JP4384290B2 - 走査型共焦点顕微鏡 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、試料に対する集束光の走査制御やデータ処理を改善して処理の高速化を図った走査型共焦点顕微鏡に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
走査型共焦点顕微鏡は、点状光源によって観察試料(以下、試料と称する)の表面を点状に照明し、この照明された試料表面からの透過光または反射光を再び点状に集光してピンホール開口を有する検出器に結像させ、この検出器により結像の輝度情報を得るという共焦点作用を利用した顕微鏡である。
【0003】
図6は、一般的な走査型共焦点顕微鏡の概略構成図である。
【0004】
点光源1から出射された点状光は、ハーフミラー2を通過したのち収差が補正された対物レンズ3によって試料4の表面に点状結像される。そして、この点状照明の試料4による反射光は、再び対物レンズ3を通過したのちハーフミラー2で反射されて集光する。この集光位置にはピンホール5が配置されており、このピンホール5を通過した上記反射光は光検出器6によって検出される。
【0005】
このような点状照明をラスタ走査等により試料4の表面の測定領域全体にわたって2次元走査を行い、その反射光の光検出器6による検出信号を画像表示することにより、試料4の表面の2次元画像が得られる。
【0006】
この2次元走査には例えばX方向にはガルバノスキャナやレゾナントスキャナ、Y方向にはガルバノスキャナが用いられている。これらX,Yスキャナにガルバノスキャナを組み合わせた場合は、試料4の表面の走査速度は約1枚/秒程度になり、走査速度を少し向上させるためにXスキャナにレゾナントスキャナを用いたものでは約5枚/秒程度となっている。なお、画素数は、1024×768画素となっている。
【0007】
このような走査型共焦点顕微鏡では、上記共焦点作用により段差のある試料4の表面全てに合焦した画像を得られる走査が可能である(以下、エクステンド走査)。これは焦点位置で得られる試料4の輝度は最大輝度となることを利用したもので、ある対物レンズ3(又は試料4)位置にて得られる試料4の輝度情報と対物レンズ3(又は試料4)を光軸方向に微少位置ずらしたところで得られる試料4の輝度情報とを比較し、これら2枚の画像の同一画素同士で輝度の高い方の画素を残して行くことで、最終的にある光軸方向範囲で得られる試料4の画像が試料4表面全体に合焦した2次元画像となる。また、上記画素比較の際、輝度が高いと判断された場合、その時の光軸方向の位置を記憶させることで最終的に試料4の高さ(凹凸)の情報が得られる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このようなエクステンド走査では、ある焦点位置における2次元走査による画像取込みが終了した後に、次の焦点位置に対物レンズ3(又は試料4)を所定ピッチでZ軸移動して、2次元走査による次の画像取込みを行なうようにしている。ところが、一般的に、焦点位置における2次元走査による画像取込みの周期と焦点位置移動の時間が同期していないため、走査の帰線期間中に焦点位置の移動が終了しない間に2次元走査による画像取込みが開始され、無駄データとなる。このため、次の画像取込みを空振り(データ取得しない)の時間に充なくてはならず、所望する枚数の画像を取得するのに多大な時間を要するという問題が生じる。
【0009】
そこで、画像の取込み時間を短縮するため、2次元走査による画像取込みを行いながら対物レンズ3(又は試料4)の焦点移動を行なうようにしたものもあるが、このようにしたものでは、画像取込みの走査中に焦点位置が移動しているので、取得された画像は、試料を斜めに走査したものとなり、エクステンド走査により高さの情報を得る過程を考えると、正確な情報となり得ないという問題があった。
【0010】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、短い時間で、正確な画像情報を取得することができる走査型共焦点顕微鏡を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の発明は、試料に対して集束光を照射して前記試料からの光を受光し、この受光強度に応じた検出信号を前記試料の画像情報として得る走査型共焦点顕微鏡において、前記試料に対して集束光を2次元走査する2次元走査手段と、前記試料に対する集束光の焦点位置を調整する焦点位置調整手段と、前記2次元走査手段および前記焦点位置調整手段のそれぞれの動作を制御し、前記2次元走査手段による1フレームの走査が終了するごとに、前記焦点位置調整手段による焦点位置の調整開始を指示するとともに、前記2次元走査手段の垂直帰線期間中に前記焦点位置調整手段の前記調整が完了する場合は、前記2次元走査手段の2次元走査を前記垂直帰線期間で禁止せず、前記2次走査手段の垂直帰線期間中に焦点位置調整手段の調整が完了しない場合は、前記垂直帰線期間終了時点で前記2次元走査手段の2次元走査を一時禁止する制御手段と、を具備したことを特徴としている。
【0012】
請求項2記載の発明は、試料に対して集束光を照射して前記試料からの光を受光し、この受光強度に応じた検出信号を前記試料の画像情報として得る走査型共焦点顕微鏡において、前記試料に対して集束光を2次元走査する2次元走査手段と、前記試料に対する集束光の焦点位置を調整する焦点位置調整手段と、前記2次元走査手段及び前記焦点位置調整手段のそれぞれの動作を制御する制御手段と、を有し、前記制御手段は、前記2次元走査手段による1ライン走査ごとに出力される水平同期信号、1フレーム走査ごとに出力される垂直同期信号、及び前記垂直同期信号に続けて出力される制御信号を管理し、前記垂直同期信号により前記焦点位置調整手段による焦点位置の調整開始を指示するとともに、前記焦点位置調整手段による焦点位置の調整完了が前記制御信号より前に通知された場合は、前記2次元走査手段の2次元走査を禁止せず、前記焦点位置調整手段による焦点位置の調整完了が前記制御信号より後に通知された場合は、前記制御信号の発生時点で前記2次元走査手段の2次元走査を一時禁止し、前記焦点位置の調整終了をまって前記2次元走査手段の2次元走査を開始させることを特徴としている。
【0013】
請求項3記載の発明は、請求項2記載の発明において、前記制御信号は、前記2次元走査手段の垂直帰線期間終了時点で出力されることを特徴としている。
【0014】
この結果、本発明によれば、エクステンド走査における2次元走査手段での2次元走査と焦点位置調整手段による焦点位置移動の同期を取ることで、無駄な2次元走査期間(データを取得できない空振り期間)を取り除くことができる。
【0015】
また、本発明によれば、2次元走査手段の垂直同期信号に続けて出力される制御信号との間の期間も焦点位置調整手段による焦点位置の調整に利用することができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
【0017】
(第1の実施の形態)
図1は、本発明が適用される走査型共焦点顕微鏡の概略構成を示している。
【0018】
図において、100は顕微鏡本体で、この顕微鏡本体100にはレーザー光源10が設けられている。このレーザー光源10は試料4の表面を走査するスポット光(集束光)としてのレーザー光を発生させるものである。このレーザー光源10の光路上にはミラー11が配置されている。このミラー11は、このレーザー光源10からのレーザー光を2次元走査機構12に導くための反射鏡である。
【0019】
2次元走査機構12は、ミラー11を介して得たレーザー光源10からのレーザー光を2次元走査駆動制御回路13での制御のもとで、スポット光として、XY方向に2次元走査するためのものである。
【0020】
2次元走査機構12を介して2次元走査されたスポット光は、対物レンズ14を介してステージ16上に載置された試料4に照射されるようにしている。この場合、対物レンズ14は、レボルバ15に取付けられている。このレボルバ15は、倍率の異なる複数の対物レンズ14を保持したもので、これら対物レンズ14のうちの所望の倍率を持つものを顕微鏡の観察光路中に位置設定可能にするとともに、後述する焦点移動機構23の指示により対物レンズ14を光軸方向に焦点移動できるようにしている。
【0021】
一方、試料4からの反射光は、対物レンズ14を通り2次元走査機構12に戻り、この2次元走査機構12からハーフミラー17へと戻されるようになっている。このハーフミラー17は、2次元走査機構12に対するレーザー光源10の出射光路上に設けられ、2次元走査機構12を介して得られる試料4からの反射光を検出系に導くための半透明鏡である。
【0022】
そして、ハーフミラー17介して得た試料4からの反射光は、レンズ18を透過され、ピンホール板19のピンホールを介して光検出器20で受光されるようにしている。レンズ18は、試料4からの反射光を集光するものであり、ピンホール板19は所要の径のピンホールを有し、光検出器20の受光面の前面のレンズ18の焦点位置に配置されている。また、光検出器20は、ピンホール板19のピンホールを介して得られる光をその光量対応の電気信号に変換する光検出素子からなっている。
【0023】
光検出器20で光電変換された信号は、2次元走査駆動制御回路13からのタイミング信号と共にコンピュータ21に送られ、コンピュータ21において画像化されモニタ22に、試料4の表面情報として表示されるようになっている。
【0024】
コンピュータ21には、焦点移動機構23が接続されている。この焦点移動機構23は、レボルバ15に接続されるとともに、2次元走査駆動制御回路13に接続されていて、コンピュータ21の指示によりレボルバ15の焦点移動と2次元走査機構12による2次元走査を同期して制御できるようにしている。
【0025】
図2は、このように構成された走査型共焦点顕微鏡の要部をさらに詳述するための図である。
【0026】
この場合、2次元走査機構12は、X軸方向走査用として例えばガルバノミラーまたはレゾナントスキャナからなるXスキャナ121とY軸方向走査用として例えばガルバノミラーからなるYスキャナ122を有し、Xスキャナ121は、ドライバ123により駆動されて2次元走査の主走査を行ない、Yスキャナ122は、ドライバ124により駆動されて2次元走査の副走査を行なうようにしている。
【0027】
焦点移動機構23は、ドライバ231を有し、レボルバ15による対物レンズ14の焦点移動を行なうようにしている。
【0028】
2次元走査駆動制御回路13は、X波形生成回路131、Y波形生成回路132および同期生成回路133を有している。X波形生成回路131は、例えばアドレスカウンタや波形メモリを有し、2次元走査機構12のドライバ123に対して駆動信号XDRIVEを出力してXスキャナ121の2次元走査の主走査を制御するとともに、1ラインの走査ごとに水平同期信号HDを出力し、また、Y波形生成回路132は、例えばアドレスカウンタや波形メモリを有し、同期生成回路133を経由したX波形生成回路131からのタイミング信号HD’で動作し、2次元走査機構12のドライバ124に対して駆動信号YDRIVEを出力してYスキャナ122の2次元走査の副走査を制御するとともに、1フレームの走査ごとに垂直同期信号VDを出力する。また、同期生成回路133は、X波形生成回路131の1ライン走査ごとの水平同期信号HDとY波形生成回路132の1フレーム走査ごとの垂直同期信号VDにより、モニタ22に試料4の画像を表示させるのに必要な同期信号SYNCを出力し、また、焦点移動機構23のドライバ231に対しレボルバ15による焦点移動の移動開始信号ZSTARTを出力するとともに、レボルバ15が所定距離だけ移動したところで、ドライバ231より移動終了信号ZENDを受取るようにしている。
【0029】
次に、以上のように構成した実施の形態の作用について説明する。
【0030】
いま、レーザー光源10から出力されたレーザー光は、ミラー11で2次元走査機構12に導かれ、この2次元走査機構12でXY軸方向に2次元走査され、走査されたレーザー光は、対物レンズ14を通して試料4上にスポット光として走査されながら照射される。
【0031】
一方、この試料4からの反射光は、対物レンズ14を通って2次元走査機構12に戻り、この2次元走査機構12からハーフミラー17、レンズ18、そしてピンホール板19を通って光検出器20に入射され、この光検出器20で光電変換され電気信号としてコンピュータ21に送出される。
【0032】
この場合、2次元走査機構12での2次元走査は、2次元走査駆動制御回路13により制御されるが、図2に示すX波形生成回路131では、波形メモリに図3に示す波形パターンを用意していて、2次元走査が開始されると図示しないアドレスカウンタが動作し、A→B→C→Aとアドレスが進むことで、図4(a)に示す周期的な駆動波形XDRIVEを2次元走査機構12のドライバ123に出力する。ドライバ123は、駆動波形XDRIVEを受取ると、Xスキャナ121を駆動して2次元走査の主走査を行なう。同時に、駆動波形XDRIVEのうちの帰線期間の始まりを知らせる信号、つまり、1ラインの走査ごとの水平同期信号HD(図4(b))を出力する。
【0033】
これにより、試料4の1ライン分の画素データが駆動波形XDRIVEのA−B間(例えば1024画素分)で得られることになる。
【0034】
一方、X波形生成回路131より水平同期信号HDが出力されると、同期生成回路133を経由して図4(c)に示すタイミング信号HD’がY波形生成回路132に与えられる。この場合、Y波形生成回路132は、X波形生成回路131と同様な図3に示す波形パターンを波形メモリに用意していて、同期生成回路133を経由したタイミング信号HD’を受けて1ラインごとにアドレスを進め、A→B→C→Aに応じた図4(d)に示す周期的な駆動波形YDRIVEを2次元走査機構12のドライバ124に出力する。ドライバ124は、駆動波形YDRIVEを受取ると、Yスキャナ122を駆動して2次元走査の副走査を行なう。同時に、駆動波形YDRIVEのうちの帰線期間の始まりを知らせる信号、つまり、1フレームの走査ごとに図4(e)に示す垂直同期信号VDを出力する。
【0035】
これにより、試料4の1フレームごとの画素データが駆動波形YDRIVEのA−B間(例えば768ライン分)で得られ、これらの動作を繰り返すことにより、試料4の画像がコンピュタ21を介してモニタ22に表示される。
【0036】
次に、エクステンド走査を説明する。
【0037】
この場合、予め、コンピュータ21より焦点移動機構23のドライバ231に対して1フレームごとのレボルバ15の移動距離が設定されている。
【0038】
この状態から、コンピュータ21より2次元走査駆動制御回路13の同期生成回路133にエクステンド走査が指示され、Y波形生成回路132が同期生成回路133を経由して与えられるタイミング信号HD’を、例えば図4(c)のa点のように受取ると、図4(d)のb点のように駆動波形YDRIVEを2次元走査機構12のドライバ124に出力する。この場合、波形メモリの図3に示すA点からYスキャナ122により2次元走査の副走査を行ない、同図B点までで1フレーム分(768ライン分)の画像データを取込み、同時に、図4(e)のc点で垂直同期信号VDを出力する。
【0039】
すると、同期生成回路133より図4(f)のd点で焦点移動機構23のドライバ231に対しレボルバ移動信号ZSTARTが出力され、このレボルバ移動信号ZSTARTによりレボルバ15の予め定められた距離の移動が開始される。同時に、図4(e)のc点の垂直同期信号VDにより図4(c)のe点からY波形生成回路132のアドレスカウンタを駆動するタイミング信号HD’をマスクする。この場合、アドレスカウンタを止められたY波形生成回路132は、図3のB点の位置で保持され、これにより、レボルバ15が移動される間は、2次元走査の副走査は一時停止されることになる。
【0040】
その後、レボルバ15の所定距離の移動が完了すると、図4(g)のf点でドライバ231より同期生成回路133に移動完了信号ZENDが出力される。この移動完了信号ZENDを同期生成回路133が受取ると、図4(c)のg点でタイミング信号HD’をマスクが解除され、次の主走査のタイミングで有効とすることで、Y波形生成回路132は、通常動作に戻り、次のフレーム走査に移行される。
【0041】
以下、同様にして、焦点位置における2次元走査による1フレームの画像取込みを終了するごとに、所定の移動量で焦点移動を行ない、次の焦点位置に移動して、次の2次元走査による1フレームの画像取込みを行なうエクステンド走査が行なわれることになる。
【0042】
従って、このような構成によれば、エクステンド走査の際のレボルバ15による焦点位置の移動に基づいて2次元走査機構12のYスキャナ122による2次元走査の副走査期間を制御し、レボルバ15の移動距離に対応させて次フレーム走査への処理に移行させるようにできるので、エクステンド走査中の隣り合う2つの焦点位置間の2次元走査と焦点位置調整移動の非同期性を吸収できるようになり、従来の走査の帰線期間中に焦点位置の移動が終了しないと、次の画像取込みを空振り(データ取得しない)とするものと比べ、無駄な2次元走査期間(データを取得できない空振り期間)を取り除くことができ、画像の取込み時間を大幅に短縮でき、また、従来の画像の取込み時間を短縮するため、2次元走査による画像取込みを行いながら焦点移動を行なうため取得された画像が試料を斜めに走査するものと比べて、常に正確な画像情報を取得することができる。
【0043】
(第2の実施の形態)
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。
【0044】
この場合、第1の実施の形態で述べた図1および図2については、第2の実施の形態でも同様なので、これら図1および図2を援用し、また、図3に示すX波形生成回路131の波形メモリの波形パターンも、同図を援用するものとする。
【0045】
また、Y波形生成回路132の波形メモリの波形パターンは、図5に示すように波形メモリのアドレスBに垂直同期信号VDを、アドレスCに制御信号ENをそれぞれ出力するようにしている。
【0046】
このようにしても、ある1フレームの画像データの取得が行なわれると、予め設定された距離だけレボルバ15が焦点移動されるようになるが、ここまでの動作は、第1の実施の形態と同様である。
【0047】
この場合、図5に示す波形パターンの垂直帰線期間(アドレスB→C間)中も2次元走査は止まらないようになっており、仮に、レボルバ15の焦点移動の距離(時間)が小さく、垂直帰線期間B→C間でレボルバ15の移動が完了してしまい、ドライバ231からの移動完了信号ZENDよりも制御信号ENの方が後から同期生成回路133に通知されるような場合は、2次元走査を止めることなく、連続したフレームでデータ取得を行うようになる。また、レボルバ15の焦点移動の距離(時間)が大きく、垂直帰線期間B→C間でレボルバ15の移動が完了せずに、次フレーム内に完了時点が食い込んでしまい制御信号ENよりも移動完了信号ZENDが後で同期生成回路133に通知されるような場合は、制御信号ENの発生時点で2次元走査を一時停止し、ドライバ231からの移動完了信号ZENDを待ってから次のフレームの走査を再開するようになる。
【0048】
従って、このようにすれば、垂直帰線期間B→Cも有効に焦点位置調整のためのレボルバ15の移動期間に利用することができるので、さらに効率のよい画像情報の取得を期待することができる。
【0049】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、エクステンド走査中の連続する焦点位置の移動にともなう2次元走査手段での2次元走査と焦点位置調整手段による焦点位置移動の非同期性を吸収できるので、無駄な2次元走査期間(データを取得できない空振り期間)を取り除くことができ、短い時間で、正確な画像情報を効率よく取得することができる。
【0050】
また、本発明によれば、2次元走査手段の垂直同期信号に続けて出力される制御信号との間の期間も焦点位置調整手段による焦点位置の調整に利用することができるので、さらに効率のよい画像情報の取得を期待することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態の概略構成を示す図。
【図2】第1の実施の形態の要部を詳述するための図。
【図3】第1の実施の形態の動作を説明するための図。
【図4】第1の実施の形態の動作を説明するためのタイムチャート。
【図5】本発明の第2の実施の形態を説明するための図。
【図6】従来の走査型共焦点顕微鏡の概略構成を示す図。
【符号の説明】
4:試料、
10:レーザ光源、
11:ミラー、
12:2次元走査機構、
121:Xスキャナ
122:Yスキャナ
123、124:ドライバ
13:2次元走査駆動制御回路、
131:X波形生成回路
132:Y波形生成回路
133:同期生成回路
14:対物レンズ、
15:レボルバ、
16:ステージ、
17:ハーフミラー、
18:レンズ、
19:ピンホール板、
20:光検出器、
21:コンピュータ、
22:モニタ、
23:焦点移動機構、
231:ドライバ
Claims (3)
- 試料に対して集束光を照射して前記試料からの光を受光し、この受光強度に応じた検出信号を前記試料の画像情報として得る走査型共焦点顕微鏡において、
前記試料に対して集束光を2次元走査する2次元走査手段と、
前記試料に対する集束光の焦点位置を調整する焦点位置調整手段と、
前記2次元走査手段および前記焦点位置調整手段のそれぞれの動作を制御し、前記2次元走査手段による1フレームの走査が終了するごとに、前記焦点位置調整手段による焦点位置の調整開始を指示するとともに、前記2次元走査手段の垂直帰線期間中に前記焦点位置調整手段の前記調整が完了する場合は、前記2次元走査手段の2次元走査を前記垂直帰線期間で禁止せず、前記2次走査手段の垂直帰線期間中に焦点位置調整手段の調整が完了しない場合は、前記垂直帰線期間終了時点で前記2次元走査手段の2次元走査を一時禁止する制御手段と、
を具備したことを特徴とする走査型共焦点顕微鏡。 - 試料に対して集束光を照射して前記試料からの光を受光し、この受光強度に応じた検出信号を前記試料の画像情報として得る走査型共焦点顕微鏡において、
前記試料に対して集束光を2次元走査する2次元走査手段と、
前記試料に対する集束光の焦点位置を調整する焦点位置調整手段と、
前記2次元走査手段及び前記焦点位置調整手段のそれぞれの動作を制御する制御手段と、を有し、
前記制御手段は、前記2次元走査手段による1ライン走査ごとに出力される水平同期信号、1フレーム走査ごとに出力される垂直同期信号、及び前記垂直同期信号に続けて出力される制御信号を管理し、前記垂直同期信号により前記焦点位置調整手段による焦点位置の調整開始を指示するとともに、前記焦点位置調整手段による焦点位置の調整完了が前記制御信号より前に通知された場合は、前記2次元走査手段の2次元走査を禁止せず、前記焦点位置調整手段による焦点位置の調整完了が前記制御信号より後に通知された場合は、前記制御信号の発生時点で前記2次元走査手段の2次元走査を一時禁止し、前記焦点位置の調整終了をまって前記2次元走査手段の2次元走査を開始させること、
を特徴とする走査型共焦点顕微鏡。 - 前記制御信号は、前記2次元走査手段の垂直帰線期間終了時点で出力されることを特徴とする請求項2記載の走査型共焦点顕微鏡。
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