JP4367165B2 - 半導体力学量センサの検査方法 - Google Patents
半導体力学量センサの検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4367165B2 JP4367165B2 JP2004036439A JP2004036439A JP4367165B2 JP 4367165 B2 JP4367165 B2 JP 4367165B2 JP 2004036439 A JP2004036439 A JP 2004036439A JP 2004036439 A JP2004036439 A JP 2004036439A JP 4367165 B2 JP4367165 B2 JP 4367165B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fixed
- electrode
- support substrate
- movable electrode
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/0802—Details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0808—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate
- G01P2015/0811—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0814—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for one single degree of freedom of movement of the mass for translational movement of the mass, e.g. shuttle type
Description
V5=(CK1・V1+CK2・V2+CK3・V3+CK4・V4)/(CK1+CK2+CK3+CK4)
そして、この数式2に示される関係を利用して、第1の固定電極(31)に印加する電圧V1、第2の固定電極(41)に印加する電圧V2、可動電極(24)に印加する電圧V3を一定にしつつ、周辺固定部(50)に印加する電位V4を変化させることにより、可動電極(24)と支持基板(11)との間の電位差を変化させ、可動電極(24)を基板面と垂直方向へ変位させる。
図1は、本発明の実施形態に係る半導体加速度センサ100の全体構成を示す概略平面図、図2は図1中のA−A線に沿ったセンサ100の概略断面図、図3は図1中のB−B線に沿ったセンサ100の概略断面図である。
次に、本半導体加速度センサ100の検出動作について説明する。本実施形態では、加速度の印加に伴う可動電極24と固定電極31、41との間の容量変化に基づいて加速度を検出するようになっている。
V0=(CS1−CS2)・Vcc/Cf
このようにして、加速度の検出がなされる。なお、この加速度検出時では、周辺固定部50は、基準電位すなわち0Vの状態となっている。
このような基本構成および作動を行う本半導体加速度センサ100において、上述したように、加速度の印加に伴う可動電極24の基板面と垂直方向への変位の異常を調べる検査が必要である。ここで、基板面と垂直方向は図2、図3において矢印Zにて示されている。
V5=Q/C
=(CK1・V1+CK2・V2+CK3・V3+CK4・V4)/(CK1+CK2+CK3+CK4)
本実施形態では、この数式4に示される関係を利用して、第1の固定電極31に印加する電圧V1、第2の固定電極41に印加する電圧V2、可動電極24に印加する電圧V3を一定にしつつ、周辺固定部50に印加する電位V4を変化させる。
以上述べてきたように、本実施形態によれば、支持基板11上において当該支持基板11の周辺部にて支持基板11に固定されて支持された半導体からなる周辺固定部50と、支持基板11上において周辺固定部50の内周にて支持基板11に支持され、基板面と水平方向に変位可能となっている半導体からなる可動電極24と、支持基板11上において周辺固定部50の内周にて支持基板11に固定されて支持され、可動電極24に対向する半導体からなる固定電極31、41と、を備え、加速度が印加されたときの可動電極24の変位に伴う可動電極24と固定電極31、41との距離変化に基づいて印加加速度を検出するようにした半導体加速度センサ100を検査する検査方法において、次のような特徴点を有する検査方法が提供される。
なお、上記実施形態の半導体加速度センサ100では、可動電極24は櫛歯状に複数本配列されたものであり、固定電極31、41は、可動電極24における櫛歯の隙間にかみ合うように櫛歯状に複数本配列されたものであるが、これら電極の構成は、これに限定されるものではない。
31…第1の固定電極、41…第2の固定電極、50…周辺固定部。
Claims (3)
- 支持基板(11)上において当該支持基板(11)の周辺部にて前記支持基板(11)に固定されて支持された半導体からなる周辺固定部(50)と、
前記支持基板(11)上において前記周辺固定部(50)の内周にて前記支持基板(11)に支持され、基板面と水平方向に変位可能となっている半導体からなる可動電極(24)と、
前記支持基板(11)上において前記周辺固定部(50)の内周にて前記支持基板(11)に固定されて支持され、前記可動電極(24)との間にそれぞれ検出間隔を介して対向する半導体からなる第1の固定電極(31)および第2の固定電極(41)と、を備え、
前記可動電極(24)と前記第1の固定電極(31)との間に第1の容量CS1が形成され、前記可動電極(24)と前記第2の固定電極(41)との間に第2の容量CS2が形成されており、
力学量が印加されたときの前記可動電極(24)の変位に伴う、前記第1の容量CS1と前記第2の容量CS2との差動容量変化に基づいて印加力学量を検出するようにした半導体力学量センサを検査する検査方法において、
前記第1の固定電極(31)と前記支持基板(11)との間の寄生容量をCK1、前記第2の固定電極(41)と前記支持基板(11)との間の寄生容量をCK2、前記可動電極(24)と前記支持基板(11)との間の寄生容量をCK3、前記周辺固定部(50)と前記支持基板(11)との間の寄生容量をCK4とし、
前記第1の固定電極(31)に電位V1、前記第2の固定電極(41)に電位V2、前記可動電極(24)に電位V3、前記周辺固定部(50)に電位V4を印加した場合の前記支持基板(11)の電位V5は、次の数式1
(数1)
V5=(CK1・V1+CK2・V2+CK3・V3+CK4・V4)/(CK1+CK2+CK3+CK4)
にて表され、
この数式1に示される関係を利用して、前記第1の固定電極(31)に印加する電圧V1、前記第2の固定電極(41)に印加する電圧V2、前記可動電極(24)に印加する電圧V3を一定にしつつ、前記周辺固定部(50)に印加する電位V4を変化させることにより、
前記可動電極(24)と前記支持基板(11)との間の電位差を変化させ、前記可動電極(24)を前記基板面と垂直方向へ変位させるようにしたことを特徴とする半導体力学量センサの検査方法。 - 前記可動電極(24)は、櫛歯状に複数本配列されたものであり、
前記固定電極(31、41)は、前記可動電極(24)における櫛歯の隙間にかみ合うように櫛歯状に複数本配列されたものであることを特徴とする請求項1に記載の半導体力学量センサの検査方法。 - 前記支持基板(11)、前記周辺固定部(50)、前記可動電極(24)および前記固定電極(31、41)は、シリコン半導体からなるものであることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体力学量センサの検査方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004036439A JP4367165B2 (ja) | 2004-02-13 | 2004-02-13 | 半導体力学量センサの検査方法 |
DE102005005554A DE102005005554B4 (de) | 2004-02-13 | 2005-02-07 | Verfahren zur Überprüfung eines Halbleitersensors für eine dynamische Grösse |
US11/052,049 US7046028B2 (en) | 2004-02-13 | 2005-02-08 | Method of inspecting a semiconductor dynamic quantity sensor |
CNB2005100090032A CN100378943C (zh) | 2004-02-13 | 2005-02-16 | 检测半导体动态量传感器的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004036439A JP4367165B2 (ja) | 2004-02-13 | 2004-02-13 | 半導体力学量センサの検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005227143A JP2005227143A (ja) | 2005-08-25 |
JP4367165B2 true JP4367165B2 (ja) | 2009-11-18 |
Family
ID=34824377
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004036439A Expired - Fee Related JP4367165B2 (ja) | 2004-02-13 | 2004-02-13 | 半導体力学量センサの検査方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7046028B2 (ja) |
JP (1) | JP4367165B2 (ja) |
CN (1) | CN100378943C (ja) |
DE (1) | DE102005005554B4 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008041896A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Tokyo Electron Ltd | 基板検知機構およびそれを用いた基板処理装置 |
JP2009145321A (ja) * | 2007-11-19 | 2009-07-02 | Hitachi Ltd | 慣性センサ |
EP2060871A3 (en) * | 2007-11-19 | 2012-12-26 | Hitachi Ltd. | Inertial sensor |
JP4510068B2 (ja) * | 2007-12-05 | 2010-07-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 微小構造体の変位量測定装置および変位量測定方法 |
US9034128B2 (en) | 2007-12-17 | 2015-05-19 | The Boeing Company | Fitting doublers using gap mapping |
US8324911B2 (en) * | 2007-12-17 | 2012-12-04 | The Boeing Company | Gap mapping for fitting composite doublers |
JP2010127763A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-06-10 | Hitachi Ltd | 半導体力学量検出センサ及びそれを用いた制御装置 |
JP2012242201A (ja) * | 2011-05-18 | 2012-12-10 | Denso Corp | 容量式物理量検出装置 |
JP5729316B2 (ja) * | 2012-01-23 | 2015-06-03 | 株式会社デンソー | 容量式物理量検出装置 |
US9541462B2 (en) | 2014-08-29 | 2017-01-10 | Kionix, Inc. | Pressure sensor including deformable pressure vessel(s) |
CN104569490B (zh) * | 2015-01-30 | 2018-01-19 | 歌尔股份有限公司 | 一种加速度计的z轴结构及其生产方法 |
US20170356929A1 (en) * | 2015-01-30 | 2017-12-14 | Goertek, Inc. | Z-axis structure of accelerometer and manufacturing method of z-axis structure |
CN110426594B (zh) * | 2019-08-28 | 2021-04-13 | 国网江苏省电力有限公司扬中市供电分公司 | 一种架空输电线路接地线隐患定位监测设备 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA1330265C (en) * | 1988-09-23 | 1994-06-21 | Craig W. White | Self-calibrating accelerometer |
EP0543901B1 (en) * | 1990-08-17 | 1995-10-04 | Analog Devices, Inc. | Monolithic accelerometer |
JP2786321B2 (ja) * | 1990-09-07 | 1998-08-13 | 株式会社日立製作所 | 半導体容量式加速度センサ及びその製造方法 |
EP0822415B1 (en) * | 1996-07-31 | 2003-03-26 | STMicroelectronics S.r.l. | Semiconductor integrated capacitive acceleration sensor and relative fabrication method |
EP0895090B1 (en) * | 1997-07-31 | 2003-12-10 | STMicroelectronics S.r.l. | Process for manufacturing high-sensitivity accelerometric and gyroscopic integrated sensors, and sensor thus produced |
CN1069972C (zh) * | 1997-11-11 | 2001-08-22 | 李韫言 | 双电极单晶硅电容加速度传感器及其制造方法 |
JPH11304495A (ja) * | 1998-04-24 | 1999-11-05 | Hitachi Ltd | 回転角速度センサ |
JP3307328B2 (ja) * | 1998-05-11 | 2002-07-24 | 株式会社デンソー | 半導体力学量センサ |
JP4134384B2 (ja) * | 1998-07-07 | 2008-08-20 | 株式会社デンソー | 半導体力学量センサの製造方法 |
JP2002005955A (ja) * | 2000-06-26 | 2002-01-09 | Denso Corp | 容量式力学量センサ |
DE10148858A1 (de) * | 2001-10-04 | 2003-04-10 | Bosch Gmbh Robert | Mikromechanischer Sensor mit Selbsttestfunktion und Optimierungsverfahren |
JP4166528B2 (ja) * | 2002-08-07 | 2008-10-15 | 株式会社デンソー | 容量式力学量センサ |
JP4026573B2 (ja) * | 2003-09-24 | 2007-12-26 | 株式会社デンソー | 電子装置を収納するパッケージの製造方法 |
JP2005265594A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Denso Corp | 可動部を有する半導体デバイス |
-
2004
- 2004-02-13 JP JP2004036439A patent/JP4367165B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-02-07 DE DE102005005554A patent/DE102005005554B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2005-02-08 US US11/052,049 patent/US7046028B2/en active Active
- 2005-02-16 CN CNB2005100090032A patent/CN100378943C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005227143A (ja) | 2005-08-25 |
US20050179440A1 (en) | 2005-08-18 |
DE102005005554B4 (de) | 2013-07-25 |
CN100378943C (zh) | 2008-04-02 |
DE102005005554A1 (de) | 2005-09-01 |
US7046028B2 (en) | 2006-05-16 |
CN1655335A (zh) | 2005-08-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7046028B2 (en) | Method of inspecting a semiconductor dynamic quantity sensor | |
JP4134853B2 (ja) | 容量式力学量センサ装置 | |
JP2002131331A (ja) | 半導体力学量センサ | |
US20030101817A1 (en) | Semiconductor dynamic quantity sensor | |
JP2007139505A (ja) | 容量式力学量センサ | |
JP5772873B2 (ja) | 静電容量式物理量センサ | |
JP4899781B2 (ja) | 容量式力学量検出装置 | |
WO2013179647A2 (ja) | 物理量センサ | |
JP2010127763A (ja) | 半導体力学量検出センサ及びそれを用いた制御装置 | |
JP2008216118A (ja) | 力学量センサ | |
JP2004340608A (ja) | 容量式力学量センサ装置 | |
JP2003240798A (ja) | 容量式力学量センサ | |
JP2012163507A (ja) | 加速度センサ | |
US6792805B2 (en) | Capacitive acceleration sensor | |
JP2005227089A (ja) | 力学量センサ装置 | |
US9612254B2 (en) | Microelectromechanical systems devices with improved lateral sensitivity | |
JP5369819B2 (ja) | 容量式物理量検出装置 | |
JP2012242201A (ja) | 容量式物理量検出装置 | |
JP2004347499A (ja) | 半導体力学量センサ | |
JP4329275B2 (ja) | 力学量センサ | |
JP4292746B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP5141545B2 (ja) | 力学量センサ装置 | |
JP5800759B2 (ja) | 角加速度検出装置及び検出方法 | |
JP5724899B2 (ja) | 容量式物理量検出装置 | |
JP2002005954A (ja) | 半導体力学量センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060327 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090317 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090403 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090804 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090817 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120904 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120904 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130904 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |