JP4381374B2 - 洗浄装置 - Google Patents

Description

本発明は、工程毎の移送処理が不要であって、一つの槽内で洗浄工程から乾燥工程までを自動的に実行できる単槽式の洗浄装置に関する。

本出願人は、先に、炭化水素系有機溶剤を用いる一槽式の洗浄装置を提案しており（特許文献１）、非常に好評を博している。
特開平０９−１４１２１６公報

この洗浄装置は、開閉弁を通して連通する洗浄槽及び貯留槽と、これらを減圧する真空ポンプとを中心に構成されている。そして、真空ポンプの作用によって、洗浄槽と貯留槽の間の洗浄液の給排液を実現する点、及び、洗浄槽において超音波洗浄、蒸気洗浄、及び真空乾燥を実現する点に大きな特徴がある。

上記の洗浄装置は、小型でありながら高性能である点で極めて優れているが、省力化や更なる高性能化が望まれていた。すなわち、洗浄対象物（ワーク）には、エアポケットとも呼ばれる袋穴を有するものもあり、このような場合には、超音波洗浄時に減圧と復圧を繰り返すと共に、ワークを適宜に回転させるのが有効であり、かかる動作を確実に実現する簡易な構成が望まれていた。しかも、作業員の作業負担を軽減化できると更に好ましい。

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、より高性能で省力化を実現した洗浄装置を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するため、本発明は、バスケットに収容したワークを洗浄する洗浄槽と、前記洗浄槽に洗浄液を供給すると共に使用後の洗浄液を回収する回収塔と、前記回収塔から受けた洗浄液を蒸留再生する蒸留器と、前記各部を適宜に減圧する減圧機構と、前記バスケットを前記洗浄槽に搬入及び搬出する昇降装置と、装置全体の動作を制御する制御部とを備えて構成され、前記昇降装置には、上下動する可動ベース板と、前記可動ベース板から延設される係止部とが設けられ、前記係止部に保持された前記バスケットを、前記洗浄槽の中に降下させることにより、前記洗浄槽の側壁に突設された駆動軸によって前記バスケットを回転可能な状態にする第一手段と、その後、前記バスケットを残したまま、前記係止部及び前記可動ベース板を更に降下させることで、前記可動ベース板によって前記洗浄槽の上部開口を閉塞状態にする第二手段と、を有することにより、前記回収塔から導入された洗浄液を用いる減圧下での超音波洗浄動作、前記蒸留器から導入された洗浄蒸気を用いる減圧下での蒸気洗浄動作、減圧下での真空乾燥動作を、前記閉塞状態を維持したまま前記洗浄槽において実行可能にした。

バスケットの形状は、特に限定されないが、円筒状又は多角形筒状に形成されているのが好ましい。更に好ましくは、洗浄槽の中で回転可能に構成されているのが良い。例えば、筒形状のバスケットの軸方向両端に、軸方向に延びる突出部を設けるのが望ましく、このような突出部としては、円柱状又は円筒状に構成さえているのが望ましい。

洗浄装置で使用する洗浄液も特に限定されないが、有機溶剤を使用するのが好ましく、好適な有機溶剤としては、トリクロロエチレン等の塩素系有機溶剤ではなく、イソパラフィン系、ノルマルパラフィン系、ナフテン系等の炭化水素系有機溶剤または二種以上の炭化水素系溶剤の混合溶剤が採用される。但し、洗浄液としてグリコール溶剤を使用するのも好適であり、また、炭化水素系溶剤およびグリコール系溶剤の二種以上を選択した混合溶剤であっても良い。

本発明は、洗浄槽の密閉蓋を兼ねた、上下動する可動ベース板と、可動ベース板から延設される係止部とを備える昇降装置が特徴的である。ここで、係止部は、可動ベース板の両端から下方に延びているのが好適である。また、好ましくは、一対の係止部は、バスケットを軸方向両側から保持できる構成が良い。この場合、各係止部には、バスケットを保持する際に、バスケットを所定位置に移動させるスライド片が設けられているのが好ましい。具体的には、バスケットの中心軸が、洗浄槽の中心位置に移動する構成が好ましい。

なお、前記洗浄槽の上部には、処理前のバスケットを前記昇降装置に引き渡すと共に、処理後のバスケットを前記昇降装置から受け取るための移送テーブルが設けられ、前記移送テーブルには、前記バスケットの軸方向長さに対応する左右幅を有して、前記バスケットの底部を受け入れる凹部が設けられるのも好適である。

本発明の移送テーブルは、洗浄槽の上部開口を完全に開放する第１状態と、洗浄槽の真上に位置する第２状態とに、スライド移動可能に構成するのが好ましい。この場合、第１状態において人為的にバスケットを受け取り、その後、水平方向に移動して第２状態に移行し、昇降装置にバスケットを自動的に引き渡した後、第１状態に戻るよう移動するのが好適である。また、その後、第１状態で待機し、水平方向に移動して第２状態に移行して、昇降装置からバスケットを自動的に受け取り、第１状態に戻るよう移動するのが好適である。

また、前記バスケットは、多数の開口を有する筒状に形成されて、その軸方向両端には突出部が設けられ、前記突出部の少なくとも一方には、駆動モータの回転力を前記バスケットに伝える伝達部が設けられるのも好適である。

突出部は、円筒形又は円柱形に構成するのが好適である。また、伝達部は、突出部の一部を切欠いて形成するのが好ましい。この場合、駆動モータから板状の駆動軸が突出させるのが好適であり、この板状の駆動軸は、停止状態では、板面が垂直に立つように静止させるのが好適である。

好ましくは、前記洗浄槽の側壁の水平方向の中央位置には、駆動モータによって回転される駆動軸が突出され、前記駆動軸の周りには、前記バスケットの回転を支える支持部材が設けられている。

支持部材は、前記洗浄槽の側壁から突出して自由回転する回転体であるのが好適である。この場合、駆動軸の両側に回転体を設けることで、バスケットを支持し、駆動軸をバスケットの一部に歯合させるのが好ましい。駆動軸を歯合させる具体的態様は、種々考えられるが、バスケットから回転軸を突出させ、回転軸に設けたキー溝と駆動軸とを歯合させるのが効果的である。この場合、駆動軸は板状に形成し、停止状態では、板面が垂直に立つように静止させるのが好適である。

以上説明した本発明によれば、大幅に自動化されて省力化され、しかも高性能の洗浄装置を実現できる。

以下、実施例に基づいて本発明を更に詳細に説明する。図１は、実施例に係る洗浄装置ＷＡＳＨの正面図（ａ）と平面図（ｂ）である。また、図２は、図１の洗浄装置ＷＡＳＨの内部構成を示すフロー図である。

図示の通り、この洗浄装置ＷＡＳＨは、ワークの洗浄処理から乾燥処理までを一槽で実行する洗浄槽１と、洗浄槽１に洗浄液を供給すると共に使用後の洗浄液を回収する回収塔２と、回収塔２から受けた洗浄液を蒸留再生する蒸留器３と、上記各部１〜３を適宜に減圧する真空ポンプ４と、ワークを収容したバスケットＢＫを洗浄槽１に搬入及び搬出する昇降装置５と、装置全体の動作を制御する制御部６とを中心に構成されている。

図２に示す通り、洗浄槽１の上部には、処理前のバスケットＢＫを昇降装置５に引き渡すと共に、処理後のバスケットＢＫを昇降装置５から受け取るための移送テーブルＴＢＬが設けられている。この移送テーブルＴＢＬは、ワークを収容したバスケットＢＫを載置して、手動操作によって図１（ｂ）の左右方向にスライド移動できるように構成されている。また、洗浄槽１の側壁には、収納されたバスケットＢＫを回転させる駆動モータＭＯの駆動軸ＤＲが突設されている（図１（ａ））。また、洗浄槽１の底部には超音波発信器が設けられている。

図２に示す通り、蒸留器３には、オイルタンクＯＴとオイルポンプＰとを備える加熱ラインＨＯＴが設けられており、内部の洗浄液が減圧状態で沸騰している。また、蒸留器３には、回収塔２から洗浄液を受ける液面調整タンク９が接続されている。

一方、蒸留器３と洗浄槽１とは、開閉弁Ｖ１を通して接続されており、必要時には、洗浄槽１に洗浄蒸気が供給されるようになっている。また、蒸留器３と洗浄槽１の予熱部８とは、開閉弁Ｖ２を通して接続されており、予熱部８と回収塔２とは、逆止弁Ｖ１２を通して接続されている。したがって、蒸留器３から出力された洗浄蒸気は、洗浄槽１を予備加熱した後、回収塔２の液中に導入されて液置換されることになる。

洗浄槽１は、開閉弁Ｖ５を通して真空ポンプ４に接続されており、必要時には、この経路を通して洗浄槽１が減圧される。一方、洗浄槽１と回収塔２とは開閉弁Ｖ７，Ｖ８を通して接続されている。ここで、開閉弁Ｖ８は、洗浄液の移送時に開放され、開閉弁Ｖ７は、洗浄槽１と回収塔２とを同一気圧にする時に開放される。また、洗浄槽１の底部と回収塔２とは、開閉弁Ｖ４と逆止弁Ｖ１１を通して接続されている。なお、開閉弁Ｖ３は洗浄槽１を大気開放する時に開放される。

回収塔２には、冷却水ラインＣＯＯＬが設けられており、逆止弁Ｖ１１や逆止弁Ｖ１２を通して供給された洗浄蒸気が、確実に液回収されるようになっている。また、回収塔２は、開閉弁Ｖ６を通して真空ポンプ４に接続されており、必要時には、この経路を通して回収塔２が減圧される。

真空ポンプ４の下流側には、開閉弁Ｖ９を通してアフタークーラ７が設けられ、ここでトラップされた洗浄液は、凝縮液タンクＴＫに回収される。なお、アフタークーラ７の入力側は、開閉弁Ｖ１０を通して回収塔２に接続されている。この開閉弁Ｖ１０は、回収塔２を大気開放する時に開放される。

図３は、ワークを収容するバスケットＢＫを図示したものである。バスケットＢＫの形状は、特に限定されるものではなく、円柱やその他の角柱でも良いが、ここでは、略六角柱状のバスケットＢＫを示している。図示の通り、このバスケットＢＫは、一様に開口穴ＨＯを有する六つの周壁面１０が、正六角形の側板１１Ａ，１１Ｂで閉塞されて構成されている。

周壁面１０は、詳細には、板材からなる第１部材１０Ａと、板材を屈曲形成してなる第２部材１０Ｂとに区分される。そして、第１部材１０Ａと第２部材１０Ｂが、ヒンジ１１によって連結される一方、ロック機構１２によって開閉可能に構成されている。したがって、開放状態のバスケットＢＫにワークを投入した後、ロック機構１２によって第１部材１０Ａと第２部材１０Ｂをロック状態に閉塞するとワークの収容が完了する。

２つの側板１１Ａ，１１Ｂには、その外周の一辺に、突出板１３，１３が設けられている。この突出板１３は、バスケットＢＫの軸方向に突出する板材であり、昇降装置５に持ち上げられる部分である。また、側板１１Ａ、１１Ｂの中心には、バスケットＢＫの軸方向に延びる突出部１４Ａ，１４Ｂが設けられている。突出部１４Ｂは単純な円筒形状である（図３（ｄ））。一方、突出部１４Ａは、円筒形状の中心部が、軸方向に延びるＵ字状の屈曲板１５によって切欠かれている。すなわち、突出部１４Ａは、２つの略半円筒が対面して形成されている。そして、屈曲板５の部分に、駆動モータＭＯの回転軸と一体に回転する板状の駆動軸ＤＲが挿入されるようになっている（図３（ｅ）参照）。

図１（ａ）に示すように、昇降装置５は、上下動する可動ベース板２０と、可動ベース板２０の両側から下方に延びる板状の係止部２１，２１と、可動ベース板２０を適宜に昇降させるエアーシリンダ２２とを中心に構成されている。ここで、可動ベース板２０は、下限位置まで降下すると、洗浄槽１を密閉する蓋として機能する。

エアーシリンダ２２のシリンダ本体２２Ａは、本装置のフレームＦＲに固着され、シリンダロッド２２Ｂは、可動ベース板２０に固着されている。また、可動ベース板２０には、二本の案内ロッド２３が固着され、案内ロッド２３を通過させる案内ブッシュ２４は、フレームＦＲに固着されている。

図４（ａ）は、昇降装置５の係止部２１，２１とバスケットＢＫとの関係を拡大して図示したものである。なお、図示の状態では、昇降装置５は、ホームポジションに位置している。２つの係止部２１，２１は、互いに対面してバスケットＢＫの両側に位置するが、それぞれ、中央開口を設けた矩形状の本体板２５と、本体板２５に固定されたスライド片２６とを中心に構成されている（図４（ｃ）参照）。

図４（ｂ）に示す通り、本体板２５の下方の両端部は、内向きに（バスケットＢＫに向けて）直角に屈曲されて、スライド片２６の取付台２５ａを構成している。ここで、スライド片２６は、急峻な傾斜角を有する肉厚の三角板であり、その急峻な斜辺が、バスケットＢＫの突出板１３を下方に誘導する傾斜面となっている。なお、このようなスライド片２６が、取付台２５ａの下方からネジ込まれたボルトによって取付台２５ａに固定されている。

図５は、移送テーブルＴＢＬの平面図（ａ）と、Ａ−Ａ断面図（ｂ）である。図示の移送テーブルは、図５（ａ）の左右方向にスライド移動可能に構成されている。そして、移送テーブルの中央には、凹部３０が形成されている。凹部３０の左右幅Ｗは、バスケットＢＫの軸方向長さに対応して、ほぼ同一長さに設定されている。一方、凹部３０のスライド方向の長さＬは、バスケットＢＫの径方向の長さに対応して、ほぼ同一に設定されている。

凹部３０の内部には、スライド方向に直交して、４つの丸パイプ３１ａ，３１ｂが掛け渡されている。これらは、バスケットＢＫを所定の姿勢に保持するためのものであり、丸パイル３１ａ，３１ａは、凹部３０の底面に近接して配置される一方、丸パイプ３１ｂ，３１ｂは、凹部３０の頂面に近接して配置されている。

本実施例の移送テーブルＴＢＬは、六角柱形状のバスケットＢＫに対応して、上記の通りに構成されているので、移送テーブルＴＢＬにバスケットＢＫを載置すると、バスケットＢＫが、移送テーブルＴＢＬの凹部３０に嵌って、図１（ａ）の状態に正しく位置決めされることになる。

図６は、洗浄槽１の側壁部分を説明する図面である。図１（ａ）に示すように、洗浄槽１の側壁水平方向の中心位置には、駆動モータＭＯの回転軸が貫通して突出している。この回転軸には、矩形板状の駆動軸ＤＲが設けられ、停止状態では、その板面が垂直に立つように静止している（図６（ａ）参照）。駆動軸ＤＲの左右位置には、自由回転する２つの案内ローラＲＬ，ＲＬが、洗浄槽１の側壁から突出して設けられている（図６（ａ））。一方、洗浄槽１の反対側側壁の対称位置には、自由回転する２つの案内ローラＲＬ，ＲＬのみが突出して設けられている。

駆動軸ＤＲは、バスケットＢＫの突出部１４Ａと係合して、バスケットＢＫを回転させるが（図３（ｅ）参照）、バスケットＢＫが回転する状態では、突出部１４Ａの円筒状の外周は、案内ローラＲＬ，ＲＬに接触している（図６（ｂ））。この時、反対側の突出部１４Ｂの外周は、案内ローラＲＬ，ＲＬに接触して回転している（図６（ｃ））。

続いて、以上の構成からなる洗浄装置ＷＡＳＨの動作内容を説明する。図７は、ワーク投入状態、図８は、ワーク保持状態、図９はワーク洗浄状態を概略的に示している。
＜ワーク投入＞
最初に、ワークを収容したバスケットＢＫを用意し、これを移送テーブルＴＢＬに載置する。より具体的には、バスケットＢＫの突出板１３，１３を、最上部で水平に設定して（図３（ａ）参照）、バスケットＢＫの底部を、移送テーブルＴＢＬの凹部３０に嵌める。図５に関して説明したように、バスケットの左右幅は、凹部３０の左右幅Ｗに一致しており、且つ、凹部３０に設けられた丸パイプ３１ａ，３１ｂが、バスケットＢＫの外周形状に対応しているので、バスケットＢＫを載置するだけで正しく位置決めできることになる。

続いて、移送テーブルＴＢＬをスライドさせてバスケットＢＫを洗浄槽１の真上である限界点まで押し込む。なお、この時には、昇降装置５は、図４（ａ）に示すホームポジションに位置しているので、バスケットＢＫの突出板１３，１３は、昇降装置５のスライド片２６に当たることはない。そして、移送テーブルＴＢＬを限界位置まで押し込むと、突出板１３は、２つのスライド片２６，２６の上方であって、スライド片２６，２６に挟まれる位置に正しく配置されることになる（図４（ａ）（ｃ）参照）。
＜ワーク保持＞
続いて、作業員が制御部６に指示を与えると、昇降装置５が動作して上昇する。図８は、この上昇状態を図示したものであり、昇降装置５の係止部２１，２１が、バスケットＢＫの突出板１３，１３を保持して吊り上げている。

この吊り上げ動作では、バスケットＢＫの軸方向左右の突出板１３，１３が、各２つのスライド片２６，２６を滑りつつ持ち上げられる。そのため、バスケットＢＫと昇降装置５との位置関係に、仮にズレがあったとしても、突出板１３の両端部が、スライド片２６，２６の急峻な斜面をスライドすることによって、バスケットＢＫの中心軸（突出部１４）が、洗浄槽１に対して正確に位置決めされる。言い換えると、バスケットＢＫが昇降装置５によって吊り上げられた図７の状態では、バスケットＢＫの径方向の中心に位置する突出部１４Ａ，１４Ｂと、洗浄槽１の水平方向の中心位置に対応して設けられた駆動軸ＤＲ及び案内ローラＲＬとが、正確に位置決めされることになる。なお、図７及び図８では、便宜上駆動軸ＤＲの図示を省略している。

このようにバスケットＢＫは、昇降装置５の係止部２１，２１によって吊り上げられるので、作業員は、バスケットＢＫを残して、移送テーブルＴＢＬだけを引き出す。
＜ワーク洗浄＞
続いて、制御部６に作業開始の指示をすると、昇降装置５が降下動作を開始する。先に説明した通り、移送テーブルＴＢＬが引き出されているので、洗浄槽１の上部は開放状態であり、昇降装置５は、バスケットＢＫを洗浄槽１の中に降下させることになる。

ここで、バスケットＢＫの突出部１４Ａ，１４Ｂと、洗浄槽１の側壁から突出する駆動軸ＤＲ及び案内ローラＲＬとは、正しく位置決めされているので、バスケットＢＫを降下させると、やがて、突出部１４Ａ，１４Ｂが案内ローラＲＬに正しく当接されることになる。また、案内ローラＲＬとの当接時には、突出部１４ＡのＵ字状屈曲板１５は、駆動モータＭＯの駆動軸ＤＲを正しく受け入れることになる（図３（ｅ））。

昇降装置５は、バスケットＢＫと案内ローラＲＬとの当接後も、バスケットＢＫを残して更に降下動作を続ける。そして、昇降装置５の可動ベース板２０が、洗浄槽１の上部開口を閉塞させた段階で降下動作を終了する。図９は、昇降装置５が降下動作を終えた状態を図示したものであり、バスケットＢＫが案内ローラＲＬに保持され、可動ベース板２０が、洗浄槽１を確実に密閉している状態を示している。

このようにして準備動作が終わると、後は、（１）減圧下での超音波洗浄→（２）蒸気洗浄→（３）真空乾燥の各動作が、バスケットＢＫの移動を伴うことなく自動的に行われる。なお、各動作は、駆動モータＭＯによってバスケットＢＫを回転させながら行われる。以下、図２を参照しつつ各動作をより詳細に説明する。
（１）減圧超音波洗浄
先ず、開閉弁Ｖ５のみを開放状態にして、真空ポンプ４によって洗浄槽１を所定レベルまで脱気する。その後、開閉弁Ｖ５を閉じた後に、開閉弁Ｖ１０を開放すると共に、開閉弁Ｖ８を開放する。すると、洗浄槽１が減圧状態であることから、回収塔２に貯留されている洗浄液が洗浄槽１に一気に導入される。

その後、開閉弁Ｖ１０と開閉弁Ｖ８を閉じて、超音波発振器を動作させて超音波洗浄動作を開始する。この超音波洗浄時には、減圧と復圧を適度に繰り返すので、ワークの袋穴の奥まで完全に脱脂することができる。なお、この超音波洗浄動作中に開閉弁Ｖ６が開放され、回収塔２は、真空ポンプ４によって減圧状態になっている。

超音波洗浄処理が終わると、開閉弁Ｖ３を開放すると共に開閉弁Ｖ４を開放する。すると、回収塔２が減圧状態であることから、洗浄槽１の洗浄液は、回収塔２に一気に回収される。
（２）蒸気洗浄
続いて、開閉弁Ｖ３，Ｖ８を閉じた後、開閉弁Ｖ５を開放して真空ポンプ４を動作させて洗浄槽１を適度なレベルまで減圧する。しかる後、開閉弁Ｖ５を閉じて、開閉弁Ｖ１，Ｖ４，Ｖ６を開放する。すると、蒸留器３からの洗浄蒸気が洗浄槽１に導入されるので、ワークに付着している洗浄液は、高純度の洗浄蒸気で洗い流されることになり、仕上げリンス処理が実現される。なお、このリンス処理によってワークが加熱されることになり、乾燥に必要な自熱が与えられることにもなる。
（３）真空乾燥
蒸気洗浄処理が終われば、真空ポンプ４が動作状態のまま、先ず、開閉弁Ｖ１を閉じた後、時間をおいて開閉弁Ｖ４と開閉弁Ｖ６を閉じる。しかる後、開閉弁Ｖ５を開いて洗浄槽１を更に減圧する。このような動作の結果、無酸素状態において、ワークの自熱だけで高速に洗浄液が沸騰乾燥することになり、ワークにシミを残すことがない。

以上のようにして乾燥処理が終わると、開閉弁Ｖ５を閉じると共に、開閉弁Ｖ３を開放し洗浄槽１を大気圧状態に戻す。
（４）蒸留再生
なお、上記の動作とは別に、使用された洗浄液の蒸留再生処理が行われるが、その時には、開閉弁Ｖ２，Ｖ６が開放される。この状態では、蒸留器３からの洗浄蒸気が予熱部８を加熱した後、回収塔２に導入されることで、液化回収されることになる。

何れにしても上記（３）の真空乾燥処理が終わると、昇降装置５が上昇する。すると、先ず、昇降装置５の係止部１２が、バスケットＢＫの突出部１４Ａ，１４Ｂを持ち上げることで、昇降装置５がバスケットＢＫを保持する。この状態のまま昇降装置５は更に上昇して、図８に示す最上部の位置で停止する。

この停止状態では、昇降装置５は、図７に示すホームポジションより上に位置している。したがって、作業員は、昇降装置５に阻止されることなく、吊り上げられたバスケットＢＫの直ぐ下に、移送テーブルＴＢＬを移動させることができる。

その後、受け取りの準備ができたことを制御部６に指示すると、昇降装置５がホームポジションの位置まで降下して停止する。この状態では、昇降装置５とバスケットＢＫの位置関係は、図４（ａ）の通りであるので、作業員は移送テーブルＴＢＬを引き戻すことによって、洗浄作業後のバスケットＢＫを取り出すことができる。

以上、本発明の実施例について詳細に説明したが、具体的な記載内容は本発明を限定する趣旨ではない。すなわち、本発明の趣旨を逸脱することなく各種の変更が可能である。例えば、実施例では、超音波洗浄→蒸気洗浄→真空乾燥の一連の動作について説明したが、本装置によれば、超音波洗浄工程や真空乾燥工程だけの運転も可能であるのは言うまでもない。

実施例に係る洗浄装置の正面図（ａ）と平面図（ｂ）である。 図１の洗浄装置のフロー図である。 バスケットの各部を示す図面である。 昇降装置のホームポジションとバスケットの位置関係を示す図面である。 移送テーブルＴＢＬを示す図面である。 洗浄装置の内部構造とバスケットとの位置関係を図示したものである。 ワーク投入動作を説明する図面である。 ワーク保持動作を説明する図面である。 ワーク洗浄動作を説明する図面である。

符号の説明

ＢＫ バスケット
１ 洗浄槽
２ 回収塔
３ 蒸留器
４ 減圧機構（真空ポンプ）
５ 昇降装置
５ 制御部
２０ 可動ベース板
２１ 係止部

Claims (4)

1. バスケットに収容したワークを洗浄する洗浄槽と、前記洗浄槽に洗浄液を供給すると共に使用後の洗浄液を回収する回収塔と、前記回収塔から受けた洗浄液を蒸留再生する蒸留器と、前記各部を適宜に減圧する減圧機構と、前記バスケットを前記洗浄槽に搬入及び搬出する昇降装置と、装置全体の動作を制御する制御部とを備えて構成され、
   前記昇降装置には、上下動する可動ベース板と、前記可動ベース板から延設される係止部とが設けられ、
   前記係止部に保持された前記バスケットを、前記洗浄槽の中に降下させることにより、前記洗浄槽の側壁に突設された駆動軸によって前記バスケットを回転可能な状態にする第一手段と、
   その後、前記バスケットを残したまま、前記係止部及び前記可動ベース板を更に降下させることで、前記可動ベース板によって前記洗浄槽の上部開口を閉塞状態にする第二手段と、を有することにより、
   前記回収塔から導入された洗浄液を用いる減圧下での超音波洗浄動作、前記蒸留器から導入された洗浄蒸気を用いる減圧下での蒸気洗浄動作、減圧下での真空乾燥動作を、前記閉塞状態を維持したまま前記洗浄槽において実行可能にしたことを特徴とする洗浄装置。
2. 前記洗浄槽の駆動軸の周りには、前記バスケットの回転を支える支持部材が設けられている請求項１に記載の洗浄装置。
3. 前記昇降装置の係止部は、可動ベース板の下方の両端部に固定されたスライド片を有し、前記スライド片の急峻な斜辺が、バスケットに設けられた突出板を下方に誘導する傾斜面となっている請求項１又は２に記載の洗浄装置。
4. 前記洗浄槽を所定レベルまで減圧することで形成される前記回収塔との圧力差に基づいて、前記回収塔の洗浄液を一気に導入する第三手段と、
   前記駆動軸によって前記バスケットを回転させつつ、第三手段で導入された洗浄液によって前記ワークを洗浄する第四手段と、
   減圧状態の前記回収塔と大気開放された前記洗浄槽との圧力差に基づいて、前記洗浄液を前記回収塔に回収する第五手段とを更に有する請求項１〜３の何れかに記載の洗浄装置。

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