JP4375018B2 - 液体噴射ヘッドユニット及びその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射ヘッドユニット及びその製造方法に関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドを具備するインクジェット式記録ヘッドユニット及びその製造方法に関する。

例えば、インクジェット式記録ヘッドを具備するインクジェット式記録ヘッドユニット（以下、ヘッドユニットとも言う）としては、インクが充填されたインクカートリッジ等から供給されるインクをノズル開口から吐出する記録ヘッド本体と、この記録ヘッド本体のインク吐出面とは反対側に接合されるヘッドケースと、記録ヘッド本体及びヘッドケースを複数個保持するカートリッジケースとを有するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

また、インクジェット式記録ヘッドとしては、ノズル開口が設けられたノズルプレートと、このノズルプレートに接合され且つノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、流路形成基板のノズルプレートとの接合面とは反対側の面に設けられる圧電素子と、流路形成基板の圧電素子側の面に接合されたリザーバ形成基板とからなる記録ヘッド本体と、この記録ヘッド本体のリザーバ形成基板側の面に接合されたヘッドケースとを具備するものが知られている（例えば、特許文献２参照）。

このようなインクジェット式記録ヘッドを具備するヘッドユニットは、例えば、インク吐出面を基準面として、記録ヘッド本体を構成する各部材を組み立てた後、この記録ヘッド本体にヘッドケースを接合してインクジェット式記録ヘッドを複数個組み立て、さらに、これら複数個のインクジェット式記録ヘッドのヘッドケース側にカートリッジケースを接合することにより組み立てられる。

ところで、近年、インクの多色化等に対する要望が高まっているが、これを実現するためには、色毎に分けられた複数個のインクジェット式記録ヘッドを用いてヘッドユニットを構成する必要がある。しかしながら、インクジェット式記録ヘッドにおいては、例えば、特許文献２に記載されているように、複数の部材を積層することで組み立てられているため、インクジェット式記録ヘッドのインク吐出面とそれとは反対側の面、すなわち、ヘッドケースの上面とが平行となっていない場合がある。また、ヘッドケースは、例えば、樹脂等により形成されているということもあり、記録ヘッド本体のインク吐出面とそれとは反対側の面とが平行となっていても、ヘッドケースのカートリッジケースとの接合面が傾斜している場合もある。

したがって、このようなインクジェット式記録ヘッドをインク吐出面がそれぞれ面一となるように複数個並べたとしても、インク吐出面とは反対側の面、すなわち、ヘッドケース側の上面が面一となっていない場合がある。このため、これら複数個のインクジェット式記録ヘッドのヘッドケース側の上面に、例えば、１つのカートリッジケースを接合すると、インクジェット式記録ヘッドのヘッドケース側の上面が面一となってカートリッジケースに接合されてしまう虞がある。すなわち、インクジェット式記録ヘッドのインク吐出面がばらついた状態でヘッドユニットが組み立てられてしまう虞がある。

このようなヘッドユニットをキャリッジに搭載して印刷を行うと、ノズル開口から被印刷物に対して吐出されるインクの着弾位置と、所望の着弾位置とに誤差（ズレ）が生じて印刷品質が低下してしまうという問題がある。なお、このような問題は、インクを吐出する複数個のインクジェット式記録ヘッドを具備するヘッドユニットだけではなく、勿論、インク以外の液体を噴射する複数個の液体噴射ヘッドを具備する液体噴射ヘッドユニットにおいても、同様に存在する。

特開２００１−１６２８１１号公報（第２図） 特開２００３−８０７０３号公報（第１図）

本発明は、このような事情に鑑み、印刷品質の低下を比較的容易に且つ確実に防止することができる液体噴射ヘッドユニット及びその製造方法を提供することを課題とする。

上記課題を解決する本発明の第１の態様は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド本体と該液体噴射ヘッド本体の液体噴射面とは反対側に接合されるヘッドケースとからなる複数個の液体噴射ヘッドと、これら複数個の液体噴射ヘッドの前記ヘッドケース側に一体的に接合される保持部材とを具備する液体噴射ヘッドユニットの製造方法であって、前記液体噴射ヘッドのそれぞれの前記ヘッドケース側の上面の少なくとも１箇所に押圧部材の先端部を点接触させて当該押圧部材の先端部で前記液体噴射ヘッドのそれぞれを個別に押圧しながら当該液体噴射ヘッドのそれぞれと前記保持部材とを接合することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法にある。
かかる第１の態様では、複数個の液体噴射ヘッドと保持部材とを接合する際に、液体噴射ヘッドのそれぞれを押圧部材で個別に押圧しているため、各液体噴射ヘッドが傾き難くなる。これにより、各液体噴射ヘッドの液体噴射面がばらついてしまうのを防止することができる。したがって、ノズル開口から被印刷物に対して噴射される液体の着弾位置と、所望の着弾位置とに誤差（ズレ）が生じることはなく、印刷品質の低下を比較的容易に且つ確実に防止することができる。

本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記押圧部材の先端部で前記液体噴射ヘッドを前記液体噴射面の面方向と直交する方向に押圧することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法にある。
かかる第２の態様では、液体噴射ヘッドのそれぞれが押圧部材の先端部で液体噴射面の面方向と直交する方向に押圧されるため、各液体噴射ヘッドに対して液体噴射面の面方向に作用する力が少なくなり、各液体噴射ヘッドを適度に効率よく押圧することができる。

本発明の第３の態様は、第１又は２の態様において、前記保持部材が液体貯留部内の液体を前記液体噴射ヘッド毎に供給する流路を有するカートリッジケースであり、且つ当該カートリッジケースには前記液体噴射ヘッドに対向する部分を厚さ方向に貫通する挿入孔が設けられており、当該挿入孔に前記押圧部材を挿入して前記液体噴射ヘッドのそれぞれを押圧することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法にある。
かかる第３の態様では、カートリッジケースの外側からでもその内側にある複数個の液体噴射ヘッドを押圧部材によって比較的容易に且つ確実に押圧することができる。

本発明の第４の態様は、第１〜３の何れかの態様において、前記ヘッドケースの中央部には前記液体噴射ヘッド本体を駆動させるための駆動ＩＣを囲む空間であるＩＣ保持部が厚さ方向に貫通して設けられると共に、当該ＩＣ保持部の前記液体噴射ヘッド本体側とは反対側の開口部がその中央部を跨いで設けられた梁部で区切られており、当該梁部を前記押圧部材の先端部で押圧することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法にある。
かかる第４の態様では、液体噴射ヘッドの中央部に梁部を設けることで、各液体噴射ヘッドを中央１箇所で押圧することができる。これにより、各液体噴射ヘッドに対して力が均等に作用するため、各液体噴射ヘッドが傾き難くなり、各液体噴射ヘッドの液体噴射面がばらついてしまうのをより確実に防止することができる。

本発明の第５の態様は、第１〜４の何れかの態様において、複数個の前記液体噴射ヘッドの前記液体噴射面側を固定板に接合した後に当該液体噴射ヘッドのそれぞれと前記保持部材とを接合することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法にある。
かかる第５の態様では、複数個の液体噴射ヘッドの液体噴射面に固定板を接合することで各液体噴射ヘッドの液体噴射面が面一となる。

本発明の第６の態様は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド本体と該液体噴射ヘッド本体の液体噴射面とは反対側に接合されるヘッドケースとからなる複数個の液体噴射ヘッドと、これら複数個の液体噴射ヘッドの前記ヘッドケース側に一体的に接合される保持部材とを具備する液体噴射ヘッドユニットであって、前記ヘッドケースの中央部には、前記液体噴射ヘッド本体を駆動させるための駆動ＩＣを囲む空間であるＩＣ保持部が厚さ方向に貫通して設けられると共に前記ＩＣ保持部の前記液体噴射ヘッド本体側とは反対側には当該ＩＣ保持部の開口を跨いで梁部が設けられており、前記保持部材の前記梁部に対向する部分には、当該梁部を押圧するための押圧部材を挿入可能な挿入孔が厚さ方向に貫通して設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドユニットにある。
かかる第６の態様では、保持部材の挿入孔とヘッドケースの梁部とが対向しているため、挿入孔に押圧部材を挿入すれば、押圧部材の先端部で液体噴射ヘッドの梁部をそれぞれ押圧することができる。これにより、複数個の液体噴射ヘッドと保持部材とを接合する際に、各液体噴射ヘッドを押圧部材で個別に押圧できるため、各液体噴射ヘッドが傾き難くなる。これにより、各液体噴射ヘッドの液体噴射面がばらついてしまうのを防止することができる。したがって、ノズル開口から被印刷物に対して噴射される液体の着弾位置と、所望の着弾位置とに誤差（ズレ）が生じることはなく、印刷品質の低下を比較的容易に且つ確実に防止することができる。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドユニットを示す分解斜視図である。また、図２は、図１に示すインクジェット式記録ヘッドユニットの組立斜視図及びその断面図である。図示するように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドユニット１００（以下、ヘッドユニット１００とも言う）の一部を構成する保持部材であるカートリッジケース１１０は、インク供給手段であるインクカートリッジ（図示なし）がそれぞれ装着されるカートリッジ装着部材１１１と、複数のインクジェット式記録ヘッド２００を保持するカートリッジケース本体１１２とからなる。

また、このようなカートリッジケース１１０には、一端が各カートリッジ装着部材１１１側の面に開口し、他端が後述するカートリッジケース本体１１２側の面に開口する複数のインク連通路（図示なし）が設けられている。さらに、カートリッジ装着部１１１のインク連通路の開口部分には、インクカートリッジに挿入されるインク供給針１１３がそれぞれ固定されている。例えば、本実施形態では、カートリッジ装着部材１１１（インク供給針１１３）には、ブラック及び３色のカラーインクが充填された各色毎のインクカートリッジがそれぞれ装着されるようになっている。

さらに、このようなカートリッジ装着部材１１１のインク供給針１１３側とは反対側の面には、各インクカートリッジから供給されるインクをノズル開口２１から吐出するインクジェット式記録ヘッド２００を複数個、本実施形態では、４個保持したカートリッジケース本体１１２が接合されている。このカートリッジケース本体１１２には、各インクジェット式記録ヘッド２００の後述する梁部に対向する部分を厚さ方向に貫通する挿入孔１１４がそれぞれ設けられている。そして、本実施形態では、挿入孔１１４のそれぞれにカートリッジ装着部材１１１の突出部１１５が嵌合した状態でカートリッジ装着部材１１１とカートリッジケース本体１１２とが接合されている。これにより、突出部１１５によって挿入孔１１４が完全に封止されるため、挿入孔１１４を介してその内部にインクが浸入するのを確実に防止することができる。なお、この挿入孔１１４については、詳しく後述する。

また、本実施形態では、カートリッジケース１１０（カートリッジケース本体１１２）に保持されたインクジェット式記録ヘッド２００のインク吐出面２００ａ側には、固定板１２０が接合されている。そして、この固定板１２０には、インク吐出面２００ａのノズル開口２１が並設された２列のノズル列２１Ａを露出させる開口部１２１がインクジェット式記録ヘッド２００毎に設けられている。さらに、これらインクジェット式記録ヘッド２００と固定板１２０とは、カートリッジケース１１０とヘッドカバー１３０の間に挟み込まれている。このヘッドカバー１３０には、固定板１２０の各開口部１２１に連通する窓部１３１がそれぞれ設けられている。このため、各インクジェット式記録ヘッド２００の２列のノズル列２１Ａは、開口部１２１及び窓部１３１を介してそれぞれ露出されている。なお、このヘッドカバー１３０は、各窓部１３１の並設方向の両側に設けられた固定孔１３２をカートリッジケース本体１１２の突起部１１６に挿入し、この突起部１１６の先端部を加熱してかしめることで、カートリッジケース本体１１２に固定されるようになっている。

ここで、本実施形態のヘッドユニット１００を構成するインクジェット式記録ヘッド２００の構造について詳しく説明する。図３は、インクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。また、図４は、図３に示すインクジェット式記録ヘッドの要部を示す断面図である。図３及び図４に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド２００は、ノズル開口２１からインクを吐出する記録ヘッド本体２１０と、この記録ヘッド本体２１０のインク吐出面２００ａとは反対側の面に接合されるヘッドケース２２０とを具備する。

また、記録ヘッド本体２１０を構成する流路形成基板１０は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、その一方面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる弾性膜１１が形成されている。この流路形成基板１０には、その他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２が、その幅方向に並設されている。そして、この圧力発生室１２の列は、その長手方向に２列設けられている。また、各列の圧力発生室１２の長手方向外側には、後述する保護基板３０に設けられるリザーバ部３２と連通し、各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ２３０を構成する連通部１３が形成されている。さらに、連通部１３は、インク供給路１４を介して各圧力発生室１２の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。そして、このような流路形成基板１０の開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側で連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。

一方、流路形成基板１０の開口面とは反対側の面には、各圧力発生室１２に対向する領域に弾性膜１１を介して圧電素子３００がそれぞれ設けられている。この圧電素子３００は、金属からなる下電極膜と、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層と、金属からなる上電極膜とを順次積層することで形成されている。また、これら各圧電素子３００の個別電極からは、圧電素子３００の列間に対応する領域まで引き出された引き出し配線２４０が設けられている。

そして、このような流路形成基板１０の圧電素子３００側の面には、圧電素子３００に対向する領域にその運動を阻害しない程度の空間を確保可能な圧電素子保持部３１を有する保護基板３０が接合されている。この保護基板３０には、リザーバ２３０の少なくとも一部を構成するリザーバ部３２が設けられている。なお、このリザーバ部３２は、本実施形態では、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ２３０を構成している。

また、このような保護基板３０上には、例えば、本実施形態では、各圧電素子３００を駆動するための駆動ＩＣ２５０が各圧電素子３００の列毎に対応する部分に１つずつ実装されている。この駆動ＩＣ２５０の各端子は、ボンディングワイヤ等からなる接続配線２６０を介して各圧電素子３００の個別電極からその列間に引き出された引き出し配線２６０と接続されている。そして、駆動ＩＣ２５０の各端子には、図１に示すような、フレキシブルプリントケーブル（ＦＰＣ）等の外部配線２７０を介して外部と接続され、外部から外部配線２７０を介して印刷信号等の各種信号を受け取るようになっている。

なお、このような保護基板３０上には、コンプライアンス基板４０が接合されている。また、このコンプライアンス基板４０のリザーバ２３０に対向する領域には、リザーバ２３０にインクを供給するためのインク導入口４４が厚さ方向に貫通することで形成されている。また、コンプライアンス基板４０のリザーバ１００に対向する領域のインク導入口４４以外の領域は、厚さ方向に薄く形成された可撓部４３となっており、リザーバ２３０は、可撓部４３により封止されている。この可撓部４３により、リザーバ２３０内にコンプライアンスを与えている。

また、このような記録ヘッド本体２１０のコンプライアンス基板４０上には、樹脂からなるヘッドケース２２０が接合されている。このヘッドケース２２０の中央部には、保護基板３０上に実装された駆動ＩＣ２５０を囲む空間であるＩＣ保持部２２１が厚さ方向に貫通して設けられている。このように、ヘッドケース２２０にＩＣ保持部２２１を設けることで、駆動ＩＣ２５０と記録ヘッド本体２１０とを接続配線２６０で接続する空間を確保することができる。

さらに、このようなＩＣ保持部２２１の保護基板３０側とは反対側には、ヘッドケース２２０の中央部を跨いで梁部２２２が設けられ、ＩＣ保持部２２１の保護基板３０側の開口部２２３は、梁部２２２によって２つの開口に区切られている。この梁部２２２は、カートリッジケース本体１１２の各挿入孔１１４に対向する部分に位置している。これにより、挿入孔１１４を介して各梁部２２２を後述する押圧部材で押圧することができる。また、梁部２２２を設けることでヘッドケース２２０の剛性を高めることができる。

さらに、このヘッドケース２２０のＩＣ保持部２２１の周壁には、カートリッジケース１１０のインク連通路から供給されるインクをインク導入口４４に導入するインク供給連通路２２４が厚さ方向に貫通して設けられている。

そして、このようなヘッドケース２２０と記録ヘッド本体２１０とを接合したインクジェット式記録ヘッド２００のヘッドケース２２０側の上面には、カートリッジケース１１０（カートリッジケース本体１１２）が接合される。このように、インクジェット式記録ヘッド２００のヘッドケース２２０側の上面に、カートリッジケース本体１１２を接合する際には、後述する押圧部材の先端で押圧される部分が梁部２２２となる。すなわち、本実施形態では、カートリッジケース本体１１２の梁部２２２に対向する部分に挿入孔１１４を設けて、この挿入孔１１４を介して押圧部材を挿入可能とし、この押圧部材の先端部でカートリッジケース本体１１２の外側からでも各梁部２２２を押圧できるようになっている。

なお、このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッド２００は、インクカートリッジからのインクをカートリッジケース１１０に設けられたインク連通路を介してインク導入口４４から取り込み、リザーバ２３０からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動ＩＣ２５０からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの圧電素子３００に電圧を印加し、弾性膜１１及び圧電素子３００をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインクが吐出するようになっている。

以下、上述した本実施形態のヘッドユニット１００の製造方法について詳細に説明する。まず、インクジェット式記録ヘッド２００の組立方法について説明する。具体的には、インク吐出面２００ａを基準面として、流路形成基板１０、ノズルプレート２０、保護基板３０を接合して記録ヘッド本体２１０を複数個組み立てた後に、これら複数個の記録ヘッド本体２１０毎にヘッドケース２２０をそれぞれ接合する。これにより、インクジェット式記録ヘッド２００が複数個組み立てられる。

次に、複数個のインクジェット式記録ヘッド２００とカートリッジケース１１０（カートリッジケース本体１１２）との接合方法について説明する。図５は、本発明の実施形態１に係るヘッドユニットの製造方法の一例を説明する断面図である。まず、図示しないステージの上面に固定板１２０を載置し、この固定板１２０の所定位置、本実施形態では、各開口部１２１に対向する部分にインクジェット式記録ヘッド２００をそれぞれ位置決めして接合する。

次に、複数個のインクジェット式記録ヘッド２００及び固定板１２０の接合体とカートリッジケース本体１１２とを接合する。具体的には、図５（ａ）に示すように、カートリッジケース本体１１２の各挿入孔１１４に針状の押圧部材４００を挿入し、この押圧部材４００の先端部をインクジェット式記録ヘッド２００のヘッドケース２２０側の上面、本実施形態では、梁部２２２の上面に実質的に点接触させて各インクジェット式記録ヘッド２００をインク吐出面２００ａの面方向と直交する方向に個別に押圧する。このように、押圧部材４００の先端部を梁部２２２に点接触させることで、各インクジェット式記録ヘッド２００に対して力（押圧力）が均等に作用し、これにより、各インクジェット式記録ヘッド２００が実質的に固定される。また、本実施形態では、インクジェット式記録ヘッド２００をインク吐出面２００ａの面方向に直交する方向に押圧するようにしたので、インクジェット式記録ヘッド２００に対してインク吐出面２００ａの面方向への力が加わることがほとんどなく、各インクジェット式記録ヘッド２００を適度に効率よく押圧することができる。

次いで、図５（ｂ）に示すように、押圧部材４００で各インクジェット式記録ヘッド２００を所定の力で押圧した状態で、カートリッジケース本体１１２を押圧する。これにより、各押圧部材４００の先端部で各インクジェット式記録ヘッド２００の梁部２２２を個別に押圧した状態で、カートリッジケース本体１１２がインクジェット式記録ヘッド２００側に押込まれ、各インクジェット式記録ヘッド２００とカートリッジケース本体１１２とが接合されることになる。このとき、本実施形態では、押圧部材４００によって各インクジェット式記録ヘッド２００を押圧して固定しているため、この上からカートリッジケース本体１１２を接合しても、インクジェット式記録ヘッド２００が傾くことがない。したがって、各インクジェット式記録ヘッド２００のインク吐出面２００ａを面一とした状態で、これら複数個のインクジェット式記録ヘッド２００とカートリッジケース本体１１２とを確実に接合することができる。

その後は、図示しないが、押圧部材４００を各挿入孔１１４から抜き取ると共に、挿入孔１１４にカートリッジ装着部材１１１の突出部１１５を嵌合させて、カートリッジ装着部材１１１とカートリッジケース本体１１２とを接合する。最後に、インクジェット式記録ヘッド２００のインク吐出面２００ａ側からヘッドカバー１３０を装着する。これにより、インク吐出面２００ａが面一である複数個のインクジェット式記録ヘッド２００とカートリッジケース１１０とからなる図２に示すようなヘッドユニット１００が完成する。
そして、このようなヘッドユニット１００を図示しないインクジェット式記録装置のキャリッジに搭載して印刷を行っても、ノズル開口２１から被印刷物に対して吐出されたインクの着弾位置と、所望の着弾位置とに誤差が生じることはなく、印刷品質の低下を比較的容易に且つ確実に防止することができる。

以上、本実施形態の製造方法について説明したが、本発明は、インクジェット式記録ヘッド２００とカートリッジケース本体１１２とを接合する際に、複数のインクジェット式記録ヘッド２００のヘッドケース２２０側の上面の少なくとも１箇所に押圧部材４００の先端部を点接触させて、これらインクジェット式記録ヘッド２００のそれぞれを個別に押圧すればよく、上述した製造例に限定されるものではない。
このように、各インクジェット式記録ヘッド２００を押圧部材４００の先端部で個別に押圧するのは、１つのインクジェット式記録ヘッド２００が傾いて接合されてしまうと、ヘッドユニット１００としては不良品となってしまうからである。

また、押圧部材４００によってヘッドケース２２０の上面を押圧する部分は、中央１箇所であってもよいが、勿論、ヘッドケース２２０の上面の複数箇所を押圧するようにしてもよい。但し、このように複数箇所で押圧する場合には、各インクジェット式記録ヘッド２００が傾かないように押圧するのが好ましい。また、同じ形状のヘッドケース２２０については、略同じ部分を押圧するのが好ましい。

なお、本発明では、複数個のインクジェット式記録ヘッド２００を、例えば、平坦なステージの面上に、インク吐出面２００ａがステージ側となるように直接並べた後に、その上からカートリッジケース１１１を接合するようにしてもよい。または、複数のインクジェット式記録ヘッド２００を、ヘッドカバー１３０の各窓部１３１毎に直接接合した後、この上からカートリッジケース１１１を接合するようにしてもよい。

（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、複数のインクジェット式記録ヘッド２００とカートリッジケース１１１とを接合した後に、押圧部材４００を抜き取るようにしたが、これに限定されず、押圧部材４００を挿入孔１１４に挿入したまま残すようにしてもよい。このように、押圧部材４００を挿入孔１１４に挿入したまま残すことで、インクが挿入孔１１４から侵入することを防止することができる。但し、この場合には、各押圧部材がインクジェット式記録ヘッドを押圧した状態でカートリッジケース内に残さないようにするのが好ましい。押圧部材が各インクジェット式記録ヘッドを押圧する力が、インクジェット式記録ヘッドとカートリッジケースとの接合を剥がす方向に作用して、接合不良等の原因となるからである。なお、上述した実施形態１では、カートリッジケース本体１１２の挿入孔１１４をカートリッジ装着部材１１１の突出部１１５によって封止するようにしたが、これに限定されず、挿入孔１１４を樹脂等で封止するようにしてもよい。

また、上述した実施形態１では、撓み振動型のインクジェット式記録ヘッド２００を例示したが、これに限定されず、例えば、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型のインクジェット式記録ヘッドや発熱素子等の発熱で発生するバブルによってインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド等、種々の構造のインクジェット式記録ヘッドを具備するヘッドユニットに応用することができることは言うまでもない。

なお、液体噴射ヘッドとしてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドを具備するヘッドユニットを一例として説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッドを有する液体噴射ヘッドユニット全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。

実施形態１に係るヘッドユニットの分解斜視図である。 実施形態１に係るヘッドユニットの組立斜視図及びその断面図である。 実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。 実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの要部を示す断面図である。 実施形態１に係るヘッドユニットの製造方法の一例を示す断面図である。

符号の説明

１０ 流路形成基板、 １１ 弾性膜、 １２ 圧力発生室、 １３ 連通部、 １４ インク供給路、 ２０ ノズルプレート、 ３０ 保護基板、 ３１ 圧電素子保持部、 ３２ リザーバ部、１００ ヘッドユニット、 ２００ インクジェット式記録ヘッド、 ２１０ 記録ヘッド本体、 ２２０ ヘッドケース、 ２３０ リザーバ、 ２４０ 引き出し配線、 ２５０ 駆動ＩＣ、 ２６０ 接続配線、 ２７０ 外部配線、 ３００ 圧電素子、 ４００ 押圧部材

Claims (6)

1. ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド本体と該液体噴射ヘッド本体の液体噴射面とは反対側に接合されるヘッドケースとからなる複数個の液体噴射ヘッドと、これら複数個の液体噴射ヘッドの前記ヘッドケース側に一体的に接合される保持部材とを具備する液体噴射ヘッドユニットの製造方法であって、
   前記液体噴射ヘッドのそれぞれの前記ヘッドケース側の上面の少なくとも１箇所に押圧部材の先端部を点接触させて当該押圧部材の先端部で前記液体噴射ヘッドのそれぞれを個別に押圧しながら当該液体噴射ヘッドのそれぞれと前記保持部材とを接合することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
2. 請求項１において、前記押圧部材の先端部で前記液体噴射ヘッドを前記液体噴射面の面方向と直交する方向に押圧することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
3. 請求項１又は２において、前記保持部材が液体貯留部内の液体を前記液体噴射ヘッド毎に供給する流路を有するカートリッジケースであり、且つ当該カートリッジケースには前記液体噴射ヘッドに対向する部分を厚さ方向に貫通して挿入孔が設けられており、当該挿入孔に前記押圧部材を挿入して前記液体噴射ヘッドのそれぞれを押圧することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
4. 請求項１〜３の何れかにおいて、前記ヘッドケースの中央部には前記液体噴射ヘッド本体を駆動させるための駆動ＩＣを囲む空間であるＩＣ保持部が厚さ方向に貫通して設けられると共に、当該ＩＣ保持部の前記液体噴射ヘッド本体側とは反対側の開口部がその中央部を跨いで設けられた梁部で区切られており、当該梁部を前記押圧部材の先端部で押圧することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
5. 請求項１〜４の何れかにおいて、複数個の前記液体噴射ヘッドの前記液体噴射面側を固定板に接合した後に当該液体噴射ヘッドのそれぞれと前記保持部材とを接合することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
6. ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド本体と該液体噴射ヘッド本体の液体噴射面とは反対側に接合されるヘッドケースとからなる複数個の液体噴射ヘッドと、これら複数個の液体噴射ヘッドの前記ヘッドケース側に一体的に接合される保持部材とを具備する液体噴射ヘッドユニットであって、
   前記ヘッドケースの中央部には、前記液体噴射ヘッド本体を駆動させるための駆動ＩＣを囲む空間であるＩＣ保持部が厚さ方向に貫通して設けられると共に前記ＩＣ保持部の前記液体噴射ヘッド本体側とは反対側には当該ＩＣ保持部の開口を跨いで梁部が設けられており、前記保持部材の前記梁部に対向する部分には、当該梁部を押圧するための押圧部材を挿入可能な挿入孔が厚さ方向に貫通して設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。

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