JP4387035B2 - コンタクトプローブおよび回路基板検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、検査対象の回路基板に接触させて所定の電気的検査を実行するためのコンタクトプローブ、およびそのコンタクトプローブを用いて所定の電気的検査を実行可能に構成された回路基板検査装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
この種のコンタクトプローブを用いて所定の電気的検査を実行可能に構成された回路基板検査装置として、図5に示す回路基板検査装置31が従来から知られている。この回路基板検査装置31は、プローブ固定具2a,2aを介して固定されたコンタクトプローブを検査対象の回路基板Pに接触させるプローブ移動機構2,2と、プローブ移動機構2,2の動作制御やコンタクトプローブを用いての電気的検査を実行する制御部33と、制御部33の演算結果や検査用基準データなどを記憶するRAM4と、制御部33の動作プログラムを記憶するROM35とを備えている。この場合、プローブ固定具2aは、その一端がプローブ移動機構2に固定されると共に、その他端にコンタクトプローブが固定され、コンタクトプローブを回路基板Pに押圧した際に弾性変形して、コンタクトプローブ11を回路基板P側に付勢する。
【0003】
一方、この種の回路基板検査装置31では、図7に示すコンタクトプローブ41,51が従来から用いられている。コンタクトプローブ41,51は、ブレード型のコンタクトプローブであって、薄手の金属板で形成されている。この場合、同図(a)に示すように、コンタクトプローブ41は、図外の上端部がプローブ固定具2aに固定可能に形成されると共に、下端部43には、回路基板Pに接触させられる刃部44が形成されている。このコンタクトプローブ41は、プローブ固定具2aを介してプローブ移動機構2に取り付けられた状態において、その刃部44の刃先44aと、検査対象の回路基板Pにおける表面Paとのなす傾斜角度θ11が、例えば15度となるように形成されている。また、同図(b)に示すように、コンタクトプローブ51は、図外の上端部がプローブ固定具2aに固定可能に形成されると共に、下端部53には、回路基板Pに接触可能な刃部55が形成されている。このコンタクトプローブ51は、その刃部55の刃先55aの傾斜角度θ12が、例えば45度となるように形成されている。
【0004】
検査対象の回路基板Pは、図6に示すように、ガラスエポキシ系の基材21に、例えば、直径0.5mmのスルーホール22や、直径2mmのスルーホール23が形成されている。また、回路基板Pには、スルーホール22,23のランド22a,23aが露出するように、レジスト24,24が表面Paおよび裏面Pbに塗布されている。
【0005】
この回路基板検査装置31では、回路基板Pの種類に応じてコンタクトプローブ41,51のいずれかを選択して使用する。例えば、スルーホール23のような比較的大径のスルーホールが数多く形成されている回路基板Pに対する検査時には、コンタクトプローブ41を使用する。この際には、一方のプローブ移動機構2が、制御部33の制御下で、一方のコンタクトプローブ41を移動させ、下端部43の先端43aをスルーホール23のほぼ中心の真上に配置する。次いで、プローブ移動機構2が、コンタクトプローブ41を回路基板Pに向けて下動させることにより、図8に示すように、刃部44の刃先44aをランド23aに接触させ、さらに下方に付勢することにより、コンタクトプローブ41をランド23aに確実に接触させる。同時に、他方のプローブ移動機構2が他方のコンタクトプローブ41を同様にして他のランドに接触させる。次いで、制御部33が、両コンタクトプローブ41,41を介して入出力した検査用信号に基づいて抵抗値を測定し、その抵抗値とRAM4から読み出した検査用基準データとに基づいて両ランド間の導通検査および絶縁検査を実行する。これにより、回路基板Pの良否が判別される。
【0006】
これに対して、スルーホール22のような比較的小径のスルーホールが数多く形成されている回路基板Pについては、コンタクトプローブ51を使用する。この際には、プローブ移動機構2が、制御部33の制御下で、コンタクトプローブ51を回路基板Pに向けて下動させることにより、図9に示すように、刃部55の刃先55aをランド22aに接触させ、さらに下方に付勢することにより、コンタクトプローブ51をランド22aに確実に接触させる。
【0007】
一方、プローブ固定具2aを介してプローブ移動機構2に固定可能に形成され、かつコンタクトプローブ41,51とは異なる刃部を備えたコンタクトプローブとして、図10に示すコンタクトプローブ61も考案されている。このコンタクトプローブ61では、回路基板Pに接触可能な刃先64a,65aをそれぞれ有する刃部64,65が下端部63に形成されている。この場合、各刃先64a,65aは、回路基板Pの表面Paとほぼ平行になるようにそれぞれ形成されている。このコンタクトプローブ61によるプロービングの際には、プローブ移動機構2,2が、制御部33の制御下で、コンタクトプローブ61,61を例えばスルーホール22の上方に移動させる。次に、プローブ移動機構2が、コンタクトプローブ61を回路基板Pに向けて下動させ、さらに下方に付勢することにより、図11(a)に示すように、コンタクトプローブ61をランド22aに確実に接触させる。また、スルーホール23に対するプロービングの際には、同図(b)に示すように、プローブ移動機構2が、ランド23aに刃部64を接触させ、さらに下方に付勢することにより、コンタクトプローブ61をランド23aに確実に接触させる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のコンタクトプローブ41,51,61および回路基板検査装置31には、以下の問題点がある。すなわち、図12に示すように、回路基板Pの製造時において、レジスト24の位置ずれに起因して、ランド22aの一部がレジスト24によって覆い隠されてしまうことがある。このような場合には、従来のコンタクトプローブ41では、刃部44の刃先44aをスルーホール22のランド22aに接触させる際に、刃先44aがランド22aに接触するよりも先にレジスト24に接触することがある。このため、従来のコンタクトプローブ41には、回路基板Pの製造誤差に起因して接触不良が生じるおそれがあるという問題点が存在する。
【0009】
一方、従来のコンタクトプローブ51では、プロービング時において、図13に示すように、刃部55の刃先55aをランド23aに接触させた際に、刃先55aの傾斜角度が大きいため、破線で示すコンタクトプローブ41と比較して、その先端53aがコンタクトプローブ41の先端43aよりも距離L11分だけ下方に位置する。したがって、刃先55aのランド23a側への付勢力を一定に維持するためには、その距離L11分だけ余分にコンタクトプローブ51を下動させる必要がある。このため、従来のコンタクトプローブ51には、数多くのスルーホール23が形成された回路基板Pを検査する際に、距離L11分の上下動に要する時間だけ検査時間が長時間化するという問題点がある。
【0010】
さらに、従来のコンタクトプローブ61では、図11に示すように、大径のスルーホールについては刃部64の刃先64aを接触させ、小径のスルーホールについては、刃部65の刃先65aを接触させることにより、検査時間のそれ程の長時間化を招くことなく、接触不良の回避が可能となっている。しかし、コンタクトプローブ41,51では、その刃先44a,55aがランド22a,23aの角部に点的接触しているのに対し、コンタクトプローブ61では、その刃先64a,65aがランド22a,23aの表面に線的に接触する。このため、コンタクトプローブ61には、ランド22a,23aの表面に線状の大きな接触痕が形成されてしまうという問題点がある。また、プロービング位置をスルーホールの径に応じて変更する必要があるため、CADデータをプロービング用位置決めデータにそのまま用いることができない結果、プロービング用位置決めデータの作成作業が煩雑であるという問題点も存在する。
【0011】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、プロービング時の接触痕を可能な限り小さくしつつ、検査時間の短縮化、および刃先の確実な接触を図り得るコンタクトプローブおよび回路基板検査装置を提供することを主目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項1記載のコンタクトプローブは、検査対象の回路基板に接触可能な刃部が下端部に形成されたブレード形のコンタクトプローブにおいて、刃部は、プロービング時に基板面に対して所定の傾斜角度で接触する刃先を有する第1の刃部と、第1の刃部における刃先の最下端部に連なって下向きに形成されると共に基板面に対して所定の傾斜角度よりも大きい傾斜角度で接触する刃先を有する第2の刃部とを少なくとも備え、第2の刃部の先端部を接触対象スルーホールの中心に向けてプロービングしたときに、両刃部のいずれかが接触対象スルーホールのランドに接触するように構成されていることを特徴とする。この場合、本発明における刃部は、第1の刃部〜第N(Nは自然数)の刃部を備えて構成することもできる。その場合には、基板面に非接触で対向した状態において、その基板面に接近する刃部ほど基板面に対する傾斜角度が大きくなるように形成される。ただし、その傾斜角度の最大角度が、基板面に対して90度、つまり基板面に対して垂直であることが好ましい。また、Nの値をより大きくすることで、刃部を円弧状に構成することもできる。
【0013】
請求項2記載のコンタクトプローブは、請求項1記載のコンタクトプローブにおいて、第1の刃部は、その刃先の傾斜角度が5度以上25度以下の角度範囲内で形成され、第2の刃部は、その刃先の傾斜角度が25度以上65度以下の範囲内で形成されていることを特徴とする。
【0014】
請求項3記載のコンタクトプローブは、請求項1または2記載のコンタクトプローブにおいて、第2の刃部は、基板面に沿った方向の側面視における幅が0.1mm以上0.5mm以下の範囲内で形成されていることを特徴とする。
【0015】
請求項4記載の回路基板検査装置は、請求項1から3のいずれかに記載のコンタクトプローブと、コンタクトプローブを移動させて回路基板に接触させるプローブ移動機構と、コンタクトプローブにおける第2の刃部の先端部が回路基板における接触対象スルーホールの中心部分に位置するようにプローブ移動機構を制御する制御部とを備えていることを特徴とする。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るコンタクトプローブを備えた回路基板検査装置の好適な発明の実施の形態について説明する。なお、従来の回路基板検査装置31と同一の構成要素、および検査対象の回路基板Pについては、同一の符号を付して重複した説明を省略する。
【0017】
最初に、回路基板検査装置1の構成について、図面を参照して説明する。
【0018】
図5に示すように、回路基板検査装置1は、プローブ移動機構2,2、プローブ固定具2a,2a、コンタクトプローブ11,11、制御部3、RAM4およびROM5を備えている。コンタクトプローブ11は、全体が薄手の金属板で形成され、図1に示すように、上端部12および下端部13に孔が形成されて軽量化が図られている。また、下端部13には、本発明における第1の刃部に相当する刃部14と、本発明における第2の刃部に相当する刃部15とが形成されている。この場合、刃部14の刃先14aは、図2に示すように、プローブ移動機構2にコンタクトプローブ11を取り付けた状態において、検査位置に載置した回路基板Pの表面Paに対する傾斜角度θ1が例えば15度となるように形成されている。
【0019】
一方、刃部15の刃先15aは、刃先14aの最下端部に連なって形成されている。この場合、刃先15aは、回路基板Pの表面Paに対する傾斜角度θ2が、例えば45度であって、刃先14aの傾斜角度θ1よりも大きくなるように形成されている。また、刃部15は、回路基板Pの表面Paに沿った方向の横幅Wおよび高さHが、それぞれ0.3mm程度に形成されている。したがって、例えば直径0.5mm程度の小径のスルーホールにプロービングする際には、その横幅Wがそのスルーホールの半径よりもやや幅広に形成されているため、スルーホールの中心に向けてプロービングすることにより、刃先15aがスルーホールに確実に接触する。また、大径のスルーホールにプロービングする際には、そのスルーホールの中心に向けてプロービングすることにより、刃先14aが確実に接触する。
【0020】
制御部3は、プローブ移動機構2,2の動作制御やコンタクトプローブ11,11を用いての電気的検査を実行する。RAM4は、制御部3の演算結果を一時的に記憶すると共に、プロービングの際の位置決めデータや良品基板から吸収した検査用基準データなどを記憶する。なお、位置決めデータについては、CADデータの孔位置決めデータがほぼそのまま用いられている。ROM5は、制御部3の動作プログラムを記憶する。
【0021】
次に、回路基板検査装置1による回路基板Pの検査方法について、各図を参照して説明する。
【0022】
まず、スルーホール22にプロービングする際には、制御部3は、RAM4から読み出した位置決めデータに基づいてプローブ移動機構2の駆動を制御することにより、コンタクトプローブ11の先端13aがスルーホール22のほぼ中心の真上に位置するようにコンタクトプローブ11を移動させる。次に、プローブ移動機構2が、コンタクトプローブ11を回路基板Pに向けて下動させて、図3に示すように、刃部15の刃先15aをランド22aに接触させる。この場合、コンタクトプローブ11では、その刃先15aが、刃先14aよりも大きな傾斜角度で形成され、しかも刃先14aの最下端部に連なっている。したがって、同図に示すように、位置ずれしたレジスト24によってランド22aの一部が覆い隠されている場合であっても、刃先14aがレジスト24に接触するよりも先に、刃先15aがランド22aに確実に接触する。
【0023】
次いで、プローブ移動機構2が、コンタクトプローブ11をさらに下方に付勢することにより、コンタクトプローブ11がランド22aに確実に接触する。同様にして、他のコンタクトプローブ11を他のランドに接触させた状態で、制御部3が、両コンタクトプローブ11,11を介して入出力した検査用信号に基づいて抵抗値を測定し、その測定値とRAM4から読み出した検査用基準データとに基づいて両ランド間の導通検査および絶縁検査を実行する。これにより、回路基板Pの良否が判別される。
【0024】
一方、スルーホール23にプロービングする際には、制御部3は、RAM4から読み出した位置決めデータに基づいてプローブ移動機構2の駆動を制御することにより、コンタクトプローブ11の先端13aがスルーホール23のほぼ中心の真上に位置するようにコンタクトプローブ11を移動させる。次に、プローブ移動機構2が、コンタクトプローブ11を回路基板Pに向けて下動させて、図4に示すように、刃部14の刃先14aをランド23aに接触させる。この場合、刃先15aをランド22aに接触させたときの下動量と、刃先14aをランド23aに接触させたときの下動量との差が、従来のコンタクトプローブ51における下動量L11よりも十分に短い距離L1分だけとなる。したがって、コンタクトプローブ11の上下動に要する時間が短縮される結果、検査時間も十分に短縮される。次いで、プローブ移動機構2が、コンタクトプローブ11をさらに下方に付勢することにより、プローブ固定具2aが十分に弾性変形し、これにより、刃先14aがランド23aに確実に接触する。
【0025】
このように、この回路基板検査装置1によれば、傾斜角度θ1,θ2が互いに異なる2つの刃部14,15を有するコンタクトプローブ11の先端13aをスルーホールの中心を目がけてプロービングするだけで、レジスト24に接触させることなく、小径のスルーホール22に対しては、刃先15aを接触させることができ、大径のスルーホール23に対しては、刃先14aを接触させることができる。したがって、大小様々な直径のスルーホールにコンタクトプローブ11を確実にプロービングすることができる。また、このコンタクトプローブ11によれば、径が大きいスルーホール23にプロービングする際にも、上下動の際のストロークがそれ程長くならないため、従来のコンタクトプローブ51と比較して、その上下動に要する時間を短縮することができ、これにより、回路基板Pについての検査時間を短縮することができる。
【0026】
さらに、このコンタクトプローブ11では、例えば、スルーホールの中心から偏心した位置にプロービングした場合であっても、刃先14a,15aのいずれかがランドに必ず接触する。このため、プロービングの位置決め誤差が生じているときや、スルーホールの形成位置に製造誤差が生じているときであっても、コンタクトプローブ11を確実にプロービングさせることができる。また、このコンタクトプローブ11では、刃先15a,14aをランド22a,23aの角部に点的接触させているため、その接触痕を極力小さくすることができる。
【0027】
なお、本発明は、上記した本発明の実施の形態に示した構成に限定されない。例えば、刃先14a,15aの傾斜角度θ1,θ2、並びに刃部15の横幅Wおよび高さHは、本発明の実施の形態で示した数値に限定されず、適宜変更が可能である。この場合、望ましくは、第1の刃部における刃先の傾斜角度を5度以上25度以下の角度範囲内で形成すると共に、第2の刃部における刃先の傾斜角度を25度以上65度以下の角度範内に規定することにより、レジストに接触させることなく、各種径のスルーホールに対して両刃部のいずれかの刃先を確実にプロービングさせることができる。また、刃部を第1の刃部〜第Nの刃部で形成し、かつ第M(MはN以下の自然数)の刃部の傾斜角度を第(M−1)の刃部の傾斜角度よりも大きく形成した場合、スルーホールの径の大小を問わず、そのスルーホールに第Mの刃部を点的かつ確実にプロービングさせることができると共に、径が異なるスルーホールに対するコンタクトプローブのストローク量の差を小さくすることができる。さらに、Nの値を無限大に近づけることで、刃部の形状を円弧状に形成することもでき、この場合にも、刃部のいずれかの箇所をスルーホールに確実に接触させることができる。
【0028】
【発明の効果】
以上のように、本発明におけるコンタクトプローブによれば、傾斜角度が異なる第1および第2の刃部を備えたことにより、大小様々な径のスルーホールに対して第1および第2の刃部のいずれかを確実に接触させることができる。また、スルーホールの径が異なってもコンタクトプローブのストローク量の差が小さいため、プロービング時のコンタクトプローブに対する付勢力をほぼ均一にすることができる結果、接触不良の発生を防止することができる。同時に、大径のスルーホールに対してプロービングする際の上下動に要する時間を短縮でき、これにより、回路基板全体についての検査時間を短縮することができる。さらに、このコンタクトプローブによれば、刃先をランドの角部に点的接触させているため、その接触痕を極力小さくすることができる。
【0029】
また、請求項2記載のコンタクトプローブによれば、第1の刃部における刃先の傾斜角度を5度以上25度以下の角度範囲内に規定し、第2の刃部における刃先の傾斜角度を25度以上65度以下の範囲内で規定したことにより、各種径のスルーホールに対してコンタクトプローブを確実に接触させることができると共に、そのストローク量の差を小さくすることができる。
【0030】
さらに、請求項3記載のコンタクトプローブによれば、側面視における幅を0.1mm以上0.5mm以下の範囲内で第2の刃部を形成したことにより、多用される0.5mm〜0.6mm程度のスルーホールに確実に接触させることができる。
【0031】
また、本発明における回路基板検査装置によれば、制御部がコンタクトプローブにおける第2の刃部の先端部を接触対象スルーホールの中心部分にプロービングすることにより、大小様々なスルーホールに対して第1および第2の刃部のいずれかを確実に接触させることができ、これにより、接触不良に起因する誤判別を防止することができる。また、本発明におけるコンタクトプローブを用いることにより、大径のスルーホールが数多く形成されている回路基板については、プロービング時の上下動に要する時間を短縮することができ、これにより、回路基板全体としての検査時間を短縮することができる。さらに、CADデータをプロービング用位置決めデータにそのまま用いることができる結果、プロービング用位置決めデータの作成作業が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係るコンタクトプローブ11の側面図である。
【図2】コンタクトプローブ11の刃部14,15の形状を説明するための説明図である。
【図3】コンタクトプローブ11における刃部14の刃先14aをランド22aに接触させた状態の側面図である。
【図4】コンタクトプローブ11における刃部15の刃先15aをランド23aに接触させた状態の側面図である。
【図5】本発明の実施の形態に係る回路基板検査装置1、および従来の回路基板検査装置31の構成を示すブロック図である。
【図6】検査対象の一例である回路基板Pの断面図である。
【図7】(a)は従来のコンタクトプローブ41の側面図、(b)は従来のコンタクトプローブ51の側面図である。
【図8】コンタクトプローブ41における刃部44の刃先44aをランド23aに接触させた状態の側面図である。
【図9】コンタクトプローブ51における刃部55の刃先55aをランド22aに接触させた状態の側面図である。
【図10】従来のコンタクトプローブ61の側面図である。
【図11】(a)はコンタクトプローブ61の刃部65をランド22aに接触させた状態の側面図、(b)は刃部64をランド23aに接触させた状態の側面図である。
【図12】スルーホール22に対するプロービング時のコンタクトプローブ41の側面図である。
【図13】スルーホール23に対するプロービング時のコンタクトプローブ51の側面図である。
【符号の説明】
1 回路基板検査装置
2 プローブ移動機構
3 制御部
11 コンタクトプローブ
13 下端部
13a 先端
14,15 刃部
14a,15a 刃先
22,23 スルーホール
H 高さ
P 回路基板
Pa 表面
W 横幅
θ1,θ2 傾斜角度
Claims (4)
- 検査対象の回路基板に接触可能な刃部が下端部に形成されたブレード形のコンタクトプローブにおいて、
前記刃部は、プロービング時に基板面に対して所定の傾斜角度で接触する刃先を有する第1の刃部と、当該第1の刃部における刃先の最下端部に連なって下向きに形成されると共に前記基板面に対して前記所定の傾斜角度よりも大きい傾斜角度で接触する刃先を有する第2の刃部とを少なくとも備え、前記第2の刃部の先端部を接触対象スルーホールの中心に向けてプロービングしたときに、当該両刃部のいずれかが当該接触対象スルーホールのランドに接触するように構成されていることを特徴とするコンタクトプローブ。 - 前記第1の刃部は、その刃先の前記傾斜角度が5度以上25度以下の角度範囲内で形成され、前記第2の刃部は、その刃先の前記傾斜角度が25度以上65度以下の範囲内で形成されていることを特徴とする請求項1記載のコンタクトプローブ。
- 前記第2の刃部は、前記基板面に沿った方向の側面視における幅が0.1mm以上0.5mm以下の範囲内で形成されていることを特徴とする請求項1または2記載のコンタクトプローブ。
- 請求項1から3のいずれかに記載のコンタクトプローブと、当該コンタクトプローブを移動させて前記回路基板に接触させるプローブ移動機構と、前記コンタクトプローブにおける前記第2の刃部の前記先端部が前記回路基板における前記接触対象スルーホールの中心部分に位置するように前記プローブ移動機構を制御する制御部とを備えていることを特徴とする回路基板検査装置。
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