JP4419255B2 - 共振型光スキャナ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハンディ型バーコードリーダ,自動車用レーザセンサ等において、光源から出力された所定の光を反射して所定対象物に照射すると共に、その照射光を走査するのに使用される光スキャナに関する。
【0002】
【従来の技術】
レーザ式バーコードリーダや、障害物検知用レーザセンサ等において、レーザ光を走査するための光スキャナには、従来、多面体の鏡をモータで回転させるポリゴンミラー方式が一般的に使用されていた。しかしながら、昨今の小型化低コスト化への要求に応えるために、特開平7−199099号公報に示されるように、慣性体とバネからなる振動系の共振を利用した共振型光スキャナが各種提案されている。
【0003】
この共振型光スキャナは、慣性体をバネで支持し、これを圧電素子や電磁石を利用して加振して共振させることにより、ミラーの角度を周期的に変化させ、対象物への照射光を1次元又は2次元方向に走査するものである。このような光スキャナ装置は構造が簡単にできるため、小型化、低コスト化に貢献でき、また、共振を利用しているため消費電力を小さくできる利点がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、一般に、共振型光スキャナは、その駆動信号と反射面の傾き角の位相関係が正確に定まらないため、スキャナが何処を走査しているかを知るためには反射面の傾き角をモニタリングする必要がある。反射面の傾き角をモニタリングするためには、光エンコーダなどの計測手段が必要であり、装置の複雑化、高コスト化を招くという問題点があった。この問題について以下に詳細に説明する。
【0005】
共振型光スキャナを駆動するためには、正弦波や矩形波などの周期的な電気信号を用い、圧電素子や電磁石などによりこの電気信号を周期的な加振力に変換する。
【0006】
ここで、図17(a)に、振動系における加振力と慣性体の振幅の倍率の関係を示し、図17(b)に、加振力と慣性体の振動の位相差の関係を示す。なお、図17(a)、(b)の横軸は加振力の周波数と振動系の共振周波数の比を表わし、図17(a)の縦軸は慣性体の振幅と加振力の振幅の比を表わしている。また、図17(b)の縦軸は慣性体の振動と加振力の位相差を表わす。
【0007】
図17(a)、(b)の横軸で1を示す位置が振動系の共振点を示しており、振幅の倍率が最大になる。この共振点となる周波数で共振型光スキャナ駆動することにより、最も大きい走査角度が得られ、消費電力を最小にすることができる。
【0008】
ここで、図17(b)に示す位相差に注目すると、共振点において加振力と慣性体の振動の位相差の関係がほぼ垂直になっており、位相差が急激に変化することが分かる。
【0009】
このため、正確に共振周波数で駆動することができれば、位相差が90度となるが、実際には振動系の共振周波数が温度変化等によって変化するため、駆動信号と慣性体の振動の位相差を正確に把握することができない。
【0010】
共振型光スキャナをバーコード読取装置に用いる場合には、バーコード側に読み取る記号の始まり情報が記載されているため、反射面の角度を把握する必要は無い。しかし、例えば、レーザ光を走査して障害物を検知するような用途に共振型光スキャナを用いる場合には、反射面の角度が分からないと障害物が右にあるのか左にあるのか分からないことになる。
【0011】
本発明は上記点に鑑みて成され、共振型光スキャナにおいて反射面の角度をモニタリングできるようにすることを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、光源から照射されたレーザ光(109)を反射面(101)で反射させて所定対象物に照射し、反射面を揺動させることにより対象物に照射された光を所定方向に走査する共振型光スキャナにおいて、反射面が該反射面の揺動中心から揺動の半径方向にオフセットした位置に設置されていると共に、反射面の裏面側において、反射面の一部に形成された貫通孔(108)を通じて、光源から照射されたレーザ光の一部が導かれる位置に受光素子(107、207、307a、307b)が配置されており、反射面の揺動によって導かれたレーザ光の照射位置が変化すると、該照射位置の変化に応じた電気信号が受光素子から出力され、電気信号に基づいて反射面の揺動により変位した反射面の角度を検出することを特徴としている。
【0013】
このような構成の共振型光スキャナにより、受光素子から出力される電気信号を計測することで、反射面の角度を直接的にモニタリングすることができる。
【0014】
請求項2に記載の発明においては、貫通孔は、反射面の裏面に向かうにつれて孔が広がるテーパ形状であることを特徴としている。このように、反射面の裏面に向かうにつれて孔が広がるテーパ形状とすれば、反射面が揺動しても貫通孔を通過してレーザ光が受光素子に導かれるようにできる。
【0015】
請求項3に記載の発明では、受光素子は、1次元方向の光の位置を検出できるラインセンサ(107)であり、該ラインセンサは、反射面の揺動によって導かれたレーザ光の照射位置が変化する方向に沿って配置されていることを特徴としている。このようにラインセンサを使用すれば、ラインセンサの出力と実際の反射面の角度とが一対一の対応関係を示すため、ラインセンサの出力に基づいて反射面の角度をモニタリングすることができる。
【0016】
請求項4に記載の発明では、受光素子は、1個のフォトダイオード(207)であることを特徴としている。このように、1個のフォトダイオードを使用することにより、実際の反射面の角度に対応したパルス状の電気信号を得ることができるため、このパルス状信号に基づいて反射面の角度を検出することができる。
【0017】
請求項5に記載の発明では、受光素子は、2個のフォトダイオード(307a、307b)であり、該2個のフォトダイオードは、反射面の揺動によって導かれたレーザ光の照射位置が変化する方向に沿って配置されていることを特徴としている。このように、2個のフォトダイオードを使用することにより、反射面の角度だけでなく、共振型光スキャナの振幅を求めることも可能となり、スキャンの広さを求めることができる。
【0018】
なお、請求項6に示すように、受光素子として、2次元方向の光の位置を検出できるエリアセンサを使用し、2次元スキャナにおいても反射面の角度を検出することができる。
【0019】
請求項7に記載の発明においては、第1反射面の一部に形成され、該第1反射面とは異なった角度を成す第2反射面(408)と、第2反射面にて反射されたレーザ光(410)が照射される受光素子(407、507、607a、607b)と、を備え、第2反射面で反射したレーザ光の照射位置が第1反射面の揺動によって変化すると、該照射位置の変化に応じた電気信号が受光素子から出力され、電気信号に基づいて第1反射面の揺動により変位した第1反射面の角度を検出することを特徴としている。
【0020】
このように、第1反射面の一部に、第1反射面とは異なった角度を成す第2反射面を設けることによっても、請求項1と同様の効果を得ることができる。
【0021】
なお、この場合においても、請求項8乃至11に示す構成とすれば、請求項3乃至6と同様の効果を得ることができる。
【0022】
請求項12に記載の発明においては、反射面の近傍に配置され、レーザ光が透過するように構成されていると共に、部分的にレーザ光を反射する反射体(709、809a、809b、909a、909b)が設けられた透過面(708、808、908)と、反射体にて反射されたレーザ光が照射される受光素子(707、807、907a、907b)と、を備え、反射面の揺動によって反射体で反射したレーザ光が受光素子に照射されると、該レーザ光の照射に基づく電気信号が受光素子から出力され、電気信号に基づいて反射面の揺動により変位した反射面の角度を検出することを特徴としている。
【0023】
このように、透過面の一部に、反射体を備えることによっても、請求項1と同様の効果を得ることができる。
【0024】
この場合、請求項13に示すように、反射体として1個所の乱反射体(709)を透過面(708)に設け、乱反射体による乱反射光の一部が1個の受光素子(707)に導かれるように構成することができる。このように、乱反射体による乱反射光に基づいてモニタリングを行なうことができ、乱反射体を1個所に設けることにより、請求項4と同様の効果を得ることができる。
【0025】
なお、反射体としては、請求項15に示すように、正反射体を使用することも可能であり、正反射体を使用しても請求項13と同様の効果を得ることができる。
【0026】
また、請求項14に示すように、反射体として2個所の乱反射体(809a、809b)を透過面(808)に設け、各乱反射体による各乱反射光の一部が1個の受光素子(807)に導かれるように構成することもできる。この場合には、受光素子に2個所の乱反射体からの乱反射光が照射されることになるため、1つの受光素子によって請求項5と同様の効果を得ることができる。
【0027】
なお、この場合にも、請求項16に示すように、反射体として正反射体を使用することができ、請求項14と同様の効果を得ることができる。ただし、この場合には、正反射体での反射光が所定方向に導かれるため、2個の受光素子(907a、907b)が必要とされ、該2個の受光素子を反射面の揺動によって導かれたレーザ光の照射位置が変化する方向に沿って配置されるようにする。
【0028】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【0029】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施例について、図面を用いて説明する。
【0030】
(第1実施形態)
図1に共振型光スキャナの概略図を示し、図2に反射面の角度をモニタリングする手段の説明図を示す。以下、図1、図2に基づいて、本実施形態の共振型光スキャナ100の構成を説明する。
【0031】
共振型光スキャナ装置100は、反射面としてのミラー101、フレーム102、スプリング103、マグネット104、ソレノイド105、ベース106、1次元フォトダイオードアレイによって構成された受光素子としての光ラインセンサ107とにより構成されている。
【0032】
フレーム102の一端側の先端にはミラー101が取り付けられており、フレーム102の他端側にはマグネット104が配置されている。ソレノイド105は、ベース106のうちマグネット104に磁界を印加できる位置に固定されている。
【0033】
また、フレーム102はスプリング103を介してベース106に架設されている。スプリング103は、厚さ50μm程度のバネ用ステンレス鋼の金属箔で構成されており、ベース106の平面と平行な方向に容易に変位できるようになっている。
【0034】
ミラー101は、マグネット104の反対側の表面でレーザ光109を反射できるようになっている。このミラー101には部分的にピンホール(貫通孔)108が形成されている。このピンホール108は、図2に示すように、ミラー101の裏面に向かうにつれて孔が広がるテーパ形状を成している。
【0035】
光ラインセンサ107は、レーザ光110の照射位置に応じた電気信号を出力する。光ラインセンサ107はミラー101の裏面側においてベース106に固定されており、ピンホール108を通じてミラー101の裏面側に導かれたレーザ光110が光ラインセンサ107に照射されるようになっている。
【0036】
次に、共振型光スキャナ100の動作を説明する。まず、図示されていない光源より出射されたレーザ光109をミラー101に照射し、所定の方向に反射させる。このとき、レーザ光109の一部はピンホール108を通じて、光ラインセンサ107に導かれる。
【0037】
そして、図示しない信号発生器や増幅器を用いて、正弦波や矩形波などの周期的な信号波形を生成させ、ソレノイド105に入力する。その結果、ソレノイド105が交番磁界を発生する。この交番磁界による磁力がマグネット104に作用し、フレーム102が仮想的な軸111に対して揺動する。このとき、信号波形の周波数を共振型光スキャナ装置の共振周波数に合せれば、スキャン動作を行うことができる。
【0038】
この際、ピンホール108をテーパ形状としているため、ミラー101が揺動してもレーザ光109が常に裏面に導かれるようにできる。
【0039】
次に、共振型光スキャナ100の作動中におけるレーザ光110の照射状態を図3に示し、この図に基づいてミラー101の角度のモニタリング方法を説明する。なお、図3において、太い実線はミラー101とフレーム102の中立位置を示しており、また、太い破線は反射ミラー101とフレーム102が軸111に対して回転した時の位置を示している。
【0040】
ミラー101が中立位置にある場合は、ピンホール108を通過したレーザ光110が光ラインセンサ107のa部に到達する。そして、ミラー101が変位して、太い破線に示す位置に移動した場合、ピンホール108の位置も移動し、レーザ光110のラインセンサ107上への到達位置もbまたはcへ移動する。この移動は光ラインセンサ107から電気信号として出力される。
【0041】
図4に、実際のミラー101の角度113と光ラインセンサ107の出力114とを比較した図を示す。この図に示すように、光ラインセンサ107からの出力114が実際のミラー101の角度113と一対一の対応関係を示す。このため、光ラインセンサ107の出力114に基づいて、ミラー101の角度113をモニタリングすることが可能である。
【0042】
なお、本実施形態では、光ラインセンサ107として、1次元フォトダイオードアレイを用いた例を示したが、この他、1ラインのCCD、1次元CMOSイメージャ、1次元PSDなどを使用することもできる。
【0043】
(第2実施形態)
図5に、本発明の第2実施形態における共振型光スキャナ200を示す。本実施形態の共振型光スキャナ200では、受光素子として1個のフォトダイオードからなる光センサ207を用いている点が第1実施形態と異なる。
【0044】
ピンホール108を通過したレーザ光110は共振型光スキャナ200の動作に伴って移動し、所定の位置に来ると光センサ207に照射される。その結果、図6に示すように、光センサ207の出力214から、実際のミラー101の角度213に対応したパルス状の電気信号を得ることができる。
【0045】
このパルスの得られる位置を基準として外挿演算を行なうことにより、ミラー101の角度をモニタリングすることが可能である。すなわち、ミラー101の角度が基本的にサインカーブ状に変位することが判っているため、パルス信号に基づいてミラー101の角度(位相角)を検出することが可能となり、上記モニタリングを行なうことができる。
【0046】
ただし、本実施形態の場合には、一個所での情報しか得られないため、共振型スキャナの振幅が変動した場合には誤差が発生することになる。
【0047】
(第3実施形態)
図7に、本発明の第3実施形態における共振型光スキャナ300を示す。本実施形態の共振型光スキャナ300では、受光素子として2個のフォトダイオードからなる光センサ307a、307bを用いている点が第1実施形態と異なる。
【0048】
ピンホール108を通過したレーザ光110は共振型光スキャナ300の動作に伴って移動し、所定の位置に来ると光センサ307a、307bに照射される。その結果、図8に示すように、光センサ307a、307bの出力314から、実際のミラー101の角度313に対応したパルス状の電気信号を得ることができる。
【0049】
このパルスの得られる位置を基準として外挿演算を行なうことにより、ミラー101の角度をモニタリングすることが可能である。この場合、2個所の光センサ307a、307bからの信号を得ることができるため、ミラー101の角度だけでなく、ミラー101の走査角度や共振型光スキャナ300の振幅を求めることも可能となり、現在のスキャンの広さを求めることができる。これにより、常にミラー101の正確な位置をモニタリングすることができる。
【0050】
(第4実施形態)
図9に、本発明の第4実施形態における共振型光スキャナ400を示す。本実施形態の共振型光スキャナ400では、ミラー401の一部に、ミラー401の反射面(第1反射面)とは異なった角度を成す微小なミラー(第2反射面)408を設けている点と、ミラー408によって反射したレーザ光410が照射されるように、ミラー401の表面側に光ラインセンサ407を配置した点が第1実施形態と異なる。
【0051】
このように、ミラー401の一部に部分的に、モニタリング用のミラー408を形成すれば、図11に示すように、ミラー401が揺動するとレーザ光410が移動し、第1実施形態と同じ効果で、ミラー401の傾き角をモニタリングすることができる。
【0052】
なお、この場合にも、図12に示すように、1個のフォトダイオードによって光センサ507を構成した共振型光スキャナ500により、第2実施形態と同様の効果を得ることができ、図13に示すように、2個のフォトダイオードによって光センサ607a、607bを構成した共振型光スキャナ600により、第3実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0053】
(第5実施形態)
図14に、本発明の第5実施形態における共振型光スキャナ700を示す。本実施形態の共振型光スキャナ700では、ミラー701にではなく、スキャンするレーザ光109を透過する透明な部材708の一部に、レーザ光109を乱反射させる反射体709が取り付けられている点が第2実施形態と異なる。
【0054】
このような構成では、共振型光スキャナ700を動作させると所定のタイミングでスキャンするレーザ光109の一部が反射体709で乱反射され、乱反射光の一部が光センサ707に到達するため、第2実施形態と同じ効果でミラー401の傾き角をモニタリングすることができる。
【0055】
なお、通常、共振型光スキャナ700には、スキャンするレーザ光109を透過する透明な窓が配置されるため、この窓を透明な部材708として使用することができる。
【0056】
(第6実施形態)
図15に、本発明の第6実施形態における共振型光スキャナ800を示す。本実施形態の共振型光スキャナ800では、透明な部材708に2個、レーザ光109を乱反射させる反射体809a、809bを設けている点が第5実施形態と異なる。
【0057】
このように、2個所の反射体809a、809bを設け、乱反射光を1個のフォトダイオードで構成された光センサ807に到達させることにより、1個のフォトダイオードで、第3実施形態と同様の効果を得ることが可能となる。
【0058】
(第7実施形態)
図16に、本発明の第7実施形態における共振型光スキャナ900を示す。本実施形態の共振型光スキャナ900では、透明な部材908の2個所に正反射体909a、909bを設けると共に、正反射体909a、909bからの正反射光を各2個のフォトダイオードで構成された光センサ907a、907bのそれぞれに到達させるようにしている点が第5実施形態と異なる。
【0059】
このように、透明な部材908に正反射体909a、909bを備えても上記第5実施形態と同様の効果を得ることができ、さらに、2個の正反射体909a、909bとすることにより、第3実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0060】
なお、この場合には、正反射光は特定の方向に向かうため、2個の正反射体909a、909bを備える場合には、2個の光センサ907a、907bが必要となる。
【0061】
(他の実施形態)
上記の各実施形態では、共振型光スキャナとして1ライン上のスキャンを行なう1次元スキャナを対象としているが、2次元スキャンを行なう共振型2次元スキャナに本発明を適用することもできる。この場合、反射面の角度の検出を行なうために、2次元のCCD素子や2次元PSD、2次元CMOSイメージャ、2次元フォトダイオードアレイ等を使用すればよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態における共振型光スキャナ100の概略図である。
【図2】図1の共振型光スキャナ100のモニタリング手段を具体的に示した図である。
【図3】共振型光スキャナ100のモニタリング方法を説明するための図である。
【図4】実際のミラー101の角度と光ラインセンサ107の出力とを比較した図である。
【図5】本発明の第2実施形態における共振型光スキャナ200の概略図である。
【図6】実際のミラー101の角度と光ラインセンサ207の出力とを比較した図である。
【図7】本発明の第3実施形態における共振型光スキャナ300の概略図である。
【図8】実際のミラー101の角度と光ラインセンサ307a、307bの出力とを比較した図である。
【図9】本発明の第4実施形態における共振型光スキャナ400の概略図である。
【図10】図9の共振型光スキャナ400のモニタリング手段を具体的に示した図である。
【図11】共振型光スキャナ400のモニタリング方法を説明するための図である。
【図12】第4実施形態の他の例における共振型光スキャナ500の概略図である。
【図13】第4実施形態の他の例における共振型光スキャナ600の概略図である。
【図14】本発明の第5実施形態における共振型光スキャナ700の概略図である。
【図15】本発明の第6実施形態における共振型光スキャナ800の概略図である。
【図16】本発明の第7実施形態における共振型光スキャナ900の概略図である。
【図17】(a)は、振動系における加振力と慣性体の振幅の倍率の関係を示す図であり、(b)は、加振力と慣性体の振動の位相差の関係を示す図である。
【符号の説明】
101…ミラー、102…フレーム、103…スプリング、
104…マグネット、105…ソレノイド、106…ベース、
107…光ラインセンサ、108…ピンホール、109…レーザ光、
110…レーザ光、111…軸。
Claims (16)
- 光源から照射されたレーザ光(109)を反射面(101)で反射させて所定対象物に照射し、前記反射面を揺動させることにより前記対象物に照射された光を所定方向に走査する共振型光スキャナにおいて、
前記反射面が該反射面の揺動中心から揺動の半径方向にオフセットした位置に設置されていると共に、前記反射面の裏面側において、前記反射面の一部に形成された貫通孔(108)を通じて、前記光源から照射されたレーザ光の一部が導かれる位置に受光素子(107、207、307a、307b)が配置されており、
前記反射面の揺動によって導かれた前記レーザ光の照射位置が変化すると、該照射位置の変化に応じた電気信号が前記受光素子から出力され、前記電気信号に基づいて前記反射面の揺動により変位した前記反射面の角度を検出することを特徴とする共振型光スキャナ。 - 前記貫通孔は、前記反射面の裏面に向かうにつれて孔が広がるテーパ形状であることを特徴とする請求項1に記載の共振型光スキャナ。
- 前記受光素子は、1次元方向の光の位置を検出できるラインセンサ(107)であり、該ラインセンサは、前記反射面の揺動によって導かれた前記レーザ光の照射位置が変化する方向に沿って配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の共振型光スキャナ。
- 前記受光素子は、1個のフォトダイオード(207)であることを特徴とする請求項1又は2に記載の共振型光スキャナ。
- 前記受光素子は、2個のフォトダイオード(307a、307b)であり、該2個のフォトダイオードは、前記反射面の揺動によって導かれた前記レーザ光の照射位置が変化する方向に沿って配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の共振型光スキャナ。
- 前記受光素子は、2次元方向の光の位置を検出できるエリアセンサであることを特徴とする請求項1又は2に記載の共振型光スキャナ。
- 光源から照射されたレーザ光(109)を第1反射面(401)で反射させて所定対象物に照射し、前記第1反射面を揺動させることによって前記対象物に照射された光を所定方向に走査する共振型光スキャナにおいて、
前記第1反射面の一部に形成され、該第1反射面とは異なった角度を成す第2反射面(408)と、
前記第2反射面にて反射された前記レーザ光(410)が照射される受光素子(407、507、607a、607b)と、を備え、
前記第2反射面で反射した前記レーザ光の照射位置が前記第1反射面の揺動によって変化すると、該照射位置の変化に応じた電気信号が前記受光素子から出力され、前記電気信号に基づいて前記第1反射面の揺動により変位した前記第1反射面の角度を検出することを特徴とする共振型光スキャナ。 - 前記受光素子は、1次元方向の光の位置を検出できるラインセンサ(407)であり、該ラインセンサは、前記第2反射面で反射した前記レーザ光の照射位置が前記第1反射面の揺動によって変化する方向に沿って配置されていることを特徴とする請求項7に記載の共振型光スキャナ。
- 前記受光素子は、1個のフォトダイオード(507)であることを特徴とする請求項7に記載の共振型光スキャナ。
- 前記受光素子は、2個のフォトダイオード(607a、607b)であり、該2個のフォトダイオードは、前記第2反射面で反射した前記レーザ光の照射位置が前記第1反射面の揺動によって変化する方向に沿って配置されていることを特徴とする請求項7に記載の共振型光スキャナ。
- 前記受光素子は、2次元方向の光の位置を検出できるエリアセンサであることを特徴とする請求項7に記載の共振型光スキャナ。
- 光源から照射されたレーザ光(109)を反射面(701)で反射して所定対象物に照射し、該反射面が揺動することにより該対象物に照射した光を所定方向に走査する共振型光スキャナにおいて、
前記反射面の近傍に配置され、前記レーザ光が透過するように構成されていると共に、部分的に前記レーザ光を反射する反射体(709、809a、809b、909a、909b)が設けられた透過面(708、808、908)と、
前記反射体にて反射された前記レーザ光が照射される受光素子(707、807、907a、907b)と、を備え、
前記反射面の揺動によって前記反射体で反射した前記レーザ光が受光素子に照射されると、該レーザ光の照射に基づく電気信号が前記受光素子から出力され、前記電気信号に基づいて前記反射面の揺動により変位した前記反射面の角度を検出することを特徴とする共振型光スキャナ。 - 前記反射体として1個所の乱反射体(709)が前記透過面(708)に設けられており、前記乱反射体による乱反射光の一部が1個の受光素子(707)に導かれるように構成されていることを特徴とする請求項12に記載の共振型光スキャナ。
- 前記反射体として2個所の乱反射体(809a、809b)が前記透過面(808)に設けられており、前記各乱反射体による各乱反射光の一部が1個の受光素子(807)に導かれるように構成されていることを特徴とする請求項12に記載の共振型光スキャナ。
- 前記反射体として1個所の正反射体が前記透過面に設けられており、前記正反射体による正反射光が1個の受光素子に導かれるように構成されていることを特徴とする請求項12に記載の共振型光スキャナ。
- 前記反射体として2個所の正反射体(909a、909b)が前記透過面(908)に設けられており、前記各正反射体による各正反射光が2個の受光素子(907a、907b)にそれぞれ導かれるように構成されており、該2個の受光素子は、前記反射面の揺動によって導かれた前記レーザ光の照射位置が変化する方向に沿って配置されていることを特徴とする請求項12に記載の共振型光スキャナ。
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