JP4797025B2 - 搬送物の位置決め装置 - Google Patents
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Description
このような搬送物の位置決め装置において、中間体は、ボールと、ボールを保持する保持孔が形成されたリテーナとで構成され、保持孔に保持されたボールが下ブロックの平面上に配置され、かつボール上に上ブロックが載置された構成とすることができる。
また、第1のバネ部材および第2のバネ部材は、円錐状に巻回されたコイルバネで構成され、中間体の一方面側において軸部材と下ブロックとの間に前記コイルバネが嵌め込まれ、中間体の他方面側において軸部材と上ブロックとの間に前記コイルバネが嵌め込まれるようにしてもよい。
さらに、軸部材の端部に形成されて可動空間内で移動するフランジ部と、下ブロック内において可動空間に向かって往復運動可能に形成されるピストン部材とを含み、可動空間に向かってピストン部材を移動させることによりフランジ部にピストン部材が押し付けられるようにしてもよい。
このような構成とするために、ボールと、このボールを保持する保持孔が形成されたリテーナとで中間体を構成することにより、下ブロックと中間体とがスライド可能に形成され、かつ中間体と上ブロックとがスライド可能に形成される。
また、中間体から延びる軸部材の動きが、下ブロックおよび上ブロックの可動空間内に規制されることにより、下ブロックと中間体との変位量および中間体と上ブロックとの変位量が決定される。
さらに、下ブロックと中間体の間の変位量および中間体と上ブロックの間の変位量が小さいため、第1のバネ部材および第2のバネ部材は、小さい変位量に対応できればよい。このようなバネ部材として円錐状に巻回されたコイルバネを用いることができるが、小さい変位量に対応できればよいため、小さいコイルバネを用いることができる。
また、軸部材の端部にフランジ部を形成し、下ブロックに形成されたピストン部材をフランジ部に押し付けることができる構成とすることにより、中間体の動きがロックされ、上ブロックもロックされる。したがって、上ブロックに載置された搬送物を一定の位置に固定することができる。
12 下ブロック
14 取付フランジ
30 ロックシリンダ
50 ロックピストン
66 空隙部
70 ボール当て板
80 中間体
82 リテーナ
90 ボール
100 軸部
102a フランジ部
104a フランジ部
106 可動空間
110 第1のバネ部材
120 上ブロック
122 天板受台
140 第2のバネ部材
150 天板
170 可動空間
Claims (4)
- 平面を有する下ブロック、
前記下ブロックの前記平面上でスライド可能に形成される中間体、
前記下ブロックの前記平面と平行な向きにおいて前記中間体に対してスライド可能に形成される上ブロック、
前記下ブロックと前記中間体とを所定の位置関係に保持するための第1のバネ部材、
前記中間体と前記上ブロックとを所定の位置関係に保持するための第2のバネ部材、および
前記中間体から前記下ブロック側および前記上ブロック側に延びるように形成される軸部材を含み、
前記下ブロック内および前記上ブロック内には、前記中間体の動きにともなって動く前記軸部材の可動範囲を規制する可動空間が形成される、搬送物の位置決め装置。 - 前記中間体は、ボールと、前記ボールを保持する保持孔が形成されたリテーナとで構成され、
前記保持孔に保持された前記ボールが前記下ブロックの前記平面上に配置され、かつ前記ボール上に前記上ブロックが載置された、請求項1に記載の搬送物の位置決め装置。 - 前記第1のバネ部材および前記第2のバネ部材は、円錐状に巻回されたコイルバネで構成され、
前記中間体の一方面側において前記軸部材と前記下ブロックとの間に前記コイルバネが嵌め込まれ、前記中間体の他方面側において前記軸部材と前記上ブロックとの間に前記コイルバネが嵌め込まれる、請求項2に記載の搬送物の位置決め装置。 - 前記軸部材の端部に形成されて前記可動空間内で移動するフランジ部と、前記下ブロック内において前記可動空間に向かって往復運動可能に形成されるピストン部材とを含み、前記可動空間に向かって前記ピストン部材を移動させることにより前記フランジ部に前記ピストン部材が押し付けられる、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の搬送物の位置決め装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09180990A (ja) * | 1995-12-26 | 1997-07-11 | Orc Mfg Co Ltd | 画像形成用露光装置とワーク位置決め方法 |
JP2005109443A (ja) * | 2003-09-12 | 2005-04-21 | Iguchi Kiko Seisakusho:Kk | 位置決めステージ用支持ユニット及びその取付構造 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015030553A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | Smc株式会社 | ワーク位置決め装置 |
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