JP4367099B2 - 距離測定装置 - Google Patents
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Description
図3により、スライダの位置制御のための基準位置からの距離をレーザ干渉計により測定するセンサの構成をX軸センサ100で代表して説明する。X軸センサ100は、水平に固定配置された格子プラテン200の上面をX軸方向及びY軸方向にスライドして移動するスライダ300に固定されている。
VA=a[1+m・sin{X・2π/(λ/4)}]
VB=a[1+m・cos{X・2π/(λ/4)}]
VC=a[1−m・sin{X・2π/(λ/4)}]
VD=a[1−m・cos{X・2π/(λ/4)}]
ここで、X:検出対象の距離、a,m:係数
VA−VC=2m・a・sin{X・2π/(λ/4)}
VB−VD=2m・a・cos{X・2π/(λ/4)}
Sin(2πX/p)Cos(ωm・t)+Cos(2πX/p)Sin(ωm・t)の演算を行い、変調信号Sin(ωm・t+2πX/p)を得る。
被変調信号の最大周波数ωs<<変調信号の周波数ωm
である必要があるが、
ωs=2π・最大移動速度vmax[m/s]/p[m] p=λ[m]/4
ωm=2π・クロック周波数/M
であるため、Mを大きくすると、vmaxは小さくなる。
(1)レーザ光とこのレーザ光が基準位置となる反射体から反射された光との干渉縞を1/4干渉縞ピッチずつずらして配置された4個のフォトダイオードにより検出し、これらのフォトダイオードの各出力V A 〜V D からV A −V C とV B −V D の2つの位相検出信号を生成するセンサ部と、
このセンサ部の2つの位相検出信号を、それぞれ90°位相の異なるクロック信号の分周信号と乗算した上で加算し、変調信号を生成する位相変調部と、
この位相変調部の変調信号を2値化する2値化処理部と、
この2値化処理部の2値化変調信号を前記クロック信号に同期化させた同期化変調信号にし、この同期化変調信号の周期を前記クロック信号でカウントする周期カウンタと、
この周期カウンタの出力から前記クロック信号の分周値が減算された値を積算して前記距離に比例した出力値を得る積算器と、
前記2値化処理部の2値化変調信号のエッジと前記周期カウンタの同期化変調信号のエッジとの時間差を検出する時間差検出回路と、
この時間差検出回路の出力を電圧変換する時間/電圧変換回路と、
この時間/電圧変換回路の出力を分解能KADでA/D変換するA/D変換器と、
前記積算器の出力値をKAD倍する乗算器と、
この乗算器の出力から前記A/D変換器の出力を減算処理する加算器と、
を備えたことを特徴とする距離測定装置。
(1)クロック発振器に特別に高速なものを必要とせず、システム全体を統括するクロック信号を使用することができる。従って、信号処理のための高速処理機能は不要であり、コストダウンに貢献できる。
(2)分周の値Mを大きくする必要がないので、距離Xの変化スピードに対応して適正なレスポンスを確保することができる。
112 位相変調部
113 分周器
114 クロック発振器
115 2値化処理部
116 周期カウンタ
117、505 加算器
118 積算器
C: 分解能向上手段
501 時間差検出回路
502 時間/電圧変換回路
503 基準電圧発生回路
504 A/D変換器
505 乗算器
506 加算器
Claims (2)
- レーザ光とこのレーザ光が基準位置となる反射体から反射された光との干渉縞を1/4干渉縞ピッチずつずらして配置された4個のフォトダイオードにより検出し、これらのフォトダイオードの各出力V A 〜V D からV A −V C とV B −V D の2つの位相検出信号を生成するセンサ部と、
このセンサ部の2つの位相検出信号を、それぞれ90°位相の異なるクロック信号の分周信号と乗算した上で加算し、変調信号を生成する位相変調部と、
この位相変調部の変調信号を2値化する2値化処理部と、
この2値化処理部の2値化変調信号を前記クロック信号に同期化させた同期化変調信号にし、この同期化変調信号の周期を前記クロック信号でカウントする周期カウンタと、
この周期カウンタの出力から前記クロック信号の分周値が減算された値を積算して前記距離に比例した出力値を得る積算器と、
前記2値化処理部の2値化変調信号のエッジと前記周期カウンタの同期化変調信号のエッジとの時間差を検出する時間差検出回路と、
この時間差検出回路の出力を電圧変換する時間/電圧変換回路と、
この時間/電圧変換回路の出力を分解能KADでA/D変換するA/D変換器と、
前記積算器の出力値をKAD倍する乗算器と、
この乗算器の出力から前記A/D変換器の出力を減算処理する加算器と、
を備えたことを特徴とする距離測定装置。 - 格子プラテン上をXY方向に移動するスライダと、位置固定された反射体との距離を測定することを特徴とする請求項1に記載の距離測定装置。
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JP2003387558A JP4367099B2 (ja) | 2003-11-18 | 2003-11-18 | 距離測定装置 |
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JP2005147917A JP2005147917A (ja) | 2005-06-09 |
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Cited By (2)
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US9355508B2 (en) | 2012-09-10 | 2016-05-31 | Mdi Security, Llc | System and method for deploying handheld devices to secure an area |
KR20200084699A (ko) * | 2019-01-03 | 2020-07-13 | 울산과학기술원 | TOF(Time of Flight)를 이용한 거리 측정 장치 및 방법 |
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2003
- 2003-11-18 JP JP2003387558A patent/JP4367099B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
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US11348394B2 (en) | 2012-09-10 | 2022-05-31 | Mdi Security, Llc | System and method for deploying handheld devices to secure an area |
KR20200084699A (ko) * | 2019-01-03 | 2020-07-13 | 울산과학기술원 | TOF(Time of Flight)를 이용한 거리 측정 장치 및 방법 |
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