JP4423211B2 - ロウ付け構造および気密端子 - Google Patents

Description

本発明は、金属板とその貫通孔内にロウ付けされる筒状または棒状部材とのロウ付け構造に関するとともに、このロウ付け構造が用いられた半導体製造装置，電子機器，半導体装置等の電気装置に使用される気密端子に関する。

従来、半導体製造装置等の内部雰囲気を外部雰囲気と遮断させて使用する電気装置には、装置内外で電気信号を導通させるために気密端子が取着されている。このような気密端子においては、気密端子を構成する部材間での絶縁を保ちつつ部材同士を気密に接合することが要求される。

このような気密端子の一例を図３に示す。図３は従来の気密端子の一例を示す断面図である。11はセラミック筒状体、12は金属線材、13はスリーブ、17はフランジであり、主にこれらにより気密端子が構成される。

図３の気密端子は、セラミック筒状体11中に両端を上下に突出させた状態で金属線材12を挿通させ、セラミック筒状体11から突出した金属線材12の一端側に環状の固定金具15を取り付け、固定金具15と金属線材12との間および固定金具15とセラミック筒状体11の外表面との間をロウ付け接合し、かつセラミック筒状体11の外周面を筒状のスリーブ13の内周面にロウ付け接合し、スリーブ13の外周面をフランジ17の貫通孔17ａの内周面にロウ付け接合または溶接することによって構成されている。

セラミック筒状体11はアルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）質セラミックス等のセラミックスから成り断面の形状が円形や四角形，六角形等の種々の形状とされた部材であり、セラミック筒状体11をスリーブ13にロウ付けするには、例えばセラミック筒状体11の外周面にタングステン（Ｗ）やモリブデン（Ｍｏ），マンガン（Ｍｎ）等から成る側部メタライズ層16を被着させておくとともに銀（Ａｇ）ロウ等のロウ材によってロウ付けする方法が採用される。また側部メタライズ層16にニッケル（Ｎｉ）めっきを施し、このＮｉめっきが施された側部メタライズ層16とスリーブ13とをロウ付けするという方法も採用される。この方法により、セラミック筒状体11とスリーブ13との接合をより強固なものとすることができる。

セラミック筒状体11の貫通孔11ａ内に金属線材12を挿通させ固定するには、セラミック筒状体11の例えば上端面にＷ，Ｍｏ，Ｍｎ等から成る上部メタライズ層14を被着形成しておき、この上部メタライズ層14に、金属線材12をセラミック筒状体11に取り付けるための環状の固定金具15を当接し、固定金具15と金属線材12との間および固定金具15とセラミック筒状体11の上部メタライズ層14との間をＡｇロウ等のロウ材を介してロウ付け接合する。

金属線材12は鉄（Ｆｅ）−Ｎｉ−コバルト（Ｃｏ）合金等の金属から成る円柱状であり、セラミック筒状体11の貫通孔11ａ内に挿通されて一端側で固定金具15にロウ付けされ、電気装置内外を電気的に接続するための端子として作用する。

スリーブ13は、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金等の金属から成る、その内径をセラミック筒状体11の外径に合わせ、その外形をフランジ17の貫通孔17ａの内径に合わせた外径の円形や四角形，六角形等の種々の形状とした筒状の部材であり、その内周面の一部が側部メタライズ層16にＡｇロウ等のロウ材を介して気密にロウ付けされている。

このスリーブ13は、セラミック筒状体11によって絶縁された金属線材12をフランジ17の貫通孔17ａ内に固定するための固定部材として機能するとともに、セラミック筒状体11にフランジ17との熱膨張差による応力が直接作用したり、フランジ17に加わる外力がセラミック筒状体11に直接作用したりするのを防止する応力緩衝部材として機能し、フランジ17の貫通孔17ａにロウ付けや溶接等によって気密に接合される。

環状の固定金具15は、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金等の金属から成るリング状の部材であり、その中心孔の内径を金属線材12の外径に合わせて、リングの直径がセラミック筒状体11の上端面に合うように絞り込まれた部材である。そして、その内側には金属線材12がその一端側を突出させて挿通され、Ａｇロウ等のロウ材を介してロウ付けされている。

この固定金具15は、セラミック筒状体11に金属線材12を気密に嵌挿固定するとともに、セラミック筒状体11に金属線材12を取り付ける際等にセラミック筒状体11と金属線材12との間に両者の熱膨張係数の差に起因して発生する応力を吸収緩和する作用をなす。

フランジ17はＳＵＳ等から成る平板状で電気装置への取付用部材として機能するものであり、例えばフランジ17の一主面を電気装置の取付孔を塞ぐように取り付け、フランジ17の外周部を溶接することによって、気密端子を電気装置に気密かつ強固に取り付けることが可能となる（下記の特許文献１参照）。

このような気密端子は、金属線材12がセラミック筒状体11に支持される構造となるので、金属線材12とフランジ17との沿面距離を大きくとることができ、金属線材12に高電圧の電気信号を導通させることが可能なものとなる。
特開平11−162540号公報

しかしながら、図３に示した上記従来の気密端子において、スリーブ13をフランジ17の貫通孔17ａにロウ付けや溶接等によって接合固定する際、ロウ材や溶融した金属がフランジ17の表面に濡れ広がってしまい、フランジ17を平坦な電気装置の表面に気密に取り付けることができなくなるという問題点や、溶接時にセラミック筒状体11がクラック等によって破損し、気密端子として機能できなくなってしまうという問題点が発生していた。

即ち、スリーブ13をフランジ17にロウ付けによって接合する場合、スリーブ13をロウ付けするためのロウ材が、フランジ17の上下両主面に流れ出るとともに濡れ広がって、例えば、フランジ17の一主面を電気装置の取付孔を塞ぐように取り付け、フランジ17の外周部を溶接しようとしても、フランジ17の一主面が濡れ広がったロウ材によって取付孔の周囲の部材に密着されず、フランジ17の一主面で電気装置の取付孔を気密に塞ぐのが困難となり、その結果、フランジ17を電気装置に気密に取り付けることができなくなっていた。

また、ロウ付けによって接合する場合、スリーブ13を所定の位置に固定するためのロウ付け用治具が必要であり、接合の作業において、ロウ付け用治具を準備するための手間が掛かるという問題点もあった。

スリーブ13をフランジ17に溶接接合する場合は、スリーブ13とフランジ17の溶接部周辺のみに熱が加えられるため、スリーブ13とフランジ17だけが熱膨張することとなる。そのため、セラミック筒状体11のスリーブ13との接合部において溶接時の熱応力が大きく作用し易く、セラミック筒状体11がクラック等によって破損し易くなっていた。その結果、必要とされる気密信頼性を満足することができず、気密端子として機能できなくなってしまっていた。

特に、近時においては、気密端子は小型化傾向にあり、セラミック筒状体11やスリーブ13等が小型化してきており、セラミック筒状体11の機械的強度が低下するとともに、スリーブ13の長さが短くなってセラミック筒状体11との接合部に溶接時の熱応力が作用するとクラックを生じ易くなってきている。そのため、スリーブ13をフランジ17に溶接接合する場合、セラミック筒状体11のクラック等の破損による気密信頼性低下の問題が顕著になってきた。

従って、本発明は上記問題点に鑑み完成されたものであり、その目的は、ロウ材が必要以上に濡れ広がるのを防止可能で効率よく接合可能なロウ付け構造を提供するとともに、高い気密信頼性を有し効率よく製造可能な気密端子を提供することにある。

本発明のロウ付け構造は、金属板の上下主面間に大径部および小径部から成る貫通孔が設けられ、該貫通孔に挿通される筒状部材または棒状部材の突出部が前記大径部と前記小径部との間の段差部に係止されるとともに前記大径部の内周面にロウ付けされて成り、前記段差部に段差面溝部が形成され、前記小径部の内周面に内周面溝部が形成されていることを特徴とする。

また、本発明のロウ付け構造は、上記構成において好ましくは、前記筒状部材が、金属線材が両端面間に挿通されたセラミック筒状体であり、前記突出部が、前記セラミック筒状体の外周面にロウ付けされた筒状の金属スリーブであることを特徴とする。

また、本発明の気密端子は、上記本発明のロウ付け構造を用いて、前記金属板と前記筒状部材または棒状部材とをロウ付けして成ることを特徴とする。

本発明のロウ付け構造は、金属板の上下主面間に大径部および小径部から成る貫通孔が設けられ、貫通孔に挿通される筒状部材または棒状部材の突出部が大径部と小径部との間の段差部に係止されるとともに、大径部の内周面にロウ付けされて成り、段差部に段差面溝部が形成され、小径部の内周面に内周面溝部が形成されていることから、突出部を大径部の内周面にロウ付けするためのロウ材が、段差部，段差面溝部，内周面溝部に遮られて、金属板の下側主面に流れ出にくくなり、金属板の下側主面にロウ材が濡れ広がるのを防止することができる。

その結果、金属板の下側主面を、例えば、電気装置の取付孔を塞ぐように当接させ、金属板の外周部を溶接固定すれば、金属板の外周部が良好な状態で溶けて、金属板の下側主面で電気装置の取付孔を気密に塞いで取り付けることが可能となる。

また、突出部の下端が段差部で係止されるので、従来のように突出部が貫通孔内の所定位置になるようにロウ付け用治具で筒状部材または棒状部材を所定位置に固定する必要が無くなり、突出部の接合の作業を作業効率に優れたものとすることが可能となる。

以上により、ロウ材が必要以上に濡れ広がるのを防止可能で効率よく接合可能なロウ付け構造を提供することができる。

また、本発明のロウ付け構造は、上記構成において好ましくは、筒状部材が、金属線材が両端面間に挿通されたセラミック筒状体であり、突出部が、セラミック筒状体の外周面にロウ付けされた筒状の金属スリーブであることから、気密端子が小型化し、セラミック筒状体等が小型化して、セラミック筒状体の機械的強度が低下しても、スリーブと金属板とがロウ付け接合によって接合されることから、溶接接合される場合のようにセラミック筒状体へクラック等の破損が生ずることがなく、気密信頼性が低下するのを防止できる。

また、本発明の気密端子は、本発明のロウ付け構造を用いて、金属板と筒状部材または棒状部材とをロウ付けして成ることから、接合構造に、上記本発明のロウ付け構造を用いた、ロウ材が必要以上に濡れ広がるのを防止可能で効率よく接合可能な気密信頼性の高い気密端子を提供することができる。

本発明のロウ付け構造および気密端子について以下に詳細に説明する。図１は本発明の気密端子の実施の形態の一例を示す断面図であり、図２（ａ）は図１の気密端子におけるロウ付け構造の要部拡大断面図である。また、図２（ｂ）は本発明のロウ付け構造の実施の形態の他の例を示す要部拡大断面図、図２（ｃ）（ｄ）はそれぞれ本発明の気密端子の実施の形態のさらに他の例を示し、段差面溝部および内周面溝部の要部拡大断面図である。

同図において、１は筒状部材または棒状部材、２は金属線材、３は突出部（スリーブ）、７は金属板であり、主にこれらにより気密端子が構成される。

本発明のロウ付け構造は、金属板７の上下主面間に上方の大径部７ａ−１および下方の小径部７ａ−２から成る貫通孔７ａが設けられ、貫通孔７ａに挿通される筒状部材または棒状部材１の外周側面に突出する突出部３の下端が大径部７ａ−１と小径部７ａ−２との間の段差部７ｂに係止されるとともに大径部７ａ−１の内周面にロウ付けされて成り、段差部７ｂの、突出部３の係止部と小径部７ａ−２の上端との間の段差部７ｂに段差面溝部７ｃが形成され、小径部７ａ−２の内周面には内周面溝部７ｄが形成されているものである。

また、本発明のロウ付け構造は、筒状部材１が、金属線材２が両端面間に挿通されたセラミック筒状体１であり、突出部が、セラミック筒状体１の外周面にロウ付けされた筒状の金属スリーブ３であってもよい。

また、本発明の気密端子は、上記ロウ付け構造を用いて、金属板７と筒状部材または棒状部材１とをロウ付けして成るもので、金属板の下側主面で半導体製造装置，電子機器，半導体装置等の電気装置の気密容器部分を構成する壁部に開けられた取付孔を塞ぐようにして取り付け、金属板の外周部を壁部に溶接固定することによって、電気装置の取付孔を気密に塞いで取り付けられるものである。

図１において、筒状部材または棒状部材１は、筒状部材１の両端面に金属線材２が挿通された構成を示したが、筒状部材１と金属線材２とが一体の金属から成る棒状部材１とし、この棒状部材１の外周側面に、例えばセラミックスから成る筒状の絶縁部材をロウ付けした突出部３を形成した構成であってもよい。この場合、筒状のセラミックスから成る絶縁部材の内周面および外周面の少なくとも一部にはロウ付けのためのメタライズ層が形成される。

好ましくは、図１に示されるように、セラミックス等の筒状部材１の両端面に金属線材２が挿通された構成がよく、これにより、小径部７ａ−２の内周面と金属線材２との間に絶縁性部材が配置されることから、金属線材２に、より高電圧の電気信号を導通させることができる。以下、筒状部材１にセラミック筒状体１を用いた場合を例に説明する。

本発明のロウ付け構造において、セラミック筒状体１はＡｌ_２Ｏ_３質セラミックス等のセラミックスから成る断面の形状が円形や四角形，六角形等の種々の形状とされた筒状の部材である。セラミック筒状体１を金属から成るスリーブ３にロウ付けするには、例えばセラミック筒状体１の外周面にＷやＭｏ，Ｍｎ等から成る側部メタライズ層６を被着させておくとともにＡｇロウ等のロウ材によってロウ付けする方法が採用される。また側部メタライズ層６にＮｉめっきを施し、このＮｉめっきが施された側部メタライズ層６とスリーブ３とをロウ付けするという方法も採用される。この方法により、セラミック筒状体１とスリーブ３との接合をより強固なものとすることができる。

セラミック筒状体１の両端面間に形成された貫通孔１ａ内に、金属線材２を挿通させ固定するには、例えば、セラミック筒状体１の例えば上端面にＷ，Ｍｏ，Ｍｎ等から成る上部メタライズ層４を被着形成しておき、この上部メタライズ層４に、金属線材２をセラミック筒状体１に取り付けるための環状の固定金具５を、固定金具５と金属線材２との間および固定金具５とセラミック筒状体１の上部メタライズ層４との間をＡｇロウ等のロウ材を介してロウ付け接合すればよい。

固定金具５を用いることによって、セラミック筒状体１に金属線材２を気密に嵌挿固定できるとともに、セラミック筒状体１に金属線材２を取り付ける際等に、金属線材２は固定金具５にのみ固定され、セラミック筒状体１には接合されていないため、セラミック筒状体１と金属線材２との間に両者の熱膨張係数の差に起因して発生する応力を吸収緩和できるという利点があるが、セラミック筒状体１と金属線材２との固定方法は、特にこの方法に限定されるものではなく、例えば、上部メタライズ層４と金属線材２とを直接ロウ材を介してロウ付けしてもよい。

セラミック筒状体１は、例えばＡｌ_２Ｏ_３質セラミックス等から成る絶縁性のものであり、電気装置との電気的絶縁を保って金属線材２を保持する作用をなし、例えばＡｌ_２Ｏ_３質セラミックスから成る場合、酸化珪素（ＳｉＯ_２）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）および酸化カルシウム（ＣａＯ）等のＡｌ_２Ｏ_３質セラミック原料粉末にポリビニルアルコール等のバインダを添加混合するとともに、これを所定形状のプレス型内に充填し、所定の圧力でプレスすることによりプレス成形体を得、しかる後、このプレス成形体を約1600℃の温度で焼成することによって製作される。なお、セラミック筒状体１の上面に固定金具５をロウ付けするための上部メタライズ層４を、および外周面にセラミック筒状体１にスリーブ３をロウ付けするための側部メタライズ層６を形成するために、プレス成形体の所定の位置にＷやＭｏ，Ｍｎ等の高融点金属を主成分とする金属ペーストを印刷塗布した状態で焼成する。

または、Ａｌ_２Ｏ_３，ＳｉＯ_２，ＭｇＯ，ＣａＯ等の原料粉末に適当な有機バインダ，溶剤等を添加混合してスラリーと成す。このスラリーをドクターブレード法やカレンダーロール法によってセラミックグリーンシートと成し、所要の大きさに切断する。次に、複数のセラミックグリーンシートにおいて貫通孔１ａ等を形成するために適当な打ち抜き加工を施す。そして、これらのセラミックグリーンシートにＷ等の金属粉末を主成分とする金属ペーストを印刷塗布して上部メタライズ層４，側部メタライズ層６等の導体層となる印刷パターンを形成し、次いでこれらの印刷パターンを形成したセラミックグリーンシートを積層し、約1600℃の温度で焼成することによって製作される。

金属線材２はＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金，Ｆｅ−Ｎｉ合金，銅（Ｃｕ），鉄（Ｆｅ）等の金属から成る棒状であり、セラミック筒状体１の貫通孔１ａ内に両端がセラミック筒状体１の両端面から突出するように挿通されてロウ付け等により固定され、電気装置内外を電気的に接続するための端子として機能する。

この金属線材２は、好ましくはその熱膨張係数がセラミック筒状体１の熱膨張係数と近似した材質とするのがよく、この構成によって、金属線材２とセラミック筒状体１とがロウ付けされる際の両者の熱膨張差を最小限に抑えることができ、金属線材２をセラミック筒状体１に気密性高く強固に接合することができるようになる。さらに、金属線材２を構成する金属として硬度がビッカース硬度でＨｖ＝200以上のものであると、比較的固く容易に曲がりにくいことから電気装置の外部雰囲気側の金属線材２にコネクターソケット等を嵌合する際等に金属線材２に曲がりを発生させにくいので好ましい。従って、セラミック筒状体１がＡｌ_２Ｏ_３質セラミックスから成る場合、金属線材２としては、熱膨張係数がＡｌ_２Ｏ_３質セラミックスと近似するとともに硬度の高いＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金から成るのがよい。

また、金属線材２は、その表面にＮｉから成るめっき金属層を１〜10μｍの厚みに被着させておくと金属線材２が酸化腐食することを有効に防止することができる。従って、金属線材２の表面にはＮｉから成るめっき金属層を１〜10μｍの厚みに被着させておくことが好ましい。

スリーブ３は、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金，Ｆｅ−Ｎｉ合金等の金属から成る、その内径をセラミック筒状体１の外径に合わせ、その外径を金属板７の貫通孔７ａの内周面に合わせた円形や四角形，六角形等の種々の形状とした筒状の部材であり、好ましくは、内径をセラミック筒状体１の外径に合わせた小径の筒状部と、その外径を金属板７の貫通孔７ａの内周面に合わせた大径の筒状部とが隣り合うように組合せ、大径の筒状部と小径の筒状部とがリング状部材で接続された図１のような形状や、大径の筒状部の内側に小径の筒状部を組合せ、それらの一端側がリング状部材で接続された、断面Ｕ字状の金属を筒状に形成したような形状の筒状とされる。このような形状とすることにより、ロウ付けされた大径の筒状部と小径の筒状部との間の弾力性で金属板７とセラミック筒状体１との間の熱膨張差を緩和することができる。

そして、小径の筒状部の内周面の少なくとも一部が側部メタライズ層６にＡｇロウ等のロウ材を介して気密にロウ付けされ、大径の筒状部の外周面の少なくとも一部が貫通孔７ａの大径部７ａ−１の内周面にロウ付けされて金属板７とセラミック筒状体１との間を気密に封止する。このスリーブ３はプレス加工や絞り加工等の従来周知の金属加工法によって所定の形状に製作される。

このスリーブ３は、セラミック筒状体１によって絶縁された金属線材２を金属板７の貫通孔７ａに固定するための固定部材として機能するとともに、セラミック筒状体１に金属板７との熱膨張差による応力が直接作用したり、金属板７に加わる外力がセラミック筒状体１に直接作用したりするのを防止する応力緩衝部材として機能する。

環状の固定金具５は、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金等の金属から成り、その内径を金属線材２の外径に合わせて、その外径がセラミック筒状体１の上端面に合わせて形成されたリング状の部材であり、例えば、図１のスリーブ３と同形状に絞り込まれたリング状の部材である。そして、その内側には金属線材２がその一端側を突出させて挿通され、Ａｇロウ等のロウ材を介してロウ付けされている。この固定金具５はプレス加工や絞り加工等の従来周知の金属加工法によって所定の形状で製作される。

この固定金具５は、セラミック筒状体１に金属線材２を気密に嵌挿固定するとともに、セラミック筒状体１に金属線材２を取り付ける際等にセラミック筒状体１と金属線材２との間に両者の熱膨張係数の差に起因して発生する応力を吸収緩和する作用をなす。これにより、セラミック筒状体１の貫通孔１ａ内に銅や銀等の電気伝導性のよい金属線材２を用いることも可能となる。

金属板７はステンレス鋼（ＳＵＳ），Ｆｅ，Ｃｕ等から成る平板状で電気装置への取付用部材として機能するものであり、例えば金属板７の一主面を電気装置の取付孔を塞ぐように取り付け、金属板７の外周部を溶接することによって、気密端子を電気装置に気密かつ強固に取り付けることが可能となる。

金属板７において貫通孔７ａの下側には貫通孔７ａの内周面が突出するようにして小径部７ａ−２が形成されており、大径部７ａ−１との間の段差部７ｂの外周部にスリーブ３の下端が係止され、段差部７ｂのスリーブ３との係止部よりも内周側に段差面溝部７ｃが形成され、かつ小径部７ａ−２の内周面には内周面溝部７ｄが形成されている。

この構成により、スリーブ３をロウ付けするためのロウ材８が、段差部７ｂ，段差面溝部７ｃ，内周面溝部７ｄで金属板７の下側主面側に流れるのを阻止することができ、金属板７の下側主面にロウ材８が濡れ広がるのを防止することができる。

その結果、金属板７の下側主面はロウ材８の濡れ広がりがないことから、例えば、金属板７の下側主面を電気装置の取付孔を塞ぐように取り付け、金属板７の外周部を溶接固定すれば、金属板７の外周部が良好な状態で溶けて、金属板７で電気装置の取付孔を気密に塞いで取り付けることが可能となる。

また、スリーブ３の下端が段差部７ｂの外周部で係止されるので、スリーブ３を従来のようにロウ付け用治具で所定位置に固定する必要が無くなり、スリーブ３の接合作業を作業効率に優れたものとすることが可能となる。

以上により、ロウ材８が必要以上に濡れ広がるのを防止可能で効率よく接合可能なロウ付け構造となる。

また、スリーブ３と金属板７とがロウ付け接合によって接合されることから、気密端子が小型化し、セラミック筒状体１等が小型化して、セラミック筒状体１の機械的強度が低下しても、溶接接合される場合のようにセラミック筒状体１へクラック等の破損が生ずるということがなく、気密信頼性が低下するのを防止できる。

ここで、段差面溝部７ｃおよび内周面溝部７ｄの断面形状は、四角形状，Ｖ字状，半円形状等種々の形状とし得るが、好ましくは、断面形状は四角形状とするのがよく、溝の底面の角部にロウ材を溜まり易くし、ロウ材８が溝から外に流れ出るのを有効に防止することができる。

小型の気密端子である場合、大径部７ａ−１に対する小径部７ａ−２の貫通孔７ａ内側への突出寸法および高さは１ｍｍ〜３ｍｍ程度で、また段差面溝部７ｃおよび内周面溝部７ｄの幅および深さ寸法は0.5ｍｍ〜１ｍｍ程度であればよく、金属板７の下側主面にロウ材８が流れるのを確実に防止することができる。

また、好ましくは、図２（ｂ）に示すように、金属板７の貫通孔７ａの上面側の大径部７ａ−１の開口部には面取り部７ｅが形成されているのがよく、この構成により、スリーブ３を金属板７に接合させるためのロウ材８を面取り部７ｅの内面に溜めることができ、スリーブ３と金属板７との間に形成されるロウ材８のメニスカスを良好なものとして、スリーブ３を金属板７に、より強固に接合できるとともに、ロウ材８が面取り部７ｅから流れ出難くなり金属板７の上面においてもロウ材８の濡れ広がりを防止することができる。なお、面取り部７ｅの断面形状は図２（ｂ）に示すような三角形状，四角形状等の矩形状の他、円弧状等の曲面状であってもよく、種々の形状とし得る。

また、好ましくは、図２（ｃ）（ｄ）に示すように、段差面溝部７ｃおよび内周面溝部７ｄの断面形状は溝の底面に凸形の突出部が形成された形状や凹形の溝部が形成された形状であるのがよく、この構成により、溝の底面にさらにロウ材を溜まり易くし、ロウ材が溝から外に流れ出るのを極めて有効に防止することができるようになる。

なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更を施すことは何等差し支えない。上記実施の形態においては、本発明のロウ付け構造について気密端子を例にとって説明したが、本発明のロウ付け構造は気密端子以外にも適用可能である。例えば、外周部にスリーブ３の付いたサファイア窓を金属板７に取り付けるロウ付け部等に適用しても構わない。また、図１では金属板７にはスリーブ３が１個だけしか取り付けられていない形態を示したが、１枚の金属板７に複数個の貫通孔７ａが設けられ、それぞれの貫通孔７ａにスリーブ３が取り付けられている形態であってもよく、何等問題ない。

本発明のロウ付け構造を用いた気密端子の実施の形態の一例を示す断面図である。 （ａ）は図１の気密端子におけるロウ付け構造の要部拡大断面図、（ｂ）は本発明のロウ付け構造の実施の形態の他の例を示す要部拡大断面図、（ｃ）（ｄ）はそれぞれ本発明のロウ付け構造の実施の形態の他の例を示し段差面溝部および内周面溝部の要部拡大断面図である。 従来の気密端子の例を示す断面図である。

符号の説明

１：筒状部材（セラミック筒状体）
２：金属線材
３：突出部（スリーブ）
４：上部メタライズ層
５：固定金具
６：側部メタライズ層
７：金属板
７ａ：貫通孔
７ａ−１：大径部
７ａ−２：小径部
７ｂ：段差部
７ｃ：段差面溝部
７ｄ：内周面溝部
８：ロウ材

Claims (3)

1. 金属板の上下主面間に大径部および小径部から成る貫通孔が設けられ、該貫通孔に挿通される筒状部材または棒状部材の突出部が前記大径部と前記小径部との間の段差部に係止されるとともに前記大径部の内周面にロウ付けされて成り、前記段差部に段差面溝部が形成され、前記小径部の内周面に内周面溝部が形成されていることを特徴とするロウ付け構造。
2. 前記筒状部材が、金属線材が両端面間に挿通されたセラミック筒状体であり、前記突出部が、前記セラミック筒状体の外周面にロウ付けされた筒状の金属スリーブであることを特徴とする請求項１に記載のロウ付け構造。
3. 請求項１または請求項２に記載のロウ付け構造を用いて、前記金属板と前記筒状部材または棒状部材とをロウ付けして成ることを特徴とする気密端子。

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