座２３０の直径は、例えば、１２ｍｍ程度である。厚さは取り扱い易い、或いは、製作し易い適当な厚みでよい。座ぐり面１２１の深さは、例えば、１．５ｍｍ程度である。

ベース２４０は、例えば、砲金の鋼材で円盤状に形成されており、その水平な上面中央部に凹部２３１が形成されている。この凹部２３１の直径及び深さは前記の台座２３０が圧入でき、台座２３０の上面水平面とベース２４０の上面水平面とが同一の水平な平面を形成される寸法の大きさである。前記台座２３０はこのベース２４０の凹部２３１に圧入されている。そしてベース２４０の上面の凹部２３１の外周部に一条のＶ字型にカットされた滑り止め凹溝２３２が形成されている。この滑り止め凹溝２３２は防振対象装置２５０が大きく振動して鋼球２１０が台座２３０の座ぐり面（図１の符号１２１に相当する部分）から外れた時に、鋼球２１０がこの滑り止め溝２３２に落ち込んで、この滑り止め溝２３２でこれ以上の移動ができないようにするために設けてあるものである。ベース２４０の直径は７４ｍｍ程度、厚みは３２ｍｍ程度である。なお、符号２３３は凹部２３１に通じるエアー抜き孔を指す。

本実施例における防振対象装置２５０は前記のような構造の防振装置２００を防振対象装置２５０のハウジング２５１の底面の四隅に取り付けられて具備している。取り付けに当たっては雄ネジ２２２をハウジング２５１の底面に予め形成されている雌ねじの穴にねじ込んで雄ネジ２２２がほぼ垂直になるようにして鋼球支持部材２２０を装着する。台座２３０自身は床Ｆ上に固定せずに鋼球２１０の直下に配設する。防振対象装置２５０の水平度は鋼球支持部材２２０を回動し、雄ネジ２２２のねじ込み量を調節することにより確保できる。

台座２３０自身を固定せず、ただ鋼球２１０の直下に設置することにより、台座２３０は防振対象装置２５０自身の自重で硬球２１０の中心軸上に移動して（台座２３０が床Ｆなどの設置面上を移動して）最適な位置に固定されることになる。

また、通常、硬球２１０を圧入する鋼球支持部材２２０は防振対象装置２５０とは別部品として作製され、図３に示すように、雄ネジ２２２を設けて防振対象装置２５０に垂直に取り付けることになるが、ネジによる結合は一般的に完全な垂直ではなく、或る一定の傾き、例えば、約５度傾いた角度をもって固定されるものである。そのような場合にも、本発明は台座２３０側の半球状の座ぐり面（図１の符号１２１に相当する面）の曲率半径Ｒは硬球２１０の半径ｒよりも僅かに大きいため、取り付けにおける角度誤差をも吸収して理想的な点接触を実現できる。

以上説明したような構造で構成された本実施例の防振装置２００及び防振対象装置２５０は、鋼球２１０が座ぐり面（図１の符号１２１に相当する面）に点接触していることから高周波振動エネルギーの通路が極めて狭くなり、前記のような高周波振動はこれらの接点で遮断され、防振対象装置２５０の方には伝達されることはない。高周波振動としては、例えば、床Ｆ上に設置されたオーディオ用スピーカが出す高周波振動などがあり、このような高周波振動が床Ｆを通じて台座２３０に伝達されるような場合が考えられる。

次に、図４を用いて、本発明の第２実施例の防振装置及びこの防振装置を備えた防振対象装置３５０の構造及び構成を説明する。

図４は図３に相当する本発明の第２実施例の防振装置及びこの防振装置を備えた防振対象装置の断面側面図である。

図４において、符号３００は本発明の第２実施例の防振装置を、そして符号３５０は本発明の第２実施例の防振対象装置を指す。

第１実施例の防振装置２００が、実用上、台座２３０と鋼球２１０を圧入した鋼球支持部材２２０とが別部品となっているために、防振対象装置２５０の搬送時にこれらがが分離してしまい、不便である。この課題を解決するために発明されたのが第２実施例の防振装置３００である。即ち、図４に示した防振装置３００は台座と鋼球３１０を圧入した鋼球支持部材３２０とが一体となった構造のもので、実用的である。この第２実施例の防振装置３００も機能的には図２及び図３に示した第１実施例の防振装置２００と全く同等である。

この防振装置３００は鋼球３１０、鋼球支持部材３２０、台座３３０、ベース３４０から構成されている。

鋼球３１０は第１実施例の防振装置２００における鋼球２１０と同一であって、大きさは、例えば、直径が７ｍｍ程度である。

鋼球支持部材３２０は円盤形をしており、その下面は平面で、その中央部には鋼球３１０を、例えば、圧入できる大きさの断面が円形の凹部３２１が形成されている。その深さは鋼球３１０の半径に相当する深さかやや深い深さである。そしてその凹部３２１に鋼球３１０が圧入されている。鋼球支持部材３２０の下部周辺部には鍔３２２は形成されている。そして凹部３２１に通じるエアー抜き孔３２３が形成されている。鋼球支持部材３２０の上面中央部の前記凹部３２１の上方には、その上面に対して垂直に雄ネジ３２４が植設されている。この雄ネジ３２４の下方にねじ込み量を調節する摘み３２５が取り付けられている。この摘み３２５を回動することによってねじ込み量を調整でき、防振対象装置３５０の水平度を出すことができる。

台座３３０には焼入れしたステンレス鋼の円柱状鋼材が用いられている。この台座３３０の表面には、図１に示したように、鋼球３１０の曲率半径ｒよりもやや大なる曲率半径Ｒの座ぐり面１２１が形成されている。その詳細な説明は重複説明を避けるために省略する。

ベース３４０は、第１実施例におけるベース２４０と同様に、例えば、砲金の鋼材で円盤状に形成されており、その上面に後記する抜け防止プレートを嵌め込める直径の浅い円形凹部３４１が形成されており、その凹部３４１の水平な底面に同心円的に、前記鋼球支持部材３２０の鍔３２２の直径よりやや大なる直径で、深さは鍔３２２がその上面まで十分に収容できる深さの凹部３４２が形成されている。更に、その凹部３４２の底面中央部に凹部３４３が形成されている。この凹部３４３の直径及び深さは前記の台座３３０が圧入でき、台座３３０の上面水平面と凹部３４２の底面水平面が同一の水平な平面を形成される寸法の大きさである。前記台座３３０はこのベース３４０の凹部３４３に圧入されている。ベース３４０の下面中央部には凹部３４３に通じるエアー抜き孔３４４が形成されている。ベース３４０が砲金で形成されている場合は、指紋などの手垢が付き易いので、その外周部にステンレス鋼のリング３４５が嵌め込まれている。

この防振装置３００は、凹部３４２に鋼球３１０付き鋼球支持部材３２０を収容した後、凹部３４１に鋼球支持部材３２０の鍔３２２部分を抑える円環状の抜け防止プレート３４６を嵌め込み、ビス３４７でベース３４０の上面に固定する。このように抜け防止プレート３４６を嵌めることにより、鋼球支持部材３２０の鍔３２２が抑えられて、鋼球支持部材３２０とベース３４０とを一体化することができる。抜け防止プレート３４６を固定した後、雄ネジ３２４に摘み３２５を取付れば、本実施例の防振装置３００が完成する。

本実施例における防振対象装置３５０には前記のような構造の防振装置３００が防振対象装置３５０のハウジング３５１の底面の四隅に取り付けられている。取り付けに当たっては雄ネジ３２４をハウジング３５１の底面に予め形成されている雌ねじの穴にねじ込んで雄ネジ３２４がほぼ垂直になるようにして鋼球支持部材３２０を装着する。防振対象装置３５０の水平度は鋼球支持部材３２０を回動し、雄ネジ３２４のねじ込み量を調節することにより確保できる。

以上の説明から明らかなように、防振対象装置３５０を移動させても、本実施例の防振装置３００は鋼球支持部材３２０と台座３３０とが分離することがなく、移動先に本防振対象装置２５０をそのまま載置するだけで済む。

第１実施例の防振対象装置２５０においても、また第２実施例の防振対象装置３５０においても防振装置の設置数は防振対象装置１台に対し通常３点あれば十分であるが、防振対象装置を設置する場所の条件に合わせて４点用いれば安定する。例えば、設置場所の平面度があまり確保されていない場合は３点では安定せず、４点のうち１点は高さ調整に使われることになる。これは家庭で使われる可能性が高いオーディオ装置、ビデオ装置での使用例が多いと予想される。

本発明の防振装置はオーディオ装置、ビデオ装置のみならず、光ディスク製造装置、半導体製造装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、特殊な光学系実験装置、電子顕微鏡などの精密装置などに利用することができる。

本発明の防振装置の原理を示す断面側面図である。 本発明の第１実施例の防振装置を取り付けた状態の本発明の第１実施例の一部の防振対象装置の断面側面図である。 図２に示した防振装置及びこの防振装置を備えた防振対象装置の断面側面図である。 図３に相当する本発明の第２実施例の防振装置及びこの防振装置を備えた防振対象装置の断面側面図である。 一般的な防振装置を備えた防振対象装置の概念図である。 円錐形スパイクを用いた従来技術の防振対象装置の概念図である。 従来技術の第１の防振装置の断面側面図である。 従来技術の第２の防振装置の断面側面図である。 従来技術の第３の防振装置の断面側面図である。

符号の説明

１００ 本発明の防振装置
２００ 本発明の第１実施例の防振装置
３００ 本発明の第２実施例の防振装置
２２０，３２０ 鋼球支持部材
１１０，２１０，３１０ 鋼球
１２０，２３０，３３０ 台座
１２１ 座ぐり面
１３０，２５０，３５０ 防振対象装置
２４０，３４０ ベース
２２２，３２４ 雄ネジ
３２５ 摘み
２３１，３２１，３４１，３４２，３４３ 凹部
３２２ 鋼球支持部材３２０の鍔
３４６ 抜け防止プレート

Claims (7)

1. 下面中央部に凹部が形成され、該凹部に通じるエアー抜き孔が形成されており、上面の前記凹部の上方に相当する部分に取付ネジが形成されている鋼球支持部材と、
   該鋼球支持部材の前記凹部に、一部を露出させて圧入、支持されている一個の鋼球と、
   該鋼球が点接触できるように前記鋼球の曲率半径より大なる曲率半径の座ぐり面が形成されている台座と、
   該台座の前記座ぐり面の周りの平面と同一面を形成する平面を備え、前記台座が埋め込まれ、そして前記鋼球に対して可動するベースと
   を備えた防振装置。
2. 前記ベースの前記平面に、前記台座を取り囲むように前記鋼球の前記露出部が落ち込める大きさの滑り止め凹溝が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の防振装置。
3. 下面の外周部に鍔が、中央部に凹部が形成され、そして該凹部に通じるエアー抜き孔が形成されており、上面の前記凹部の上方に相当する部分に取付ネジが形成されている鋼球支持部材と、
   該鋼球支持部材の前記凹部に、一部を露出させて圧入、支持されている一個の鋼球と、
   該鋼球が点接触できるように前記鋼球の曲率半径より大なる曲率半径の座ぐり面が形成されている台座と、
   該台座全体と前記鋼球支持部材の前記鍔とが収容できる凹部が形成され、そして前記鋼球に対して可動するベースと、
   該ベースの前記凹部に前記台座全体と前記鋼球支持部材の前記鍔とを収容した状態で前記鍔部分の上面を抑えている抜け防止プレート
   を備えた防振装置。
4. 前記台座は焼き入れしたステンレス鋼からなり、前記ベースは砲金からなることを特徴とする請求項１、請求項３に記載の防振装置。
5. 下面中央部に凹部が形成され、該凹部に通じるエアー抜き孔が形成されており、上面の前記凹部の上方に相当する部分に取付ネジが形成されている鋼球支持部材と、該鋼球支持部材の前記凹部に、一部を露出させて圧入、支持されている一個の鋼球と、該鋼球が点接触できるように前記鋼球の曲率半径より大なる曲率半径の座ぐり面が形成されている台座と、該台座の前記座ぐり面の周りの平面と同一面を形成する平面を備え、前記台座が埋め込まれ、そして前記鋼球に対して可動するベースとを備えた防振装置が少なくとも３個、前記取付ネジで底面に取り付けられて防振対策が採られていることを特徴とする防振対象装置。
6. 下面の外周部に鍔が、中央部に凹部が形成され、そして該凹部に通じるエアー抜き孔が形成されており、上面の前記凹部の上方に相当する部分に取付ネジが形成されている鋼球支持部材と、該鋼球支持部材の前記凹部に、一部を露出させて圧入、支持されている一個の鋼球と、該鋼球が点接触できるように前記鋼球の曲率半径より大なる曲率半径の座ぐり面が形成されている台座と、該台座全体と前記鋼球支持部材の前記鍔とが埋め込まれる凹部が形成され、そして前記鋼球に対して可動するベースと、該ベースの前記凹部に前記台座全体と前記鋼球支持部材の前記鍔とを埋め込んだ状態で前記鍔部分の上面を抑えている抜け防止プレートを備えた防振装置が少なくとも３個、前記取付ネジで底面に取り付けられて防振対策が採られていることを特徴とする防振対象装置。
7. 前記取付ネジを回動させることにより高さを調節できることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の防振対象装置。

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