JP2016033479A - レーザレンジファインダ及び揺動ミラーの製造方法 - Google Patents
レーザレンジファインダ及び揺動ミラーの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016033479A JP2016033479A JP2014156233A JP2014156233A JP2016033479A JP 2016033479 A JP2016033479 A JP 2016033479A JP 2014156233 A JP2014156233 A JP 2014156233A JP 2014156233 A JP2014156233 A JP 2014156233A JP 2016033479 A JP2016033479 A JP 2016033479A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- laser
- light
- range finder
- scan
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 20
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 title abstract description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 49
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 49
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 48
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 47
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 33
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 65
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 24
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 19
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 19
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 16
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 14
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007850 degeneration Effects 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明に係るレーザレンジファインダ1は、LD10から出射されたレーザ光L1のうち一部を第1方向に反射し、レーザ光L1のうち他の少なくとも一部を第1方向と異なる第2方向に反射するスキャンミラー20と、スキャンミラー20によって第1方向に反射されたレーザ光の測定対象物2からの反射光がスキャンミラー20によって反射された光を受光するPD30と、スキャンミラー20によって第2方向に反射されたレーザ光を受光するPD40とを備える。
【選択図】図3
Description
以下、実施の形態1のレーザレンジファインダについて、図1〜図7を用いて説明する。
まず、本実施の形態に係るレーザレンジファインダの構成について、図1及び図2を用いて説明する。
次に、上述したスキャンミラー20について、図3〜図6を用いて詳述する。
まず、スキャンミラー20の構成について、図3を用いて説明する。図3は、実施の形態1におけるスキャンミラー20の構成の一例を示す図であり、(a)は斜視図、(b)は(a)の揺動軸Jにおける凹部の断面図である。なお、同図では、X’軸方向を図1に示すX軸方向と同一方向として示し、Y’軸方向をスキャンミラー20の揺動軸Jの延伸方向、Z’軸方向をX’軸方向及びY’軸方向に直交する方向として示している。以下、本実施の形態において、他の図も同様である。
次に、以上のように構成されたスキャンミラー20によって、測定対象物2までの距離を測定するためのレーザ光の光路と、スキャンミラー20の振れ角を検知するためのレーザ光の光路とが分離されるメカニズムについて、図4〜図6を用いて説明する。
次に、上述のスキャンミラー20の製造方法について、図7を用いて説明する。図7は、実施の形態1におけるスキャンミラーの製造工程を模式的に示す図である。
以上のように、本実施の形態に係るレーザレンジファインダ1は、LD10から出射されたレーザ光L1のうち一部を第1方向に反射し、レーザ光L1のうち他の少なくとも一部を第1方向と異なる第2方向に反射するスキャンミラー20と、スキャンミラー20によって第1方向に反射されたレーザ光の測定対象物2からの反射光がスキャンミラー20によって反射された光を受光するPD30と、スキャンミラー20によって第2方向に反射されたレーザ光を受光するPD40とを備える。
次に、実施の形態1の変形例1のレーザレンジファインダについて、図8を用いて説明する。図8は、実施の形態1の変形例1におけるレーザレンジファインダの走査範囲を模式的に示す図である。
次に、実施の形態1の変形例2のレーザレンジファインダについて、図9を用いて説明する。図9は、実施の形態1の変形例2におけるスキャンミラーの製造工程を模式的に示す図である。
次に、実施の形態2のレーザレンジファインダについて、図10〜図12を用いて説明する。図10は、実施の形態2におけるスキャンミラーの構成の一例を示す図であり、(a)は斜視図、(b)は(a)の揺動軸Jに垂直な面における凹部の断面図である。図11は、実施の形態2におけるスキャンミラーによる反射の様子を模式的に示す斜視図である。図12は、実施の形態2におけるレーザレンジファインダの走査範囲を模式的に示す図である。
以上、本発明の実施の形態及び変形例に係るレーザレンジファインダについて説明したが、本発明は、これら実施の形態及び変形例に限定されるものではない。
2 測定対象物
10 LD(レーザダイオード)
11 筐体
20、220 スキャンミラー(揺動ミラー)
21 ミラー部材
21a 界面
21b ミラー表面
22 支持体
23 架橋部材
30、40、40A PD(フォトダイオード)
50 有孔ミラー
60 集光レンズ
70 変調信号出力部
80 ミラー駆動部
90 信号処理部
91 距離算出部
92 スキャン位置算出部
121、221 凹部
121a、221a 壁面
130 シリコン基板
131 熱酸化膜
151 レジスト
152 溶液
221A 凸部
D1、D2 走査範囲
J 揺動軸
L1、L2、L3 レーザ光
N1、N2 法線
Claims (8)
- 対象物までの距離を測定するレーザレンジファインダであって、
レーザ光を出射する光源と、
前記光源から出射されたレーザ光のうち一部を第1方向に反射し、前記レーザ光のうち他の少なくとも一部を前記第1方向と異なる第2方向に反射する揺動ミラーと、
前記揺動ミラーによって前記第1方向に反射されたレーザ光の前記対象物からの反射光が前記揺動ミラーによって反射された光を受光する第1受光部と、
前記揺動ミラーによって前記第2方向に反射されたレーザ光を受光する第2受光部とを備える
レーザレンジファインダ。 - 前記揺動ミラーは、
前記レーザ光のうち一部を前記第1方向に反射する第1反射面と、
前記レーザ光のうち他の少なくとも一部を前記第2方向に反射する第2反射面とを有し、
前記第1反射面に対して前記第2反射面は傾斜して設けられている
請求項1に記載のレーザレンジファインダ。 - 前記揺動ミラーは、単結晶シリコンによって形成されたシリコン基板を備え、
前記第1反射面と前記第2反射面とは、前記シリコン基板において、前記単結晶シリコンの互いに異なる面方位に形成されている
請求項2に記載のレーザレンジファインダ。 - 前記揺動ミラーは、前記第1反射面を表面とする略平板形状であり、
前記第2反射面は、前記揺動ミラーの表面側に形成された凹部の壁面の少なくとも一部である
請求項2又は3に記載のレーザレンジファインダ。 - 前記凹部は、当該凹部の開口端部において、開口の中央へ向かって突出する凸部を有する
請求項4に記載のレーザレンジファインダ。 - 前記揺動ミラーは、揺動することにより、
前記レーザ光のうち一部を第1走査範囲で走査し、
前記レーザ光のうち他の少なくとも一部を前記第1走査範囲外の第2走査範囲で走査する
請求項1〜5のいずれか1項に記載のレーザレンジファインダ。 - 単結晶シリコンの第1の面方位が表面に露出したシリコン基板を準備する工程と、
前記第1の面方位と異なる前記単結晶シリコンの第2の面方位が露出するように、前記シリコン基板の一部に対して異方性エッチングを行う工程とを含み、
前記第1の面方位の面は、所定方向から入射するレーザ光を第1方向に反射し、
前記第2の面方位の面は、前記レーザ光を前記第1方向と異なる第2方向に反射する
揺動ミラーの製造方法。 - 前記揺動ミラーの製造方法は、さらに、前記シリコン基板の一部に対して等方性エッチングを行う工程を含み、
前記異方性エッチングを行う工程では、当該一部に対して前記異方性エッチングを行う
請求項7に記載の揺動ミラーの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014156233A JP6372820B2 (ja) | 2014-07-31 | 2014-07-31 | レーザレンジファインダ及び揺動ミラーの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014156233A JP6372820B2 (ja) | 2014-07-31 | 2014-07-31 | レーザレンジファインダ及び揺動ミラーの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016033479A true JP2016033479A (ja) | 2016-03-10 |
JP6372820B2 JP6372820B2 (ja) | 2018-08-15 |
Family
ID=55452440
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014156233A Active JP6372820B2 (ja) | 2014-07-31 | 2014-07-31 | レーザレンジファインダ及び揺動ミラーの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6372820B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108181093A (zh) * | 2018-02-12 | 2018-06-19 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种高速摆镜性能指标检测装置及方法 |
CN109642941A (zh) * | 2016-08-23 | 2019-04-16 | 视野有限公司 | 一种具有可移动光纤的激光雷达系统 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06137867A (ja) * | 1992-10-29 | 1994-05-20 | Omron Corp | 距離計測装置におけるスキャン位置検出装置およびスキャン位置制御装置 |
JP2001242409A (ja) * | 2000-02-29 | 2001-09-07 | Denso Corp | 共振型光スキャナ |
JP2002277807A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-25 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置 |
JP2002321197A (ja) * | 2001-02-22 | 2002-11-05 | Canon Inc | マイクロ構造体、マイクロ力学量センサ、マイクロアクチュエータ、マイクロ光偏向器、光走査型ディスプレイ、及びそれらの製造方法 |
JP2007272066A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Brother Ind Ltd | 光スキャナおよびそれを備えた画像形成装置 |
JP2008070199A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Hokuyo Automatic Co | 走査式測距装置 |
JP2010061029A (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-18 | Olympus Corp | 光学的振幅検出方法及び振幅制御方法 |
JP2013160545A (ja) * | 2012-02-02 | 2013-08-19 | Mitsubishi Electric Corp | 形状測定装置 |
-
2014
- 2014-07-31 JP JP2014156233A patent/JP6372820B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06137867A (ja) * | 1992-10-29 | 1994-05-20 | Omron Corp | 距離計測装置におけるスキャン位置検出装置およびスキャン位置制御装置 |
JP2001242409A (ja) * | 2000-02-29 | 2001-09-07 | Denso Corp | 共振型光スキャナ |
JP2002321197A (ja) * | 2001-02-22 | 2002-11-05 | Canon Inc | マイクロ構造体、マイクロ力学量センサ、マイクロアクチュエータ、マイクロ光偏向器、光走査型ディスプレイ、及びそれらの製造方法 |
JP2002277807A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-25 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置 |
JP2007272066A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Brother Ind Ltd | 光スキャナおよびそれを備えた画像形成装置 |
JP2008070199A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Hokuyo Automatic Co | 走査式測距装置 |
JP2010061029A (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-18 | Olympus Corp | 光学的振幅検出方法及び振幅制御方法 |
JP2013160545A (ja) * | 2012-02-02 | 2013-08-19 | Mitsubishi Electric Corp | 形状測定装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109642941A (zh) * | 2016-08-23 | 2019-04-16 | 视野有限公司 | 一种具有可移动光纤的激光雷达系统 |
JP2019531471A (ja) * | 2016-08-23 | 2019-10-31 | ブリックフェルト ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 可動ファイバを備えたlidarシステム |
CN108181093A (zh) * | 2018-02-12 | 2018-06-19 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种高速摆镜性能指标检测装置及方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6372820B2 (ja) | 2018-08-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10031213B2 (en) | Laser scanner | |
CN110018484B (zh) | 激光雷达装置 | |
KR101709844B1 (ko) | 맵핑 장치 및 맵핑하기 위한 방법 | |
US11808855B2 (en) | Optical device, range sensor using optical device, and mobile object | |
JP2017106833A (ja) | 測定装置 | |
US11620805B2 (en) | Integrated electronic module for 3D sensing applications, and 3D scanning device including the integrated electronic module | |
US20070030474A1 (en) | Optical range finder | |
JP6315268B2 (ja) | レーザレンジファインダ | |
JP6330539B2 (ja) | レーザ走査装置 | |
KR102263182B1 (ko) | 라이다 장치 및 라이다 장치에 이용되는 회전 미러 | |
JP6460445B2 (ja) | レーザレンジファインダ | |
CN113805158B (zh) | 使能大镜的高频率和高机械倾斜角的mems扫描仪悬架系统 | |
KR102323317B1 (ko) | Lidar 센서들 및 lidar 센서들을 위한 방법들 | |
JP6372820B2 (ja) | レーザレンジファインダ及び揺動ミラーの製造方法 | |
JP2007333592A (ja) | 距離測定装置 | |
JP2016020831A (ja) | レーザレンジファインダ | |
JP6388383B2 (ja) | レーザレンジファインダ | |
JP2011179969A (ja) | 光走査装置及びレーザレーダ装置 | |
JP2009036650A (ja) | 半導体リングレーザジャイロ | |
JP2022022390A (ja) | 測距装置 | |
JP2011095103A (ja) | 距離測定装置 | |
JP2017078611A (ja) | 測定装置 | |
JP2018028484A (ja) | レーザー距離計測装置 | |
JP3919796B2 (ja) | 変位測定装置 | |
JP6015367B2 (ja) | レーダ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170612 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180406 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180424 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180613 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180703 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180710 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6372820 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |