JP4378915B2

JP4378915B2 - ラッピングシューを用いた研摩加工方法

Info

Publication number: JP4378915B2
Application number: JP2002184611A
Authority: JP
Inventors: 和彦 ▲高▼嶋
Original assignee: Nissan Motor Co Ltd
Current assignee: Nissan Motor Co Ltd
Priority date: 2002-06-25
Filing date: 2002-06-25
Publication date: 2009-12-09
Anticipated expiration: 2022-06-25
Also published as: JP2004025354A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ラッピングシューおよびラッピングシューを用いた研摩加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
精度の高い仕上げ加工の一つにラッピング加工がある。ラッピング加工を行う装置として、特開平８−３０９６５２に示されるラッピング装置が知られている。ラッピング加工には、研摩剤を含んだ研摩用テープをワークと相対運動させることによってワークを研摩する方法があり、研摩用テープとワークとを圧接するために用いられる手段としてラッピングシューがある。ラッピングシューは単一の材質で形成されており、加工面の表面粗さを小さく仕上げるためには、ウレタン等の樹脂からなるラッピングシューを用いることが一般的である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の樹脂製のラッピングシューを用いた場合、ワークが圧接することによってラッピングシューが弾性変形するので、ワークのエッジが研摩用テープに接する部分で応力集中が発生し、研摩剤が剥がれ易くなる。そして、ワークのエッジが接する部分の研摩剤が少なくなるため、ワークのエッジが加工しきれずに残ることになる。一方、ワークのエッジ以外の部分は研摩剤が十分に存在するために研摩加工が進行し、加工面が凹形状になったり、精度が低下したりすることがあり、その場合には、ラッピングテープ等を交換して再度加工を行う必要がある。また、たとえば、ワークが自動車部品の一つであるカムロブの場合、加工面が凹形状であると、カムとカムロブとの接触部分が中心に位置せずに摩擦抵抗が大きくなるので、自動車の燃費向上面で好ましくない。自動車の燃費向上には、カムロブのバルブリフタとの摺動面の形状は少なくとも平面、できれば凸形状であることが望ましい。
【０００４】
本発明は、上記従来技術の課題を解決するためになされたものであり、設計に対して精度の高い加工面を形成するためのラッピングシューおよびラッピングシューを用いた研摩加工方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の目的は、下記する手段により達成される。
【００１０】
（１）研摩用の砥粒を有する研摩用テープと、ワークと前記研摩用テープとを圧接させるラッピングシューとを用いて、前記ワークと前記研摩用テープとを圧接しつつ相対的に運動させることによって前記ワークに対して研摩加工を行う研摩加工方法において、
前記ラッピングシューは、前記ワークの圧接位置に対応させて硬さの異なる複数の層を有し、前記複数の層は、少なくとも、弾性変形し難い第１の層と、前記第１の層よりも軟らかく且つ加工面に沿って弾性変形可能な第２の層とを有し、
前記第１の層を、前記ワークのエッジ部に対して前記研摩用テープを介して接する部分に配置し、前記ワークと前記研摩用テープとの運動方向に対して直交する方向に、前記ワークと前記ラッピングシューとを相対的にオシレート運動させるとともに前記オシレート運動の量を、前記ワークのエッジが前記ラッピングシューのうち加工の開始時に前記研摩用テープを介して接している前記第１の層から脱落しない量にすることを特徴とする研磨加工方法。
【００１２】
（２）前記ワークは、カムロブ、クランクシャフト、ジャーナルのいずれか一つであることを特徴とする（１）に記載の研摩加工方法。
【００１３】
【発明の効果】
上記のように構成した本発明は以下の効果を奏する。
【００１６】
請求項２に記載の発明によれば、第２の層が研摩用テープと接する方向に第１の層よりも突出しており、突出量を変化することよって、圧接されるときの第２の層の弾発力を調整することができる。第２の層の突出量を変化させることによって、同じ材質からなる第２の層であっても、加工面を所望の形状に形成することができる。
【００１７】
請求項３に記載の発明によれば、研摩用テープとラッピングシューとの間のすべりを防止することができ、研摩用テープとワークとの相対運動が良好に行われ、ワークの加工を確実に行うことができ、研摩用テープに予期しない負荷がかかることが無く、研摩用テープの損傷を防止することができる。
【００１８】
請求項１に記載の発明によれば、少なくとも、弾性変形し難い第１の層と、前記第１の層よりも軟らかく且つ加工面に沿って弾性変形可能な第２の層とを有した硬さの異なる複数の層を有するラッピングシューを用いてワークを研摩加工するため、加工面の精度を高くすることができ、様々な形状のワークの加工面を作製することができる。そして、第１の層がワークのエッジを支えており、研摩用テープにワークのエッジが食い込むことを防止することができ、研摩用テープのエッジと接触する部分における応力集中を防止することができ、研摩用テープの研摩剤の剥離の発生を防止することができ、エッジ部分の削り残りの無い加工面を形成することができる。さらに、第２の層は、加工面の形状に沿って弾性変形するため、加工面のうち高い精度が求められる部分に対して表面粗さの良い研摩加工を行うことができる。ワークのエッジがワークのエッジ部分による研摩用テープの研摩剤の剥離を防止し、ラッピングシューの層を剥離する力を防止することができる。また、ワークと研摩用テープとの運動方向に対して直交する方向に運動するため、研摩加工の効率を向上することができる。
【００２０】
請求項２に記載の発明によれば、カムロブ、クランクシャフト、ジャーナルなど、様々な形状の加工面を高精度に仕上げることができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を参照しつつ説明する。
【００２２】
（第１の実施形態）
図１（Ａ）は、本発明の第１の実施形態に係るラッピング装置を示す正面図であり、図１（Ｂ）は同図（Ａ）の側面図である。図２（Ａ）は、本発明に係るラッピング装置の要部を示した断面図であり、図２（Ｂ）は、対比例に係るラッピング装置の要部を示した断面図である。
【００２３】
図１（Ａ）（Ｂ）に示すように、ラッピング装置１０は、研摩用の砥粒を有するラッピングテープ１１（研摩用テープに相当する）と、カムロブ１２（ワークに相当する）とラッピングテープ１１（以下、「テープ１１」と言う）とを圧接させるラッピングシュー２０とを有しており、カムロブ１２とテープ１１とを圧接しつつ相対的に運動させることによってカムロブ１２の加工面１４に対して研摩加工を行う装置である。
【００２４】
前記テープ１１は、加工の間、図１（Ａ）の左右方向に対して静止している。テープ１１に塗布された研摩用の砥粒が摩滅して加工に適さなくなると、図示しないテープ供給手段から新しいテープ１１が供給され、使用済みの部分は図示しないテープ巻取り手段に回収される。
【００２５】
前記カムロブ１２は、自動車のエンジン部品で、カムシャフト１５と一体的に形成され、ラッピング装置１０に設けた回転駆動機構（図示せず）により、図１（Ａ）に示す矢印ａの方向へカムシャフト１５を中心に回転させる様になっている。
【００２６】
本発明のラッピングシュー２０は、カムロブ１２の圧接位置に対応させて、硬さの異なる複数の層を有している。本実施形態の複数の層は、スチールの層２１（第１の層に相当する）と、スチールの層２１よりも軟らかく且つ弾性変形可能なウレタンの層２２（第２の層に相当する）とを少なくとも有している。スチールの層２１は、ラッピングシュー２０の両端に配置されている。ウレタンの層２２は、スチールの層２１によって挟持されている。スチールの層２１はテープ１１を介したカムロブ１２への押圧によっては弾性変形せず、エッジ１３の食い込みが発生しない。
【００２７】
ラッピングシュー２０において、テープ１１と接する面が平滑であると、加工面１４が移動する力によって、テープ１１がカムロブ１２の回転方向に引っ張られ、加工面１４とテープ１１との間の相対運動の力が弱まったり、テープ１１がラッピングシュー２０に対して相対的に静止している場合よりも強い張力がかかったりする虞がある。そこで、本発明のラッピングシュー２０は、複数の層のうち少なくとも一つの層は、テープ１１に接触する面にテープ１１とラッピングシュー２０との摺動を防止するすべり止めを有している。一般的に、ウレタンなどの樹脂の場合は、テープ１１に接する面に溝を施してもすべり止めの効果は少ない。そこで、本実施形態ではスチールの層２１のテープ１１に接する面２３にすべり止めを施している。すべり止めを施すには様々な手段があり、例としてダイヤモンド電着が挙げられる。
【００２８】
次に、本実施形態の作用を説明する。
【００２９】
カムシャフト１５をラッピング装置１０に支持させる。ラッピングシュー２０をテープ１１を介してカムロブ１２の加工面１４に圧接させる。ラッピング装置１０に設けた回転駆動機構（図示せず）によりカムシャフト１５を回転し、カムロブ１２を矢印ａの方向に回転運動させることによって、テープ１１と加工面１４との間に相対運動を発生させる。カムロブ１２は偏心しており、テープ１１と加工面１４とを常に圧接させるため、ラッピングシュー２０を図１（Ａ）の矢印ｂの方向に運動させる。テープ１１がカムロブ１２の加工面１４に常に圧接される状態で研摩加工を行う。
【００３０】
スチールの層２１は、ラッピングシュー２０の両端に位置している。スチールの層２１は、中央部分に位置するウレタンの層２２よりも変形し難いため、カムロブ１２のエッジ１３がテープ１１に引っかかることが無く、研摩加工の効率が高くなる。スチールの層２１はウレタンの層２２と比較して変形しないことから、テープ１１を介した加工面１４からの圧接の力が大きくなり、ウレタンの層２２よりも加工面１４を研摩する量が多くなる。
【００３１】
ウレタンの層２２は、カムロブ１２の加工面１４の形状に沿って弾性変形する。加工面１４とテープ１１とラッピングシュー２０とがそれぞれ面接触になることから、加工面１４に対してテープ１１の作用する砥粒が多くなり、スチールの層２１よりも表面粗さが良くなる。ウレタンの層２２の弾性変形によって、加工面１４の中央部分がラッピングシュー２０に食い込むことになり、加工面１４の断面を凸形状にすることができる。これにより、自動車に用いる際には、カムロブ１２の接触部分が常にカムシャフト１５の軸方向の中心で点接触になり、摩擦抵抗が小さくすることができ、経時的な特性変化を小さくすることができる。
【００３２】
対比例に示されるウレタンなどの樹脂の層のみからなるラッピングシュー２５の場合は、テープ１１を介したカムロブ１２との圧接によって弾性変形をするため、図２（Ｂ）左図に示すように、カムロブ１２のエッジ１３がテープ１１に食い込んでしまう。このため、テープ１１にはエッジ１３と接する部分において応力集中が発生し、テープ１１に塗布された研摩剤がテープ１１の他の部分よりも剥離し易くなる。研摩剤の量が多い中央部分がより多く研摩されることになり、加工面１４の断面は図２（Ｂ）右図に示す凹形状になる。
【００３３】
本実施形態のラッピングシュー２０は変形し難いスチールの層２１を有しているため、対比例のラッピングシュー２５と比較して、テープ１１がエッジ１３と接触する部分において研摩剤の剥離が発生し難く、エッジ１３の削り残しを防止することができる。また、ウレタンの層２２は、加工面１４の形状に沿って変形するため、複雑な形状のラッピングシューを用いなくても、加工面１４のうち高い精度が求められる部分に対して表面粗さの良い研摩加工を行うことができる。
【００３４】
対比例のラッピングシュー２５は、テープ１１と加工面１４との間で滑りが生じやすい。そのため、テープ１１の保持が確実ではなく、テープ１１と加工面１４との間の相対運動に影響を与え、加工が予定通りに進まないことがある。
【００３５】
一方、本実施形態のラッピングシュー２０は、面２３にすべり止めが施されており、テープ１１と加工面１４との間ですべりが発生せず、テープ１１と加工面１４との相対運動に影響を与えないため、加工を設計の予定通りに行うことができる。また、テープ１１に働く張力を一定にすることができ、テープ１１の損傷を防止することができる。
【００３６】
ラッピングシュー２０は、矩形状の板材を積層することによって形成することができ、容易に作製できる。
【００３７】
第１の実施形態では、カムロブの加工面について研摩加工することを取り上げたが、クランクシャフト、ジャーナル、カムシャフトなど、表面粗さを良くする必要があるどのような部材に対しても、本発明のラッピングシューを用いることができる。
【００３８】
第１の層の材質について、スチールのみを例示しているが、すべり止めをつけることが可能であり、且つ、圧接する力によって弾性変形し難い材質であれば、他の金属であっても構わない。第２の層の材質について、ウレタンのみを例示しているが、弾性変形可能な樹脂であればよく、ウレタンに限定されるものではない。
【００３９】
（第２の実施形態）
図３（Ａ）は、ラッピングシューとカムロブとのオシレート運動を示した図であり、図３（Ｂ）は、オシレート運動の量が大きすぎる場合を示した図である。
【００４０】
第２の実施形態は、カムロブ１２とテープ１１との相対的な運動方向に直交する方向に、カムロブ１２とラッピングシュー２０とを相対的にオシレート運動させた点において、第１の実施形態と相違している。カムロブ１２とラッピングシュー２０とを相対的にオシレート運動させることにより、カムロブ１２の加工面１４が偏ってテープ１１に接触することを防止し、さらに研摩加工の効率を向上することができる。
【００４１】
図示例では、カムロブ１２が図３（Ａ）の左右方向に固定されており、ラッピングシュー２０が図３（Ａ）に示す矢印の方向にオシレート運動をしている。オシレート運動の量は、研摩加工の効率のみを考慮した場合、大きいほうが好ましい。
【００４２】
しかし、オシレート運動の量が大きすぎ、エッジ１３がラッピングシュー２０のスチールの層２１から脱落すると、図３（Ｂ）に示す状態になる。エッジ１３がウレタンの層２２に食い込み、テープ１１に応力集中が発生することによって、テープ１１に含まれる砥粒が剥離する虞がある。加工面１４のうち、テープ１１に接触する面１４ａと接触しない面１４ｂとが生じ、加工面１４の加工形状と表面粗さとに影響を及ぼす。また、エッジ１３がオシレート運動の際にラッピングシュー２０の両端の層が剥離する方向に力を加えることによって、ラッピングシュー２０を破壊する虞がある。
【００４３】
そこで、オシレート運動の量は、カムロブ１２のエッジ１３がラッピングシュー２０のうち、加工の開始時にテープ１１を介して接している層から脱落しない量にするのが好ましい。本実施形態のカムロブ１２を加工する場合のオシレート運動の量は、０．８ｍｍから４ｍｍ程度が適している。したがって、本実施形態のスチールの層２１は少なくとも０．８ｍｍから４ｍｍ以上の厚みが必要となる。
【００４４】
第２の実施形態に示すオシレート運動の量であれば、エッジ１３がテープ１１を介してウレタンの層２２に食い込まないため、テープ１１に含まれる砥粒を剥離する力を防止することができる。加工面１４がテープ１１から離れることを防止でき、精度の良い研摩加工ができる。また、ラッピングシュー２０が、層の剥離によって破損することを防止することができる。
【００４５】
（第３の実施形態）
図４（Ａ）〜（Ｃ）は、中央に配置される樹脂製の層の突出量によって加工面の形状が変化することを示した図である。図４（Ａ）は、加工面を水平にする場合を示した図であり、図４（Ｂ）は、第１の実施形態の加工面よりもなだらかな凸形状にする場合を示した図であり、図４（Ｃ）は、第１の実施形態のラッピングシューを示した図である。
【００４６】
第３の実施形態のラッピングシュー２０ａ、２０ｂにおいて、ウレタンの層２２ａ、２２ｂは、スチールの層２１よりも突出している。突出の方向は、テープ１１と接する方向である。突出させる量の違いによって、図４（Ａ）（Ｂ）に示す加工面１４の形状に加工される。
【００４７】
ラッピングシュー２０ａ、２０ｂに対してテープ１１を介して伝わるカムロブ１２が圧接する力は、所定の値で一定にされている。ウレタンの層２２ａと２２ｂとは、材質は同じであるが突出量が異なる。ウレタンの層２２ａ、２２ｂは弾性変形するとともに弾発力が蓄積され、弾発力は圧縮量に比例する。ウレタンの層に一定以上の弾発力が蓄積されると、弾発力と圧接する力とが平衡状態となり、ウレタンの層２２ａ、２２ｂがそれ以上は変形しなくなる。係る性質を活用し、突出量を調整することによって、様々な形状の加工面１４を形成することができる。
【００４８】
図４（Ａ）に示す突出量がｔａの場合は、スチールの層２１とウレタンの層２２ａとの高さが同じになる位置で弾発力と圧接する力とが平衡状態となり、加工面１４の断面は水平に加工される。図４（Ｂ）に示す突出量がｔｂの場合は、ウレタンの層２２ｂがスチールの層２１よりも低くなる位置で平衡状態となるが、第１の実施形態のウレタンの層２２よりも低くならず、加工面１４の断面はなだらかな凸形状となる。
【００４９】
加工面の断面が水平または凸形状になることを示したが、ワークの種類によっては、突出量をより多くすることによって加工面の断面を凹形状にすることもできる。
【００５０】
（第４の実施形態）
図５（Ａ）〜（Ｃ）は、複数の層の配置の構成によってワークの加工面の形状を変化させることを示した図である。
【００５１】
第４の実施形態のラッピングシュー５０、５５、５６は、３層よりも多い複数の層を有している。本実施形態では、硬質ウレタンの層５３と、軟質ウレタンの層５２、５４と、スチールの層５１、５１ａ、５１ｂとの３種類の層を用いた。硬質ウレタンの硬度はＨＳ９０程度であり、軟質ウレタンの硬度はＨＳ５０〜７０程度である。第１の実施形態の装置に、ラッピングシュー５０を使用することにより、ワークの断面形状をより複雑にコントロールすることができる。
【００５２】
図５（Ａ）のラッピングシュー５０は、両端にスチールの層５１と、スチールの層５１に隣接する硬質ウレタンの層５３と、中央部に軟質ウレタンの層５２とを有している。第１の実施形態のラッピングシュー２０と比較し、ワーク５７ａの加工面５８ａの形状を所望の形状により精度良く近づけることができる。
【００５３】
図５（Ｂ）のラッピングシュー５５は、両端にスチールの層５１と、スチールの層５１に隣接して突出されている軟質ウレタンの層５２と、中央部に突出されたスチールの層５１ａとを有している。表面粗さの良い凹形状の断面を作製することができる。中央部の層を硬質ウレタンや、突出させた軟質ウレタンなどにすることで、ワーク５７ｂの加工面５８ｂの中央部の表面粗さを向上することもできる。
【００５４】
図５（Ｃ）のラッピングシュー５６は、図の左から、スチールの層５１と、硬質ウレタンの層５３と、軟質ウレタンの層５２と、軟質ウレタンの層５２よりも軟らかい軟質ウレタンの層５４と、テープ１１に接する面が低くなっているスチールの層５１ｂとを有している。各ウレタンの層の圧縮される量の違いを利用し、図５（Ｃ）に示すワーク５７ｃの加工面５８ｃを形成することができる。もちろん、同じ硬度のウレタンの層を用いて突出する量を変えることによっても、同じ形状にすることができる。表面粗さを最も良くすべき面に対して、軟質ウレタンなどの軟らかい層をテープ１１を介して接することが好ましい。
【００５５】
図５（Ａ）〜（Ｃ）に示したラッピングシューは５層であるが、この数に限定されず、これよりも多い層を有するラッピングシューであってもよい。
【００５６】
（第５の実施形態）
図６は、本発明の第５の実施形態に係るラッピング装置を示す正面図である。
【００５７】
本発明は、図１に示すラッピング装置１０のみならず、図６に示すラッピング装置６０においても用いることができる。ラッピング装置６０のラッピングシュー６１は、カムロブ１２が矢印ａの方向に回転運動する際に、矢印ｂの方向に運動しつつ、軸６２を中心に矢印ｃの方向にも運動し、カムロブ１２の形状に追従しつつテープ１１を介して接することができる。テープ１１に接する面は、加工面１４と４点で接触することができる凹形状を有しており、装置１０のラッピングシュー２０よりも効率よく研摩加工を行うことができる。
【００５８】
（第６の実施形態）
図７は、エッジ部分を複数有するワークを加工する場合のラッピング装置の要部を示した図である。
【００５９】
本実施形態のラッピングシュー４０は、エッジ部分を４つ有するワーク３２に適したものである。ラッピングシュー４０は、スチールの層４１、４３とウレタンの層４２とを有している。エッジ３３はスチールの層４１にテープ３１を介して接しており、テープ３１に食い込むことがない。テープ３１の研摩剤がエッジ３３によって剥離されないため、エッジ３３の加工が十分に行われる。ウレタンの層４２を有しているため、加工面３４の表面粗さを良くすることができる。
【００６０】
（第７の実施形態）
図８は、本発明の第７の実施形態に係るラッピング装置の要部を示した図である。
【００６１】
第１から第６の実施形態では、ワークを回転させることによって、テープとの間に相対運動を発生させ、研摩加工を行っている。加工面がカムロブのように周全体に存在する場合には係る方法が好ましい。
【００６２】
第７の実施形態では、ワーク８２を矢印ｄで示される方向に往復移動させることによってテープ８１と相対運動を発生させ、加工面８４に対して研摩加工を行っている。ラッピングシュー９０は、スチールの層９１とウレタンの層９２とを有している。ラッピングシュー９０を、矢印ｅの方向にオシレート運動させてもよい。加工面がワークの一部の面のみである場合やワークを回転させることが困難な場合などであっても、本発明のラッピングシューを適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１（Ａ）は、本発明の第１の実施形態に係るラッピング装置を示す正面図であり、図１（Ｂ）は同図（Ａ）の側面図である。
【図２】図２（Ａ）は、本発明に係るラッピング装置の要部を示した断面図であり、図２（Ｂ）は、対比例に係るラッピング装置の要部を示した断面図である。
【図３】図３（Ａ）は、ラッピングシューとカムロブとのオシレート運動を示した図であり、図３（Ｂ）は、オシレート運動の量が大きすぎる場合を示した図である。
【図４】図４（Ａ）〜（Ｃ）は、中央に配置される樹脂製の層の突出量によって加工面の形状が変化することを示した図であり、図４（Ａ）は、加工面を水平にする場合を示した図であり、図４（Ｂ）は、第１の実施形態の加工面よりもなだらかな凸形状にする場合を示した図であり、図４（Ｃ）は、第１の実施形態のラッピングシューを示した図である。
【図５】図５（Ａ）〜（Ｃ）は、複数の層の配置の構成によってワークの加工面の形状を変化させることを示した図である。
【図６】図６は、本発明の第５の実施形態に係るラッピング装置を示す正面図である。
【図７】図７は、エッジ部分を複数有するワークを加工する場合のラッピング装置の要部を示した図である。
【図８】図８は、本発明の第７の実施形態に係るラッピング装置の要部を示した図である。
【符号の説明】
１０、６０…ラッピング装置
１１、８１…ラッピングテープ（研摩用テープ）
１２…カムロブ（ワーク）
１３、３３…エッジ
２０、２０ａ、２０ｂ、５０、５５、５６、６１、９０…ラッピングシュー
２１、５１、５１ａ、５１ｂ、９１…スチールの層（第１の層）
２２、２２ａ、２２ｂ、５２、５３、５４、９２…ウレタンの層（第２の層）
３２、５７ａ、５７ｂ、５７ｃ、８２…ワーク

Claims

研摩用の砥粒を有する研摩用テープと、ワークと前記研摩用テープとを圧接させるラッピングシューとを用いて、前記ワークと前記研摩用テープとを圧接しつつ相対的に運動させることによって前記ワークに対して研摩加工を行う研摩加工方法において、
前記ラッピングシューは、前記ワークの圧接位置に対応させて硬さの異なる複数の層を有し、前記複数の層は、少なくとも、弾性変形し難い第１の層と、前記第１の層よりも軟らかく且つ加工面に沿って弾性変形可能な第２の層とを有し、
前記第１の層を、前記ワークのエッジ部に対して前記研摩用テープを介して接する部分に配置し、前記ワークと前記研摩用テープとの運動方向に対して直交する方向に、前記ワークと前記ラッピングシューとを相対的にオシレート運動させるとともに前記オシレート運動の量を、前記ワークのエッジが前記ラッピングシューのうち加工の開始時に前記研摩用テープを介して接している前記第１の層から脱落しない量にすることを特徴とする研磨加工方法。
前記ワークは、カムロブ、クランクシャフト、ジャーナルのいずれか一つであることを特徴とする請求項１に記載の研摩加工方法。