JP4360195B2 - 振動アクチュエータ装置 - Google Patents

Description

本発明は、振動波を利用した振動アクチュエータを備えた振動アクチュエータ装置に関するものである。

振動アクチュエータは、低速駆動で大出力が得られることから、各産業分野において期待されているアクチュエータである。例えば、特許文献１には、圧電体の伸縮を利用して弾性体の駆動面に進行性振動波を発生させ、この進行波によって駆動面に楕円運動が生じ、楕円運動の波頭に加圧接触した移動子が駆動される振動アクチュエータが開示されている。この種の振動アクチュエータは、低回転でも高トルクを有する特徴があるため、駆動装置に用いた場合に、駆動装置のギアを省略することができ、ギア騒音がなくなり、位置決め精度が向上するという利点がある。

また、特許文献２には、この振動アクチュエータ装置の組立性を向上させるために、弾性体の内径側に配置したベース部材と保持部材の間で結合機構としてバイヨネット機構を用いた振動アクチュエータが開示されている。
また、バイヨネット機構の代わりに、ベース部材に雄ネジ、保持部材に雌ネジを配置しネジによる締結方法を採用した技術が知られている。

しかし、結合機構として上述したバイヨネットを利用した従来技術は、加圧保持部材に外部から回転方向の力がかかった場合に、バイヨネットが外れてしまう可能性があり、別途ビス止め構造が必要となり、組立性がよくないという問題点があった。

特に、振動アクチュエータ駆動時に付勢部材がベース部材に接してしまうと音が発生するため、従来、ベース部材と付勢部材を接着剤で予め接着したり、付勢部材を調芯するための工具を用いなくてはならず、工数の増加、組立が難しくなっていた。
また、ネジ締結を利用する技術では、ネジ締結時に回転力が作用し弾性体と保持部材の間に配置される吸振材、付勢部材等が芯ズレを起こりやすくなる。
特公平１−１７３５４号公報 特開平３−１５９５７９号公報

本発明の第１の課題は、組立性の優れた振動アクチュエータ装置を提供することである。
本発明の第２の課題は、付勢部材等の芯ずれを補正しなくても、自動的に位置補正される振動アクチュエータ装置を提供することである。

本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。
請求項１の発明は、駆動信号により励振される電気機械変換素子（６）と前記電気機械変換素子（６）に接着され、前記励振により駆動面に振動波を発生させる弾性体（５）を有する固定子（５６）と、前記弾性体（５）の駆動面に圧接される駆動面を有し前記振動波によって移動する移動子（８）と、前記固定子（５６）と前記移動子（８）とを圧接させる付勢部材（３４）と、前記付勢部材（３４）を保持する保持部材（２）と、前記保持部材（２）と結合するベース部材（１）と、を備えた振動アクチュエータ装置において、前記保持部材（２）と前記ベース部材（１）間の結合機構（１２０）は、前記保持部材（２）又は前記ベース部材（１）に設けられた爪部（２０１）と、前記ベース部材（１）又は前記保持部材（２）に設けられた前記爪部（２０１）が挿入係合する挿入係合部（１０４）と、を有し、前記挿入係合部（１０４）は、前記爪部（２０１）を挿入させる挿入部（１０１）と、前記挿入部（１０１）への挿入後に前記爪部（２０１）を挿入方向とは異なる方向に移動可能な移動部（１０２）と、前記移動部（１０２）での移動後に前記爪部（２０１）の前記挿入方向と反対方向の移動により、前記爪部（２０１）を前記移動部（１０２）で移動させた方向とは反対方向に移動できないように係合させる係合部（１０３）と、を有し、前記付勢部材（３４）は、前記保持部材（２）の内側凹部（２０２）に位置し付勢力を発生させる付勢力発生部材（３）と、前記付勢力発生部材（３）による付勢力を前記弾性体（５）側に伝達する付勢力伝達部材（４）と、を有し、前記保持部材（２）は、前記付勢力発生部材（３）の外縁が前記内側凹部（２０２）を超えることを防止する段付きの端部（２０３）を有し、前記挿入部（１０１）に前記爪部（２０１）を挿入させたときに、前記保持部材（２）と前記付勢力伝達部材（４）間の距離が狭まることによる加圧により前記付勢力発生部材（３）の外縁が前記段付きの端部（２０３）まで広がり、前記係合部（１０３）に前記爪部（２０１）を係合させたときに、前記保持部材（２）と前記付勢力伝達部材（４）間の距離が広がることによる加圧力の減少により前記付勢力発生部材（３）の外縁が狭まることによって、前記付勢力発生部材（３）が前記保持部材（２）の内側凹部（２０２）の中心方向に位置補正されること、を特徴とする振動アクチュエータ装置である。

請求項２の発明は、駆動信号により励振される電気機械変換素子（６）と前記電気機械変換素子（６）に接着され、前記励振により駆動面に振動波を発生させる弾性体（５）を有する固定子（５６）と、前記弾性体（５）の駆動面に圧接される駆動面を有し前記振動波によって移動する移動子（８）と、前記固定子（５６）と前記移動子（８）とを圧接させる付勢部材（３４）と、前記付勢部材（３４）を保持する保持部材（２）と、前記保持部材（２）と結合するベース部材（１）と、を備えた振動アクチュエータ装置において、前記付勢部材（３４）は、前記保持部材（２）の内側凹部（２０２）に位置し付勢力を発生させる付勢力発生部材（３）と、前記付勢力発生部材（３）による付勢力を前記弾性体（５）側に伝達する付勢力伝達部材（４）と、を有し、前記保持部材（２）は、前記付勢力発生部材（３）の外縁が前記内側凹部（２０２）を超えることを防止する段付きの端部（２０３）を有し、前記保持部材（２）と前記付勢力伝達部材（４）間の距離が狭まることによる加圧により前記付勢力発生部材（３）の外縁が前記段付きの端部（２０３）まで広がり、前記保持部材（２）と前記付勢力伝達部材（４）間の距離が広がることによる加圧力の減少により前記付勢力発生部材（３）の外縁が狭まることによって、前記付勢力発生部材（３）が前記保持部材（２）の内側凹部（２０２）の中心方向に位置補正されること、を特徴とする振動アクチュエータ装置である。
請求項３の発明は、駆動信号により励振される電気機械変換素子（６）と、前記電気機械変換素子（６）の前記励振により駆動面に振動波を発生させる弾性体（５）とを有する固定子（５６）と、前記弾性体（５）の駆動面に圧接される駆動面を有し前記振動波によって移動する移動子（８）と、前記固定子（５６）と前記移動子（８）とを圧接させる付勢部材（３４）と、前記付勢部材（３４）を保持する保持部材（２）と、を備えた振動アクチュエータ装置において、前記付勢部材（３４）は、前記保持部材（２）の内側凹部（２０２）に位置し付勢力を発生させる付勢力発生部材（３）と、前記付勢力発生部材（３）による付勢力を前記弾性体（５）側に伝達する付勢力伝達部材（４）と、を有し、前記保持部材（２）は、前記付勢力発生部材（３）の外縁が前記内側凹部（２０２）を超えることを防止する段付きの端部（２０３）を有し、前記保持部材（２）と前記付勢力伝達部材（４）の距離が狭まることによる加圧により前記付勢力発生部材（３）の外縁が前記段付きの端部（２０３）まで広がり、前記保持部材（２）と前記付勢力伝達部材（４）間の距離が広がることによる加圧力の減少により前記付勢力発生部材（４）の外縁が狭まることによって前記付勢力発生部材（４）が位置補正されること、を特徴とする振動アクチュエータ装置である。
請求項４の発明は、請求項２または３に記載の振動アクチュエータ装置において、前記保持部材（２）と前記ベース部材（１）間の結合機構は、前記保持部材（２）又は前記ベース部材（１）に設けられた爪部（２０１）と、前記ベース部材（１）又は前記保持部材（２）に設けられた前記爪部（２０１）が挿入係合する挿入係合部（１０４）と、を有することを特徴とする振動アクチュエータ装置である。
請求項５の発明は、請求項４に記載の振動アクチュエータ装置において、前記挿入係合部（１０４）は、前記保持部材（２）と前記付勢力伝達部材（４）間の距離が狭まるように前記爪部（２０１）を挿入させる挿入部（１０１）と、前記挿入部（１０１）への挿入後に前記爪部（２０１）を挿入方向とは異なる方向に移動可能な移動部（１０２）と、前記移動部（１０２）での移動後に前記爪部（２０１）の前記挿入方向と反対方向の移動により、前記爪部（２０１）を前記移動部（１０２）で移動させた方向とは反対方向に移動できないように係合させる係合部（１０３）と、を有することを特徴とする振動アクチュエータ装置である。
請求項６の発明は、請求項１〜５のいずれか一項に記載の振動アクチュエータ装置において、前記付勢力発生部材（４）はウェーブワッシャーであることを特徴とする振動アクチュエータ装置である。

本発明は、以下のような効果を有する。
（１）保持部材とベース部材間の結合機構は、特に、爪部を移動させた方向とは反対方向に移動できないように係合させる係合部を設けたので、この係合部で爪部が確実に固定され、保持部材とベース部材間の結合が外部からの力によって外れにくくなり組立性が向上する。

（２）保持部材は、付勢力発生部材の外縁が内側凹部を超えることを防止する段付きの端部を有し、保持部材と付勢力伝達部材間の距離が狭まることによる加圧により付勢力発生部材の外縁が段付きの端部まで広がり、保持部材と付勢力伝達部材間の距離が広がることによる加圧力の減少により付勢力発生部材の外縁が狭まることによって、付勢力発生部材が保持部材の内側凹部の中心方向に位置補正されるので、自動調芯機能が働き、組立性が向上する。

本発明は、組立性の向上という目的を、ベース部材と保持部材間の結合構造に爪部を確実に固定させるための係合部を設けることにより実現した。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施例について、更に詳しく説明する。
図１は、本発明の実施例に係る振動アクチュエータを一眼レフカメラの交換レンズに搭載した際の一部断面図である。

実施例は、大きく３つの機構に分割され、モータ機構部Ａ、フォーカス群移動機構部Ｂ及び手動入力機構部Ｃに分けられる。

まず、モータ機構部Ａの構成について説明する。このモータ機構部Ａは、固定子５６と、移動子８（以下、「ロータ」という。）と、付勢部材３４と、保持部材２と、ベース部材１等とからなる振動アクチュエータを中心とする機構である。これらの固定子５６、ロータ８、保持部材２及びベース部材１などは、レンズ２１の光軸を中心にして円環状に形成されている。
固定子５６は、弾性体５と、この弾性体５に接着され、弾性体５の駆動面に振動波を発生させる圧電体（電気機械変換素子）６とを備えている。
ロータ８は、弾性体５の駆動面に圧接され、弾性体５の振動波で駆動される部材である。このロータ８は、上部吸振材９とともに、中間リング１０に取り付けられている。中間リング１０は、コロ１１でベース部材１に回転可能に支持されている。

付勢部材３４は、固定子５６とロータ８とを圧接する部材であり、付勢力を発生させる付勢力発生部材３及び付勢力伝達部材４を有している。付勢部材３４は、固定子５６とは、下部吸振材７を介して配置されている。本実施例においては、付勢力発生部材３は、強いばね作用を有するウェーブワッシャーを使用している。付勢力伝達部材４は、付勢力発生部材３であるウェーブワッシャーからの付勢力を固定子５６へ伝達するためのものである。
保持部材２は、付勢力発生部材３が配置される内側凹部２０２と、内側凹部２０２の外周上に設けられ、この内側凹部２０２を付勢力発生部材３の外縁が超えることを防止するための段付きの端部２０３と、ベース部材１に結合するための爪部２０１とを備えている。また、保持部材２には、圧電体６に給電するための給電用基板２８が取り付けられている。
ベース部材１は、固定鏡筒２０の外径側に接するように、モータ支持ピン２９及びモータ支持コロ３０で回転可能に設けられている。この保持部材２とベース部材１との間の結合機構は、後に詳述する（図２，図３）。

このように、振動アクチュエータは、固定子５６とロータ８とが、保持部材２と中間リング１０とで物理的に挟まれた空間の中に位置しているので、上述した付勢部材３４による付勢力により強く圧接されることが可能となっている。

次に、保持部材２とベース部材１との間の結合機構を、図２及び図３を参照しながら詳細に説明する。
図２は、本発明の実施例に係る振動アクチュエータにおける結合機構１２０を示す要部斜視図である。
図３は、本発明の実施例に係る振動アクチュエータにおける結合機構１２０を示す要部断面図（図２のＳ-Ｓ断面図）である。

ベース部材１は、保持部材２の爪部２０１を挿入係合するための挿入係合部１０４を備えている。この挿入係合部１０４は、保持部材２の爪部２０１を挿入係合するために、図３に示すように、挿入部１０１、移動部１０２及び係合部１０３の三段階の溝部が形成されている。
挿入部１０１は、ベース部材１の表面とは直角方向に設けられ、保持部材２の爪部２０１がベース部材１の表面とは直角方向に挿入可能になっている。
移動部１０２は、挿入部１０１における挿入方向とは直角方向（ベース部材１の表面と平行な方向）に設けられ、保持部材２の爪部２０１が挿入部１０１における挿入方向とは直角方向（ベース部材１の表面と平行な方向）に移動可能になっている。
係合部１０３は、この移動部１０２における移動方向と直角方向にかつベース部材１の表面に向かう方向（挿入とは反対方向）に設けられている。この係合部１０３は、保持部材２の爪部２０１をその両側面及び前面の３面において係合するために凹部空間を形成している。従って、保持部材２の爪部２０１は、この係合部１０３の凹部空間のなかで確実に係合され固定可能となっている。また、係合部１０３の両側面と爪部２０１の両側面とは、わずかなすき間を有して係合している。そのため、着脱は容易であり、かつ、ガタは非常に小さくなっている。

ここで、フォーカス群移動機構部Ｂを説明する。フォーカス群移動機構部Ｂは、図１に示すように、中間リング１０に駆動力連結ピン１２で連結されたフォーカス連結キー２３と、フォーカス連結キー２３と連結され、固定鏡筒２０の図示しないカム溝に沿って移動するレンズ室連結ピン２７と、レンズ室連結ピン２７で連結され、光軸方向に移動可能なレンズ室２２と、レンズ室２２に保持されたフォーカス群レンズ２１などとを備え、上述したモータ機構部Ａの振動アクチュエータの回転力が伝達され、フォーカス群レンズ２１が移動される。

次に、手動入力機構部Ｃを説明する。手動入力機構部Ｃは、ユーザが任意に手動でピントを合わせるマニュアルフォーカス駆動をするときに働く機構であり、図１に示すように、マニュアルフォーカス環２４と、板バネ２６と、マニュアルフォーカス連結リング２５などとを備えている。板バネ２６は、オートフォーカス時に、マニュアルフォーカス環２４が回転しないように、力量が調整されている。

次に、実施例の振動アクチュエータ装置を一眼レフカメラの交換レンズに搭載したときの作動を、図１から図４を参照しながら説明する。

振動アクチュエータの動作は、大きく、オートフォーカス動作とマニュアルフォーカス動作との２つに分かれる。

オートフォーカス時には、給電用基板２８に図示しない電源回路から給電がなされ、振動アクチュエータの圧電体６に駆動信号が送られる。この駆動信号により圧電体６が励起され、この励起により弾性体５の駆動面に振動波が発生する。圧電体６とロータ８とは、付勢部材３４の付勢力により強く付勢されているため、ロータ８は、弾性体５の駆動面に圧接される駆動面を介し、振動波により回転する。

ロータ８の回転は、フォーカス群移動機構部Ｂの動作により、レンズ室２２に伝達され、フォーカス群レンズ２１が移動される。つまり、中間リング１０を伝達する駆動力連結ピン１２から連なるフォーカス連結キー２３及びレンズ室連結ピン２７を介し、固定鏡筒２０にある図示しないカム溝に沿って、モータ回転力がレンズ室連結ピン２７及びレンズ室２２に伝達され、フォーカス群レンズ２１が移動される。

マニュアルフォーカス時には、マニュアル動作により、マニュアルフォーカス環が回転され、板バネ２６及びマニュアルフォーカス連結リング２５を回転させることにより、保持部材２が回転されることになる。保持部材２は、ベース部材１に結合機構により強く結合されている。また、この保持部材２と中間リング１０に挟まれる中で、付勢部材３４の付勢力により、固定子５６と移動子８とが強く圧接されている点は、上述したオートフォーカスのときと同様である。
従って、保持部材２の動きが固定子５６へ伝えられ、さらに、固定子５６の動きが移動子８へと伝えられ、最終的に、フォーカス群移動機構部Ｂの動作により、レンズ室２２に伝達され、フォーカス群レンズ２１が移動される。

次に、ベース部材１に保持部材２を結合させるときの作動を説明する。
ベース部材１に保持部材２を結合させる組立時に、保持部材２の爪部２０１をベース部材１に設けられた挿入係合部１０４の挿入部１０１へ挿入させる。挿入部１０１は、ベース部材１の表面に直角方向に挿入されるように設けられているので、保持部材２の爪部２０１をベース部材１の表面と直角方向に真っ直ぐに挿入することになる。
次に、保持部材２の爪部２０１が挿入部１０１の端（移動部１０２の端）に到達した後に、挿入部１０１とは直角方向に移動可能な移動部１０２に沿って、移動部１０２の反対側の端まで保持部材２の爪部２０１を移動させる。
その後に、保持部材２の爪部２０１を挿入部１０１に挿入させた方向とは反対方向に移動させ、係合部１０３に保持部材２の爪部２０１を係合させる。
これにより、保持部材２の爪部２０１は、挿入係合部１０４の係合部１０３により、その前面及び両端面が規制されるため、爪部２０１が係合部１０３において、確実に固定される結果、保持部材２がベース部材１に正確に固定される。

ついで、上述したベース部材１に保持部材２を結合させるときの結合機構１２０の作動と、付勢部材３４における付勢力発生手段３及び付勢力伝達部材４の作動との関係を、図３に加え、図４を参照しながら詳細に説明する。

図４は、本発明の実施例に係る保持部材２、付勢部材３４及び付勢力伝達部材４の一部断面図であって、図４（ａ）は、図３の爪部２０１の位置（ａ）に対応した一部断面図、図４（ｂ）は、図３の爪部２０１の位置（ｂ）に対応した一部断面図、図４（ｃ）は、図３の爪部２０１の位置（ｃ）に対応した一部断面図である。

保持部材２の爪部２０１がベース部材１の挿入係合部１０４の挿入部１０１に挿入された直後（爪部２０１が挿入部１０１の中間に位置するとき）に、図４（ａ）に示すように、付勢力発生部材３であるウェーブワッシャーの一方の外縁３０１が保持部材２の段付きの端部によってその動きが止められ、ウェーブワッシャーの一方の外縁３０１が内側凹部２０２を超えることが防止されている。
この状態でさらに、爪部２０１を挿入部１０１に挿入していくと、ウェーブワッシャーのもう一方の外縁３０１がさらに外側へ伸びていくことにより、付勢力発生部材３であるウェーブワッシャーが圧縮され保持部材２と付勢力伝達部材４間の距離が狭くなっていく。そして、爪部２０１が挿入部１０１の一番奥へ挿入した時点が図３における（ｂ）の位置である。図４（ｂ）がこのときの各部材の位置関係を示す図である。即ち、図４（ｂ）における付勢力発生部材３であるウェーブワッシャーが圧縮されたときの保持部材２と付勢力伝達部材４間の距離が最も狭くなった距離である。

次に、この付勢力発生部材３であるウェーブワッシャーが圧縮され保持部材２と付勢力伝達部材４間の距離が最も狭くなった距離を保った状態で、爪部２０１が移動部１０２を挿入方向とは直角方向に移動される。
そして、爪部２０１が移動部１０２のもう一方の端部に到達した後、爪部２０１がウェーブワッシャーの復元力により挿入方向とは反対方向に動き係合部１０３へ係合することになる。図４（ｃ）が、爪部２０１が係合部１０３へ係合したときの各部材の位置関係を示す図である。即ち、爪部２０１が挿入方向とは反対方向に動く結果、付勢力発生部材３であるウェーブワッシャーと付勢力伝達部材４間の距離が広がり、加圧力が減少する結果、付勢力発生部材３であるウェーブワッシャーの外縁が中心方向に移動する。
この結果、付勢力発生部材３であるウェーブワッシャーが、保持部材２の内側凹部２０２の中心方向に位置補正され、自動的に調芯機能が発揮されることになる。従って、付勢部材３４を調芯するための工具を用いることなく組立が可能となるので、極めて組立性の優れた振動アクチュエータ装置を提供することができる。

この調芯機能（位置決め機能）を満たすように、ベース部材１の外径及び挿入係合部１０４の形状、付勢部材３４における付勢力発生部材３の内外径及び圧縮量、保持部材２のテーパ位置（端部２０３及び爪部２０１の厚み）などが設計されている。

また、付勢力発生部材３の外縁とベース部材１の内径が干渉しないため、音が発生せず、静粛な振動アクチュエータを提供することができる。

また、差動機構を用いない高効率な振動アクチュエータにおいて、振動アクチュエータの保持部材組込時に、前準備および工具が必要なく、組立が容易で音の発生を防ぐことができたため、組立作業のばらつきの低減が実現されることにより、安価で高性能な振動アクチュエータを提供することができる。

（変形例）
以上説明した実施例に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。
（１）上記実施例では、保持部材２の内側凹部２０２の端部２０３はテーパとし たが、略直角形状であってもよい。
（２）付勢力発生部材３としてウェーブワッシャーを使用したが、付勢力を発生 しうる部材であれば他の部材でも可能である。
（３）保持部材とベース部材間の結合機構において、ベース部材側に爪部を設け 、保持部材側に挿入係合部を設けてもよい。
（４）保持部材２とベース部材１の間に接着剤を塗布することにより、連結をよ り確実にすることも可能である。

本発明の実施例に係る振動アクチュエータを一眼レフカメラの交換レンズに搭載した際の一部断面図である。 本発明の実施例に係る振動アクチュエータにおける結合機構１２０を示す要部斜視図である。 本発明の実施例に係る振動アクチュエータにおける結合機構１２０を示す要部断面図（図２のＳ-Ｓ断面図）である。 本発明の実施例に係る保持部材２、付勢部材３４及び付勢力伝達部材４の一部断面図であって、図４（ａ）は、図３の爪部２０１の位置（ａ）に対応した一部断面図、図４（ｂ）は、図３の爪部２０１の位置（ｂ）に対応した一部断面図、図４（ｃ）は、図３の爪部２０１の位置（ｃ）に対応した一部断面図である。

符号の説明

１ ベース部材
１０１ 挿入部
１０２ 摺動部
１０３ 係合部
１０４ 挿入係合部
１２０ 結合機構
２ 保持部材
２０１ 爪部
２０２ 内側凹部
２０３ 端部
３４ 付勢部材
３ 付勢力発生部材
３０１ 外縁
４ 付勢力伝達部材
５ 弾性体
５６ 固定子
６ 電気機械変換素子（圧電体）
７ 下部吸振材
８ 移動子
９ 上部吸振材
１０ 中間リング
１１ コロ
１２ 駆動力連結ピン
２０ 固定鏡筒
２１ フォーカス群レンズ
２２ レンズ室部材
２３ フォーカス群連結キー
２４ マニュアルフォーカス環
２５ マニュアルフォーカス連結リング
２６ 板バネ
２７ レンズ室連結ピン
２８ 給電用基板
２９ モータ支持ピン
３０ モータ支持コロ
Ａ モータ機構部
Ｂ フォーカス群移動機構部
Ｃ 手動入力機構部

Claims (6)

1. 駆動信号により励振される電気機械変換素子と前記電気機械変換素子に接着され、前記励振により駆動面に振動波を発生させる弾性体を有する固定子と、
   前記弾性体の駆動面に圧接される駆動面を有し前記振動波によって移動する移動子と、
   前記固定子と前記移動子とを圧接させる付勢部材と、
   前記付勢部材を保持する保持部材と、
   前記保持部材と結合するベース部材と、
   を備えた振動アクチュエータ装置において、
   前記保持部材と前記ベース部材間の結合機構は、
   前記保持部材又は前記ベース部材に設けられた爪部と、
   前記ベース部材又は前記保持部材に設けられた前記爪部が挿入係合する挿入係合部と、
   を有し、
   前記挿入係合部は、
   前記爪部を挿入させる挿入部と、
   前記挿入部への挿入後に前記爪部を挿入方向とは異なる方向に移動可能な移動部と、
   前記移動部での移動後に前記爪部の前記挿入方向と反対方向の移動により、前記爪部を前記移動部で移動させた方向とは反対方向に移動できないように係合させる係合部と、
   を有し、
   前記付勢部材は、
   前記保持部材の内側凹部に位置し付勢力を発生させる付勢力発生部材と、
   前記付勢力発生部材による付勢力を前記弾性体側に伝達する付勢力伝達部材と、
   を有し、
   前記保持部材は、前記付勢力発生部材の外縁が前記内側凹部を超えることを防止する段付きの端部を有し、
   前記挿入部に前記爪部を挿入させたときに、前記保持部材と前記付勢力伝達部材間の距離が狭まることによる加圧により前記付勢力発生部材の外縁が前記段付きの端部まで広がり、前記係合部に前記爪部を係合させたときに、前記保持部材と前記付勢力伝達部材間の距離が広がることによる加圧力の減少により前記付勢力発生部材の外縁が狭まることによって、前記付勢力発生部材が前記保持部材の内側凹部の中心方向に位置補正されること、
   を特徴とする振動アクチュエータ装置。
2. 駆動信号により励振される電気機械変換素子と前記電気機械変換素子に接着され、前記励振により駆動面に振動波を発生させる弾性体を有する固定子と、
   前記弾性体の駆動面に圧接される駆動面を有し前記振動波によって移動する移動子と、
   前記固定子と前記移動子とを圧接させる付勢部材と、
   前記付勢部材を保持する保持部材と、
   前記保持部材と結合するベース部材と、
   を備えた振動アクチュエータ装置において、
   前記付勢部材は、
   前記保持部材の内側凹部に位置し付勢力を発生させる付勢力発生部材と、
   前記付勢力発生部材による付勢力を前記弾性体側に伝達する付勢力伝達部材と、を有し、
   前記保持部材は、前記付勢力発生部材の外縁が前記内側凹部を超えることを防止する段付きの端部を有し、
   前記保持部材と前記付勢力伝達部材間の距離が狭まることによる加圧により前記付勢力発生部材の外縁が前記段付きの端部まで広がり、前記保持部材と前記付勢力伝達部材間の距離が広がることによる加圧力の減少により前記付勢力発生部材の外縁が狭まることによって、前記付勢力発生部材が前記保持部材の内側凹部の中心方向に位置補正されること、を特徴とする振動アクチュエータ装置。
3. 駆動信号により励振される電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子の前記励振により駆動面に振動波を発生させる弾性体とを有する固定子と、
   前記弾性体の駆動面に圧接される駆動面を有し前記振動波によって移動する移動子と、
   前記固定子と前記移動子とを圧接させる付勢部材と、
   前記付勢部材を保持する保持部材と、
   を備えた振動アクチュエータ装置において、
   前記付勢部材は、
   前記保持部材の内側凹部に位置し付勢力を発生させる付勢力発生部材と、
   前記付勢力発生部材による付勢力を前記弾性体側に伝達する付勢力伝達部材と、を有し、
   前記保持部材は、前記付勢力発生部材の外縁が前記内側凹部を超えることを防止する段付きの端部を有し、
   前記保持部材と前記付勢力伝達部材の距離が狭まることによる加圧により前記付勢力発生部材の外縁が前記段付きの端部まで広がり、前記保持部材と前記付勢力伝達部材間の距離が広がることによる加圧力の減少により前記付勢力発生部材の外縁が狭まることによって前記付勢力発生部材が位置補正されること、
   を特徴とする振動アクチュエータ装置。
4. 請求項２または３に記載の振動アクチュエータ装置において、
   前記保持部材と前記ベース部材間の結合機構は、
   前記保持部材又は前記ベース部材に設けられた爪部と、
   前記ベース部材又は前記保持部材に設けられた前記爪部が挿入係合する挿入係合部と、
   を有することを特徴とする振動アクチュエータ装置。
5. 請求項４に記載の振動アクチュエータ装置において、
   前記挿入係合部は、
   前記保持部材と前記付勢力伝達部材間の距離が狭まるように前記爪部を挿入させる挿入部と、
   前記挿入部への挿入後に前記爪部を挿入方向とは異なる方向に移動可能な移動部と、
   前記移動部での移動後に前記爪部の前記挿入方向と反対方向の移動により、前記爪部を前記移動部で移動させた方向とは反対方向に移動できないように係合させる係合部と、
   を有することを特徴とする振動アクチュエータ装置。
6. 請求項１〜５のいずれか一項に記載の振動アクチュエータ装置において、
   前記付勢力発生部材はウェーブワッシャーであることを特徴とする振動アクチュエータ装置。

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