KR101977309B1

KR101977309B1 - 능동형 제진장치

Info

Publication number: KR101977309B1
Application number: KR1020170153572A
Authority: KR
Inventors: 김광산; 최성원
Original assignee: (주)대일시스템
Priority date: 2017-11-17
Filing date: 2017-11-17
Publication date: 2019-05-10

Abstract

본 발명은 능동형 제진장치에 관한 것으로서, 특히 외부로부터의 진동을 효과적으로 제거 혹은 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라, 제진을 위한 설치 시 장비의 편심, 과하중, 스프링 직각도로 인한 스프링 좌굴 및 상하판 접촉 문제를 미세진동제어로 해결할 수 있도록 된 능동형 제진장치에 관한 것이다.
본 발명의 구성은, 수평X 및Y축, 수직축센서 및 수동수평레벨조절기구를 갖춘 한쌍의 미세진동제어유니트와, 미세진동제어유니트를 제어하는 콘트롤러로 이루어지되, 미세진동제어유니트는 제진엑츄에이터와 수평X 및Y축, 수직축센서 및 수동수평레벨조절기구가 바닥판과 상부판의 사이에 설치됨과 더불어, 바닥판과 상부판의 양쪽 끝부분에 2개씩 배치되는 한편, 수동수평레벨조절기구(1120)는 바닥판(1110)의 하부에서 상부로 끼워져 바닥판의 상부에서 보울트에 의해 회전하지 않도록 고정된 체결보울트수단(1121)과, 바닥판의 상부에서 스터드보울트(1121a)로 체결되어 상하로 이동하면서 위치를 조정하는 높이조절용조정너트(1122)와, 높이조절용조정너트의 상부면에 밀착되어 위치하도록 스터드보울트로 끼워짐과 더불어 스프링의 하부가 안착되는 스프링서포트(1123)와, 스터드보울트로 하부가 끼워짐과 더불어 스프링서포트의 상부에 일단이 안착되는 한편, 타단은 상부판의 하부에 밀착되어 지지되도록 된 탄성부재(1124)로 이루어진다.

Description

능동형 제진장치{ACTIVE VIBRATION CONTROL APPARATUS}

본 발명은 능동형 제진장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 외부로부터의 진동을 효과적으로 제거 혹은 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라, 제진을 위한 설치 시 장비의 편심, 과하중, 스프링 직각도로 인한 스프링 좌굴 및 상하판 접촉 문제를 미세진동제어로 해결할 수 있도록 된 능동형 제진장치에 관한 것이다.

일반적으로 능동형 제진장치의 미세진동제어는 외부로부터의 진동을 차단하거나 감소시켜 가공과 정밀측정분야에 사용하는 장비로 주사전자현미경(SEM), 투과전자현미경(TEM), 원자간힘 현미경(AFM) 등의 정밀측정장비는 외부의 미세한 진동에 측정 이미지가 왜곡될 수 있는데, 미세진동제어 장치를 사용하여 진동 영향을 제거할 수 있다.

종래 유닛형 미세진동제저장치에서는 메탈스프링이 하중을 지지하고 미진동은 센서로 감지하여 전자기 구동기로 억제하는 것이 기본 원리이고, 이 유닛형 미세진동제어장치는 2개가 1set로 동작하는데, 유닛형 미세진동제어장치 2개 위에 상판을 체결하고, 상판 위에 정밀측정장비를 탑재하여 사용하게 된다.

이러한 미세진동제어기기에 부착하여 스프링 지지를 유지시켜주는 장치가 수평레벨 조절기구이고, 미세진동 제어기기의 원활한 동작을 위해서는 상판과 하판사이에 스프링 외의 접촉 없이 상판이 스프링에 의한 부유상태로 유지되어야 하며, 또한 액추에이터의 동작이 보장되어야 하는데, 액추에이터로 사용되는 VCM(Voice Coil Motor)의 설치시 정상적인 상태로 설치되지 않고 과하중과 편심하중 또는 상호구속과 횡방향 밀림 상태로 문제들이 발생할 수 있다.

본 출원인은 특허등록 제10-1604269호의 발명의 명칭 "수동자동조심형 수동수평레벨조절기구를 갖는 미세진동제어장치"를 통하여 과하중, 편하중 문제에 대응이 가능하였고, 상호 구속 문제도 해결되었으나, 스프링 직각도로 인한 횡방향 밀림은 해결하지 못하는 문제점이 있었다.

또한, 과하중 및 편하중 문제는 장비 사용 고객이 장비의 무게 및 무게중심을 정확히 알지 못하는 관계로, 스프링을 최대한 압축시켜도 조절되지 않는 경우가 종종 발생하였고. 스프링에 의한 평형조절 능력을 높이려면 단단한 스프링을 사용하는 것이 좋지만, 스프링이 단단할수록 미세진동제어능력은 떨어지게 되므로 장비 무게에 맞추어 적절한 강성의 스프링을 사용할 필요가 있으며, 인로인해 고객이 제공하는 장비 무게에 관한 정보에 맞추어 강성이 적절한 스프링을 사용하기 때문에, 고객이 제공한 정보가 실제와 다를 경우 테이블 평형을 맞추지 못하는 문제점이 있었다.

참조문헌: 특허등록 제10-1604269호의 발명의 명칭 "수동자동조심형 수동수평레벨조절기구를 갖는 미세진동제어장치".

본 발명은 상기와 같은 제반 문제점들을 해소하기 위해 안출된 것으로, 외부로부터의 진동을 효과적으로 제거 혹은 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라, 제진을 위한 설치시 장비의 편심, 과하중, 스프링 직각도로 인한 스프링 좌굴 및 상하판 접촉 문제를 미세진동제어로 해결할 수 있도록 된 능동형 제진장치를 제공함에 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 능동형 제진장치는, 평평한 프레임 또는 정반위에 올려져 프레임 또는 정반으로부터 올라오는 진동을 차단하거나 제진테이블에서 발생한 외란을 효과적으로 제거하여 원하는 시간 내에 상부 스테이지를 안정화시킬 수 있도록 제진엑츄에이터와 수평X축, 수평Y축, 수직축 센서 및 수동수평레벨조절기구를 갖춘 한쌍의 미세진동제어유니트와, 이 미세진동제어유니트를 제어하도록 된 콘트롤러로 이루어지되, 상기 미세진동제어유니트는 제진엑츄에이터와 수평X축, 수평Y축, 수직축 센서 및 수동수평레벨조절기구가 바닥판과 상부판의 사이에 설치됨과 더불어, 상기 수동수평레벨조절기구는, 바닥판과 상부판의 양쪽 끝 부분에 각각 2개씩 배치되고, 상기 수동수평레벨조절기구는, 상기 바닥판에 끼워져 바닥판에서 상부로 수직하게 고정됨과 더불어 회전하지 않도록 고정된 체결보울트수단과, 상기 바닥판의 상부에서 체결보울트수단의 스터드보울트로 체결되어 상하로 이동하면서 조정하는 높이조절용조정너트와, 상기 높이조절용조정너트의 상부로 위치하도록 체결보울트수단의 스터드보울트로 끼워짐과 더불어 스프링의 하부가 안착되는 스프링서포트와, 상기 체결보울트수단의 스터드보울트로 끼워짐과 더불어 스프링서포트의 상부에 일단이 안착되는 한편, 타단은 상부판의 하부에 밀착되어 지지되도록 된 탄성부재로 이루어진 것을 특징으로 한다.

여기서 상기 체결보울트수단은, 상기 높이조절용조정너트와 체결되면서 일정한 길이로 이루어짐과 더불어 일단부에 축방향에 직각방향으로 관통된 암나사부가 형성된 스터드보울트와, 상기 스터드보울트와 체결됨과 더불어 상기 스터드보울트의 암나사부와 연통되도록 외주면에는 핀끼움구멍이 형성되는 한편, 상기 핀끼움구멍이 형성된 상부의 외주면은 직경이 작고 하부는 직경이 크게 일정한 두께의 플랜지부가 형성됨은 물론, 플랜지부에 일정한 각도를 이루는 위치에 바닥판의 상부에서 체결되는 보울트에 의해 고정되도록 축방향과 평행하게 암나사가 형성된 보울트홀더와, 상기 보울트홀더의 핀끼움구멍을 통해서 스터드보울트의 핀구멍으로 끼워진 다음 재차 보울트홀더의 핀끼움구멍으로 끼워지도록 된 회전방지핀으로 이루어진 것을 특징으로 한다.

그리고 상기 높이조절용조정너트의 측면은 육각형상을 이루고, 이 각각의 측면에는 일정한 깊이의 공구끼움홈이 형성되며,상기 스프링서포트의 상부면에는 스프링의 내경보다 직경이 작고 스프링의 외경보다 직경이 큰 스프링안착홈이 환형 고리형상으로 형성된 것을 특징으로 한다.

또한 상기 스프링의 상부가 밀착되는 상부판에는, 상기 스프링의 상부가 안착되도록 스프링안착홈이 형성됨과 더불어 스프링과 스프링안착홈의 밀착면에는 마찰력이 감소되도록 구리스가 도포된 것을 특징으로 한다.

한편, 상기 미세진동제어유니트의 양단부이면서 수동수평레벨조절기구의 사이에는 는, 일정하게 바닥판과 상부판이 벌어지고 가까워지도록 스톱퍼가 형성됨과 더불어 바닥판과 상부판이 벌어질때 수직위치가 정렬되도록 된 수직위치조절기구를 더 포함하고, 상기 수직위치조절기구는, 상기 상부판에 고정된 상부고정블록과, 상기 바닥판에 고정됨과 더불어 상부고정블록에 상부가 끼워지도록 된 하부고정블록과, 상기 하부고정블록쪽에서 상부고정블록쪽으로 체결되되, 상기 상부판이 상승하면하부고정블록의 구멍과 상부면에 형성된 경사면이 미끄러지면서 중심이 일치되도록 된 수직위치조절부재로 이루어진 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 능동형 제진장치에 의하면, 외부로부터의 진동을 효과적으로 제거 혹은 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라, 제진을 위한 설치시 장비의 편심, 과하중, 스프링 직각도로 인한 스프링 좌굴 및 상하판 접촉 문제를 미세진동제어로 매우 간단하게 해결할 수 있는 한편, 과하중 및 편심하중에 대한 현장대응시 압축스프링의 강성을 기존 보다 2배의 범위에서 조절할 수 있어서 조절능력이 우수하고 제진성능의 하락을 방지할 수 있는 효과가 있다.

본 발명에 따른 능동형 제진장치에 의하면, 체결보울트수단이 스터드보울트와 보울트홀더 및 회전방지핀으로 이루어져 바닥판에 고정하기 용이함은 물론 체결보울트수단의 제조가 용이하게 되는 효과가 있다.

본 발명에 따른 능동형 제진장치에 의하면, 높이조절용조정너트의 육각형상 측면에 형성된 공구끼움홈에 의해 높이조절용조정너트를 돌리는 것이 용이함은 물론, 스프링서포트의 상부면에 형성된 환형 고리형상의 스프링안착홈에 의해 스프링의 설치가 용이하게 되는 효과가 있다.

본 발명에 따른 능동형 제진장치에 의하면, 스프링의 상부가 밀착되는 상부판에 형성된 스프링안착홈에 의해 스프링의 이탈을 방지할 수 있음은 물론, 스프링의 상부와 밀착되는 곳에 구리스가 도포되어 마찰력이 감소되므로 스프링서포트에 밀착된 스프링을 회전시킬 때 스프링의 회전이 용이하게 되는 효과가 있다.

본 발명에 따른 능동형 제진장치에 의하면, 미세진동제어유니트의 양단부이면서 수동수평레벨조절기구의 사이에 설치된 수직위치조절기구에 의해 일정하게 바닥판과 상부판이 벌어지고 가까워지게 됨과 더불어 바닥판과 상부판이 벌어질때 수직위치가 정렬되는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 능동형 제진장치의 제어구성도이고,
도 2는 본 발명의 능동형 제진장치의 미세진동제어유니트를 나타내는 정면도,
도 3은 도 2의 평면도,
도 4는 도 2의 우측면도,
도 5는 도 2의 미세진동제어유니트에서 수동수평레벨조절기구와 수직위치조절기구가 설치된 상태를 나타내는 상세도,
도 6은 본 발명의 미세진동제어유니트에서 수동수평레벨조절기구를 나타내는 사시도,
도 7은 도 6의 분해사시도이다,

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 능동형 제진장치를 상세히 설명한다.

상기 도면의 구성 요소들에 인용부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 하고 있으며, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 또한, '상부', '하부', '앞', '뒤', '선단', '전방', '후단' 등과 같은 방향성 용어는 개시된 도면(들)의 배향과 관련하여 사용된다. 본 발명의 실시 예의 구성요소는 다양한 배향으로 위치설정될 수 있기 때문에 방향성 용어는 예시를 목적으로 사용되는 것이지 이를 제한하는 것은 아니다.

본 발명의 능동형 제진장치(1000)는 도 1 내지 도 7을 참조로 설명한다.

본 발명의 능동형 제진장치(1000)는, 평평한 프레임 또는 정반위에 올려져 프레임 또는 정반으로부터 올라오는 진동을 차단하거나 제진테이블에서 발생한 외란을 효과적으로 제거하여 원하는 시간 내에 상부 스테이지를 안정화시킬 수 있도록 보이스코일모터(VCM)형 제진엑츄에이터와 센서 및 수동수평레벨조절기구를 갖춘 한쌍의 미세진동제어유니트(1100)와, 이 미세진동제어유니트를 제어하도록 된 콘트롤러(1200)로 이루어진다.

여기서 상기 제진엑츄에이터(1101)는 수평X축 제진엑츄에이터(1101a)와 수평Y축 제진엑츄에이터(1101b) 및 수직축 제진엑츄에이터(1101c)로 이루어져 있다.

그리고 상기 센서(1102)는 각각의 제진엑츄에이터의 진동을 감지하도록 제진테이블의 하부에 설치된 각각의 수평X축센서(1102a)과 수평Y축센서(1102b) 및 수직축센서(1102c)로 이루어져 있다.

따라서 상기 콘트롤러(1200)에 연결된 제진엑츄에이터(1101)와 수평X축, 수평Y축, 수직축 센서(1102)에 의해 제진 안정화를 조속히 이루게 된다.

본 발명의 상기 미세진동제어유니트(1100)는 도 2 내지 도 7에 도시된 것과 같이, 프레임 또는 정반위에 올려지는 바닥판(1110)과, 상기 바닥판의 양단 상부에 안착되는 수동수평레벨조절기구(1120)과, 상기 수동수평레벨조절기구에 의해 지지되도록 안착되는 상부판(1130)과, 상기 바닥판과 상부판의 양단부이면서 수동수평레벨조절기구의 사이에는, 일정하게 바닥판과 상부판이 벌어지고 가까워지도록 스톱퍼기능을 하면서 바닥판과 상부판이 벌어질 때 수직위치가 정렬되도록 된 수직위치조절기구(1140)를 포함한다.

따라서 상기 수동수평레벨조절기구(1120)에 의해 바닥판(1110)과 상부판(1130)의 수평을 수동으로 조절할 수 있게 되고, 또 상기 수직위치조절기구(1140)에 의해 일정하게 바닥판과 상부판이 벌어지고 가까워지도록 스톱퍼기능을 하면서 바닥판과 상부판이 벌어질 때 수직위치가 정렬되게 된다.

여기서 본 발명의 요부에 해당하는 상기 수동수평레벨조절기구(1120)는, 상기 바닥판(1110)에 끼워져 바닥판에서 상부로 수직하게 고정됨과 더불어 회전하지 않도록 고정된 체결보울트수단(1121)과, 상기 바닥판의 상부에서 체결보울트수단의 스터드보울트로 체결되어 상하로 이동하면서 조정하는 높이조절용조정너트(1122)와, 상기 높이조절용조정너트의 상부로 위치하도록 체결보울트수단의 숫나사인 후술하는 스터드보울트로 끼워짐과 더불어 스프링의 하부가 안착되는 스프링서포트(1123)와, 상기 체결보울트수단의 스터드보울트로 끼워짐과 더불어 스프링서포트의 상부에 일단이 안착되는 한편, 타단은 상부판(1130)의 하부에 밀착되어 지지되도록 된 압축스프링과 같은 탄성부재(1124)로 이루어진 것을 특징으로 한다.

따라서 능동형 제진장치의 설치시에 간단하게 상기 높이조절용조정너트(1122)를 회전시키면 높이조절용조정너트(1122)가 스터드보울트를 타고 상하방향으로 이동하며 탄성부재(1124)인 압축스프링의 바닥높이 및 압축량을 조절하게 되어 과하중 또는 편심하중시에 미세조정이 가능하게 된다. 즉, 장비의 분해 없이 편심하중시에는 편심하중이 가해지지 않은 쪽의 탄성부재(1124)가 상부판(1130)을 지지하지 않도록 높이조절용조정너트(1122)를 회전시켜 상부판(1130)과 탄성부재(1124)의 사이를 이격시켜서 스프링상수를 작게하여 평형 조절이 가능하여 제진성능을 향상시킬 수 있게 된다.

또 상기 스프링서포트(1123)를 회전시킬 때 탄성부재(1124)인 압축스프링의 방향을 회전시킬 수 있어서 횡방향 밀림시나 스프링 직각도로 인한 스프링 좌굴 및 상하판 접촉 문제를 장비의 분해 없이 간단히 현장에서 해결할 수 있다.

여기서 상기 체결보울트수단(1121)은, 상기 높이조절용조정너트(1122)와 체결되면서 일정한 길이로 이루어짐과 더불어 일단부에 축방향에 직각방향으로 관통된 암나사부(1121a1)가 형성된 스터드보울트(1121a)와, 상기 스터드보울트와 체결되도록 축중심에 암나사(1121b4)가 형성됨과 더불어 상기 스터드보울트의 암나사부와 연통되도록 외주면에는 핀끼움구멍(1121b1)이 형성되는 한편, 상기 핀끼움구멍(1121b1)이 형성된 상부의 외주면은 직경이 작고 하부는 직경이 크게 일정한 두께의 플랜지부(1121b2)가 형성됨은 물론, 플랜지부에 일정한 각도를 이루는 위치에 바닥판의 상부에서 체결되는 보울트에 의해 고정되도록 축방향과 평행하게 암나사(1121b3)가 형성된 보울트홀더(1121b)와, 상기 보울트홀더의 핀끼움구멍을 통해서 스터드보울트의 핀구멍으로 끼워진 다음 재차 보울트홀더의 핀끼움구멍으로 끼워지도록 된 회전방지핀(1121c)으로 이루어진다.

따라서 상기 스터드보울트(1121a)를 보울트홀더(1121b)의 축중심에 형성된 암나사(1121b4)에 체결하고 회전방지핀(1121c)을 핀끼움구멍(1121b1)으로 끼워서 암나사부(1121a1)에 체결하여 바닥판(1110)의 하부에서 상부로 끼우게 되고, 이후 상기 바닥판(1110)의 상부에서 보울트로 암나사(1121b3)에 체결하여 체결보울트수단(1121)을 바닥판(1110)에 수직하게 고정할 수 있게 됨은 물론, 상기 체결보울트수단(1121)이 스터드보울트(1121a)와 보울트홀더(1121b) 및 회전방지핀(1121c)으로 이루어져 바닥판(1110)에 고정하기 용이함은 물론 체결보울트수단(1121)의 제조가 용이하게 된다.

그리고 상기 높이조절용조정너트(1122)는, 도 7에 도시된 것과 같이 측면은 육각형상을 이루고, 이 각각의 측면에는 일정한 깊이의 공구끼움홈(1122a)이 형성되고, 축중심에는 상기 스터드보울트(1121a)와 체결되는 암나사(1122b)가 형성되어 있다.

따라서 상기 높이조절용조정너트(1122)의 암나사(1122b)가 바닥판(1110)에 고정된 체결보울트수단(1121)의 스터드보울트(1121a)와 체결되어 상하부로 이동하게 되고, 이때 상기 공구끼움홈(1122a)으로 공구를 끼워서 돌리게 되면 어떠한 각도에서도 공구를 끼울 수 있음은 물론 적은 힘으로도 회전이 용이하게 된다.

또한 상기 스프링서포트(1123)는, 도 4 내지 도 7에 도시된 것과 같이, 외형은 육각형상으로 이루어지면서 축중심으로는 스터드보울트(1121a)로 끼워지도록 관통구멍(1123a)이 형성되고, 상부면에는 스프링의 내경보다 직경이 작고 스프링의 외경보다 직경이 큰 스프링안착홈(1123b)이 환형 고리형상으로 형성된다.

따라서 상기 탄성부재(1124)인 압축스프링이 스프링안착홈(1123b)에 안정되게 안착됨과 더불어 스프링서포트(1123)의 회전시에도 압축스프링이 스프링서포트의 상부에서 이탈되는 것을 방지하게 된다.

한편, 상기 탄성부재(1124)인 압축스프링의 상부가 밀착되는 상부판(1130)에는, 상기 탄성부재(1124)인 압축스프링의 상부가 안착되도록 스프링안착홈(1131)이 형성됨과 더불어 압축스프링과 스프링안착홈(1131)의 밀착면에는 마찰력이 감소되도록 구리스가 도포된다.

따라서 상기 스프링안착홈(1131)에 의해 탄성부재(1124)인 압축스프링의 상부가 이탈되지 않게 되고, 또 압축스프링과 스프링안착홈(1131)의 밀착면에는 구리스가 도포되어 상기 스프링서포트(1123)의 회전시 스프링안착홈(1131)과 탄성부재(1124)의 마찰력이 감소되도록 되어 스프링서포트(1123)와 탄성부재(1124)의 마찰력이 상대적으로 커서 탄성부재(1124)의 방향 전환을 위한 회전이 용이하게 된다.

한편, 상기 수직위치조절기구(1140)는, 도 4 및 도 5에 도시된 것과 같이, 상기 상부판(1130)에 체결된 상부고정블록(1141)과, 상기 바닥판(1110)에 체결됨과 더불어 상부고정블록에 상부가 끼워지면서 일정한 간격을 두고 설치된 하부고정블록(1142)과, 상기 하부고정블록쪽에서 상부고정블록 쪽으로 체결되되, 상기 상부판이 상승하면 하부고정블록의 구멍(1142a)과 상부면에 형성된 경사면(1143a)이 미끄러지면서 중심이 일치되도록 된 수직위치조절부재(1143)로 이루어진다.

따라서 상기 상부고정블록(1141)에 의해 상부판(1130)이 하부로 일정길이 이상 내려오는 것을 방지하도록 스톱퍼의 역할을 하게 되고, 또 상기 상부판(1130)이 상승할 때 상기 수직위치조절부재(1143)의 경사면(1143a)이 하부고정블록(1142)의 구멍(1142a)과 축중심이 일치하여 수직정렬이 되게 된다.

즉, 장비를 운송시에 안정성 확보를 위해 상기 수직위치조절기구(1140)의 수직위치조절부재(1143)를 최대한 체결하여 상부판(1130)과 바닥판(1110)을 근접시켜서 수직위치를 중심으로 위치하도록 하여 장비의 뒤틀림을 방지할 수 있게 된다.

앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시 예들은 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에 의해 자명한 것인 경우에는 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.

1000 : 능동형 제진장치 1100 : 미세진동제어유니트
1101 : 제진엑츄에이터 1102 : 센서
1110 : 바닥판 1120 : 수동수평레벨조절기구
1121 : 체결보울트수단 1121a: 스터드보울트
1121b: 보울트홀더 1121c: 회전방지핀
1122 : 높이조절용조정너트 1123 : 스프링서포트
1124 : 탄성부재 1130 : 상부판
1140 : 수직위치조절기구 1141 : 상부고정블록
1142 : 하부고정블록 1142a: 구멍
1143 : 수직위치조절부재 1143a: 경사면
1200 : 콘트롤러

Claims

평평한 프레임 또는 정반위에 올려져 프레임 또는 정반으로부터 올라오는 진동을 차단하거나 제진테이블에서 발생한 외란을 효과적으로 제거하여 원하는 시간 내에 상부 스테이지를 안정화시킬 수 있도록 제진엑츄에이터와 수평X축, 수평Y축, 수직축 센서 및 수동수평레벨조절기구를 갖춘 한쌍의 미세진동제어유니트와, 이 미세진동제어유니트를 제어하도록 된 콘트롤러로 이루어지는 한편, 상기 미세진동제어유니트는 제진엑츄에이터와 수평X축, 수평Y축, 수직축 센서 및 수동수평레벨조절기구가 바닥판과 상부판의 사이에 설치됨과 더불어, 상기 수동수평레벨조절기구는, 바닥판과 상부판의 양쪽 끝 부분에 각각 2개씩 배치된 능동형 제진장치에 있어서,
상기 수동수평레벨조절기구는,
상기 바닥판의 하부에서 상부로 끼워져 바닥판의 상부에서 체결되는 보울트에 의해 회전하지 않도록 고정된 체결보울트수단과,
상기 바닥판의 상부에서 체결보울트수단의 스터드보울트로 체결되어 상하로 이동하면서 위치를 조정하는 높이조절용조정너트와,
상기 높이조절용조정너트의 상부면에 밀착되어 위치하도록 체결보울트수단의 스터드보울트로 끼워짐과 더불어 스프링의 하부가 안착되는 스프링서포트와,
상기 체결보울트수단의 스터드보울트로 하부가 끼워짐과 더불어 스프링서포트의 상부에 일단이 안착되는 한편, 타단은 상부판의 하부에 밀착되어 지지되도록 된 탄성부재로 이루어진 것을 특징으로 하는 능동형 제진장치.
제1항에 있어서,
상기 체결보울트수단은,
상기 높이조절용조정너트와 체결되면서 일정한 길이로 이루어짐과 더불어 일단부에 축방향에 직각방향으로 관통된 암나사부가 형성된 스터드보울트와,
상기 스터드보울트와 체결됨과 더불어 상기 스터드보울트의 암나사부와 연통되도록 외주면에는 핀끼움구멍이 형성되는 한편, 상기 핀끼움구멍이 형성된 상부의 외주면은 직경이 작고 하부는 직경이 크게 일정한 두께의 플랜지부가 형성됨은 물론, 플랜지부에 일정한 각도를 이루는 위치에 바닥판의 상부에서 체결되는 보울트에 의해 고정되도록 축방향과 평행하게 암나사가 형성된 보울트홀더와,
상기 보울트홀더의 핀끼움구멍을 통해서 스터드보울트의 핀구멍으로 끼워진 다음 재차 보울트홀더의 핀끼움구멍으로 끼워지도록 된 회전방지핀으로 이루어진 것을 특징으로 하는 능동형 제진장치.
제1항에 있어서,
상기 높이조절용조정너트의 측면은 육각형상을 이루고, 이 각각의 측면에는 일정한 깊이의 공구끼움홈이 형성되며,
상기 스프링서포트의 상부면에는 스프링의 내경보다 직경이 작고 스프링의 외경보다 직경이 큰 스프링안착홈이 환형 고리형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 능동형 제진장치.
제1항에 있어서,
상기 스프링의 상부가 밀착되는 상부판에는,
상기 스프링의 상부가 안착되도록 스프링안착홈이 형성됨과 더불어 스프링과 스프링안착홈의 밀착면에는 마찰력이 감소되도록 구리스가 도포된 것을 특징으로 하는 능동형 제진장치.
제1항 내지 제4중 어느 한 항에 있어서,
상기 미세진동제어유니트의 양단부이면서 수동수평레벨조절기구의 사이에는 는, 일정하게 바닥판과 상부판이 벌어지고 가까워지도록 스톱퍼가 형성됨과 더불어 바닥판과 상부판이 벌어질때 수직위치가 정렬되도록 된 수직위치조절기구를 더 포함하고,
상기 수직위치조절기구는,
상기 상부판에 고정된 상부고정블록과,
상기 바닥판에 고정됨과 더불어 상부고정블록에 상부가 끼워지도록 된 하부고정블록과,
상기 하부고정블록쪽에서 상부고정블록쪽으로 체결되되, 상기 상부판이 상승하면하부고정블록의 구멍과 상부면에 형성된 경사면이 미끄러지면서 중심이 일치되도록 된 수직위치조절부재로 이루어진 것을 특징으로 하는 능동형 제진장치.