JP4379134B2 - 多孔質静圧気体軸受パッド及びこれを用いた静圧気体軸受機構 - Google Patents
多孔質静圧気体軸受パッド及びこれを用いた静圧気体軸受機構 Download PDFInfo
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- 230000003068 static effect Effects 0.000 title claims description 21
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 19
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 19
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 18
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000003796 beauty Effects 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 20
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 8
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 1
- QLOAVXSYZAJECW-UHFFFAOYSA-N methane;molecular fluorine Chemical compound C.FF QLOAVXSYZAJECW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
Images
Description
2 ガラス板
3 案内レール
4 下面
5 上面
6 軸受パッド
11 隔壁
21、22、23、24 多孔面
31 端面
32 平坦面
33、34 開口
Claims (7)
- 可動体を固定体に対して移動自在に保持すベく可動体と固定体との間に介在させる多孔質静圧気体軸受パッドであって、可動体に隙間をもって対面するための平坦面を有しており、この平坦面は、多数の細孔の開口を夫々有した第一及び第二の多孔面と、この第一の多孔面に対して第二の多孔面を隔離する隔壁の端面とを有しており、第一の多孔面の各開口には、当該各開口から高圧空気を隙間に供給すべく高圧空気供給手段が連通されており、第二の多孔面の各開口には、当該各開口から隙間の空気を吸引すべく空気吸引手段が連通されており、第二の多孔面は、第一の多孔面と実質的に面一になっており、前記多孔質静圧気体軸受パッドは、隔壁を一体的に有したパッド基台と、隔壁内外においてパッド基台に焼成された多孔質金属焼結層とを具備しており、隔壁内における多孔質金属焼結層は、第一の多孔面及び第二の多孔面のうちの一方の多孔面を有しており、隔壁外における多孔質金属焼結層は、第一の多孔面及び第二の多孔面のうちの他方の多孔面を有している多孔質静圧気体軸受パッド。
- 可動体を固定体に対して移動自在に保持すベく可動体と固定体との間に介在させる多孔質静圧気体軸受パッドであって、可動体に隙間をもって対面するための平坦面を有しており、この平坦面は、多数の細孔の開口を夫々有した第一及び第二の多孔面と、この第一の多孔面に対して第二の多孔面を隔離する隔壁の端面とを有しており、第一の多孔面の各開口には、当該各開口から高圧空気を隙間に供給すべく高圧空気供給手段が連通されており、第二の多孔面の各開口には、当該各開口から隙間の空気を吸引すべく空気吸引手段が連通されており、第二の多孔面は、第一の多孔面と実質的に面一になっており、第一の多孔面は円形状及び円環状のうちの一方の形状であり、第二の多孔面は円形状及び円環状のうちの他方の形状である多孔質静圧気体軸受パッド。
- 可動体を固定体に対して移動自在に保持すベく可動体と固定体との間に介在させる多孔質静圧気体軸受パッドであって、可動体に隙間をもって対面するための平坦面を有しており、この平坦面は、多数の細孔の開口を夫々有した第一及び第二の多孔面と、この第一の多孔面に対して第二の多孔面を隔離する隔壁の端面とを有しており、第一の多孔面の各開口には、当該各開口から高圧空気を隙間に供給すべく高圧空気供給手段が連通されており、第二の多孔面の各開口には、当該各開口から隙間の空気を吸引すべく空気吸引手段が連通されており、第二の多孔面は、第一の多孔面と実質的に面一になっており、第一及び第二の多孔面のうちの一方の多孔面は、略円形状の中央部と、この中央部から放射外方向に伸長した複数個の略矩形状の放射部とを有している多孔質静圧気体軸受パッド。
- 可動体を固定体に対して移動自在に保持すベく可動体と固定体との間に介在させる多孔質静圧気体軸受パッドであって、可動体に隙間をもって対面するための平坦面を有しており、この平坦面は、多数の細孔の開口を夫々有した第一及び第二の多孔面と、この第一の多孔面に対して第二の多孔面を隔離する隔壁の端面とを有しており、第一の多孔面の各開口には、当該各開口から高圧空気を隙間に供給すべく高圧空気供給手段が連通されており、第二の多孔面の各開口には、当該各開口から隙間の空気を吸引すべく空気吸引手段が連通されており、第二の多孔面は、第一の多孔面と実質的に面一になっており、平坦面は、第一及び第二の多孔面のうちの一方の多孔面を複数個有しており、第一及び第二の多孔面のうちの他方の多孔面は、第一及び第二の多孔面のうちの複数個の一方の多孔面の間に配されており、第一及び第二の多孔面は同心に配されている多孔質静圧気体軸受パッド。
- 可動体を固定体に対して移動自在に保持すベく可動体と固定体との間に介在させる多孔質静圧気体軸受パッドであって、可動体に隙間をもって対面するための平坦面を有しており、この平坦面は、多数の細孔の開口を夫々有した第一及び第二の多孔面と、この第一の多孔面に対して第二の多孔面を隔離する隔壁の端面とを有しており、第一の多孔面の各開口には、当該各開口から高圧空気を隙間に供給すべく高圧空気供給手段が連通されており、第二の多孔面の各開口には、当該各開口から隙間の空気を吸引すべく空気吸引手段が連通されており、第二の多孔面は、第一の多孔面と実質的に面一になっており、平坦面は、第一及び第二の多孔面のうちの一方の多孔面を複数個有しており、第一及び第二の多孔面のうちの複数個の一方の多孔面は、第一及び第二の多孔面のうちの他方の多孔面内に分散して配されている多孔質静圧気体軸受パッド。
- 隔壁の端面は、第一又は第二の多孔面と実質的に面一になっている請求項1から5のいずれか一項に記載の多孔質静圧気体軸受パッド。
- 可動体と、この可動体の可動方向を規定する固定体と、可動体を固定体に対して移動自在に保持すベく可動体と固定体との間に介在された請求項1から6のいずれか一項に記載の多孔質静圧気体軸受パッドとを具備した静圧気体軸受機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004021466A JP4379134B2 (ja) | 2004-01-29 | 2004-01-29 | 多孔質静圧気体軸受パッド及びこれを用いた静圧気体軸受機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004021466A JP4379134B2 (ja) | 2004-01-29 | 2004-01-29 | 多孔質静圧気体軸受パッド及びこれを用いた静圧気体軸受機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005214290A JP2005214290A (ja) | 2005-08-11 |
JP4379134B2 true JP4379134B2 (ja) | 2009-12-09 |
Family
ID=34905104
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004021466A Expired - Lifetime JP4379134B2 (ja) | 2004-01-29 | 2004-01-29 | 多孔質静圧気体軸受パッド及びこれを用いた静圧気体軸受機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4379134B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008082449A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-04-10 | Oiles Ind Co Ltd | 静圧気体軸受 |
US9429191B2 (en) * | 2013-10-11 | 2016-08-30 | General Electric Company | Journal bearing assemblies and methods of assembling same |
-
2004
- 2004-01-29 JP JP2004021466A patent/JP4379134B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005214290A (ja) | 2005-08-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061228 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4379134 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131002 Year of fee payment: 4 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
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