JP2001242409A

JP2001242409A - 共振型光スキャナ

Info

Publication number: JP2001242409A
Application number: JP2000057993A
Authority: JP
Inventors: Hideaki Nishikawa; 英昭西川; Nobuaki Kawahara; 伸章川原
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2000-02-29
Filing date: 2000-02-29
Publication date: 2001-09-07
Anticipated expiration: 2020-02-29
Also published as: JP4419255B2

Abstract

(57)【要約】【課題】共振型光スキャナにおいて反射面の角度をモ
ニタリングできるようにする。【解決手段】光源から照射されたレーザ光１０９をミ
ラー１０１で反射させて所定対象物に照射し、ミラー１
０１を揺動させることにより対象物に照射された光を所
定方向に走査する共振型光スキャナにおいて、ミラー１
０１の一部にピンホール１０８を形成すると共に、ミラ
ー１０１の裏面側に光ラインセンサ１０７を配置し、レ
ーザ光１０９の一部がピンホール１０８を通じて光ライ
ンセンサ１０７に導かれるようにする。このような構成
により、光ラインセンサ１０７から出力される電気信号
を計測することで、ミラー１０１の角度を直接的にモニ
タリングすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ハンディ型バーコ
ードリーダ，自動車用レーザセンサ等において、光源か
ら出力された所定の光を反射して所定対象物に照射する
と共に、その照射光を走査するのに使用される光スキャ
ナに関する。

【０００２】

【従来の技術】レーザ式バーコードリーダや、障害物検
知用レーザセンサ等において、レーザ光を走査するため
の光スキャナには、従来、多面体の鏡をモータで回転さ
せるポリゴンミラー方式が一般的に使用されていた。し
かしながら、昨今の小型化低コスト化への要求に応える
ために、特開平７−１９９０９９号公報に示されるよう
に、慣性体とバネからなる振動系の共振を利用した共振
型光スキャナが各種提案されている。

【０００３】この共振型光スキャナは、慣性体をバネで
支持し、これを圧電素子や電磁石を利用して加振して共
振させることにより、ミラーの角度を周期的に変化さ
せ、対象物への照射光を１次元又は２次元方向に走査す
るものである。このような光スキャナ装置は構造が簡単
にできるため、小型化、低コスト化に貢献でき、また、
共振を利用しているため消費電力を小さくできる利点が
ある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一般
に、共振型光スキャナは、その駆動信号と反射面の傾き
角の位相関係が正確に定まらないため、スキャナが何処
を走査しているかを知るためには反射面の傾き角をモニ
タリングする必要がある。反射面の傾き角をモニタリン
グするためには、光エンコーダなどの計測手段が必要で
あり、装置の複雑化、高コスト化を招くという問題点が
あった。この問題について以下に詳細に説明する。

【０００５】共振型光スキャナを駆動するためには、正
弦波や矩形波などの周期的な電気信号を用い、圧電素子
や電磁石などによりこの電気信号を周期的な加振力に変
換する。

【０００６】ここで、図１７（ａ）に、振動系における
加振力と慣性体の振幅の倍率の関係を示し、図１７
（ｂ）に、加振力と慣性体の振動の位相差の関係を示
す。なお、図１７（ａ）、（ｂ）の横軸は加振力の周波
数と振動系の共振周波数の比を表わし、図１７（ａ）の
縦軸は慣性体の振幅と加振力の振幅の比を表わしてい
る。また、図１７（ｂ）の縦軸は慣性体の振動と加振力
の位相差を表わす。

【０００７】図１７（ａ）、（ｂ）の横軸で１を示す位
置が振動系の共振点を示しており、振幅の倍率が最大に
なる。この共振点となる周波数で共振型光スキャナ駆動
することにより、最も大きい走査角度が得られ、消費電
力を最小にすることができる。

【０００８】ここで、図１７（ｂ）に示す位相差に注目
すると、共振点において加振力と慣性体の振動の位相差
の関係がほぼ垂直になっており、位相差が急激に変化す
ることが分かる。

【０００９】このため、正確に共振周波数で駆動するこ
とができれば、位相差が９０度となるが、実際には振動
系の共振周波数が温度変化等によって変化するため、駆
動信号と慣性体の振動の位相差を正確に把握することが
できない。

【００１０】共振型光スキャナをバーコード読取装置に
用いる場合には、バーコード側に読み取る記号の始まり
情報が記載されているため、反射面の角度を把握する必
要は無い。しかし、例えば、レーザ光を走査して障害物
を検知するような用途に共振型光スキャナを用いる場合
には、反射面の角度が分からないと障害物が右にあるの
か左にあるのか分からないことになる。

【００１１】本発明は上記点に鑑みて成され、共振型光
スキャナにおいて反射面の角度をモニタリングできるよ
うにすることを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明では、光源から照射されたレ
ーザ光（１０９）を反射面（１０１）で反射させて所定
対象物に照射し、反射面を揺動させることにより対象物
に照射された光を所定方向に走査する共振型光スキャナ
において、反射面の裏面側に受光素子（１０７、２０
７、３０７ａ、３０７ｂ）が配置され、反斜面の一部に
形成された貫通孔（１０８）を通じて、光源から照射さ
れたレーザ光の一部が受光素子に導かれるようになって
いることを特徴としている。

【００１３】このような構成の共振型光スキャナによ
り、受光素子から出力される電気信号を計測すること
で、反射面の角度を直接的にモニタリングすることがで
きる。

【００１４】請求項２に記載の発明においては、貫通孔
は、反射面の裏面に向かうにつれて孔が広がるテーパ形
状であることを特徴としている。このように、反斜面の
裏面に向かうにつれて孔が広がるテーパ形状とすれば、
反斜面が揺動しても貫通孔を通過してレーザ光が受光素
子に導かれるようにできる。

【００１５】請求項３に記載の発明では、受光素子は、
１次元方向の光の位置を検出できるラインセンサ（１０
７）であることを特徴としている。このようにラインセ
ンサを使用すれば、ラインセンサの出力と実際の反斜面
の角度とが一対一の対応関係を示すため、ラインセンサ
の出力に基づいて反斜面の角度をモニタリングすること
ができる。

【００１６】請求項４に記載の発明では、受光素子は、
１個のフォトダイオード（２０７）であることを特徴と
している。このように、１個のフォトダイオードを使用
することにより、実際の反斜面の角度に対応したパルス
状の電気信号を得ることができるため、このパルス状信
号に基づいて反射面の角度を検出することができる。

【００１７】請求項５に記載の発明では、受光素子は、
２個のフォトダイオード（３０７ａ、３０７ｂ）である
ことを特徴としている。このように、２個のフォトダイ
オードを使用することにより、反斜面の角度だけでな
く、共振型光スキャナの振幅を求めることも可能とな
り、スキャンの広さを求めることができる。

【００１８】なお、請求項６に示すように、受光素子と
して、２次元方向の光の位置を検出できるエリアセンサ
を使用し、２次元スキャナにおいても反射面の角度を検
出することができる。

【００１９】請求項７に記載の発明においては、第１反
射面の一部に形成され、該第１反射面とは異なった角度
を成す第２反射面（４０８）と、第２反射面にて反射さ
れたレーザ光（４１０）が照射される受光素子（４０
７、５０７、６０７ａ、６０７ｂ）と、を備えているこ
とを特徴としている。

【００２０】このように、第１反射面の一部に、第１反
射面とは異なった角度を成す第２反射面を設けることに
よっても、請求項１と同様の効果を得ることができる。

【００２１】なお、この場合においても、請求項８乃至
１１に示す構成とすれば、請求項３乃至６と同様の効果
を得ることができる。

【００２２】請求項１２に記載の発明においては、反射
面の近傍に配置され、レーザ光が透過するように構成さ
れていると共に、部分的にレーザ光を反射する反射体
（７０９、８０９ａ、８０９ｂ、９０９ａ、９０９ｂ）
が設けられた透過面（７０８、８０８、９０８）と、反
射体にて反射されたレーザ光が照射される受光素子（７
０７、８０７、９０７ａ、９０７ｂ）と、を備えている
ことを特徴としている。

【００２３】このように、透過面の一部に、反射体を備
えることによっても、請求項１と同様の効果を得ること
ができる。

【００２４】この場合、請求項１３に示すように、反射
体として１個所の乱反射体（７０９）を透過面（７０
８）に設け、乱反射体による乱反射光の一部が１個の受
光素子（７０７）に導かれるように構成することができ
る。このように、乱反射体による乱反射光に基づいてモ
ニタリングを行なうことができ、乱反射体を１個所に設
けることにより、請求項４と同様の効果を得ることがで
きる。

【００２５】なお、反射体としては、請求項１５に示す
ように、正反射体を使用することも可能であり、正反射
体を使用しても請求項１３と同様の効果を得ることがで
きる。

【００２６】また、請求項１４に示すように、反射体と
して２個所の乱反射体（８０９ａ、８０９ｂ）を透過面
（８０８）に設け、各乱反射体による各乱反射光の一部
が１個の受光素子（８０７）に導かれるように構成する
こともできる。この場合には、受光素子に２個所の乱反
射体からの乱反射光が照射されることになるため、１つ
の受光素子によって請求項５と同様の効果を得ることが
できる。

【００２７】なお、この場合にも、請求項１６に示すよ
うに、反射体として正反射体を使用することができ、請
求項１４と同様の効果を得ることができる。ただし、こ
の場合には、正反射体での反射光が所定方向に導かれる
ため、２個の受光素子（９０７ａ、９０７ｂ）が必要と
される。

【００２８】なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述
する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すも
のである。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施例について、
図面を用いて説明する。

【００３０】（第１実施形態）図１に共振型光スキャナ
の概略図を示し、図２に反斜面の角度をモニタリングす
る手段の説明図を示す。以下、図１、図２に基づいて、
本実施形態の共振型光スキャナ１００の構成を説明す
る。

【００３１】共振型光スキャナ装置１００は、反斜面と
してのミラー１０１、フレーム１０２、スプリング１０
３、マグネット１０４、ソレノイド１０５、ベース１０
６、１次元フォトダイオードアレイによって構成された
受光素子としての光ラインセンサ１０７とにより構成さ
れている。

【００３２】フレーム１０２の一端側の先端にはミラー
１０１が取り付けられており、フレーム１０２の他端側
にはマグネット１０４が配置されている。ソレノイド１
０５は、ベース１０６のうちマグネット１０４に磁界を
印加できる位置に固定されている。

【００３３】また、フレーム１０２はスプリング１０３
を介してベース１０６に架設されている。スプリング１
０３は、厚さ５０μｍ程度のバネ用ステンレス鋼の金属
箔で構成されており、ベース１０６の平面と平行な方向
に容易に変位できるようになっている。

【００３４】ミラー１０１は、マグネット１０４の反対
側の表面でレーザ光１０９を反射できるようになってい
る。このミラー１０１には部分的にピンホール（貫通
孔）１０８が形成されている。このピンホール１０８
は、図２に示すように、ミラー１０１の裏面に向かうに
つれて孔が広がるテーパ形状を成している。

【００３５】光ラインセンサ１０７は、レーザ光１１０
の照射位置に応じた電気信号を出力する。光ラインセン
サ１０７はミラー１０１の裏面側においてベース１０６
に固定されており、ピンホール１０８を通じてミラー１
０１の裏面側に導かれたレーザ光１１０が光ラインセン
サ１０７に照射されるようになっている。

【００３６】次に、共振型光スキャナ１００の動作を説
明する。まず、図示されていない光源より出射されたレ
ーザ光１０９をミラー１０１に照射し、所定の方向に反
射させる。このとき、レーザ光１０９の一部はピンホー
ル１０８を通じて、光ラインセンサ１０７に導かれる。

【００３７】そして、図示しない信号発生器や増幅器を
用いて、正弦波や矩形波などの周期的な信号波形を生成
させ、ソレノイド１０５に入力する。その結果、ソレノ
イド１０５が交番磁界を発生する。この交番磁界による
磁力がマグネット１０４に作用し、フレーム１０２が仮
想的な軸１１１に対して揺動する。このとき、信号波形
の周波数を共振型光スキャナ装置の共振周波数に合せれ
ば、スキャン動作を行うことができる。

【００３８】この際、ピンホール１０８をテーパ形状と
しているため、ミラー１０１が揺動してもレーザ光１０
９が常に裏面に導かれるようにできる。

【００３９】次に、共振型光スキャナ１００の作動中に
おけるレーザ光１１０の照射状態を図３に示し、この図
に基づいてミラー１０１の角度のモニタリング方法を説
明する。なお、図３において、太い実線はミラー１０１
とフレーム１０２の中立位置を示しており、また、太い
破線は反射ミラー１０１とフレーム１０２が軸１１１に
対して回転した時の位置を示している。

【００４０】ミラー１０１が中立位置にある場合は、ピ
ンホール１０８を通過したレーザ光１１０が光ラインセ
ンサ１０７のａ部に到達する。そして、ミラー１０１が
変位して、太い破線に示す位置に移動した場合、ピンホ
ール１０８の位置も移動し、レーザ光１１０のラインセ
ンサ１０７上への到達位置もｂまたはｃへ移動する。こ
の移動は光ラインセンサ１０７から電気信号として出力
される。

【００４１】図４に、実際のミラー１０１の角度１１３
と光ラインセンサ１０７の出力１１４とを比較した図を
示す。この図に示すように、光ラインセンサ１０７から
の出力１１４が実際のミラー１０１の角度１１３と一対
一の対応関係を示す。このため、光ラインセンサ１０７
の出力１１４に基づいて、ミラー１０１の角度１１３を
モニタリングすることが可能である。

【００４２】なお、本実施形態では、光ラインセンサ１
０７として、１次元フォトダイオードアレイを用いた例
を示したが、この他、１ラインのＣＣＤ、１次元ＣＭＯ
Ｓイメージャ、１次元ＰＳＤなどを使用することもでき
る。

【００４３】（第２実施形態）図５に、本発明の第２実
施形態における共振型光スキャナ２００を示す。本実施
形態の共振型光スキャナ２００では、受光素子として１
個のフォトダイオードからなる光センサ２０７を用いて
いる点が第１実施形態と異なる。

【００４４】ピンホール１０８を通過したレーザ光１１
０は共振型光スキャナ２００の動作に伴って移動し、所
定の位置に来ると光センサ２０７に照射される。その結
果、図６に示すように、光センサ２０７の出力２１４か
ら、実際のミラー１０１の角度２１３に対応したパルス
状の電気信号を得ることができる。

【００４５】このパルスの得られる位置を基準として外
挿演算を行なうことにより、ミラー１０１の角度をモニ
タリングすることが可能である。すなわち、ミラー１０
１の角度が基本的にサインカーブ状に変位することが判
っているため、パルス信号に基づいてミラー１０１の角
度（位相角）を検出することが可能となり、上記モニタ
リングを行なうことができる。

【００４６】ただし、本実施形態の場合には、一個所で
の情報しか得られないため、共振型スキャナの振幅が変
動した場合には誤差が発生することになる。

【００４７】（第３実施形態）図７に、本発明の第３実
施形態における共振型光スキャナ３００を示す。本実施
形態の共振型光スキャナ３００では、受光素子として２
個のフォトダイオードからなる光センサ３０７ａ、３０
７ｂを用いている点が第１実施形態と異なる。

【００４８】ピンホール１０８を通過したレーザ光１１
０は共振型光スキャナ３００の動作に伴って移動し、所
定の位置に来ると光センサ３０７ａ、３０７ｂに照射さ
れる。その結果、図８に示すように、光センサ３０７
ａ、３０７ｂの出力３１４から、実際のミラー１０１の
角度３１３に対応したパルス状の電気信号を得ることが
できる。

【００４９】このパルスの得られる位置を基準として外
挿演算を行なうことにより、ミラー１０１の角度をモニ
タリングすることが可能である。この場合、２個所の光
センサ３０７ａ、３０７ｂからの信号を得ることができ
るため、ミラー１０１の角度だけでなく、ミラー１０１
の走査角度や共振型光スキャナ３００の振幅を求めるこ
とも可能となり、現在のスキャンの広さを求めることが
できる。これにより、常にミラー１０１の正確な位置を
モニタリングすることができる。

【００５０】（第４実施形態）図９に、本発明の第４実
施形態における共振型光スキャナ４００を示す。本実施
形態の共振型光スキャナ４００では、ミラー４０１の一
部に、ミラー４０１の反斜面（第１反斜面）とは異なっ
た角度を成す微小なミラー（第２反射面）４０８を設け
ている点と、ミラー４０８によって反射したレーザ光４
１０が照射されるように、ミラー４０１の表面側に光ラ
インセンサ４０７を配置した点が第１実施形態と異な
る。

【００５１】このように、ミラー４０１の一部に部分的
に、モニタリング用のミラー４０８を形成すれば、図１
１に示すように、ミラー４０１が揺動するとレーザ光４
１０が移動し、第１実施形態と同じ効果で、ミラー４０
１の傾き角をモニタリングすることができる。

【００５２】なお、この場合にも、図１２に示すよう
に、１個のフォトダイオードによって光センサ５０７を
構成した共振型光スキャナ５００により、第２実施形態
と同様の効果を得ることができ、図１３に示すように、
２個のフォトダイオードによって光センサ６０７ａ、６
０７ｂを構成した共振型光スキャナ６００により、第３
実施形態と同様の効果を得ることができる。

【００５３】（第５実施形態）図１４に、本発明の第５
実施形態における共振型光スキャナ７００を示す。本実
施形態の共振型光スキャナ７００では、ミラー７０１に
ではなく、スキャンするレーザ光１０９を透過する透明
な部材７０８の一部に、レーザ光１０９を乱反射させる
反射体７０９が取り付けられている点が第２実施形態と
異なる。

【００５４】このような構成では、共振型光スキャナ７
００を動作させると所定のタイミングでスキャンするレ
ーザ光１０９の一部が反射体７０９で乱反射され、乱反
射光の一部が光センサ７０７に到達するため、第２実施
形態と同じ効果でミラー４０１の傾き角をモニタリング
することができる。

【００５５】なお、通常、共振型光スキャナ７００に
は、スキャンするレーザ光１０９を透過する透明な窓が
配置されるため、この窓を透明な部材７０８として使用
することができる。

【００５６】（第６実施形態）図１５に、本発明の第６
実施形態における共振型光スキャナ８００を示す。本実
施形態の共振型光スキャナ８００では、透明な部材７０
８に２個、レーザ光１０９を乱反射させる反射体８０９
ａ、８０９ｂを設けている点が第５実施形態と異なる。

【００５７】このように、２個所の反射体８０９ａ、８
０９ｂを設け、乱反射光を１個のフォトダイオードで構
成された光センサ８０７に到達させることにより、１個
のフォトダイオードで、第３実施形態と同様の効果を得
ることが可能となる。

【００５８】（第７実施形態）図１６に、本発明の第７
実施形態における共振型光スキャナ９００を示す。本実
施形態の共振型光スキャナ９００では、透明な部材９０
８の２個所に正反射体９０９ａ、９０９ｂを設けると共
に、正反射体９０９ａ、９０９ｂからの正反射光を各２
個のフォトダイオードで構成された光センサ９０７ａ、
９０７ｂのそれぞれに到達させるようにしている点が第
５実施形態と異なる。

【００５９】このように、透明な部材９０８に正反射体
９０９ａ、９０９ｂを備えても上記第５実施形態と同様
の効果を得ることができ、さらに、２個の正反射体９０
９ａ、９０９ｂとすることにより、第３実施形態と同様
の効果を得ることができる。

【００６０】なお、この場合には、正反射光は特定の方
向に向かうため、２個の正反射体９０９ａ、９０９ｂを
備える場合には、２個の光センサ９０７ａ、９０７ｂが
必要となる。

【００６１】（他の実施形態）上記の各実施形態では、
共振型光スキャナとして１ライン上のスキャンを行なう
１次元スキャナを対象としているが、２次元スキャンを
行なう共振型２次元スキャナに本発明を適用することも
できる。この場合、反射面の角度の検出を行なうため
に、２次元のＣＣＤ素子や２次元ＰＳＤ、２次元ＣＭＯ
Ｓイメージャ、２次元フォトダイオードアレイ等を使用
すればよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態における共振型光スキャ
ナ１００の概略図である。

【図２】図１の共振型光スキャナ１００のモニタリング
手段を具体的に示した図である。

【図３】共振型光スキャナ１００のモニタリング方法を
説明するための図である。

【図４】実際のミラー１０１の角度と光ラインセンサ１
０７の出力とを比較した図である。

【図５】本発明の第２実施形態における共振型光スキャ
ナ２００の概略図である。

【図６】実際のミラー１０１の角度と光ラインセンサ２
０７の出力とを比較した図である。

【図７】本発明の第３実施形態における共振型光スキャ
ナ３００の概略図である。

【図８】実際のミラー１０１の角度と光ラインセンサ３
０７ａ、３０７ｂの出力とを比較した図である。

【図９】本発明の第４実施形態における共振型光スキャ
ナ４００の概略図である。

【図１０】図９の共振型光スキャナ４００のモニタリン
グ手段を具体的に示した図である。

【図１１】共振型光スキャナ４００のモニタリング方法
を説明するための図である。

【図１２】第４実施形態の他の例における共振型光スキ
ャナ５００の概略図である。

【図１３】第４実施形態の他の例における共振型光スキ
ャナ６００の概略図である。

【図１４】本発明の第５実施形態における共振型光スキ
ャナ７００の概略図である。

【図１５】本発明の第６実施形態における共振型光スキ
ャナ８００の概略図である。

【図１６】本発明の第７実施形態における共振型光スキ
ャナ９００の概略図である。

【図１７】（ａ）は、振動系における加振力と慣性体の
振幅の倍率の関係を示す図であり、（ｂ）は、加振力と
慣性体の振動の位相差の関係を示す図である。

【符号の説明】

１０１…ミラー、１０２…フレーム、１０３…スプリン
グ、１０４…マグネット、１０５…ソレノイド、１０６
…ベース、１０７…光ラインセンサ、１０８…ピンホー
ル、１０９…レーザ光、１１０…レーザ光、１１１…
軸。

フロントページの続きＦターム(参考） 2F065 AA19 AA31 BB16 CC00 FF41 GG04 JJ01 JJ02 JJ03 JJ05 JJ18 JJ25 JJ26 LL13 LL49 LL62 MM16 2H045 AB02 AB38 AB43 BA02 BA12 5B072 DD02 JJ11 LL01 LL12 LL20

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光源から照射されたレーザ光（１０９）
を反射面（１０１）で反射させて所定対象物に照射し、
前記反射面を揺動させることにより前記対象物に照射さ
れた光を所定方向に走査する共振型光スキャナにおい
て、前記反射面の裏面側に受光素子（１０７、２０７、３０
７ａ、３０７ｂ）が配置され、前記反斜面の一部に形成された貫通孔（１０８）を通じ
て、前記光源から照射されたレーザ光の一部が前記受光
素子に導かれるようになっていることを特徴とする共振
型光スキャナ。
【請求項２】前記貫通孔は、前記反射面の裏面に向か
うにつれて孔が広がるテーパ形状であることを特徴とす
る請求項１に記載の共振型光スキャナ。
【請求項３】前記受光素子は、１次元方向の光の位置
を検出できるラインセンサ（１０７）であることを特徴
とする請求項１又は２に記載の共振型光スキャナ。
【請求項４】前記受光素子は、１個のフォトダイオー
ド（２０７）であることを特徴とする請求項１又は２に
記載の共振型光スキャナ。
【請求項５】前記受光素子は、２個のフォトダイオー
ド（３０７ａ、３０７ｂ）であることを特徴とする請求
項１又は２に記載の共振型光スキャナ。
【請求項６】前記受光素子は、２次元方向の光の位置
を検出できるエリアセンサであることを特徴とする請求
項１又は２に記載の共振型光スキャナ。
【請求項７】光源から照射されたレーザ光（１０９）
を第１反射面（４０１）で反射させて所定対象物に照射
し、前記第１反射面を揺動させることによって前記対象
物に照射された光を所定方向に走査する共振型光スキャ
ナにおいて、前記第１反射面の一部に形成され、該第１反射面とは異
なった角度を成す第２反射面（４０８）と、前記第２反射面にて反射された前記レーザ光（４１０）
が照射される受光素子（４０７、５０７、６０７ａ、６
０７ｂ）と、を備えていることを特徴とする共振型光ス
キャナ。
【請求項８】前記受光素子は、１次元方向の光の位置
を検出できるラインセンサ（４０７）であることを特徴
とする請求項７に記載の共振型光スキャナ。
【請求項９】前記受光素子は、１個のフォトダイオー
ド（５０７）であることを特徴とする請求項７に記載の
共振型光スキャナ。
【請求項１０】前記受光素子は、２個のフォトダイオ
ード（６０７ａ、６０７ｂ）であることを特徴とする請
求項７に記載の共振型光スキャナ。
【請求項１１】前記受光素子は、２次元方向の光の位
置を検出できるエリアセンサであることを特徴とする請
求項７に記載の共振型光スキャナ。
【請求項１２】光源から照射されたレーザ光（１０
９）を反射面（７０１）で反射して所定対象物に照射
し、該反射面が揺動することにより該対象物に照射した
光を所定方向に走査する共振型光スキャナにおいて、前記反射面の近傍に配置され、前記レーザ光が透過する
ように構成されていると共に、部分的に前記レーザ光を
反射する反射体（７０９、８０９ａ、８０９ｂ、９０９
ａ、９０９ｂ）が設けられた透過面（７０８、８０８、
９０８）と、前記反射体にて反射された前記レーザ光が照射される受
光素子（７０７、８０７、９０７ａ、９０７ｂ）と、を
備えていることを特徴とする共振型光スキャナ。
【請求項１３】前記反射体として１個所の乱反射体
（７０９）が前記透過面（７０８）に設けられており、
前記乱反射体による乱反射光の一部が１個の受光素子
（７０７）に導かれるように構成されていることを特徴
とする請求項１２に記載の共振型光スキャナ。
【請求項１４】前記反射体として２個所の乱反射体
（８０９ａ、８０９ｂ）が前記透過面（８０８）に設け
られており、前記各乱反射体による各乱反射光の一部が
１個の受光素子（８０７）に導かれるように構成されて
いることを特徴とする請求項１２に記載の共振型光スキ
ャナ。
【請求項１５】前記反射体として１個所の正反射体が
前記透過面に設けられており、前記正反射体による正反
射光が１個の受光素子に導かれるように構成されている
ことを特徴とする請求項１２に記載の共振型光スキャ
ナ。
【請求項１６】前記反射体として２個所の正反射体
（９０９ａ、９０９ｂ）が前記透過面（９０８）に設け
られており、前記各正反射体による各正反射光が２個の
受光素子（９０７ａ、９０７ｂ）にそれぞれ導かれるよ
うに構成されていることを特徴とする請求項１２に記載
の共振型光スキャナ。