JP4389257B2 - フラットパネルディスプレイ装置用ガラス基板 - Google Patents

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Description

【0001】
【産業上の利用分野】
本発明は、フラットパネルディスプレイ装置、特にプラズマディスプレイ装置用ガラス基板に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
プラズマディスプレイ装置は一般に、前面ガラス基板表面にITO膜、ネサ膜等からなる透明電極、誘電体ペーストを、背面ガラス基板表面には、Al、Ag、Niからなる電極、リブペーストを塗布してから500〜600℃程度の温度で焼成することにより回路を形成し、その後、前面ガラス基板と背面ガラス基板を対向させ、周囲を500〜600℃程度の温度でフリットシールすることにより作製される。従来、ガラス基板としては、建築用または自動車用として広く用いられているソーダ石灰ガラス(熱膨張係数 約84×10-7/℃)が一般的に用いられてきた。また、絶縁ペースト、リブペースト、フリットシールといった周辺材料の熱膨張係数もソーダ石灰ガラスに合わせて、70〜90×10-7/℃の範囲に調整されている。
【0003】
ところが、ソーダ石灰ガラスは歪点が500℃程度と低く、570〜600℃の温度で熱処理する際に、熱変形や熱収縮が起こり、寸法が著しく変化するため、前面ガラス基板と背面ガラス基板を対向させる際、電極の位置合わせを精度よく実現することが難しく、特に大型高精細のプラズマディスプレイ装置を作製する上で困難を生じていた。
【0004】
また、ソーダ石灰ガラスは、150℃での体積電気抵抗率(log ρ)が8.4Ω・cmと低く、ガラス中のアルカリ成分の移動度が大きい。従って、ガラス中のアルカリ成分がITO膜やネサ膜等の薄膜電極と反応し、電極材料の電気抵抗値を変化させる問題も有している。
【0005】
これらの事情から、ガラス基板の熱変形、熱収縮及び体積電気抵抗率の問題を解決するために、ソーダ石灰ガラスと同等の熱膨張係数を有し、歪点及び体積電気抵抗率の高いプラズマディスプレイ装置用ガラス基板が提案されており、現在、これらのガラス基板が使用され、大型高精細のプラズマディスプレイ装置が作製されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記した従来の歪点、体積電気抵抗率の高いガラス基板は、プラズマディスプレイ装置の製造工程において、ソーダ石灰ガラスに比べて割れが生じやすい。そのため、装置の歩留まりが低く、生産性向上を妨げる原因の一つとなっている。従って、生産性向上のため、ガラス基板を割れにくくする必要がある。つまり、耐クラック性の高いガラス基板が望まれている。
【0007】
本発明の目的は、耐クラック性に優れ、570〜600℃の温度で熱処理しても熱変形や熱収縮が起こらず、また、熱膨張係数が70〜90×10-7/℃、体積電気抵抗率(log ρ)が10.5Ω・cm以上の特性を有するフラットパネルディスプレイ装置用ガラス基板を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、基礎ガラス成分であるSiO2を種々の成分と置換する実験を行った結果、アルカリ土類金属酸化物(MgO、CaO、SrO、BaO)及びZrO2が下記の条件を満たせばガラス基板の耐クラック性が向上することを見いだした。
▲1▼アルカリ土類金属酸化物の総量を低く抑える。
▲2▼アルカリ土類金属酸化物の中でも、特にCaOの含有量を低くする。
▲3▼ZrO2の含有量を低く抑える。
【0009】
ただし、これらの成分の含有量を低くしすぎると、歪点、体積電気抵抗率、溶融性及び成形性が著しく悪化する。そこで本発明者は、アルカリ土類金属酸化物及びZrO2の含有量を適切に設定することにより、上記した特性を維持しつつ、高い耐クラック性を有するガラス基板が得られることを見いだし、本発明として提案するものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
即ち、本発明のフラットパネルディスプレイ装置用ガラス基板は、質量百分率でSiO 55〜70%、Al 5%超〜10%未満、MgO 1〜5%、CaO 1〜2.5%、SrO 6%超〜7.5%、BaO 0〜2%未満、LiO 0〜1.5%、 NaO 0〜5%、KO 5〜16%、ZrO 0.3〜%、SrO+BaO 6%超〜8%、MgO+CaO+SrO+BaO 8%超13.8%、LiO+NaO+KO 6〜18%の組成を有し、かつCaO/MgOの値が質量比で0.200.69の範囲にあることを特徴とする。
【0011】
【作用】
本発明のガラス基板において、各成分の割合を上記のように限定した理由を以下に述べる。
【0012】
SiO2は、ガラスのネットワークフォーマーであるが、55%より少なくなるとガラスの歪点が低くなり、熱変形や熱収縮が起こりやすくなる。一方、70%より多くなるとガラスの熱膨張係数が小さくなりすぎる。熱膨張係数が小さくなりすぎると絶縁(誘電体)材料やリブ材料と熱膨張差が大きくなり、焼成時に絶縁層やリブに割れや剥離が生じるため好ましくない。なおSiO2の好ましい範囲は56〜68%である。
【0013】
Al23は、ガラスの歪点を高める成分であるが、5%以下では前記効果が得られず、10%以上になると体積電気抵抗が低下し、また溶融性が悪化するため好ましくない。なおAl23の好ましい範囲は5%超〜9.5%である。さらに好ましくは5.1〜9%である。
【0014】
MgOは、ガラスの熱膨張係数を制御したり、ガラスの溶融性を高める成分であるが、%より多くなるとガラスが失透しやすくなり、成形が困難となるため好ましくない。
【0015】
CaOは、ガラスの溶融性を高める成分であるが、2.5%より多くなるとガラスの耐クラック性が著しく低下するため好ましくない。なおCaOの好ましい範囲は1〜2.5%である
【0016】
またCaO/MgOの値が0.20では、高温粘性が高くなって溶融性が悪化し、また歪点が低くなる。一方、この値が0.69を超えると、耐クラック性が著しく悪化する。なおCaO/MgOの値の好ましい範囲は0.20〜0.69である。
【0017】
SrOは、ガラスの溶融性及び体積電気抵抗率を高める成分であるが、7.5%より多くなるとガラスが失透したり、ガラスの密度が上昇して基板の重量が重くなりすぎるため好ましくない。なおSrOの好ましい範囲はBaOの含有量によって異なり、BaOが0〜2%未満の場合は6%超〜7.5%である。
【0018】
BaOは、SrOと同様、ガラスの溶融性及び体積電気抵抗率を高める成分であるが、2%以上になるとガラスが失透したり、ガラスの密度が上昇して基板の重量が重くなりすぎるため好ましくない。なおBaOの好ましい範囲はSrOの含有量によって異なり、SrOが6%超〜7.5%の場合に0〜2%未満である。
【0019】
またSrOとBaOの合量が6%以下であると電気抵抗が低下し、8%より多くなるとクラック抵抗が低下する。
【0020】
またMgO、CaO、SrO及びBaOの合量が8%以下であるとガラスの溶融性が低下し、13.8%より多くなるとガラス基板の耐クラック性が著しく低下する。
【0021】
Li2Oは、ガラスの熱膨張係数を制御したり、ガラスの溶融性を高める成分であるが、1.5%より多くなるとガラスの歪点が低下し、プラズマディスプレイ装置を製造する際の熱処理工程で、熱変形や熱収縮が起こりやすくなるため好ましくない。なおLi2Oの好ましい範囲は0〜1%である。
【0022】
Na2Oは、Li2Oと同様、ガラスの熱膨張係数を制御したり、ガラスの溶融性を高める成分であるが、5%より多くなるとガラスの歪点が低下するため好ましくない。なおNa2Oの好ましい範囲は0.5〜5%である。さらに好ましくは1〜4%である。
【0023】
2Oも、Li2O及びNa2Oと同様、ガラスの熱膨張係数を制御したり、ガラスの溶融性を高める成分であるが、5%より少なくなると溶融性が損なわれる。一方、16%より多くなると歪点が低下するため好ましくない。なおK2Oの好ましい範囲は6〜15%である。
【0024】
またLi2O、Na2O及びK2Oの合量が6%より少なくなると溶融性が低下し、18%より多くなると歪点が低下するため好ましくない。また、ガラスの体積電気抵抗率を高くするために、ガラス中にLi2O、Na2O及びK2Oの内、2種以上のアルカリ金属酸化物を含有させることが好ましい。なおこれらの成分の合量は8〜17%の範囲にあることが好ましい。
【0025】
ZrOは、ガラスの歪点を高める成分であるが、0.3%より少ないとその効果がなく、%より多くなるとガラスの耐クラック性が著しく低下するため好ましくない。なおZrOの好ましい範囲は0.3〜%である。
【0026】
また本発明においては、上記成分以外にも種々の成分を添加することができる。例えば紫外線による着色を防止するためにTiO2を5%まで、耐クラック性を向上させるためにP25を4%まで添加することが可能である。更に、As23、Sb23、SO3、Cl等の清澄剤成分を合量で1%まで、Fe23、CoO、NiO、Cr23、CeO2等の着色剤成分を各1%まで添加することが可能である。
【0027】
以上の組成を有する本発明のガラス基板は、板ガラスの成形方法として知られているフロート法、フュージョン法、ロールアウト法等の方法によって製造できる。
【0028】
【実施例】
以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
【0029】
本発明の実施例(試料No.1〜)を表1、2に、比較例(試料No.9〜16)を表3,4に示す。尚、試料No.16は、ソーダ石灰ガラスである。
【0030】
【表1】
【0031】
【表2】
【0032】
【表3】
【0033】
【表4】
【0034】
表中の各試料は、次のようにして作製した。
【0035】
まず、表の組成となるようにガラス原料を調合し、白金ポットで1450〜1600℃で4時間溶融した。その後、溶融ガラスをカーボン板の上に流し出して板状に成形し、徐冷後、板厚が2.8mmになるように両面研磨して、得られた板ガラスを200mm角の大きさに切断加工することで試料ガラスを作製した。
【0036】
このようして得られた各試料について、耐クラック性、密度、歪点、熱膨張係数、体積電気抵抗率を測定し、表に示した。
【0037】
本発明におけるガラスの耐クラック性の評価は、和田らが提案した方法(M.Wada et al. Proc., the Xth ICG, vol.11, Ceram. Soc., Japan, Kyoto, 1974,p39)を用いた。この方法は、ビッカース硬度計のステージに試料ガラスを置き、試料ガラスの表面に菱形状のダイヤモンド圧子を種々の荷重で15秒間押し付ける。そして、除荷後15秒までに圧痕の四隅から発生するクラック数をカウントし、最大発生しうるクラック数(4ヶ)に対する割合を求め、クラック発生率とする。なおこの評価は、同一荷重におけるクラック発生率を20回測定し、その平均値をクラック発生率とする。このようにしてクラック発生率が50%になるときの荷重を「クラック抵抗」とし、この値を表に示した。クラック抵抗が大きいということは、高い荷重でもクラックが発生しにくい、つまり、耐クラック性に優れているということである。なおクラック抵抗は湿度の影響を受けるため、測定は気温25℃、湿度30%の条件で行った。
【0038】
密度については、周知のアルキメデス法で、歪点については、ASTM C336−71に基づいて測定した。また、熱膨張係数については、ディラトメーターで30〜380℃における平均熱膨張係数を、体積電気抵抗率については、ASTM C657−78に基づいて150℃における値を測定した。乳白の有無については、ガラスの徐冷後に目視で観察した。
【0039】
表から明らかなように、実施例である試料No.1〜の各試料については、ソーダ石灰ガラスと同等以上である850mN以上のクラック抵抗を示しており、耐クラック性に優れている。また密度は2.56g/cm以下と低く、歪点は576℃以上、体積電気抵抗率(log ρ)は10.9Ω・cm以上と高く、熱膨張係数は80〜85×10−7/℃の範囲であった。
【0040】
これに対して、比較例である試料No.9は、Al23が5%以下であるために歪点が低かった。試料No.10は、Al23が10%以上であるために電気抵抗が低かった。試料No.11は、ZrO2が0.3%未満であるために歪点が低かった。試料No.12は、SrOとBaOの合量が4%未満であるために電気抵抗が低かった。試料No.13は、SrOとBaOの合量が9%以上であるためにクラック抵抗が低かった。試料No.14は、CaO/MgOの値が0.1未満であるために歪点が低かった。試料No.15は、CaO/MgOの値が1.48より大きいためにクラック抵抗が低かった。
【0041】
【発明の効果】
以上のように本発明のプラズマディスプレイ装置用ガラス基板は、優れた耐クラック性を有している。また歪点が高いため570〜600℃の温度の熱処理で熱変形や熱収縮を起こさない。しかも70〜90×10-7/℃の熱膨張係数を有し、体積電気抵抗率も高いため、フラットパネルディスプレイ装置、特にプラズマディスプレイ装置のガラス基板として好適である。

Claims (1)

  1. 質量百分率でSiO 55〜70%、Al 5%超〜10%未満、MgO 1〜5%、CaO 1〜2.5%、SrO 6%超〜7.5%、BaO 0〜2%未満、LiO 0〜1.5%、 NaO 0〜5%、KO 5〜16%、ZrO 0.3〜%、SrO+BaO 6%超〜8%、MgO+CaO+SrO+BaO 8%超13.8%、LiO+NaO+KO 6〜18%の組成を有し、かつCaO/MgOの値が質量比で0.200.69の範囲にあることを特徴とするフラットパネルディスプレイ装置用ガラス基板。
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