WO2013161961A1

WO2013161961A1 - 振動アクチュエータ及び光学機器

Info

Publication number: WO2013161961A1
Application number: PCT/JP2013/062282
Authority: WO
Inventors: 光輝日野
Original assignee: 株式会社ニコン
Priority date: 2012-04-25
Filing date: 2013-04-25
Publication date: 2013-10-31

Abstract

　異音の発生が少ない振動アクチュエータを提供する。　本発明の振動アクチュエータ１０は、電気機械素子１１を含み、中筒８に対して固定されている振動部１３と、電気機械素子１１により振動される振動部１３によって該振動部１３に対して相対的に回転される相対移動部１４と、相対移動部１４のスラスト方向及びラジアル方向の位置を規定する移動部保持部１７と、振動部１３と相対移動部１４との間にスラスト方向の加圧力を発生する加圧部１６と、加圧部１６と移動部保持部１７の間に配置され、該加圧部１６の加圧を受けて移動部保持部１７に加圧力を伝達する加圧受け部２３と、加圧部１６における、加圧受け部２３と反対側を押さえる締結部２５と、を備え、加圧受け部２３は、加圧部１６より加圧される加圧面２３ｃにおける、該加圧を受ける部分よりも内周側に、スラスト方向加圧部１６側に延びる突起部２３ｄを有すること、を特徴とする。

Description

振動アクチュエータ及び光学機器

　本発明は、振動アクチュエータ及び光学機器に関するものである。

　従来、中空の円筒型の振動アクチュエータがある（例えば、特許文献１参照）。このような振動アクチュエータは、それぞれ、中空の円筒型のステータ、ロータ、加圧部材及び締結部材を順に備える。そして、ステータを固定し、スラスト方向に移動可能なロータを、方持ち調整ワッシャ等の加圧部材を介して締結部材でステータ側に押圧している。

特開平１１－１４６６６６号公報

　加圧部材は、振動アクチュエータの軸線と垂直な面内で移動可能である。このため、加圧部材がその面内で移動すると、振動アクチュエータを保持する筒部材と接触する可能性がある。筒部材は一般に金属で製造されており、加圧部材が筒部材と直接接すると、異音が発生する可能性がある。

　本発明の課題は、異音の発生が少ない振動アクチュエータ、及び光学機器を提供することである。

　本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。

　本発明の一態様は、中筒の外周に配置される振動アクチュエータであって、電気機械素子を含み、前記中筒に対して固定されている振動部と、前記電気機械素子により振動される振動部によって該振動部に対して相対的に回転される相対移動部と、前記相対移動部のスラスト方向及びラジアル方向の位置を規定する移動部保持部と、前記振動部と前記相対移動部との間にスラスト方向の加圧力を発生する加圧部と、前記加圧部と前記移動部保持部の間に配置され、該加圧部の加圧を受けて前記移動部保持部に加圧力を伝達する加圧受け部と、前記加圧部における、前記加圧受け部と反対側を押さえる締結部と、を備え、前記加圧受け部は、前記加圧部より加圧される加圧面における、該加圧を受ける部分よりも内周側に、スラスト方向加圧部側に延びる突起部を有すること、を特徴とする振動アクチュエータを提供する。
　前記突起部の外周側面は、滑らかに湾曲していてもよい。
　前記加圧部はウェーブワッシャまたはコイルドウェーブバネであってもよい。
　前記加圧受け部は、可塑性材料で製造されていてもよい。
　前記加圧受け部は、ポリアセタール、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、ＡＢＳ樹脂の少なくとも１つを含む材料で製造されていてもよい。
　前記加圧面の表面粗さは、Ｒａ０．８μｍ以下であること、を特徴とする振動アクチュエータであってもよい。
　前記突起部における外周側面の表面粗さはＲａ０．８μｍ以下であってもよい。
　前記締結部における、前記加圧部側の面の表面粗さは、Ｒａ１．６μｍ以下であってもよい。
　前記加圧部と、前記加圧受け部との間、または前記加圧部と前記締結部との間に、厚み調整ワッシャを備えてもよい。
　前記中筒は、外周側より外方に延び、且つ外周端が、前記突起部の前記外周側面よりも内径にある中筒フランジ部を備え、前記中筒フランジ部の前記締結部側の面は、締結部の中筒フランジ部側の面と接触することにより、前記締結部の位置を規制し、前記中筒フランジ部の前記締結部側の面と反対側の面は、組み立て時における前記加圧受け部の、前記締結部側への移動を規制し、前記振動部、前記相対移動部、前記移動部保持部及び前記加圧受け部を、前記中筒より取り外すことなく、前記加圧部及び締結部を前記中筒に対して着脱可能であること、を特徴とする振動アクチュエータであってもよい。
　前記振動アクチュエータは中空式であってもよい。
　前記中筒は、内周側に段差があり、前記振動部の側よりも前記加圧部の側の径が大きくてもよい。
　本発明の他の態様は、電気機械素子により振動する振動部と、前記振動部によって、前記振動部に対して相対的に移動する相対移動部と、前記振動部と前記相対移動部とを加圧接触させる加圧部材と、前記相対移動部の移動により移動するレンズを配置した筒部材と、を備え、前記筒部材と、前記加圧部材との間に、前記筒部材と前記加圧部材との接触を制限する所定部材と、を備えたことを特徴とする振動アクチュエータを提供する。
　前記振動アクチュエータの中空部に光路が設けられていてもよい。
　前記振動アクチュエータの出力は光学系の一部もしくはすべてを動かすことにより変倍もしくは自動焦点調節機構を実現してもよい。

　本発明によれば、異音の発生が少ない振動アクチュエータ及び光学機器を提供することができる。

本発明の一実施形態の振動アクチュエータを備えるカメラを示す図である。振動アクチュエータの部分拡大断面図である。振動アクチュエータの分解斜視図である。

　以下、図面等を参照して、本発明の実施形態について説明する。なお、以下に示す各図において、光軸に沿った被写体側をＺプラス側、像側をＺマイナス側として説明する。光軸は振動アクチュエータ１０の中心の軸線方向でもある。Ｚプラス側は、振動アクチュエータにおいて、後述の加圧部材側、Ｚマイナス側は後述のステータ側ともいう。

　図１は、本発明の一実施形態の振動アクチュエータ１０を備えるカメラ１を示す図である。
　本実施形態のカメラ１は、撮像素子６を有するカメラボディ２と、レンズ鏡筒３とを備える。レンズ鏡筒３は、カメラボディ２に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態のカメラ１は、レンズ鏡筒３が交換レンズである例を示すが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒であってもよい。

　レンズ鏡筒３は、レンズ４、カム筒５、振動アクチュエータ１０等を備える。
　振動アクチュエータ１０は、略円環形状であり、その軸線方向が光軸方向（Ｚ方向）と略一致するようにレンズ鏡筒３内に配置されている。この振動アクチュエータ１０は、カメラ１のフォーカス動作時にレンズ４を駆動する駆動源として用いられている。
　振動アクチュエータ１０から得られた駆動力は、カム筒５に伝えられる。レンズ４のレンズ枠４ａは、カム筒５とカム係合しており、振動アクチュエータ１０の駆動力によってカム筒５が光軸回りに回転すると、レンズ４は、光軸方向へ移動して焦点調節が行なわれる。

　図１において、レンズ鏡筒３内に設けられた不図示のレンズ群（レンズ４を含む）によって、撮像素子６の撮像面に被写体像が結像される。撮像素子６によって、結像された被写体像が電気信号に変換され、その信号をＡ／Ｄ変換することによって、画像データが得られる。

　図２は、振動アクチュエータ１０の部分拡大断面図である。図３は振動アクチュエータ１０の分解斜視図である。

　振動アクチュエータ１０は、中筒８と、該中筒８の外周側に配置されたアクチュエータ部９と、を備える。
　中筒８は、軸線を中心とした円筒部材で、Ｚプラス側の径が、Ｚマイナス側の径よりも大きくなっている。その大径側のＺプラス側端部には、筒状部の外周側より外方に延びる中筒フランジ部８ａが設けられている。

　アクチュエータ部９は、上述のように中筒８の外周側に配置されている。アクチュエータ部９の構成部材を中筒８のＺマイナス側より説明する。ただし、この配置に限定されるものではなく、例えば逆の並びで配置されていても良い。

　中筒８のＺマイナス側の端部の外周には、雄ねじ８ｂが設けられている。
　中筒８におけるこの雄ねじ８ｂが設けられている部分の外周側には、内周側に雌ねじ１５ａが設けられた円筒状の固定部材１５が嵌合され、雌ねじ１５ａと雄ねじ８ｃとが螺合することによって、固定部材１５は中筒８に固定されている。

　固定部材１５のＺプラス側には、ステータ１３が配置されている。
　ステータ１３は、中筒８の外周に配置された圧電体１１及び弾性体１２を備える。
　ステータ１３における圧電体１１が配置されている部分（圧電体１１のＺマイナス側面）と固定部材１５との間には隙間１５ｂが設けられている。この隙間１５ｂにより圧電体１１の振動の固定部材１５への伝達が防止される。

　圧電体１１は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する機能を有する。本実施形態では、圧電体１１として圧電素子を用いているが、電歪素子を用いてもよい。
　圧電体１１は、不図示の電極部が形成されている。圧電体１１は、この電極部と電気的に接続された不図示のフレキシブルプリント基板から供給される駆動信号により伸縮し、弾性体１２を振動させる。

　弾性体１２は、圧電体１１の伸縮により進行波を発生する部材である。弾性体１２は、高弾性率を有するステンレス鋼、インバー鋼等の鉄合金により形成される。
　弾性体１２は、略円環形状の部材であり、Ｚマイナス側面には導電性を有する接着剤等により圧電体１１が接着され、Ｚプラス側には複数の溝を切って形成された櫛歯部１２ａが設けられている。
　櫛歯部１２ａの先端面は、後述するロータ１４と摺動材１４ａを介して加圧接触する接触面であり、この面に発生する進行波によってロータ１４が回転駆動される。
　弾性体１２における、Ｚマイナス側の外周からは、ひれ部１２ｂが外方に延び、固定部材１５に接着されている。

　ロータ１４は、略円環形状の部材であり、本実施形態のロータ１４は、アルミニウム合金により形成されている。
　ロータ１４は、ステータ１３（弾性体１２）に加圧接触され、進行波により摩擦駆動される。このロータ１４のステータ１３に対する接触面には、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）等の摺動材１４ａが設けられている。

　ステータ１３とロータ１４とは、後述する加圧部材１６により圧接されている。この圧接により、ステータ１３（弾性体１２）のＺプラス側の面で発生する進行波がロータ１４に回転力として変換される。

　ロータ１４の内周側には、吸振材１８が配置されている。吸振材１８は、ロータ１４のスラスト方向（軸方向，Ｚ方向）の振動を吸振する。
　またロータ１４の内周側における、吸振材１８よりもＺプラス側には、当該内周側から更にＺプラス側に延びるロータホルダ１７が配置されている。ロータホルダ１７はロータ１４に固定され、ロータ１４とともに回転する。

　ロータホルダ１７のＺプラス側における中筒８との間には、ベアリング２０が配置されている。
　また、ロータホルダ１７の外周側には、出力を取り出すための、出力取り出しピン２２が取り付けられている。この出力取り出しピン２２から取り出された出力（回転力）は、図１に示したカム筒５に伝達されて、カム筒５が回転される。

　ベアリング２０のＺプラス側における、中筒８の外周には、加圧受け部材２３が配置され、加圧受け部材２３のさらにＺプラス側には、加圧部材１６が配置されている。

　加圧受け部材２３は、中筒８の外径に嵌合する円筒状の嵌合部２３ａと、嵌合部２３ａから外周側に延びる加圧受け部２３ｂとを備える。加圧受け部２３ｂのＺプラス側は、後述する調整ワッシャ２４を介して加圧部材１６によって加圧される加圧受け面２３ｃになっている。

　この加圧受け部材２３の材質は可塑性材料（プラスチック）で、特にポリアセタール、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、ＡＢＳ樹脂が好ましく、特にポリカーボネートが好適である。これらを材質として用いる理由は、摩擦係数の低減と、また表面粗さの調整の容易さのためである。なお、これらの素材にグラスファイバー、カーボンファイバーを加えてもよい。

　また、加圧受け面２３ｃにおける、加圧部材１６と接触する部分よりも内周側には、Ｚプラス側に突出する突起部２３ｄが設けられている。そして、突起部２３ｄの外周側面２３ｅは、滑らかにカーブ（Ｒが付けられている）している。また、この突起部２３ｄの外周側面２３ｅは、中筒フランジ部８ａの外周端よりも、外径側にある。

　突起部２３ｄの外周側に加圧部材１６が配置されることになるので、加圧部材１６の位置がある程度定まる。そして、加圧部材１６がラジアル方向に移動することがあっても、軸線と直交する面内（ラジアル方向）での移動が突起部２３ｄにより制限される。すなわち、加圧部材１６が突起部２３ｄを超えて移動することがない。ゆえに、加圧部材１６が中筒８（一般に金属で製造）と接することがない。したがって、中筒８の金属部と接触により発生する異音（ビビリ音）が発生することが防止される。

　振動アクチュエータ１０が振動する際に加圧部材１６はラジアル方向に移動した場合、上述のように突起部２３ｄを超えて移動することはないが、突起部２３ｄの外周側面２３ｅと接触する可能性がある。
　しかし、本実施形態によると突起部２３ｄの外周側面２３ｅは、滑らかにカーブしている。したがって、外周側面２３ｅと加圧部材１６との接触は、加圧部材１６の内周側面のＺマイナス側端部（すなわち加圧部材１６の内周側の角部、エッジ）との点接触（又は円周に沿った線の一部の接触）になる。このため、接触面積が少なくなり、接触による異音の発生が更に低減される。
　また、突起部２３ｄを設ける際の機械加工において、外周側面２３ｅがカーブしているために、加工が容易である。
　なお、外周側面２３ｅは、Ｒを設けなくとも、軸線（Ｚ軸）に対して斜めの角度（カーブではなく直線的な斜面）で形成されていても良い。
　このカーブの曲率Ｒは、加圧手段の板厚よりも大きくしたほうが効果的である。斜面の場合は斜面の面取り量Ｃは加圧手段の板厚よりも大きくしたほうが効果的である。

　加圧受け面２３ｃおよび突起部２３ｄの加圧部材側の外周側面２３ｅの表面粗さは、ＪＩＳ　Ｂ００３１で規定されるＲａ０．８μｍ以下である。表面粗さが大きいと、振動アクチュエータ１０が可動する際の振動で、異音が発生する可能性があるが、Ｒａ（算術平均粗さ）０．８μｍ以下とすると、加圧部材１６と加圧受け部材２３の間で発生する音が減少される。

　加圧部材１６は、上述したロータ１４とステータ１２との間の圧接力を与えるためのものである。加圧部材１６は、本実施形態でウェーブワッシャもしくはコイルドウェーブバネである。巻き数は、例えば２巻き等である。
　加圧部材１６と加圧受け面２３ｃとの間には加圧を調整するための調整ワッシャ２４が適宜配置される。
　この調整ワッシャ２４は、加圧部材１６と加圧受け面２３ｃとの間に限定されず、加圧部材１６と締結部材２５との間に配置しても良い。

　加圧部材１６のＺプラス側には、締結部材２５が配置されている。
　この締結部材２５は、中筒８の外周に嵌合する嵌合円筒部２５ａと、嵌合円筒部２５ａのＺマイナス側において外方に延びる締結フランジ部２５ｂとを有する。締結部材２５における内周側には、雌ねじ２５ｃが設けられている。一方、中筒８の外周おける中筒フランジ部８ａのＺプラス側には、雄ねじ８ｃが設けられている。この雌ねじ２５ｃと雄ねじ８ｃとのねじ係合により、締結部材２５は中筒８に固定される。

　また、中筒８には、上述のように、中筒フランジ部８ａが設けられている。締結部材２５の雌ねじ２５ｃを中筒８の雄ねじに螺合したとき、中筒フランジ部８ａのＺプラス側面８ａａは締結フランジ部２５ｂのＺマイナス側面と接触する。これの接触によって中筒８に対する締結部材２５の位置が規定される。
　締結部材２５のＺマイナス側面の表面粗さはＲａ１．６μｍ以下である。このように表面粗さを低くすることにより、締結部材２５と加圧部材１６の間で発生する音が低減される。

　本実施形態の振動アクチュエータ１０は以下のように組み立てる。
　まず、中筒８の外周に、Ｚマイナス側より、加圧受け部材２３、ベアリング２０、ロータホルダ１７、吸振材１８、ロータ１４、ステータ１３を順に挿入する。そして、固定部材１５を中筒８に螺合する。
　この際、中筒フランジ部８ａのＺマイナス側面８ａｂによって、加圧受け部材２３、ベアリング２０、ロータホルダ１７、吸振材１８、ロータ１４、ステータ１３のスラスト方向の位置が大まかに規制される。

　その後、中筒８のＺプラス側から、加圧部材１６と締結部材２５を挿入して、締結部材を中筒８に螺合する。
　ロータ１４とステータ１３との間の加圧力量の調整が必要な場合は、締結部材２５を中筒８から取り外して、加圧部材１６と加圧受け部材２３との間、または加圧部材１６と締結部材２５との間に、適切な厚みの調整ワッシャ２４を挿入する。
　本実施形態によると、締結部材２５のみ（または加圧部材１６も含む）を取り外すことで、加圧力量の調整を行うことが出来るため、加圧力量の調整が容易である。

　以上、本実施形態によると、以下の効果を有する。
（１）円形の加圧受け部材２３に突起部２３ｄを設けた。この突起部２３ｄは、加圧部材１６のラジアル方向の移動を制限する（位置決めする）。このため、加圧部材１６がラジアル方向に移動しても、中筒８（一般に金属で製造）と接することがない。したがって、中筒８の金属部と接触により発生する異音（ビビリ音）が発生することが防止される。

（２）振動アクチュエータ１０が振動する際に、加圧部材１６はラジアル方向に移動し、突起部２３ｄと接触する可能性がある。しかし、本実施形態によると突起部２３ｄの外周側面２３ｅは、滑らかにカーブしている。したがって、外周側面２３ｅと加圧部材１６との接触は、点接触になる。このため、接触面積が少なくなり、接触による異音の発生が更に低減される。
（３）突起部２３ｄを設ける際の機械加工において、外周側面２３ｅがカーブしているために、加工が容易である。

（４）加圧受け部材２３の材質を、ポリカーボネート等のプラスチックとしたため、摩擦係数が低くなり、また表面粗さの調整が容易である。
（５）加圧受け部材２３の表面粗さを、ＪＩＳ　Ｂ００３１で規定されるＲａ０．８μｍ以下とした。これにより、本実施形態によると、加圧部材１６と加圧受け部材２３の間で発生する音が減少される。
（６）締結部材２５の加圧部材１６の面の表面粗さはＲａ１．６μｍ以下である。このように表面粗さを低くすることにより、締結部材２５と加圧部材１６の間で発生する音が低減される。

（７）例えば、比較例として、中筒８に中筒フランジ部８ａが設けられていない場合、加圧部材１６の加圧力量の調整は、調整ワッシャを用いずに締結部材２５のねじの締め込み角度を調整することによって行われる。この場合、ねじの締め込み角度の微妙な調整が必要になるため、調整に時間がかかる。また、個々の振動アクチュエータに対して締め込み角度を一定にすることは困難であるため、個体差を生じる。
　しかし、本実施形態によると、締結部材２５は位置決めされ、加圧力量の微調整は調整ワッシャ２４で行われる。したがって、加圧力量の調整がしやすい。

（８）本実施形態によると、締結部材２５のみ（または加圧部材１６も含む）を取り外すことで、加圧力量の調整を行うことが出来るため、加圧力量の調整が容易である。
（９）同一の調整ワッシャを使用すれば振動アクチュエータごとの個体差を生じにくい。
（１０）本実施形態の振動アクチュエータ１０は中空式であり、特に像側よりも被写体側の内周側が広くなっている。したがって大型の光学系を搭載するのに好適である。
（１１）本実施形態では加圧部材１６としてウェーブワッシャを用いるので、同一ロッドであれば力量は略同一になる。方持ちばねに比べると、力量の調整が容易である。

（変形形態）
　以上、説明した実施形態に限定されることなく、以下に示すような種々の変形や変更が可能であり、それらも本発明の範囲内である。
（１）本実施形態では、レンズ鏡筒３が交換レンズである例を示すが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒であってもよい。
（２）また、本実施形態では、振動アクチュエータ１０のアクチュエータ部９の構成部材野の配置順序は、上述の順序に限定されず逆の順序であってもよい。
（３）本実施形態では、外周側面２３ｅにＲを設けたが、これに限定されず、軸線（Ｚ軸）に対して斜めの角度（カーブではなく直線的な斜面）で形成されていても良い。
（４）上述の実施形態では、突起部２３ｄを加圧受け部材２３に設けたが、加圧部材１６と中筒８との接触を制限するのは他の方法でもよい。例えば、突起部２３ｄを、締結フランジ部２５ｂの加圧受け面２３ｃにおける、加圧部材１６と接触する部分よりも内周側に設けてもよい。また、加圧部材１６と中筒８との間に、加圧部材１６と中筒８との接触を制限する所定部材を設けることとしてもよい。突起部２３ｄを、締結フランジ部２５ｂに設ける場合の締結フランジ部２５ｂの材質または、所定部材の材質は、上述した加圧受け部材２３の材質のような可塑性材料（プラスチック）で、特にポリアセタール、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、ＡＢＳ樹脂が好ましく、特にポリカーボネートが好適である。なお、これらの素材にグラスファイバー、カーボンファイバーを加えてもよい。
　なお、実施形態及び変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した実施形態によって限定されることはない。

　１：カメラ、３：レンズ鏡筒、８：中筒、８ａ：中筒フランジ部、９：アクチュエータ部、１０：振動アクチュエータ、１１：圧電体、１２：弾性体、１３：ステータ、１４：ロータ、１５：固定部材、１６：加圧部材、１７：ロータフォルダ、２３：加圧受け部材、２３ｄ：突起部、２４：調整ワッシャ、２５：締結部材

Claims

　中筒の外周に配置される振動アクチュエータであって、
　電気機械素子を含み、前記中筒に対して固定されている振動部と、
　前記電気機械素子により振動される振動部によって該振動部に対して相対的に回転される相対移動部と、
　前記相対移動部のスラスト方向及びラジアル方向の位置を規定する移動部保持部と、
　前記振動部と前記相対移動部との間にスラスト方向の加圧力を発生する加圧部と、
　前記加圧部と前記移動部保持部の間に配置され、該加圧部の加圧を受けて前記移動部保持部に加圧力を伝達する加圧受け部と、
　前記加圧部における、前記加圧受け部と反対側を押さえる締結部と、
を備え、
　前記加圧受け部は、前記加圧部より加圧される加圧面における、該加圧を受ける部分よりも内周側に、スラスト方向加圧部側に延びる突起部を有すること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
　請求項１に記載の振動アクチュエータであって、
　前記突起部の外周側面は、滑らかに湾曲していること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
　請求項１または２に記載の振動アクチュエータであって、
　前記加圧部はウェーブワッシャまたはコイルドウェーブバネであること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
　請求項１から３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
　前記加圧受け部は、可塑性材料で製造されていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
　請求項１から４のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
　前記加圧受け部は、ポリアセタール、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、ＡＢＳ樹脂の少なくとも１つを含む材料で製造されていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
　請求項１から５のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
　前記加圧面の表面粗さは、Ｒａ０．８μｍ以下であること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
　請求項１から６のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
　前記突起部における外周側面の表面粗さはＲａ０．８μｍ以下であること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
　請求項１から７のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
　前記締結部における、前記加圧部側の面の表面粗さは、Ｒａ１．６μｍ以下であること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
　請求項１から８のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
　前記加圧部と、前記加圧受け部との間、または前記加圧部と前記締結部との間に、厚み調整ワッシャを備えること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
　請求項１から９のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
　前記中筒は、外周側より外方に延び、且つ外周端が前記突起部の前記外周側面よりも内径にある中筒フランジ部を備え、
　前記中筒フランジ部の前記締結部側の面は、締結部の中筒フランジ部側の面と接触することにより、前記締結部の位置を規制し、
　前記中筒フランジ部の前記締結部側の面と反対側の面は、組み立て時における前記加圧受け部の、前記締結部側への移動を規制し、
　前記振動部、前記相対移動部、前記移動部保持部及び前記加圧受け部を、前記中筒より取り外すことなく、前記加圧部及び締結部を前記中筒に対して着脱可能であること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
　請求項１から１０のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
　該振動アクチュエータは中空式であること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
　請求項１から１１のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
　前記中筒は、内周側に段差があり、前記振動部の側よりも前記加圧部の側の径が大きいこと、
を特徴とする振動アクチュエータ。
　電気機械素子により振動する振動部と、
　前記振動部によって、前記振動部に対して相対的に移動する相対移動部と、
　前記振動部と前記相対移動部とを加圧接触させる加圧部材と、
前記相対移動部の移動により移動するレンズを配置した筒部材と、を備え、
　前記筒部材と、前記加圧部材との間に、前記筒部材と前記加圧部材との接触を制限する所定部材と、
　を備えたことを特徴とする振動アクチュエータ。
　請求項１から１３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備え、
　前記振動アクチュエータの中空部に光路が設けられていること、
を特徴とする光学機器。
　請求項１から１３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備え、
　前記振動アクチュエータの出力は光学系の一部もしくはすべてを動かすことにより変倍もしくは自動焦点調節機構を実現すること、
を特徴とする光学機器。