JP4360467B2 - 強誘電体メソ結晶担持薄膜及びその製造方法 - Google Patents
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Description
すなわち、前記珪酸塩メソ多孔体をナノサイズの強誘電体微結晶を形成する鋳型として有効に利用できるゾルを用いることにより前記課題を解決することができた。
A.均一なナノサイズの規則的に配列した細孔が形成された薄膜は、ケイ素の、メトキシ、エトキシ、i−プロポキシなどのアルコキシド、界面活性剤、水、アルコール、酸などの触媒からなる出発溶液の組成、特に界面活性剤の種類により、細孔の径を制御することができる。
B.ソル−ゲル法により作られる材料は、最終製品に含まれる金属が単独の場合には安定的組成のものが得られるが、複数金属を含む強誘電体の結晶を生成させるためには原料に用いる金属を供給する化合物(複合アルコキシドなどの金属有機化合物)を選択する必要がある。
本発明においては、前記A.で得られた細孔を鋳型として化学量論量組成の強誘電体の微結晶が形成できるように、金属アルコキシド又は金属アセチルアセトナトを前記鋳型に吸収させるソルを調製する原料として用いた。
生成される強誘電体材料としては、BaTiO3、Bi4Ti3O12、LiTaO3及びLiNbO3などを挙げることができる。
誘電率の周波数依存性(インピーダンスアナライザ4192A, YHP)
誘電率の温度依存性(インピーダンスアナライザ4192A, YHP)
FE−SEM像(JSM-6320F,日本電子)
X線回折パターン(ガイガーフレックス2013,理学電機)
A.各種基板上への珪酸塩メソ多孔体薄膜の作製
1.テトラエチルオルソシリケート(TEOS)4.003g、ドデシルトリメチルアンモニウムクロリド(東京化成製、商品名I−0453)0.533g、水4.020g、12N 塩酸0.125g、エタノール45.89gを混合撹拌して,原料溶液を合成した。
2.各種基板上(石英ガラス、硼珪酸ガラス、マグネシア、サファイア、Pt/Ti/SiO2/Siシリコンウエハー)に,2段階のスピンコーティングにより溶液を塗布(1段目、2000回転、10秒、2段目、4000回転、30秒)した。その後、600℃、1分間、大気中で熱処理した。スピンコートと焼成を5回繰り返して珪酸塩メソ多孔体薄膜を作製した。得られた珪酸塩メソ多孔体薄膜のX線回折パターンを図1に示す。約2.8nmの周期構造を示している。また、Pt上に形成された薄膜の断面FE−SEM像を図2に示す。
金属リチウムを溶解したエタノール溶液にタンタルエトキシド(Ta(OEt)5)を溶解し、組成がLi/Ta=1.0(モル比)で、0.1mol/kgの濃度のLi−Ta前駆体溶液を合成した。この溶液中に先に作製した珪酸塩メソ多孔体薄膜の形成された基板をつけ込み、1日静置した。取り出した後、600℃、5分間、空気中で焼成してLiTaO3結晶担持薄膜を作製した。珪酸塩メソ多孔体薄膜のメソ孔は周期2.8nm、壁厚約1nmであり、その中に1.8nmφ程度のLiTaO3メソ結晶が生成した。
また、図3は、比誘電率の周波数(Hz)依存性を測定したデータを示し、本発明のLiTaO3結晶担持薄膜(△)は前記非特許文献1に示すLiTaO3担持粉体を用いた試料(○)より高い誘電率を示した。このことは、本発明のLiTaO3結晶担持薄膜が高密度の強誘電性不揮発メモリー材料としてより適していることを示すものである。
Claims (7)
- シリコンアルコキシドと界面活性剤を炭素数1〜3のアルコールに溶解させ、これに酸及び水を加え前記アルコキシドの加水分解及び重合反応を進行させ自己組織化したゾルを形成し、前記ゾルから薄膜を形成し、前記薄膜を乾燥ゲル化及び加熱ゲル化し、更に焼成して前記界面活性剤を除去することにより均一なナノサイズの規則的に配列した細孔が形成された薄膜を形成し、次いで、前記ナノサイズの細孔が形成された薄膜を強誘電体結晶を形成する前駆体の金属アルコキシド、金属アセチルアセトナト又はこれらの混合物を炭素数1〜3のアルコールに溶解させた前駆体溶液に浸漬し、前記前駆体溶液を吸収させた後、乾燥、焼成して前記細孔内にナノサイズの強誘電体結晶を形成させて得られたナノサイズ強誘電体結晶をもつ強誘電体薄膜。
- 均一なナノサイズの規則的に配列した細孔が六方配列した直径10nm以下0.1nm以上の構造からなるものである請求項1に記載の強誘電体薄膜。
- 強誘電体微結晶がBaTiO 3 、Bi4Ti3O12、LiTaO3 またはLiNbO 3 のメソ結晶である請求項1又は2に記載のナノサイズ強誘電体結晶をもつ強誘電体薄膜。
- シリコンアルコキシドと界面活性剤を炭素数1〜3のアルコールに溶解させ、これに酸及び水を加え前記アルコキシドの加水分解及び重合反応を進行させ自己組織化したゾルを形成し、前記ゾルから薄膜を形成し、前記薄膜を乾燥ゲル化及び加熱ゲル化し、更に焼成して前記界面活性剤を除去することにより均一なナノサイズの規則的に配列した細孔が形成された薄膜を形成し、次いで、前記ナノサイズの細孔が形成された薄膜を強誘電体結晶を形成する前駆体の金属アルコキシド、金属アセチルアセトナト又はこれらの混合物を炭素数1〜3のアルコールに溶解させた前駆体溶液に浸漬し、前記前駆体溶液を細孔内に吸収させた後、乾燥、焼成して前記細孔内にナノサイズの強誘電体結晶を形成させて得られたナノサイズ強誘電体結晶をもつ強誘電体薄膜を製造する方法。
- 前記アルコールがメタノール、エタノール、イソプロパノール又はこれらの2種以上の混合物であり、シリコンアルコキシドがテトラメチルオルソシリケート(TMOS)、テトラエチルオルソシリケート(TEOS)、又はこれらの混合物であり、前記界面活性剤が(C12−16アルキル)トリメチルアンモニウム塩、アルキルポリオキシエチレン塩、又はポリアルキレンオキサイドブロックコポリマー骨格を有するノニオンである請求項4に記載のナノサイズ強誘電体結晶をもつ強誘電体薄膜を製造する方法。
- 前記金属アルコキシド又は金属アセチルアセトナトの混合物がBaTiO 3 、Bi4Ti3O12、LiTaO3又はLiNbO3からなる強誘電体を形成する前駆体の化学量論量の混合物である請求項4又は5に記載のナノサイズ強誘電体結晶をもつ強誘電体薄膜を製造する方法。
- ナノサイズ強誘電体結晶の直径が0.1nm以上10nm以下である請求項6に記載の強誘電体薄膜を製造する方法。
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