JP3660779B2 - 静圧気体軸受装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、軸受剛性が極めて高い静圧気体軸受装置に関するものであり、具体的には、直線案内装置などに用いられるスラスト軸受や高速回転モータなどに用いられるラジアル軸受として好適に使用できるものである。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
従来、物体を所定の位置に位置決めしたり、搬送するための直線案内装置などに用いられるスラスト軸受や高速回転モータなどに用いられるラジアル軸受として静圧気体軸受装置が使用されている。
【0003】
図3は従来の静圧気体軸受装置を直線案内装置として用いた例を示す斜視図であり、この直線案内装置は、略四角柱の固定部材22と、該固定部材22を囲繞する可動部材21とからなり、上記固定部材22の4つの軸受面24と対向する可動部材21の各軸受面23には、図4(a)(b)に示すような、自成絞りの気体噴出孔27と、該気体噴出孔27に連通し、圧縮気体を可動部材21と固定部材22との軸受隙間25全体に供給するための絞り溝28を形成したものがあり、上記絞り溝28の溝形状として図4(a)に示すようなT字状をしたものや図4(b)に示すような田字状をしたものがあった(特開昭59−13120号公報参照)。
【0004】
そして、上記可動部材21の側壁に形成された気体供給孔26に圧縮気体を供給し、気体噴出孔27より固定部材22との軸受隙間25に圧縮気体を噴出させるとともに、絞り溝28を介して軸受隙間25全体に供給することで静圧気体層を形成し、固定部材22に対し可動部材21を非接触の状態で支承するようになっていた。
【0005】
ところで、このような静圧気体を用いた直線案内装置の軸受剛性を高めるためには、軸受隙間25を狭くすることにより軸受隙間25内の流量抵抗を高めるとともに、気体噴出孔27における流量抵抗を、軸受隙間25内の流量抵抗と同程度の大きさにする必要がある。
【0006】
しかしながら、図4(a)(b)に示すような自成絞りの気体噴出孔27による給気方式では、気体噴出孔27の口径を大きくし、軸受剛性を高めようとすると、気体噴出孔27における流量抵抗が軸受隙間25内の流量抵抗よりも大きくなるため、絞り溝28を形成したとしても軸受剛性を高めるには限界があった。
【0007】
また、気体噴出孔27による給気方式に代わるものとして、図4(c)に示すような、可動部材21の軸受面33に凹部36を形成し、該凹部36に多孔質体37を固着し、多孔質絞りを構成したものが知られている。
【0008】
図4(c)の如き多孔質絞りを有する直線案内装置は、圧縮気体の噴出領域を大きくできることから、軸受剛性を高めることができるものの、軸受面33において多孔質体37の占める割合が大きいために多孔質体37内における気体の圧縮効果によって振動が発生するといった課題があった。
【0009】
しかも、多孔質体37をそのまま用いたのでは、気体の透過性が高く絞り効果が得られないため、多孔質体37の表面に研削加工を施して目詰まりさせる必要があるが、目詰まりをさせると多孔質体37内を通過する気体の透過性が不均一となるために流量ばらつきが発生し、軸受剛性が低下するといった課題があり、より軸受剛性を高めた直線案内装置を製作することは難しいものであった。
【0010】
一方、図4(c)の如き多孔質絞りの直線案内装置における課題を解消するために、図4(d)に示すような、軸受面43に多数個の気体噴出孔47を穿設し、該気体噴出孔47に円柱状の多孔質体からなるブッシュ48を挿嵌したものが提案されている(特開昭55−60720号公報参照)。
【0011】
このように、気体噴出孔47に円柱状のブッシュ48を設けることで、気体の流れる領域を小さくすることができるため、ブッシュ48内における気体の圧縮効果による振動を抑えることができるものの、円柱状のブッシュ48では気体の透過性が高いことから目詰まりさせないと絞り効果による噴出圧を高めることができず、また、目詰まりさせるために研削加工を施すと、各ブッシュ48の目詰まりが不均一となることから、流量ばらつきが発生するといった課題があった。
【0012】
その上、図4(d)の軸受面43を備えたものでは、ブッシュ48から圧縮気体が噴出されるのみで、圧縮気体の噴出領域が小さいことから、全体的な軸受剛性は図4(a)〜(c)に示す直線案内装置よりも低いものであった。
【0013】
本発明の目的は、従来の静圧気体軸受装置では得られなかった極めて高い軸受剛性を有する静圧気体軸受装置を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明は上記課題に鑑み、可動部材を固定部材との軸受隙間に静圧気体層を形成して支承し、非接触の状態で移動自在としてなる静圧気体軸受装置において、上記可動部材及び/又は固定部材の軸受面に、前記軸受隙間へ圧縮気体を噴出する複数個の気体噴出孔を形成し、これら気体噴出孔に座ぐりを設けた多孔質体からなるブッシュを挿嵌するとともに、前記軸受面に、各気体噴出孔と連通する環状の絞り溝を刻設したことを特徴とするものである。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を説明する。
図1は本発明に係る静圧気体軸受装置を直線案内装置に用いた例を示す斜視図であり、略四角柱の固定部材2と、該固定部材2を囲繞する可動部材1とからなり、上記可動部材1の側壁面に設けた気体供給孔6に圧縮気体を供給し、該圧縮気体を可動部材1と固定部材2との軸受隙間5に噴出させて静圧気体層を形成することにより、可動部材1を固定部材2と非接触の状態で支承し、別の駆動手段(不図示)でもって可動部材1を移動させるようになっている。
【0016】
また、図2(a)(b)に示すように、上記固定部材2の4つの軸受面4と対向する可動部材1の各軸受面3には、複数個の気体噴出孔7をほぼ一定の間隔で穿設するとともに、上記気体噴出孔7に多孔質体からなるブッシュ8を挿嵌し、エポキシ樹脂系や無機系の接着剤により固着してある。上記ブッシュ8は、外径L3〜8mm程度の円柱状体に内径Iが1〜5mm程度となるような座ぐり8aを設けた有底筒状体をしたもので、座ぐり8aと反対側の面が軸受面3と同一面上に位置するように配置してある。
【0017】
このように、気体噴出孔7内に多孔質体からなるブッシュ8を設けることで、圧縮気体の流量を高めることができるとともに、ブッシュ8に座ぐり8aを設け、底部8bの厚み幅Tを小さくすることで絞り効果が得られるようにしてあることから、圧縮気体の噴出圧を高めることができる。
【0018】
即ち、ブッシュ8に座ぐり8aがないとブッシュ8内における気体の透過性が高いため、目詰まりさせないと噴出圧を高めることができないのであるが、本発明はブッシュ8に座ぐり8aを設けて底部8bの厚み幅tを薄くして絞り効果を持たせてあることから、従来のような目詰まりをさせる必要がなく、各ブッシュ8から噴出される圧縮気体の流量を均一にすることができる。
【0019】
また、可動部材1の各内壁面3には、断面形状がコ字状をした溝幅Wが0.6〜1mm、溝深さHが10〜40μm程度の2つの環状絞り溝9を同心円状に刻設し、各気体噴出孔7と連通させてある。
【0020】
その為、各気体噴出孔7に供給された圧縮気体の一部は、環状絞り溝9を介して軸受隙間5の周囲に噴出させることができるため、軸受隙間5全体に均一な静圧気体層を形成することができる。
【0021】
その為、可動部材1の気体供給孔6に圧縮気体を供給すれば、気体噴出孔7に設けた座ぐり8aを有するブッシュ8と該ブッシュ8と連通する環状絞り溝9との相乗効果により極めて高い軸受剛性を得ることができる。
【0022】
なお、図2(b)に示すように、可動部材1の内部には気体供給孔6に供給された圧縮気体を各軸受面3の気体噴出孔7にそれぞれ供給するための給気路10を設けてある。
【0023】
ところで、ブッシュ8の底部8bにおける絞り効果を高めるためには、底部8bの厚み幅Tをできるだけ薄くする必要があるが、ブッシュ8に供給される圧縮気体の噴出圧が高すぎると破損する恐れがあることから、底部8bの厚み幅Tは0.5〜1mmとすることが良い。
【0024】
また、このようなブッシュ8を構成する多孔質体としては、気孔率30〜40%でかつ平均気孔径0.1〜2μmのものが良い。これは気孔率が30%未満であったり、平均気孔径が0.1μm未満であると、気体の透過性が小さすぎるために軸受剛性を高めることができず、逆に、気孔率が40%より大き過ぎたり、平均気孔径が2μmより大きくなると、気体の透過性が高くなり過ぎるために目詰まりさせるための加工が必要となるからである。
【0025】
なお、多孔質体の材質としては、焼結金属やTiC系、TiN系、TiCN系、WC系のサーメット材、さらにはアルミナ、コージライト、ムライト、ジルコニア、炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウムなどのセラミックスを用いることができる。これらの中でもセラミックスは比重が焼結金属やサーメット材と比べて小さいことから、可動部材1の駆動トルクを小さくする効果がある。
【0026】
一方、可動部材1や固定部材2を構成する材質としては、アルミニウムやステンレスなどの金属やアルミナ、ジルコニア、炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウムなどのセラミックスを用いることができる。特に上記セラミックスは熱的な変形が少なく、比重が小さいうえ、高剛性でかつ高精度に加工できることから、高精度な位置決めが可能な直線案内装置を得ることができる。
【0027】
なお、本実施形態では、ブッシュ8を有する気体噴出孔7と該気体噴出孔7と連通する環状絞り溝9を同心円状に設けた2重構造とした例を示したが、1重構造であっても良く、この場合、ブッシュ8を有する気体噴出孔7は軸受面3の中央よりも周縁に設けた方が良い。
【0028】
また、本実施形態では、可動部材1が固定部材2を囲繞した例を示したが、固定部材2が可動部材1を囲繞した構造をしたものにも用いることができるとともに、気体噴出孔7は固定部材2の軸受面4側に形成しても良く、さらには可動部材1及び固定部材2の両軸受面3,4に形成することもできる。
【0029】
また、本実施形態では、スラスト軸受を構成する直線案内装置を例にとって説明したが、高速回転モータなどのラジアル軸受としても用いることができることは言うまでもない。
【0030】
(実施例)
ここで、本発明の静圧気体軸受装置として、可動部材1の軸受面3を図2のように形成した図1の直線案内装置と、比較例の静圧気体軸受装置として、可動部材21の軸受面23,33,43を図4(a)〜(d)のように形成した図3の直線案内装置とを試作し、軸受剛性について比較実験を行った。
【0031】
本実験では、同一条件での比較を行うために可動部材1,21及び固定部材2,22を純度99.5%のアルミナセラミックスにより形成し、固定部材2,22の断面の寸法を80mm×80mmとするとともに、これらの固定部材2,22を囲繞する可動部材1,21の各軸受面3,23,33,34における受圧面積を70mm×180mmとした。
【0032】
なお、可動部材1,21の各軸受面3,23,33,34の寸法は以下の通りである。
【0033】
〔本発明〕図2の軸受面・・・ブッシュ8の数 :18個
ブッシュ8の外径L :6mm
ブッシュ8の底部8bの厚み幅T:0.7mm
ブッシュ8の気孔率 :37.8%
ブッシュ8の平均気孔径 :0.43μm
環状絞り溝9の寸法 :幅W1mm、深さH20μm
〔比較例〕
図4(a)の軸受面・・・気体噴出孔27の数 :1個
気体噴出孔27の外径 :5mm
T字状絞り溝28の寸法:幅1mm、深さ20μm
図4(b)の軸受面・・・気体噴出孔27の数 :4個
気体噴出孔27の外径 :0.3mm
田字状絞り溝28の寸法:幅1mm、深さ20μm
図4(c)の軸受面・・・多孔質体の寸法:60mm×160mm×10mmt
図4(d)の軸受面・・・ブッシュ48の数 :12個
ブッシュ48の外径 :6mm
ブッシュ48の気孔率:37.8%
ブッシュ48の平均気孔径:0.43μm
そして、可動部材1,21の気体供給孔6,26に4kgf/cm2の圧縮気体をそれぞれ供給し、ラジアル剛性、モーメント剛性、及び最大負荷容量について各々測定した。
【0034】
なお、ラジアル剛性の測定は、直線案内装置の可動部材1,21の上面四隅に電気マイクロメータを設置し、可動部材1,21を非接触の状態で支承した時の浮上量を上記電気マイクロメータにより測定し、その平均値をM1とし、次に、可動部材1,21の中央に負荷を加えた時の電気マイクロメータの値を測定し、その平均値をM2とする。そして、可動部材1,21に加えた負荷荷重を(M1−M2)の値で除した値をラジアル剛性とした。
【0035】
また、モーメント剛性の測定は、直線案内装置の可動部材1,21の上面四隅に電気マイクロメータを設置し、可動部材1,21を静圧支持した状態で可動部材1,21に偏荷重を加え、その変位量を電気マイクロメータで測定し、単位時間(秒)当たりトルクの大きさをモーメント剛性とした。
【0036】
さらに、最大負荷容量の測定は、可動部材1,21を静圧支持した状態で荷重を加え、ストローク移動させた時に全域において可動部材1,21が固定部材2,22と接触する荷重値を最大負荷容量とした。
【0037】
結果は表1にそれぞれ示す通りである。
【0038】
【表1】
【0039】
この結果、本発明の直線案内装置は、ラジアル剛性、モーメント剛性、及び最大負荷容量の全ての点で比較例の直線案内装置に比べて優れていることが判る。
【0040】
特に、最大負荷容量においては、比較例の中で最も大きな負荷容量を有する図4(c)の軸受面33を持った直線案内装置と比較しても2倍以上の最大負荷容量を有していた。
【0041】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、可動部材を固定部材との軸受隙間に静圧気体層を形成して支承し、移動自在としてなる静圧気体軸受装置において、上記可動部材及び/又は固定部材の軸受面に、前記軸受隙間へ圧縮気体を噴出する複数個の気体噴出孔を形成し、これら気体噴出孔に座ぐりを設けた多孔質体を挿嵌するとともに、前記軸受面に、各気体噴出孔と連通する環状の絞り溝を設けたことにより、従来の自成絞りの気体噴出孔を有する静圧気体軸受装置や多孔質絞りを有する静圧気体軸受装置と比べ、非常に高い軸受剛性が得られるとともに、振動を生じることなく安定して可動部材を移動させることができる。
【0042】
その為、高負荷荷重が加わるような直線案内装置等のスラスト軸受や高速回転モータ等のラジアル軸受にも好適に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る静圧気体軸受装置を直線案内装置に用いた例を示す斜視図である。
【図2】(a)は図1における可動部材の一部を破断した斜視図であり、(b)は(a)のX−X線断面図である。
【図3】従来の静圧気体軸受装置を静圧直線案内装置に用いた例を示す斜視図である。
【図4】(a)〜(d)は図4における可動部材の一部を破断した斜視図である。
【符号の説明】
1・・・可動部材、 2・・・固定部材、 3・・・可動部材の軸受面、
4・・・固定部材の軸受面、 5・・・軸受隙間、 6・・・気体供給孔、
7・・・気体噴出孔、 8・・・ブッシュ、 8a・・・座ぐり、
8b・・・ブッシュの底部、 9・・・環状絞り溝、 10・・・給気路、
21・・・可動部材、 22・・・固定部材、 23・・・可動部材の軸受面、
24・・・固定部材の軸受面、 25・・・軸受隙間、 26・・・気体供給孔、
27・・・自成絞りの気体噴出孔、 28・・・絞り溝、
34・・・可動部材の軸受面、 36・・・凹部、 37・・・多孔質体、
44・・・可動部材の軸受面、 47・・・気体噴出孔、 48・・・ブッシュ
Claims (1)
- 可動部材を固定部材との軸受隙間に静圧気体層を形成して支承し、非接触の状態で移動自在としてなる静圧気体軸受装置において、上記可動部材及び/又は固定部材の軸受面に、前記軸受隙間へ圧縮気体を噴出する複数個の気体噴出孔を形成し、これら気体噴出孔に、座ぐりを設けた多孔質体からなるブッシュを前記座ぐりと反対側の面が前記軸受面と同一面上に位置するように挿嵌するとともに、前記軸受面に、各気体噴出孔と連通する環状の絞り溝を刻設したことを特徴とする静圧気体軸受装置。
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