JP7221745B2 - 光走査装置、光源装置 - Google Patents
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- 光ビームを反射し、回動によって前記光ビームを走査する回動ミラーを有し、前記回動ミラーの外周領域に光が通過する少なくとも1つの孔部が設けられた光偏向器と、
前記回動ミラーの反射面側に配設され、前記光ビームが透過する透過部を有する窓板が設けられたカバー部と、
前記回動ミラーの反射面と反対側に配設され、前記回動ミラーの前記孔部を通過する光を検出する受光部と、を備え、
前記窓板は、前記透過部の外周に前記光ビームを回折する回折部を有し、
前記回折部は、前記回折部に入射して回折した光が、前記回動ミラーの前記孔部を通過するように構成されていることを特徴とする光走査装置。 - 前記回折部の回折角は、前記回動ミラーが所定の角度だけ回動したときに、前記受光部が検出する光強度が最大となるように設定されていることを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。
- 前記孔部は、前記回動ミラーの面に垂直に開けられた垂直孔であることを特徴とする請求項2に記載の光走査装置。
- 前記回動ミラーは、非共振軸に関して非共振振動し、
前記孔部は、前記非共振軸に対して対称な位置に2個設けられていることを特徴とする請求項2又は3に記載の光走査装置。 - 前記回折部は、前記窓板の前記光偏向器側に設けられていることを特徴とする請求項1~4の何れか1項に記載の光走査装置。
- 請求項1~5の何れか1項に記載の光走査装置と、
前記光ビームを出射する光源と、
前記光源と前記カバー部との間に配設され、前記光ビームを遮光する遮光板と、を備え、
前記遮光板は、前記光ビームを前記窓板の前記透過部に導く第1の開口と、前記光ビームを前記窓板の前記回折部に導く第2の開口とを有していることを特徴とする光源装置。
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