JP4362056B2 - 電子部品内蔵基板の製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、例えば、能動素子(例えば、電子回路を構成するトランジスタ)や、受動素子(例えばコンデンサ、抵抗)のような電子部品を内蔵した電子部品内蔵基板の製造方法に関するものである。
近年、電子部品の高密度実装化に伴い、能動素子や、受動素子などの電子部品を基板に内蔵した電子部品内蔵基板が提案されてきている。
このような、電子部品を基板に内蔵する方式では、例えば、半導体チップと、抵抗あるいはコンデンサーなどのチップ部品とを一緒に内蔵する場合、各々の部品の厚みが異なるため、搭載層に厚み分のザグリを形成した後、(1)各部品を埋め込む、(2)厚みが同一になるように下部にスペーサーを用いる、等の対応が必要であった。
(1)及び(2)の方法では、ザグリ形成やスペーサーを搭載するため工程が増える及び部品数が増加するなどの問題があり、技術的に満足の行くものでは無かった。
これらの課題を改善するために、特開2002−110714、特開2002−290006が提案されている。これら提案には、厚さが異なる複数の電子部品を樹脂封止し、電子部品内蔵基板を製造する方法が開示されている。
特開2002−110714 特開2002−290006
しかしながら、上記特開2002−110714では絶縁性のダミーシート上に一旦、電子部品を搭載して樹脂封止を施し、その後、ダミーシートを剥がすといったもので、最終構造としては不要であるダミーシートが使用されている。
一方、特開2002−290006では、電子部品の電極上にボンディングワイヤを立設し、樹脂封止した後、樹脂層を研削してボンディングワイヤの表面を露出させると共に平坦化するといったもので、樹脂の特性や樹脂封止工程の仕方によっては、ボンディングワイヤが倒れたり、ボンディングワイヤの先端位置がずれたりして、ボンディングワイヤの先端が所定の位置に配置されるようにすることが困難になる共に、外部端子(ハンダボール)を配置する位置を精度よく設定することも困難となる。この特開2002−290006では、樹脂の特性や樹脂封止工程に制約を設けるものである。
このため、さらなる部品数や工程数の低減、量産性の向上が指摘されており、改善が望まれている。
本発明は、前記従来における諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明の目的は、部品数や工程数が少なく、量産性に優れる電子部品内蔵基板の製造方法を提供することである。
上記課題は、以下の手段により解決される。
即ち、本発明の電子部品内蔵基板の製造方法は、
主表面に端子部を有し第1の厚さを有する第1電子部品を準備する工程と、
主表面に端子部を有し第1の厚さよりも厚い第2の厚さを有する第2電子部品を準備する工程と、
感光性シートである第1絶縁性シートを準備する工程と、
前記端子部が前記第1絶縁性シートに向き合うよう、前記第1及び第2電子部品を前記第1絶縁性シート上に搭載する工程と、
前記第1及び第2電子部品の端子部の表面が露出するよう、前記第1絶縁性シートに開口部を形成する工程と、
前記第1及び第2電子部品の端子部から前記第1絶縁性シート上部に延在する導電部材を形成する工程と、
前記導電部材の一部を露出する表面保護層を前記第1絶縁シート上及び前記導電部材上に形成する工程と、
露出した前記導電部材上に外部端子を形成する工程と、
を有することを特徴とする。
本発明の電子部品内蔵基板の製造方法では、電子部品を第1絶縁性シートに搭載し、この第1絶縁性シートを剥がすことなくそのまま使用し、例えばビルドアップ工法によって第1絶縁性シートを層間絶縁層として、端子部が露出する開口部を設けると共に前記開口部を通じて電子部品の端子部から第1絶縁性シート上に延在する導電部材(例えば配線層や外部端子)を設ける。このため、厚みの異なる電子部品を基板に内蔵させても、上述のようなダミーシートを用いたり、樹脂封止した後切削する方法に比べ、部品数や工程数の低減、量産性の向上が図れる。
本発明の電子部品内蔵基板の製造方法においては、第1及び第2電子部品を保護する工程として、前記第1絶縁性シート上に搭載された第1及び第2電子部品を、第2絶縁性シートに埋め込む工程を有してもよいし、前記第1絶縁性シート上に搭載された第1及び第2電子部品を、樹脂封止する工程を有してもよい。
ここで、プリプレグとは、基材(例えば紙、ガラス布、ガラス不織布、合成樹脂など)に熱硬化性樹脂(例えばエポキシ樹脂、フェノール樹脂など)を含浸させて半硬化状態にさせたものである。
また、感光性シートとは、例えば、感光性の部位を有する熱可塑性樹脂(例えばポリアミド、ポリイミドなど)で構成されたシートや、当該熱可塑性樹脂のフィラー(例えばシリカ、炭酸カルシウムなど)含有物で構成されたシートが挙げられる。
より具体的には、本発明の電子部品内蔵基板の製造方法は、
主表面に端子部を有し、第1の厚さを有する第1電子部品を準備する工程と、
主表面に端子部を有し、前記第1の厚さよりも厚い第2の厚さを有する第2電子部品を準備する工程と、
感光性シートである第1絶縁性シートを準備する工程と、
前記端子部が前記第1絶縁性シートに向き合うよう、前記第1及び第2電子部品を前記第1絶縁性シート上に搭載する工程と、
前記第1絶縁性シートに直接、露光・現像を施して、前記第1及び第2電子部品の前記端子部の表面が露出するよう、前記第1絶縁性シートに開口部を形成する工程と、
前記第1及び第2電子部品の前記端子部から前記第1絶縁性シート上部に延在する配線層を形成する工程と、
前記配線層の一部を露出する表面保護層を前記第1絶縁シート上及び前記配線層上に形成する工程と、
露出した前記配線層上に外部端子を形成する工程と、
前記第1及び第2電子部品を樹脂で覆う工程と、
を有することを特徴としている。
また、前記第1及び第2電子部品を樹脂で覆う工程は、第2絶縁性シートを準備する工程と、前記第2絶縁性シートを前記第1及び第2電子部品に押圧し、前記第2絶縁性シート内に前記第1及び第2電子部品を埋め込む工程と、を有してもよい。
また、前記第1及び第2電子部品を樹脂で覆う工程は、前記第1及び第2電子部品上に液状樹脂を滴下する工程を含んでいてもよい。
本発明によれば、部品数や工程数が少なく、量産性に優れる、といった効果を奏する。
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。なお、実質的に同様の機能を有するものには、全図面通して同じ符号を付して説明し、場合によってはその説明を省略することがある。
(第1の参考例
図1は、第1の参考例に係る電子部品内蔵基板の製造方法を示す工程図である。
参考例は、まず、例えば、ガラス不織布にエポキシ樹脂を含浸させた半硬化状態で、電子部品を搭載するための搭載用プリプレグ14(第1絶縁シート)と、半導体チップをパッケージングしたWCSP10(電子部品)と、コンデンサや抵抗などの直方体型のチップ部品12(電子部品)と、を準備する(図1(a))。このWCSP10とチップ部品12とは厚みが異なっており、本参考例では、第1の厚みを有する第1電子部品がチップ部品12に相当し、第1の厚さよりも厚い第2の厚さを有する第2電子部品がWCSP10に相当している。
ここで、WCSP(Wafer Level Chip Size Packageもしくは、Wafer Level Chip Scale Package)及びそのMCP(Multi Chip Package)は、ウエハ状態でパッケージングを行った後、個片化して得られるチップサイズとほぼ等しい外形寸法を有するパッケージである。そして、WCSPはパッケージ状態で完全良品であることが保証される。このようなWCSPは例えば特開平9−64049号に開示されている。
次に、搭載用プリプレグ14上に、厚みの異なるWCSP10及びチップ部品12を複数搭載する(図1(b))。この際、電子部品としてのWCSP10及びチップ部品12は、その端子部10a、12bが搭載用プリプレグ14に対面するように搭載用プリプレグ14上に搭載する。WCSP10の場合、端子部10aは集積回路が形成されたチップ主表面上に位置する。
この電子部品としてのWCSP10及びチップ部品12の固定方法には、接着剤を用いて固定する方法でもよいし、プリプレグの軟化温度以上に加熱した状態で電子部品を載せて固定する方法でもよいが、固定方法はこれらに限定されるものではない。
そして、WCSP10及びチップ部品12を埋め込むための埋め込み用プリプレグ16(第2絶縁シート)、及び埋め込み用プリプレグ16表面を保護するための保護用プリプレグ18を準備する(図1(c))。
次に、WCSP10及びチップ部品12を搭載した搭載用プリプレグ14と、埋め込み用プリプレグ16と、保護用プリプレグ18と、を重ね合わせた後、例えば、埋め込み用プリプレグ16の軟化点以上に加熱・加圧して、埋め込み用プリプレグ16にWCSP10及びチップ部品12を埋め込んで保護すると共に、3つのプリプレグを積層する(図1(d))。
その後、搭載用プリプレグ14を層間絶縁層として、以下に示すようなビルドアップ工法を施す(図1(e))。
まず、WCSP10の端子10a上に位置する搭載用プリプレグ14及びチップ部品12の端子12a上に位置する搭載用プリプレグ14に、レーザ(例えばCO2レーザ、UV−YAGレーザ等)を照射して、via開口20を形成すると共に、WCSP10の端子10a及びチップ部品12の端子12aを露出する。
次に、via開口20を含む搭載用プリプレグ14の表面上にメッキ処理などにより導電層を形成する。続いて、この導電層上にフォトレジストを形成し、このフォトレジストを所定の形状に露光、現像し、このフォトレジストをマスクとして導電層をパターニングする。その後、フォトレジストを除去する。その結果、所定の形状にパターニングされた配線層22を得る。この配線層22の一端はWCSP10の端子10a及びチップ部品12の端子12a上に位置しており、他端はWCSP10及びチップ部品12上から離れた搭載用プリプレグ14の表面上に位置する。即ち、配線層22は各電子部品の端子から搭載用プリプレグ14上へと延在している。配線層22の他端は、後述するハンダボール24が形成されるランド部22aである。
次に、表面保護層となるソルダーレジスト膜26を搭載用プリプレグ14上全面に形成する。その後、搭載用プリプレグ14上にフォトレジストを形成する。次に、このフォトレジストを露光、現像し、このフォトレジストをマスクとして、配線層22のランド部22a(他端)上に位置するソルダーレジスト膜26をエッチング除去し、開口部28を形成する。そして、この開口部28内にハンダボール24を設ける。
以上は、単層のビルドアップ工法の場合であり、多層構造が必要な場合、プリプレグ積層、via開口形成、配線層形成を繰り返し施せばよい。
なお、本参考例では、ビルドアップ工法としてvia開口20を形成した形態を説明したが、例えば、スルーホール(th)や、インダクターを形成などを形成する形態でもよい。
以上のように、本参考例によれば、所定の位置にWCSP10及びチップ部品12を搭載した搭載用プリプレグ14(第1絶縁シート)を、そのまま層間絶縁層として使用し、当該搭載用プリプレグ14上でビルドアップ工法により配線構造を形成しているので、部品数や工程を削減できる。
(第2の参考例
図2は、第2の参考例に係る電子部品内蔵基板の製造方法を示す工程図である。
参考例では、埋め込み用プリプレグ16を使用せず、搭載用プリプレグ14上に、厚みの異なるWCSP10及びチップ部品12を複数搭載した後(図2(b))、WCSP10及びチップ部品12に、これらの裏面側から液状樹脂を滴下し加熱(キュア)を施し固化させて得られる封止樹脂26により樹脂封止する(図2(c))。そして、保護用プリプレグ18を準備して(図2(d))、必要に応じて封止樹脂26表面を切削して平坦化した後、保護用プリプレグ18を積層する(図2(e))。そして、ビルドアップ工法を施す(図2(f))。これ以外の工程は、上記第1の参考例と同様なので、説明を省略する。
参考例では、電子部品としてのWCSP10及びチップ部品12を、単に滴下された液状樹脂を加熱により固化させて得られる封止樹脂26により樹脂封止するので、第1の参考例に比べ、加圧を施さずにWCSP10及びチップ部品12を保護することができ、電子部品としてのWCSP10及びチップ部品12に負担を掛けず電子部品内蔵基板を製造することができる。このため、信頼性が高い電子部品内蔵基板を得ることが可能となる。
第1の実施の形態)
本実施形態は、搭載用プリプレグ14として、絶縁性の感光性シートを用い、ビルドアップ工法におけるvia開口20を形成する際に、以下に示すようにホトリソグラフィー法を適用する形態である(図1(e)或いは図2(f)参照)。これ以外は、上記第1或いは第2の参考例と同様であるので、説明を省略する。
まず、図1(e)或いは図2(f)において、搭載用プリプレグ14に直接、フォトマスクのパターンを露光して転写した後、現像を施し、WCSP10の端子10a上に位置する搭載用プリプレグ14及びチップ部品12の端子12a上に位置する搭載用プリプレグ14を除去してvia開口20を形成すると共に、WCSP10の端子10a及びチップ部品12の端子12aを露出する。
次に、via開口20を含む搭載用プリプレグ14の表面上にメッキ処理などにより導電層を形成する。続いて、この導電層上にフォトレジストを形成し、このフォトレジストを所定の形状に露光、現像し、このフォトレジストをマスクとして導電層をパターニングする。その後、フォトレジストを除去する。その結果、所定の形状にパターニングされた配線層22を得る。この配線層22の一端はWCSP10の端子10a及びチップ部品12の端子12a上に位置しており、他端はWCSP10及びチップ部品12上から離れた搭載用プリプレグ14の表面上に位置する。即ち、配線層22は各電子部品の端子から搭載用プリプレグ14上へと延在している。配線層22の他端は、後述するハンダボール24が形成されるランド部22aである。
次に、表面保護層となるソルダーレジスト膜26を搭載用プリプレグ14上全面に形成する。その後、搭載用プリプレグ14上にフォトレジストを形成する。次に、このフォトレジストを露光、現像し、このフォトレジストをマスクとして、配線層22のランド部22a(他端)上に位置するソルダーレジスト膜26をエッチング除去し、開口部28を形成する。そして、この開口部28内にハンダボール24を設ける。
以上は、単層のビルドアップ工法の場合であり、多層構造が必要な場合、プリプレグ積層、via開口形成、配線層形成を繰り返し施せばよい。なお、2層目以降のプリプレグ積層には、シート状部材の積層に代えて液状の感光性材料を用いた塗布形成も適用できる。
このように、本実施形態では、搭載用プリプレグ14として、感光性の接着シートを用いることで、via開口20を形成する際に、ホトリソグラフィー法が適用できるため、上記第1及び第2の参考例に比べて、量産性の向上が図れる。
なお、上記何れの参考例及び実施形態でも、外部端子にハンダボール24を設けた形態を説明したが、通常のドーターボードやマザーボードと同様に、システム内の接続をコネクターやソケットなどで構成してもよい。
上記何れの参考例及び実施形態でも、能動素子を含む電子部品としてWCSP10を内蔵させた形態を説明したが、この種の電子部品としては、複数のWCSPが積層されたMCP(Multi Chip Pakage)を初め、ウェハ状態でパッケージされた装置や、ベアの半導体チップ、も適用できる。
上記何れの参考例及び実施形態でも、コンデンサや抵抗などのチップ部品12として直方体型の部品を用いた形態を説明したが、これに限られず、電子部品としてのチップ部品12は、単一の面に外部端子があるものであれば適用できる。
上記何れの参考例及び実施形態でも、厚みの異なる2つの電子部品を内蔵する形態を説明したが、これに限られず、内蔵させる電子部品の数、種類は適宜選択することができる。
上記何れの参考例及び実施形態でも、一層配線構造の形態を説明したが、多層配線構造としてもよい。
上記何れの参考例及び実施形態では、絶縁性シートとして搭載用プリプレグ14や感光性シートを用いた形態を説明したが、これらには、予め鋼箔層が形成されていてもよいし、電子部品が内蔵されていてもよい。
上記何れの参考例及び実施形態においても、限定的に解釈されるものではなく、本発明の要件を満足する範囲内で実現可能であることは、言うまでもない。
第1の実施の形態に係る電子部品内蔵基板の製造方法を示す工程図である。 第2の実施の形態に係る電子部品内蔵基板の製造方法を示す工程図である。
符号の説明
10 WCSP(電子部品)
12 チップ部品(電子部品)
14 搭載用プリプレグ(第1絶縁シート)
16 埋め込み用プリプレグ(第2絶縁シート)
18 プリプレグ
20 開口
22 配線層
24 ハンダボール
26 封止樹脂

Claims (6)

  1. 主表面に端子部を有し第1の厚さを有する第1電子部品を準備する工程と、
    主表面に端子部を有し第1の厚さよりも厚い第2の厚さを有する第2電子部品を準備する工程と、
    感光性シートである第1絶縁性シートを準備する工程と、
    前記端子部が前記第1絶縁性シートに向き合うよう、前記第1及び第2電子部品を前記第1絶縁性シート上に搭載する工程と、
    前記第1及び第2電子部品の端子部の表面が露出するよう、前記第1絶縁性シートに開口部を形成する工程と、
    前記第1及び第2電子部品の端子部から前記第1絶縁性シート上部に延在する導電部材を形成する工程と、
    前記導電部材の一部を露出する表面保護層を前記第1絶縁シート上及び前記導電部材上に形成する工程と、
    露出した前記導電部材上に外部端子を形成する工程と、
    を有することを特徴とする電子部品内蔵基板の製造方法。
  2. 前記第1絶縁性シート上に搭載された第1及び第2電子部品を、第2絶縁性シートに埋め込む工程を有することを特徴とする請求項1に記載の電子部品内蔵基板の製造方法。
  3. 前記第1絶縁性シート上に搭載された第1及び第2電子部品を、樹脂封止する工程を有することを特徴とする請求項1に記載の電子部品内蔵基板の製造方法。
  4. 主表面に端子部を有し、第1の厚さを有する第1電子部品を準備する工程と、
    主表面に端子部を有し、前記第1の厚さよりも厚い第2の厚さを有する第2電子部品を準備する工程と、
    感光性シートである第1絶縁性シートを準備する工程と、
    前記端子部が前記第1絶縁性シートに向き合うよう、前記第1及び第2電子部品を前記第1絶縁性シート上に搭載する工程と、
    前記第1絶縁性シートに直接、露光・現像を施して、前記第1及び第2電子部品の前記端子部の表面が露出するよう、前記第1絶縁性シートに開口部を形成する工程と、
    前記第1及び第2電子部品の前記端子部から前記第1絶縁性シート上部に延在する配線層を形成する工程と、
    前記配線層の一部を露出する表面保護層を前記第1絶縁シート上及び前記配線層上に形成する工程と、
    露出した前記配線層上に外部端子を形成する工程と、
    前記第1及び第2電子部品を樹脂で覆う工程と、
    を有することを特徴とする電子部品内蔵基板の製造方法。
  5. 前記第1及び第2電子部品を樹脂で覆う工程は、第2絶縁性シートを準備する工程と、前記第2絶縁性シートを前記第1及び第2電子部品に押圧し、前記第2絶縁性シート内に前記第1及び第2電子部品を埋め込む工程と、を有することを特徴とする請求項に記載の電子部品内蔵基板の製造方法。
  6. 前記第1及び第2電子部品を樹脂で覆う工程は、
    前記第1及び第2電子部品上に液状樹脂を滴下する工程を含むことを特徴とする請求項に記載の電子部品内蔵基板の製造方法。
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