JP4419151B2 - 円筒形リニアモータ - Google Patents
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Description
図12は従来の円筒形リニアモータの構成を示す側断面図である。
図12において、1は固定子、2は可動子、3は支持機構、5はコイル、6は永久磁石、7は軸支持部材、8はシャフト、9はキャン、12はヨークである。
固定子1は円筒状の磁性体よりなるヨーク12の内側に、電気装荷手段となる円筒状のコイル5を軸方向に複数個並べて構成される。可動子2は軸方向に伸びる円筒状のキャン9の内側に、磁気装荷手段となる円筒状の永久磁石6を軸方向に複数挿設して構成される。支持機構3は前記可動子2を構成する永久磁石6の内径にシャフト8を挿設して固定した後、固定子1に設けられた軸支持部材7にシャフト8を通すことで構成される。
図13において、13はフレーム、14はタップ穴である。
リニアモータは、固定子1を外部の装置に取り付けるためにヨーク12の外周にフレーム13を嵌合すると共に、フレーム13の端部には雌ねじを有するタップ穴を設け、該タップ穴14に図示しないボルトネジをねじ込んで外部の装置(不図示)に固定するようになっている。
図14において、16はリニアスケール、17は検出器、18はリニアエンコーダである。31は軸支持機構、71および72はボールスプラインナット、81はスプラインシャフトである。
軸支持機構31は、可動子2に接続されたスプラインシャフト81と、固定子1の金属パイプ4の軸方向両端部に可動子2が軸方向に移動可能となるように、シャフト8を支持するため軸支持部材であるボールスプラインナット71、72から構成してある。
可動子2を取り付けたスプラインシャフト81の一方端には、リニアエンコーダ18を構成する光学式のリニアスケール16が配設され、このリニアスケール16に対向するように固定子1に該リニアスケール16を検出するための検出器17が配設されている。このような構成で、固定子1に対する可動子2のスライド方向の位置を該エンコーダ18により検出するようになっている。
この構成により、図示しない外部電源から固定子の電気装荷手段に電流を流すと、固定子の電気装荷手段と可動子の磁気装荷手段との間で軸方向の推力が発生し、可動子が固定子とギャップを介して支持機構により軸方向に移動可能に支持されるなかで、可動子のシャフトにより推力を外に取り出すことができる(例えば、特許文献1、2を参照)。
また、この問題を解決するために従来、図12に示すキャンの両端にシャフトを両側より挿設して可動子とシャフトを固定する構成も考えられている。しかしこの構成ではキャン内径に適合する外径を有するシャフトが必要となり、流通量の多い規格品を使うことが難しく高価なものとなってしまう。
また、シャフト径が問題となるほど可動子の外径が小さい場合には、永久磁石の作る磁束のロスをできるだけ小さくすることから、キャンは非常に薄肉であり、かつ非磁性のステンレス材が用いられるのが一般的である。そのため、キャンとシャフトの結合はキャンが薄肉であるため圧入や焼き嵌めではキャンの強度が足りず、結合力不足となるため、接着による結合が一般的に行われる。しかし、接着による結合は接着力のばらつきが大きく、製品としての信頼性に欠けるという問題があった。
そこで、キャンにシャフトを挿入した後、溶接する結合も考えられるが、溶接を行う際、異種の金属同士を溶接することは技術的に難しく、十分な溶接による結合力を確保することが困難である。そのため、シャフトもキャンと同じ非磁性のステンレス材で作る必要がある。流通量の多い規格品は一般に鉄系で作られているものが多く、ステンレス製は特注品となり、更に高価になってしまう問題があった。
しかし、小形の円筒形リニアモータ(例えば固定子の外径が10mm)では、ヨークを構成する鉄パイプの厚さが0.5mm程度あれば永久磁石の作る磁束を通すための構造材としては十分な厚さであるが、この厚さでは、タップを設けることが困難である。(例えば、M2のボルトネジを用いるとして、タップ深さはネジの径の2倍程度は必要)。
そのため、従来の円筒形リニアモータ、特に小形のもの(図13)にはヨークの外側にフレームを設け、該フレームにタップ穴を設けることで、固定面への取り付けを行っていた。
フレームは、上述のように外部装置の固定面へ取り付けるためのタップを設けることが主な目的であり、小形のリニアモータでも何らかの手段により、直接ヨークを構成する鉄パイプに固定面へ取り付ける機構を設けることが出来れば、コストダウンにつながる。
以上のように、従来の円筒形リニアモータ、特に小形のものでは、フレームを用いて該フレームにタップ穴を構成することで、固定面への取り付けを行っていたためにフレーム分だけ高コストとなる問題があった。
小形の円筒形リニアモータ(例えば固定子の外径が10mm)では、空間S2の体積が非常に小さくなるため、空間S1から空間S3に流れる空気が非常に少なくなる。
図15は、図14の円筒形リニアモータがストローク内を移動する際の空気の流れを示した模式図であって、(a)は可動子が左端、(b)は可動子が右端に位置する場合である。
図15(a)のように、可動子が移動ストロ−クの左端に移動した場合は、空間S1が加圧され、空間S3が減圧される。空間S1の加圧された空気により軸支持部材7に封入されたグリースがモータ外部に押し出され、空間S3の減圧された空気により軸支持部材7に封入されたグリースが空間S3に流入する。
また、図15(b)のように、可動子が移動ストロ−クの右端に移動した場合は、空間S1が減圧され、空間S3が加圧される。空間S1の減圧された空気により軸支持部材7に封入されたグリースが空間S1に漏れ出し、空間S3の加圧された空気により軸支持部材7に封入されたグリースが空間S4に流入する。
このように、可動子が動くためにはモータ内部の空気を加圧または減圧する必要がある。このモータ内部の空気圧の変動により、起動に必要な推力が増大し、軸支持部材に封入されたグリースが漏れ出し、支持機構の寿命が短くなる問題もあった。また、グリースが空間S4に流入すると、リニアスケールや検出器を汚すことでリニアエンコーダの信頼性が悪くなるといった問題もあった。
請求項1に記載の発明は、円筒状の磁性体よりなる金属パイプの内径側に、電気装荷手段となる円筒状に巻回したコイルを軸方向に複数個並べて構成される固定子と、前記固定子の内側に磁気的空隙を介して対向配置されると共に、軸方向に伸びる円筒状の薄肉ステンレス製のキャンの内径側に、磁気装荷手段となる永久磁石を軸方向に複数個挿設して構成される可動子と、前記可動子に挿設されたシャフトと、前記固定子の金属パイプの軸方向両端部に前記可動子が軸方向に移動可能となるように、前記シャフトを支持するため軸支持部材とよりなる支持機構と、を備えた円筒形リニアモータにおいて、前記キャン内部の両端側のそれぞれに前記永久磁石と隣り合わせになるように配設すると共に、前記シャフトのコーン面と嵌合するための凹部を有してなるコマを設けたことを特徴としている。
2 可動子
3、31 支持機構
4 金属パイプ
4a 凸部
4b 貫通穴
4c 切り欠き穴
5 コイル
5a 渡り線
6 永久磁石
7 軸支持部材
8 シャフト
71 ボールスプラインナット
81 スプラインシャフト
9 キャン
10 コマ
10a 凹部
11 鉄ピース
12 ヨーク
13 フレーム
14 タップ穴
15 ボルトネジ
15a ボルト頭部
15b 雄ねじ部
16 リニアスケール、
17 検出器、
18 リニアエンコーダ、
19,20 空気穴、
21 グリース溜まり、
S1〜S4 空間
図1において、4は金属パイプ、10はコマ、10aは凹部、11は鉄ピースである。
本発明の特徴は以下のとおりである。
固定子1は円筒状の磁性体で作られたヨークとなる金属パイプ4の内径側に、電気装荷手段となる円筒状に巻回して構成されるコイル5を軸方向に複数並べて構成している。
可動子2は固定子1の内側に磁気的空隙を介して対向配置されると共に、軸方向に伸びる円筒状の薄肉ステンレス製のキャン9の内径側に、円柱状の鉄ピース11を間に挟むようにして、図中に矢印で示す方向に磁化された磁気装荷手段となる円柱状の永久磁石6を互いに極性が同じ向きで軸方向に複数個挿設し、接着により各々を貼り合せて構成している。互いに極性が同じ向きで軸方向に挿設した永久磁石6の間に鉄ピース11を設けた目的は、永久磁石6と鉄ピース11の間に働く吸引力を利用してより強固に薄肉ステンレス製のキャン9内で永久磁石6を固定するためである。
支持機構3は、可動子2に挿設されたシャフト8と、固定子1の金属パイプ4の軸方向両端部に可動子2が軸方向に移動可能となるように、シャフト8を支持するため軸支持部材7とより構成されている。
また、キャン9内部の両端側のそれぞれには、永久磁石6と隣り合わせになるようにコマ10を配設してある。該コマ10にはシャフト8のコーン面(先端の傾斜した尖った部分)と嵌合するために、シャフト8の外径よりシメ代ほど小さい凹部10aを設けて圧入している。シャフト8が取り付いたコマ10と可動子2との結合は可動子2を構成するキャン9の両端の内径側に前記コマ10を挿入して接着している。
このように本実施例では可動子2に支持機構3となるシャフト8を取り付けており、固定子1のコイル5に電流を流すことで、可動子2の永久磁石6の作る磁束との間で推力が発生し、シャフト8を介して外部に力を取り出すことができる。
固定子1の構成は第1実施例と同じであるため省略する。
第2実施例が第1実施例と異なる点は、以下のとおりである。
すなわち、シャフト8とコマ10との結合においては、コマ10にシャフト8の外径よりシメ代ほど小さい凹部10aを設け、その凹部10aにシャフト8のコーン面と嵌合するように圧入する点は同じであるが、シャフト8が取り付いたコマ10とキャン9との結合はキャン9の両端の内径側にコマ10を挿入して接着した後、キャン9とコマ10のつなぎ目Wをレーザー溶接するようにした点である。
本実施例ではコマと薄肉ステンレスキャンとの結合をレーザー溶接にて行っているため、溶接部分だけが高温となり、その周辺には熱が加わらないため、溶接時の熱変形を抑えることができ、精度良くキャンとコマを結合することができる。
なお、コマと薄肉ステンレスキャンとの結合は、Tig溶接や電子ビーム溶接でも行うことが出きることも確認している。Tig溶接は最も普及した溶接方法のため、新たな設備の導入が不要という利点があり、電子ビーム溶接は溶接時の熱変形を抑えると共に、溶け込み量が多いために、結合力を増し、信頼性を向上すことができる。実験では、レーザー溶接の締結力を1とした場合、Tig溶接では熱変形が大きくなる傾向があるために溶接面積を減らした関係から0.6、電子ビーム溶接では溶け込み量が多いことから1.3という結果を得ている。
このように本実施例では、可動子2に支持機構3となるシャフト8を取り付けており、固定子1のコイル5に電流を流すことで、可動子2の永久磁石6の作る磁束との間で推力が発生し、シャフト8を介して外部に力を取り出すことができる。
図3において、31は支持機構、71はボールスプラインナット、81はスプラインシャフトである。
固定子1の構成は第1実施例、第2実施例と同じであるため省略する。
第3実施例が第1実施例と異なる点は、以下のとおりである。
すなわち、軸方向両端部に設けた支持機構の少なくとも一方は、軸支持部材をボールスプラインナット71とし、シャフトをスプラインシャフト81で構成するボールスプライン機構とした点である。
これは可動子2に個別のシャフト8、81を取り付けることができる本発明の利点を活かして、少なくとも一方のシャフトをスパラインシャフトとすることでシャフトの回転を防止するためである。
である。なお、本発明の構成要素が第1実施例〜第3実施例と同じものついてはその説明を省略し、異なる点について説明する。
図4において、4aは凸部、4bは貫通穴、5aはコイルの渡り線、15はボルトネジ、15aはボルト頭部である。
第4実施例が第1実施例〜第3実施例と異なる点は、以下のとおりである。
すなわち、金属パイプ4は、該金属パイプ4の円周上の一部に軸方向に沿って設けられ、コイル5の渡り線5aを収納するように成形された凸部4aと、該凸部4aの軸方向端部に設けられ、金属パイプ4を図示しない外部の装置にボルトネジ15を介して取り付けるように穿設された円形の貫通穴4bと、を備えた点である。ここで、固定子1を構成する金属パイプ4に設けられる凸部4aの断面形状は、図5(a)のA−A‘断面に示すように、軸方向から見て略U字状となるように形成してある。
また、図5(c)に示すように、ボルトネジ15を構成する雄ネジ部15bとボルト頭部15aは、何れも互いに直交するように配置してなる円柱体で形成してあり。ボルト頭部15aを、該凸部4aの内径側の軸方向に沿うように取り付けており、図示しない外部装置の固定面へ取り付ける際の、ボルトネジ15の回り止め対策を講じたものとなっている。
本実施例では、ボルトネジ15を非磁性材であるステンレス材および黄銅で構成している。動作試験では、ステンレス材および黄銅で構成したボルトネジ15の場合ともに、可動子が移動する方向となる軸方向のパーミアンス変化によるコギングが無いことを確認している。
次に固定子の組立について説明する。
固定子1は円筒状の磁性体から成る金属パイプ4をハイドロフォーミングにより拡管することにより、該パイプ4の円周上の一部を軸方向に沿って突出した凸部4aを成形したものとなっている。金属パイプ4の内径側の中央部分に、円筒状に巻回して構成されるコイル5を軸方向に複数並べて装着し、凸部4aのコイル5との対向面に渡り線5aを収納する。また、固定子1を図示しない外部の装置に取付ける際には、凸部4aの軸方向の両端近傍に設けた貫通穴4bに金属パイプ4の内径側よりボルトネジ15を挿入して、該ボルトネジ15を外部の装置(不図示)の固定面にねじ込んで固定子1と外部の装置を固定する。
第5実施例が第4実施例と異なる点は、以下のとおりである。
すなわち、固定子1を構成する金属パイプ4の凸部4aに設けた貫通穴4bを軸方向に延びる長穴形状とした点である。
本実施例では金属パイプ4の外径が10mm程度の小さいリニアモータであり、ボルトネジを貫通穴4bに挿入する際は、ピンセット等を用いてボルトネジ15のボルト頭部を把持した状態で金属パイプ4の内径面から外周側に向かってボルトネジ15を通す作業を必要とする。この作業を行う場合、図6に示すように作業者は金属パイプ4の端面より金属パイプ4の内径面を覗き込みながらボルトネジ15を貫通穴4bに通す。そのため、ボルトネジ15の倒れについては、金属パイプ4の軸方向に対して直角の方向の倒れは見分け易いが、金属パイプ4の軸方向の倒れは見分け難い。貫通穴4bの大きさは一般的にボルトネジ15の大きさより若干大きい程度であり、貫通穴4bが円形の穴形状の場合にはボルトネジ15が軸方向に倒れると通し難く、作業性が悪い。
図7において、4cは切り欠き穴である。
第6実施例が第5実施例と異なる点は、以下のとおりである。
すなわち、第5実施例、第6実施例の貫通穴に替えて、金属パイプ4の端部を切り欠いた切り欠き穴4cを用いた点である。
なお、本発明の構成要素が図14に示す従来技術および図1に示す第1実施例と同じものについてはその説明を省略し、異なる点について説明する。
図8および図9において、19および20は空気穴である。
本発明の特徴は以下の通りである。
軸支持機構31、32は、可動子2に接続されたスプラインシャフト81、82と、固定子1の金属パイプ4の軸方向両端部に可動子2が軸方向に移動可能となるようにスプラインシャフト81,82を支持するため軸支持部材であるボールスプラインナット71、72から構成されており、この構成により、固定子1の電気装荷手段と可動子2の磁気装荷手段との間で軸方向の推力が発生し、装置に取り付けられた固定子1とギャップを介して軸方向に移動可能となるよう支持された可動子2により推力を外に取り出すようになっている。
また、金属パイプ4の軸支持部材であるボールスプラインナット71、72側に、径方向に貫通した空気穴19および20を設けており、リニアモータ内部と外部との間で空気の流入および流出を行い、リニアモータ内部の空気圧を一定に保つようしている。
空気穴の断面積をS[mm2]、モータ内部の体積をQ[mm3]とすると、図10に示すように空気穴が無い場合(S/Q=0)に比べて、適当な大きさの空気穴を設けた場合(S/Q=0.015)は、起動時に必要な推力を約1/3まで低減していることがわかるが、一方で、モータ内の空気圧の圧力変動による推力の増加をなくすことで、支持機構の寿命が約2倍になることを実験により確認している。
図11において、21がグリース溜まりである。
第8実施例が第7実施例と異なる点は、円筒形リニアモータの可動子を鉛直方向に移動させて用いる場合であって、軸支持部材を構成するボールスプラインナットの鉛直方向上面に、シャフトと同心円状のグリース溜まり21を設け点である。
Claims (13)
- 円筒状の磁性体よりなる金属パイプの内径側に、電気装荷手段となる円筒状に巻回したコイルを軸方向に複数個並べて構成される固定子と、
前記固定子の内側に磁気的空隙を介して対向配置されると共に、軸方向に伸びる円筒状の薄肉ステンレス製のキャンの内径側に、磁気装荷手段となる永久磁石を軸方向に複数個挿設して構成される可動子と、
前記可動子に挿設されたシャフトと、前記固定子の金属パイプの軸方向両端部に前記可動子が軸方向に移動可能となるように、前記シャフトを支持するため軸支持部材とよりなる支持機構と、
を備えた円筒形リニアモータにおいて、
前記キャン内部の両端側のそれぞれに前記永久磁石と隣り合わせになるように配設すると共に、前記シャフトのコーン面と嵌合するための凹部を有してなるコマを設けたことを特徴とする円筒形リニアモータ。 - 前記コマをステンレス材により構成し、前記キャンに該コマを挿入した後、溶接により固定したことを特徴とする請求項1記載の円筒形リニアモータ。
- 前記溶接は、Tig溶接により行うものであることを特徴とする請求項2記載の円筒形リニアモータ。
- 前記溶接は、レーザー溶接により行うものであることを特徴とする請求項2記載の円筒形リニアモータ。
- 前記溶接は、電子ビーム溶接により行うものであることを特徴とする請求項2記載の円筒形リニアモータ。
- 前記軸方向両端部に設けた支持機構の少なくとも一方は、前記軸支持部材をボールスプラインナットとし、前記シャフトをスプラインシャフトで構成したことを特徴とする請求項1記載の円筒形リニアモータ。
- 前記金属パイプは、該金属パイプの円周上の一部に軸方向に沿って設けられ、前記コイルの渡り線を収納するように成形された凸部と、
前記凸部の軸方向端部に設けられ、前記金属パイプを外部の装置にボルトネジを介して取り付けるように穿設された貫通穴と、
を備えたことを特徴とする請求項1記載の円筒形リニアモータ。 - 前記金属パイプに設けられる凸部の断面形状は、軸方向から見て略U字状となるように形成してあり、
前記ボルトネジを構成する雄ネジ部とボルト頭部は、何れも互いに直交するように配置してなる円柱体で形成してあり。
前記ボルト頭部を、該凸部の内径側の軸方向に沿うように取り付けたことを特徴とする請求項7記載の円筒形リニアモータ。 - 前記ボルトネジを非磁性材により構成したことを特徴とする請求項7または8に記載の円筒形リニアモータ。
- 前記貫通穴を軸方向に延びる長穴形状としたことを特徴とする請求項7記載の円筒形リニアモータ。
- 前記貫通穴は前記金属パイプの端部を切り欠いた切り欠き穴であることを特徴とする請求項7または10に記載の円筒形リニアモータ。
- 前記金属パイプの軸支持部材側の少なくとも一方端に、前記リニアモータ内部の空気圧を一定に保つように、径方向に貫通した空気穴を設けたことを特徴とする請求項1記載の円筒形リニアモータ。
- 前記円筒形リニアモータの可動子を鉛直方向に移動させて用いる場合であって、前記軸支持部材を構成するボールスプラインナットの鉛直方向上面に、前記シャフトと同心円状のグリース溜まりを設けたことを特徴とする請求項1または請求項12に記載の円筒形リニアモータ。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005307607 | 2005-10-21 | ||
JP2005307607 | 2005-10-21 | ||
JP2006012409 | 2006-01-20 | ||
JP2006012409 | 2006-01-20 | ||
PCT/JP2006/308057 WO2007046161A1 (ja) | 2005-10-21 | 2006-04-17 | 円筒形リニアモータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2007046161A1 JPWO2007046161A1 (ja) | 2009-04-23 |
JP4419151B2 true JP4419151B2 (ja) | 2010-02-24 |
Family
ID=37962261
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006523479A Active JP4419151B2 (ja) | 2005-10-21 | 2006-04-17 | 円筒形リニアモータ |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7825548B2 (ja) |
JP (1) | JP4419151B2 (ja) |
KR (1) | KR101181044B1 (ja) |
CN (1) | CN101292414B (ja) |
DE (1) | DE112006002849T5 (ja) |
TW (1) | TW200717973A (ja) |
WO (1) | WO2007046161A1 (ja) |
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- 2006-04-17 DE DE112006002849T patent/DE112006002849T5/de not_active Withdrawn
- 2006-04-17 CN CN2006800393413A patent/CN101292414B/zh active Active
- 2006-04-17 JP JP2006523479A patent/JP4419151B2/ja active Active
- 2006-04-17 WO PCT/JP2006/308057 patent/WO2007046161A1/ja active Application Filing
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JPWO2007046161A1 (ja) | 2009-04-23 |
DE112006002849T5 (de) | 2008-09-25 |
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CN101292414A (zh) | 2008-10-22 |
KR20080064970A (ko) | 2008-07-10 |
TW200717973A (en) | 2007-05-01 |
US7825548B2 (en) | 2010-11-02 |
KR101181044B1 (ko) | 2012-09-07 |
TWI307994B (ja) | 2009-03-21 |
CN101292414B (zh) | 2011-01-19 |
WO2007046161A1 (ja) | 2007-04-26 |
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Legal Events
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091106 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131211 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141211 Year of fee payment: 5 |
|
A621 | Written request for application examination |
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