JP4388696B2 - Cmosイメージング装置 - Google Patents
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Description
(技術分野)
本発明は、ソリッドステートイメージャに関し、特に、小型で高性能の画素を有するCMOSに関する。
【0002】
(背景技術)
アクティブ画素というのは、光画像を電子信号に変換することのできる半導体である。複数のアクティブ画素は、マトリックス状に配置し、ビデオカメラ用ビデオ信号を生成するのに、あるいは写真その他入射光を量子化する場合に利用することができる。入射光がフォトサイト(photosite)と相互作用すると、電荷キャリアが開放され、それが集められてセンシングが行なわれる。フォトサイト内に集められたキャリアの数は、所与の時間内にフォトサイトに当たる入射光の量を表す。
【0003】
フォトサイトに電荷キャリアを集めてセンスするのに使用される2つの基本的デバイスがあり、それらには多くの変種がある。この2つの基本的デバイスは、光ダイオードと光ゲートである。光ダイオードには、Pinned、 P-I-N、金属半導体、ヘテロジャンクション、アバランシェなどがある。光ゲート構造には、電荷結合素子(CCD)、チャージインジェクションデバイス(CID)、及びそれらの変種があり、バーチャルフェーズ、埋め込みチャンネル、その他の選択的ドーパントを利用した変種がある。選択的ドーパントは、電荷収集、及び光ゲートとセンスノードの下方及びそれらの間での移動を制御するために使用される。
【0004】
従来使用されてきたソリッドステートイメージャは、ほとんどがCCDである。というのは、光ダイオードやCIDに比較して、ノイズが低いからである。CCDイメージャの利点である低ノイズは、画素サイトにおいて光によって生成された電荷を集めて、アレイの周辺で増幅器に実際の電荷を結合ないしシフトする結果である。これにより、長いポリシリコンあるいは金属バスが不要となり、それと関連する抵抗や容量が信号を劣化させることがなくなる。しかしながら、CCDの低ノイズを得るには、イメージャは固定フォーマットで読まれなければならず、読まれた電荷はこわされてしまう。集められた光子電荷を画素から周辺増幅器(CTEとも呼ばれる)へ結合するには、CMOSあるいはBiCMOSの産業標準プロセスとは違った独自の処理ステップが必要となる。
【0005】
ソリッドステートイメージングデバイスは、CMOS技術と平行して発展してきたので、イメージャ製造者は、イメージャ性能特性とウェハ歩留まりを最大限にすべく、それぞれ独自のプロセスを開発してきた。専門化されたシリコンウェハ処理のため、イメージャの値段は比較的高価である。線形アクティブ画素センサは、1985年に商業的生産が開始された。90年代初頭より、独自のプロセスを標準的CMOSプロセスに移す動きが始まった。標準的プロセスを使用すると次のような利点がある。ウェハプロセシング価格が手ごろになり、チップタイミングに合わせて提供できるようになり、エレクトロニクスを制御し処理することができるようになる。1992年末までには、512x512CMOS互換性のあるCIDイメージャが、コラム毎に前置増幅器及びCDSを備えて、製造されるようになった。このイメージャは、ランダムアクセス512x512CIDとして動作するか、あるいは、すべてのコラムが統合されて線形アクティブ画素センサとして動作する。
【0006】
特許第5,471,515号が開示するアクティブ画素センサを利用したエリアアレイにおいては、光ダイオード又は光ゲートが出力ソースフォロワ増幅器に結合され、出力ソースフォロワ増幅器が相関二重サンプリング(CDS)回路を駆動し、そこにおいて、CDSセルの2つの出力が2つのソースフォロワ回路を駆動し、それが、差動増幅器に供給される。これは、ソースフォロワ回路を使用するもので、典型的には、1よりも小さくソースフォロワごとに異なるゲインを持つ。ソースフォロワのゲインが異なるのは、FETしきい値が異なるためである。ソースフォロワゲインが異なることによって、画素ごとにゲインが合わなくなる。また、アクティブ画素センサは、CDSがソースフォロワのペアを使用してその出力を駆動する場合、コラム毎のCDS回路によるゲイン変化の影響を受ける。その結果得られるCDS信号及び対応のオフセットは、差動増幅器では訂正不可能な異なるゲインをもつことがある。また、アクティブ画素のソースフォロワ構成は、画素のビニング(binning)を考慮していない。
【0007】
従来技術の動作の電圧モードは、一度に2つ以上の信号に加算するビニングを考慮に入れていない。
【0008】
必要とされるイメージャ装置は、CCDのノイズレベルが低く、ランダムアクセスができ、CIDのビニングができ、すべての画素から同じゲインとレスポンスが得られるものである。
【0009】
図2に示された本発明によるアクティブコラムセンサ(ACS)の説明を以下に行うが、その前に、図1にしめされたような従来の典型的二重ポリシリコンアクティブ画素センサの構造について説明しておく。
尚、本明細書において取り上げられる画素及び画素アレイは、モノリシック半導体基板内に形成される。それらは、また、焦点面アレイである。
【0010】
図1において、各画素50は、フォトサイト60を有して、それは、ソースフォロワとして構成された出力FET53を有する。ソースフォロワ53は、相関二重サンプル回路(CDS)55のような、信号処理回路を駆動するのに使用される。ソースフォロワ53のゲインは、1より小さい。画素サイト50に位置するソースフォロワが所与のゲインを持っている場合、同じコラム内の他の画素及び対応のソースフォロワは、その同じゲインを持つこともあればそうでないこともある。この技術は、アレイ内のすべてのFETに同じしきい値を持たせるためのウエハ処理に依存している。線形アクティブ画素アレイでFETしきい値が、動作中に、100mV変化することは稀である。
【0011】
従来のアクティブ画素50は、光ゲート60とトランスファゲート62を備え、それらを使用して、光によって生成された電荷を、ソースフォロワ53のゲートに接続された浮遊拡散ノード52に結合する。FET53のドレインは、直接的に、電力供給レイルVDDに接続される。ソースフォロワ出力FETは、ロウ(row)アクセスFET58のソース56に接続される。ロウアクセスFET58が選択されて読まれる場合、FET58がオンになり、出力FET53が負荷18に接続され、CDS回路55を直接的に駆動する。
従来のアクティブ画素50は、光ゲート60と移動ゲート62とを備え、それらを使用して、光によって生成された電荷を、ソースフォロワ53のゲート56に接続された浮遊拡散ノード52に結合する。出力FET53のドレインは、直接的に、電力供給レイルVDDに接続される。ソースフォロワ出力FETは、ロウアクセスFET58のソース56に接続される。ロウアクセスFET58が読み出しに選択されると、FET58がオンになり、出力FET53は負荷18に接続されて、CDS回路55を直接的に駆動する。
【0012】
図2は、本発明による画素12の模式図であり、そこにおいては、従来のような画素ごとのしきい値変動は存在しない。ロウ又はコラム内のすべての画素12は、平行であり、簡単にするため、1つだけが示されている。感光デバイス10から成る画素12は、FET15に結合され、画素を読み出し回路から隔離する。FET15はFET24を備える演算増幅器30の差動入力ペアの1つのFETである。簡単にするため、図2において、増幅器回路30は、正のフィードバックゲイン1増幅器として構成されている。フィードバックパス32は、増幅器30の出力を入力17、つまり、この場合はFET24のゲートに接続する。増幅器30は、ゲイン、フル差分入力を持つように構成することもできるが、アプリケーションに従ってどのような増幅器構成であってもよい。増幅器30の固定ゲインにより、従来のゲイン変動をなくすことができる。ゲイン1増幅器の出力は、ビデオ内の固定パタンノイズを除くために使用される相関二重サンプラ(CDS)に接続される。
【0013】
FET22を備えた電流ソース20は、そのソースが電源VDDに接続され、そのドレインが差分入力FET15及び24のソースに接続される。
【0014】
FET15及び24のドレインは、FET26及び28から形成される電流ミラーに接続される。FET26及び28のゲートは、一緒に接続され、入力FET15のソースに接続される。FET26及び28のソースは、負の電源VCCに接続される。
【0015】
FET24のソースは、差動ペアの出力であり、CDS34に接続される。
【0016】
入力FET15は、アプリケーションにより、Nチャンネル又はPチャンネルのFETである。画素#80は、光ゲート又は光ダイオードである。
【0017】
図3は、図2に示されたアクティブコラムセンサの画素12を詳細に示す模式図である。この構成においては、光ゲート76が使用される。センスノード#72の選択及びリセットは、FET76によって制御される。光ゲートもセンスノードも、ポリシリコン層を備えることが好ましい。このアクティブコラムセンサ画素により、従来の個別の選択/アクセスFET58が必要なくなる。全てのバイアス信号及び制御信号は、画素アレイの周辺部から供給される。
【0018】
画素は次のように動作することができる。N型基板が使用され、その基板が最大の正の電位、例えば、5.0ボルトのバイアスをかけられる。光ゲート70は、好ましくはポリシリコン層であり、インテグレートレベル(例えば、0.0ボルト)にバイアスされる。光ゲート70の下の領域80は、窮乏状態になり、光は隣接した領域に当たるので、光によって生成されたキャリアを集める(集積する)。光ゲート72は、5.0ボルトにバイアスされ、この集積の間、光によって生成されたキャリアを集めることはない。何故なら、それは、基板と同じ電位にバイアスされているからである。光ゲート72は、選択制御FET76によって、リセット/選択制御信号でバイアスをかけられる。この構成において、制御FET76は、基板に対して負の信号、例えば0.0ボルトによって選択されるPチャンネルFETである。集積の間にFET76が選択され、光ゲートは、好ましくは5.0ボルトのリセット/選択バイアスによってバイアスされる。所定の集積時間の後、画素が読まれる。
【0019】
画素の読み取りは、好ましくは、次のように行われる。リセット/選択制御が2.5ボルトに変化し、光ゲート#72の下の領域を窮乏状態にし、背景レベルが読まれる。リセット/選択制御を5ボルトに設定することによって、リセット/選択FET76がオフになる。光ゲート70はその電位、この例では5.0ボルトが除去される。信号読み取りが生じるのは、集められた光によって生成された電荷が光ゲート70の下の領域から光ゲート72の下の領域に移動するときである。移動した光によって生成された電荷は、集められた量に従って、入力FET15のゲートを変調する。
【0020】
固定パタンノイズ(FPN)は、CDS回路34を使用することによって、ビデオ情報から除去することができる。CDS回路に印加される最初のサンプルは、背景レベルである。次に、信号情報がCDSに印加される。2つの信号の差は、固定パタンノイズのない信号を与える。
【0021】
図4は、本発明による画素のアレイを模式的に示す図である。複数の画素90a, 90b, 90cがアレイの第1コラムを構成し、同様のコラム92a-c 及び94a-cがアレイを構成する。各コラムにおいて、画素はその出力FETと並列に接続され、その組み合わせが、演算増幅器30の差動入力ペアの第1のものを構成する。その他の点において、増幅器30a, 30b, 30cは図2と同様である。各増幅器30は、それぞれCDS34a, 34b, 34cに接続される。CDS 34a, b, cは、コラム選択スイッチ96a, 96b, 96cを介して接続され、その共通端子は、出力バッファ98に接続され、出力バッファは、ソースフォロワ、あるいはアプリケーションによっては、もっと複雑な信号処理であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来の二重ポリシリコンアクティブ画素センサである。
【図2】 本発明によるアクティブコラムセンサである。
【図3】 本発明による画素の構成である。
【図4】 アクティブコラムセンサを構成する画素当たりのフル動作可能増幅器を使用すべく接続された画素のマトリクスを模式的に示す図である。
Claims (21)
- 画素(12)の焦点面イメージングアレイを備えたイメージング装置であって、前記画素(12)はロウとコラムに構成されたアレイであって、前記画素(12)のそれぞれは、入射光を電荷に変換する領域をもち、
複数の差動演算入力増幅器(30)を備え、各差動演算入力増幅器(30)は、複数の第1入力トランジスタ(15)と、複数の画素(12)の各々に配置された1つの第1入力トランジスタ(15)と、物理的に前記第1入力トランジスタから離れ、電気的に前記第1入力トランジスタに接続された第2入力トランジスタ(24)とを有して、フィードバックループを構成することを特徴とするイメージング装置。 - 請求項1記載のイメージング装置であって、前記増幅器(30)がロウを構成する増幅器であることを特徴とするイメージング装置。
- 請求項1記載のイメージング装置であって、前記増幅器(30)がコラム増幅器であることを特徴とするイメージング装置。
- 請求項1記載のイメージング装置であって、コラム内の前記画素(12)の第1入力トランジスタ(15)が並列に接続されることを特徴とするイメージング装置。
- 請求項1記載のイメージング装置であって、前記複数の第1入力トランジスタ(15)がFETであることを特徴とするイメージング装置。
- 請求項1記載のイメージング装置であって、更に、各画素(12)における選択トランジスタと、アレイの周辺部の外に配置され選択トランジスタに接続され画素(12)を増幅器への接続のために選択又は非選択する制御信号生成器とを備えることを特徴とするイメージング装置。
- 請求項6記載のイメージング装置であって、前記制御信号生成器は、コラム内の2つ以上の画素(12)を増幅器への接続のために選択することができることを特徴とするイメージング装置。
- 請求項1記載のイメージング装置であって、画素(12)のアレイは、モノリシック半導体基板内に形成されることを特徴とするイメージング装置。
- 請求項1記載のイメージング装置であって、前記増幅器(30)は、充分に大きな開ループゲインを有し、フィードバックループが閉ループゲインを制御し、結果としての閉ループゲインが第1入力トランジスタ(15)の特性変化によって大きく変化させられることがないことを特徴とするイメージング装置。
- 請求項1記載のイメージング装置であって、前記増幅器(30)は、ゲイン1に構成されることを特徴とするイメージング装置。
- 請求項1記載のイメージング装置であって、更に、前記第1入力トランジスタ(15)と前記第2入力トランジスタ(24)とに接続された電流ソース(20)を備えることを特徴とするイメージング装置。
- 請求項1記載のイメージング装置であって、前記第1入力トランジスタ(15)と前記第2入力トランジスタ(24)とに接続された電流ミラー(26,28)を備えることを特徴とするイメージング装置。
- 請求項1記載のイメージング装置であって、更に、前記増幅器の出力に接続された信号プロセッサを備えることを特徴とするイメージング装置。
- 請求項13記載のイメージング装置であって、前記信号プロセッサは、相関二重サンプラ55を備えることを特徴とするイメージング装置。
- 請求項1記載のイメージング装置であって、入射光を電荷に変換する領域が光ゲート(70)を備えることを特徴とするイメージング装置。
- 請求項15記載のイメージング装置であって、前記光ゲート(70)に隣接してセンスノード(72)を備えることを特徴とするイメージング装置。
- 請求項16記載のイメージング装置であって、前記光ゲート(70)とセンスノード(72)とが実質的に光透過性であることを特徴とするイメージング装置。
- 請求項17記載のイメージング装置であって、前記光ゲート(70)とセンスノード(72)とがポリシリコン層を備えることを特徴とするイメージング装置。
- 請求項16記載のイメージング装置であって、更に、前記センスノード(72)に接続された制御トランジスタ(76)を備え、電荷の集積及びセンシングを行うことを特徴とするイメージング装置。
- 請求項1記載のイメージング装置であって、入射光を電荷に変換する領域が光ダイオードであることを特徴とするイメージング装置。
- 請求項20記載のイメージング装置であって、前記光ダイオードに接続された制御トランジスタを備え、電荷の集積及びセンシングを行うことを特徴とするイメージング装置。
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