JP2021126041A - 振動型アクチュエータ、雲台、および電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明は、異音の発生や接触体の接着部の剥がれを抑える振動型アクチュエータを提供する。【解決手段】 上記課題を解決するため、環状の弾性体及び電気−機械エネルギー変換素子を有する振動体と、環状の接触体を備え、前記接触体は、基底部と、前記基底部から前記接触体の径方向に沿って環状に延出した支持部と、前記支持部に設けられ前記支持部とは別の部材であり前記振動体と接触する摩擦部材を有し、前記摩擦部材は、前記接触体の中心軸に沿った方向に延在する第１の部位と、前記径方向に延在する環状の第２の部位とで前記支持部と連結し、前記第１の部位は前記径方向に沿って内嵌合あるいは外嵌合のいずれか一方で連結している部位を有することを特徴とする振動型アクチュエータを提供する。【選択図】 図３

Description

本発明は、振動体と接触体を備えた、振動型アクチュエータに関するものである。

振動型アクチュエータは低速・大トルクなどの特徴から、例えば一眼レフカメラの撮影レンズにおけるオートフォーカスの駆動用モータとして実用化されており、近年はカメラ以外のさまざまな電子機器への適用も期待されている。例えば、ロボットアームの関節駆動やロボットハンドの回転駆動、監視カメラ等の撮像装置の雲台の回転駆動、画像形成装置の感光体ドラムの回転駆動への振動型アクチュエータの適用が期待されている。

このような他用途への適用に向けて、振動型アクチュエータの生産性の向上とローコスト化、これらの要求に対して、移動体（接触体）が備える接触ばねの製造に、板材のプレス加工を用いる技術が提案されている。（特許文献１参照）。これは、移動体の本体部とは別に接触ばねを製造し、のちに両者を接着させるものである。

しかしながら、特許文献１（たとえば図６）に記載された技術では、接触ばねがプレス加工や焼入等の熱処理で歪むため、移動体の本体部への接着時に貼りずれや接着層の厚みムラが発生し、接触ばねのばね剛性が不均一になることがある。そのため、近年求められているより静穏性におけるより低い音圧レベル基準においては、振動型アクチュエータに異音（鳴き）が発生するという課題があった。また、より高い耐久性基準の観点においては、接触ばねのスプリングバックによって、接着剥がれが発生するという課題もあった。

また、特許文献１の図７（ｂ）と図７（ｃ）に記載された技術においては、接触部材（摩擦部材）がプレス加工や焼入れ等の熱処理で歪むため、本体部への接着時に貼りずれが発生したり、振動型アクチュエータに異音（鳴き）が発生するというおそれがあった。

特許第５６３１０１８号公報

そこで、本発明は、異音の発生や接触体の接着部の剥がれを抑える振動型アクチュエータを提供する。

環状の弾性体及び電気−機械エネルギー変換素子を有する振動体と、環状の接触体を備え、前記接触体は、基底部と、前記基底部から前記接触体の径方向に沿って環状に延出した支持部と、前記支持部に設けられ前記支持部とは別の部材であり前記振動体と接触する摩擦部材を有し、前記摩擦部材は、前記環状の接触体の中心軸に沿った方向に延在する第１の部位と、前記径方向に延在する環状の第２の部位とで前記支持部と連結し、前記第１の部位は前記径方向に沿って内嵌合あるいは外嵌合のいずれか一方で連結している部位を有することを特徴とする振動型アクチュエータを提供する。

上記発明により、異音の発生や接触体の接着部の剥がれを抑える振動型アクチュエータを提供することができる。

本発明の第１実施形態に係る振動型アクチュエータの構成を概略的に示す断面図である。 本発明の振動体に励起される駆動振動の変形の様態を説明するための図である。 本発明の接触体の構成を概略的に示す図である。 本発明の接触体の第１の変形例の構成を概略的に示す図である。 本発明の接触体の第２の変形例の構成を概略的に示す図である。 本発明の接触体の第３の変形例の構成を概略的に示す図である。 本発明の接触体の第４の変形例の構成を概略的に示す図である。 本発明の接触体の第５の変形例の構成を概略的に示す図である。 本発明の接触体の第６の変形例の構成を概略的に示す図である。 本発明の接触体の第７の変形例の構成を概略的に示す図である。 本発明の実施形態に係る振動型アクチュエータを搭載した雲台と、雲台に搭載された撮像装置の構成を概略的に示す図である。

［実施例１］
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。

＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１の実施形態に係る振動型アクチュエータ１０の構成を概略的に示す断面図である。振動型アクチュエータ１０における振動体２０および接触体３００（移動体、被駆動体）および加圧機構４０等の機械的構成は、例えば特開２０１７−１０８６１５号公報に記載の振動型アクチュエータと機能的には同等である。

本実施形態の振動型アクチュエータは、弾性体および電気−機械エネルギー変換素子を有する振動体と、振動体と接する接触体を備えている。加えて、電気−機械エネルギー変換素子に給電する給電部材（フレキシブルプリント基板）を備えている。

図１において、振動型アクチュエータ１０は、環状に形成された振動体２０、環状に形成された接触体３００、および加圧機構４０を備える。また、振動型アクチュエータ１０は、シャフト、ハウジング、ベアリングを備える。

振動体２０は、弾性体２１と、弾性体２１に接合された電気−機械エネルギー変換素子である圧電素子２２と、圧電素子２２に接合されて圧電素子２２に交流電圧である駆動電圧を印加するための給電部材１００を有する。

加圧機構４０は制振ゴム４１、加圧ばね受け部材４２、加圧ばね受けゴム４３、加圧ばね４４及び加圧ばね固定部材４５を有する。振動体２０及び接触体３００はシャフトを中心軸として同心円状に配置され、シャフトに固定された加圧機構４０によってシャフトのスラスト方向に関して互いに加圧接触（摩擦接触）する。具体的には、シャフトに固定された加圧ばね固定部材４５によって移動を規制された加圧ばね４４が、制振ゴム４１、加圧ばね受け部材４２及び加圧ばね受けゴム４３を介して接触体３００をスラスト方向に押圧する。このように構成されることにより、接触体３００と振動体２０は安定的に接触する。

振動型アクチュエータ１０では、給電部材１００を通して圧電素子２２へ交流電圧である駆動電圧を印加することにより、振動体２０に駆動振動を励起させる。駆動振動の態様は圧電素子２２が有する複数の電極の数や配置形態に依存するが、励起される駆動振動が振動体１０の周方向に進むｎ次（本実施形態ではｎ＝９）の進行波となるように、圧電素子２２が設計される。なお、ｎ次の駆動振動とは振動体２０の周方向における波数がｎ個となる曲げ振動である。圧電素子２２に発生した駆動振動は振動体２０の接触部２５に生じた進行波によって、接触体３００をシャフト回りの周方向へ駆動する。すなわち、接触体３００は振動体２０と同心を保ったまま、相対的に回転運動する。接触体３００に発生した回転力は加圧機構４０とシャフトを通して外部へ出力される。

図１に描かれている本実施形態の振動型アクチュエータ１０は、例えばハウジングを所望の部材に固定し、シャフトの下方に末広がりに構成されているフランジ面にカメラ等の可動対象を固定することで、可動対象を自由に回転駆動させることができる。他方で、シャフトを固定してハウジングを回転駆動させることも可能である。

図２は、振動体２０に励起される駆動振動の変形の様態を説明するための図である。なお、図２では、振動体２０において励起される駆動振動の変位に対する理解を容易にするために、変位を実際よりも誇張している。

図３（ａ）は、接触体３００の構成を概略的に示す断面斜視図である。接触体３００は、本体部材３０１と、本体部材３０１と別の部材である摩擦部材３０２を有する。本体部材３０１と摩擦部材３０２は嵌合し、両者は接着又は接合により連結されている。

図３（ｂ）は、本体部材３０１および摩擦部材３０２を分離した状態を概略的に示す断面斜視図である。

本体部材３０１は、基底部３０１ａと、接触体３００の径方向に環状に延在した支持部３０１ｂを有する。支持部３０１ｂは断面がＬ字形状をしており、端部に摩擦部材３０２が連結している。本体部材３０１は環状に構成される。

摩擦部材３０２は、断面がＬ字形状をしており、環状に構成される。摩擦部材３０２は、接触体３００の中心軸に沿った方向に延在した第１の部位３０２ｂと、接触体３００の径方向に沿って延在する第２の部位３０２ｃと、振動体２０と接触する摩擦面３０２ａを有する。

第１の部位３０２ｂは、支持部３０１ｂに対して内篏合（支持部３０１ｂの内径側に嵌合）して連結している。第２の部位３０２ｃは、支持部３０１ｂの端部に連結している。

接触体３００は、摩擦面３０２ａで振動体２０と接触し、支持部３０１ｂが接触ばねの機能を持つ。接触ばねのばね剛性のバラツキは振動アクチュエータの異音（鳴き）に原因となる。そのため、接触ばねである支持部３０１ｂは、加工誤差があってもばね剛性にバラツキが発生しないように、アルミニウム合金や真鍮等の低ヤング率の材料で構成することが好ましい。一方、摩擦部材３０２は振動体２０と摩擦接触するため耐摩耗性の高い鉄鋼等の材料が好ましい。一般的に、鉄鋼等の耐摩耗性の高い材料は、アルミニウム合金や真鍮等の材料と比較し、硬くてヤング率が高い。つまり、支持部３０１ｂを構成する材料のヤング率は、摩擦部材３０２を構成する材料よりもヤング率が低いことが好ましい。

また、基底部３０１ａは、制振ゴム４１と接触し、減衰効果により振動アクチュエータの異音を抑制する。

摩擦部材３０２の断面がＬ字形状をしていることの効果を説明する。断面がＬ字形状であれば、Ｌ字を構成する第１の部位３０２ｂと第２の部位３０２ｃの長さを自由に設計することができる。第１の部位３０２ｂを長く設計することで、支持部３０１ｂとの嵌合長を長くすることができ、摩擦部材３０２の歪みが大きくても、確実に嵌合させることができ、組立性が向上する。さらには、２部品を接着又は接合する場合には、接着面積が広がり、接着強度を高めることができる。また、第２の部位３０２ｃを長く設計することで振動体２０と接触する摩擦面３０２ａの面積が大きくすることができ、摩耗量を抑制することができる。

一方、摩擦部材３０２の第１の部位３０２ｂと第２の部位３０２ｃは長ければ良いというものではなく、軽量である必要がある。断面がＬ字形状であれば、断面が矩形形状の摩擦部材と比較し、摩擦部材３０２を軽量化することができる。摩擦部材３０２が軽量であれば、摩擦部材３０２が質量として作用する支持部３０１ｂが変形する振動モードの固有振動数を高くすることができる。これにより、摩擦面３０２ａが振動体２０と滑らかに接触し、摺動効率が向上し、摩耗や鳴き等の振動型アクチュエータの課題を抑制することができる。また、断面がＬ字形状であれば、摩擦部材３０２は、圧延鋼板の曲げ加工（プレス加工）によって容易に製造することができる。圧延鋼板の板厚方向の平行度は高精度であるため、第２の部位３０２ｃを支持部３０１ｂに突き当てて倣わせることで摩擦面３０２ａの平面度を向上させることができる。これにより振動型アクチュエータの鳴きを抑制し、駆動性能を安定化させることができる。

本体部材３０１と摩擦部材３０２の材料とその製造方法について説明する。摩擦部材３０２は、耐摩耗性の高い材料が好ましく、スレンテレス等の鉄鋼材料の板材を用いて、プレス加工と焼入れ処理で製造することができる。一方、本体部材３０１は、振動減衰の機能が求められるため、減衰性が高い材料であり、さらに、高精度に加工できる快削材料が好ましく、摩擦部材３０２よりも快削性の高いアルミニウム合金や真鍮等を用いて、切削加工で製造することができる。本体部材３０１は表面処理されていても良く、例えば、アルミニウム合金であれば、アルマイト処理されていても良い。なお、摩擦部材３０２と本体部材３０１の製造方法は上記挙げた方法に限らない。摩擦部材３０２の製造方法としては、レーザー加工、放電加工、切削、エッチング等、又はそれらを複合した方法が考えられる。また、摩擦部材３０２の熱処理としては、窒化、浸炭等でもよく、熱処理以外にもメッキなどの硬化処理でもよい。また、本体部材３０１の製造方法としては、ダイキャスト、鍛造等、又はそれらを複合した方法が考えられる。

本体部材３０１と摩擦部材３０２の組立について説明する。本体部材３０１は部品の剛性が高いため、摩擦部材３０２よりも高精度に製造することができる。一方、摩擦部材３０２は、プレス加工や焼入れ処理等の製造過程で大きな歪みが発生する。

摩擦部材３０２は部品としての剛性が低いため、容易に弾性変形させることができる。したがって、高精度な本体部材３０１を基準として、摩擦部材３０２を弾性変形させながら、嵌合させることで、摩擦部材３０２の貼りずれを抑制し、摩擦面３０２ａの真円度を向上させることができる。また、本体部材３０１と摩擦部材３０２は金属同士の摩擦を避けるため、接着、接合により連結させることが好ましい。これにより、振動型アクチュエータに異音（鳴き）を抑制することができる。

本実施形態および以下の変形例では、第１の部位が接触体の径方向に沿って内嵌合あるいは外嵌合のいずれか一方で本体部材に連結する部位を有するように構成されており、過拘束を緩和するように工夫されている。そのためより剥がれや異音がより抑えられている。

図４は、本実施形態の変形例の一例を示す図である。接触体３１０は、本体部材３１１と、本体部材３１１とは別部材の摩擦部材３１２を有する。本体部材３１１は、基底部３１１ａと支持部３１１ｂを有し、環状に構成される。摩擦部材３１２は、断面形状がＬ字であり、振動体２０との接触する摩擦面３１２ａと、環状の接触体３１０の中心軸に沿った方向に延在した第１の部位３１２ｂと、接触体３１０の径方向に延在する第２の部位３１２ｃを有し、環状に構成される。第１の部位３１２ｂが支持部３１１ｂの端部に対して内篏合して連結している。本変形例の構成でも本実施形態と同様の効果を得ることができる。また、本変形例では支持部３１１ｂの断面形状は矩形であり、本体部材３１１の形状が単純化されるため、ローコスト化が可能となる。

図５は、本実施形態の変形例の一例を示す図である。接触体３２０は、本体部材３２１と、本体部材３２１とは別部材の摩擦部材３２２を有する。本体部材３２１は、基底部３２１ａと支持部３２１ｂを有し、環状に構成される。摩擦部材３２２は、断面形状がＬ字であり、振動体２０との接触する摩擦面３２２ａと、接触体３２０の中心軸に沿った方向に延在した第１の部位３２２ｂと、接触体３２０の径方向に延在する第２の部位３２２ｃを有し、環状に構成される。第１の部位３２２ｂが支持部３２１ｂの端部に対して内篏合して連結している。本変形例の構成でも本実施形態と同様の効果を得ることができる。また、本変形例では、摩擦面３２２ａの面積を広げることが可能であり、接触体３２０と振動体２０の接触面圧を低下できるため、摩擦面の摩耗を抑制することができる。

図６は、本実施形態の変形例のさらなる一例を示す図である。接触体３３０は、本体部材３３１と、本体部材３３１とは別部材の摩擦部材３３２を有する。本体部材３３１は、基底部３３１ａと支持部３３１ｂを有し、環状に構成される。摩擦部材３３２は、断面形状がＬ字であり、振動体２０との接触する摩擦面３３２ａと、接触体３３０の中心軸に沿った方向に延在した第１の部位３３２ｂと、接触体３３０の径方向に延在する第２の部位３３２ｃを有し、環状に構成される。第１の部位３３２ｂが支持部３３１ｂの端部に設けられた凸部に対して外篏合（支持部３３１ｂの外径側に嵌合）して連結している。本変形例の構成でも本実施形態と同様の効果を得ることができる。

図７は、本実施形態の変形例の一例を示す図である。接触体３４０は、本体部材３４１と、本体部材３４１とは別部材の摩擦部材３４２を有する。本体部材３４１は、基底部３４１ａと支持部３４１ｂを有し、環状に構成される。摩擦部材３４２は、断面形状がＬ字であり、振動体２０との接触する摩擦面３４２ａと、接触体３４０の中心軸に沿った方向に延在した第１の部位３４２ｂと、接触体３４０の径方向に延在する第２の部位３４２ｃを有し、環状に構成される。第１の部位３４２ｂが支持部３４１ｂの端部に設けられた凸部に対して外篏合（支持部３４１ｂの外径側に嵌合）して連結している。本変形例の構成でも本実施形態と同様の効果を得ることができる。また、本変形例では、摩擦面３４２ａの面積を広げることが可能であり、接触体３４０と振動体２０の接触面圧を低下できるため、摩擦面の摩耗を抑制することができる。

図８（ａ）は、本実施形態の変形例の一例を示す図である。図８（ｂ）は、本変形例の摩擦部材３６２を示す図である。接触体３６０は、本体部材３６１と、本体部材３６１とは別部材の摩擦部材３６２を有する。本体部材３６１は、基底部３６１ａと支持部３６１ｂを有し、環状に構成される。摩擦部材３６２は、振動体２０との接触する摩擦面３６２ａと、接触体３６０の中心軸に沿った方向に延在した３つの第１の部位３６２ｂ、３６２ｄ、３６２ｅと、接触体３６０の径方向に延在する第２の部位３６２ｃを有し、環状に構成される。第１の部位は、周方向に３か所に分割されている。３つの第１の部位が支持部３６１ｂの端部に対して内篏合して連結している。本変形例の構成でも本実施形態と同様の効果を得ることができる。また、本変形例の構成では、摩擦部材３６２をプレス加工で製造する場合に、第１の部位が分割されているため、曲げ加工が容易になる。なお、第１の部位の分割数は３つに限定されない。

図９（ａ）は、本実施形態の変形例の一例を示す図である。図９（ｂ）と図９（ｃ）は、本変形例の摩擦部材３７２を示す図である。接触体３７０は、本体部材３７１と、本体部材３７１とは別部材の摩擦部材３７２を有する。本体部材３７１は、基底部３７１ａと支持部３７１ｂを有し、環状に構成される。摩擦部材３７２は、振動体２０との接触する摩擦面３７２ａと、接触体３７０の中心軸に沿った方向に延在した４つの第１の部位３７２ｂ、３７２ｄ、３７２ｅ、３７２ｆと、接触体３７０の径方向に延在する第２の部位３７２ｃを有し、環状に構成される。４か所の第１の部位のうち、摩擦面３７２ａの内径側の２つの第１の部位３７２ｂ、３７２ｄが支持部３７１ｂに対して内篏合して連結している。また、４か所の第１の部位のうち、摩擦面３７２ａの外径側の２つの第１の部位３７２ｅ、３７２ｆが支持部３７１ｂの端部に設けられた凸部に対して外篏合して連結している。第１の部位が、支持部３７１ｂを周方向の同じ位置で内外径を挟み込むように嵌合すると、過拘束となって組立が困難になったり、組立精度が低下したりしてしまう。そのため、第１の部位は周方向に分割されており、摩擦部材３７２は、接触体３７０の径方向に沿って内嵌合あるいは外嵌合のいずれか一方で本体部材３７１に連結するように構成されている。本変形例の構成でも本実施形態と同様の効果を得ることができる。また、本変形例の構成では、摩擦部材３７２をプレス加工で製造するときに、第１の部位が周方向に分割されているため、曲げ加工が容易になる。なお、第１の部位の分割数は４つに限定されない。

図１０（ａ）は、本実施例の変形例の一例を示す図である。図１０（ｂ）は、本変形例の摩擦部材３８２の一部を示す図である。接触体３８０は、本体部材３８１と、本体部材３８１とは別部材の摩擦部材３８２を有する。本体部材３８１は、基底部３８１ａと支持部３８１ｂを有し、環状に構成される。摩擦部材３８２は、振動体２０との接触する摩擦面３８２ａと、接触体３８０の中心軸に沿った方向に延在した２つの第１の部位３８２ｂ、３８２ｄと、接触体３８０の径方向に延在する第２の部位３８２ｃを有し、環状に構成される。第１の部位が、支持部３８１ｂを全周で内外径を挟み込むように嵌合すると、過拘束となって組立が困難になったり、組立精度が低下したりしてしまう。そのため、摩擦面３８２ａの内径側の第１の部位３８２ｂは支持部３８１ｂの端部に対して内篏合して全周で連結しているが、外径側の第１の部位３８２ｄは支持部３８１ｂの端部に設けられた凸部に対して周方向の一部だけが外嵌合して連結するように構成されている。つまり、摩擦部材３８２は、接触体３８０の径方向に沿って内嵌合あるいは外嵌合のいずれか一方で本体部材３８１に連結する部位を有するように構成されている。本変形例の構成でも本実施形態と同様の効果を得ることができる。

本実施形態では、接触体の基底部から内径方向に向かって水平に支持部が延在する構成を説明したが、これに限定されない。接触体の基底部から外径方向に向かって支持部が延在していてもよい。また、接触体の基底部から内外径に沿った方向に斜めに支持部が延在していてもよい。これらの構成でも本実施形態と同様の効果を得ることができる。

本実施形態では、接触体の支持部の端部に摩擦部材が配置する構成を説明したが、これに限定されない。支持部が接触ばねとして機能すればよく、摩擦部材が支持部の端部以外に嵌合してもよい。これらの構成でも本実施例と同様の効果を得ることができる。

本実施形態では、摩擦部材は全周が閉じた環状の構成を説明したが、これに限定されない。摩擦部材は一部が開いていても、概ね環状の構成でもよい。これらの構成でも本実施例と同様の効果を得ることができる。

本実施形態の図面では、製造工程での加工誤差や歪みを考慮していない構成を示したが、これに限らない。実際に製造された接触体は、図面よりも角部や隅部のＲが大きかったり、ダレやバリが発生したり、本体部材と摩擦部材の隙間が不均一だったりする。これらの構成であっても、本実施形態と同様の効果を得ることができる。

＜第２実施形態＞
第２実施形態では、第１実施形態で説明した振動型アクチュエータ１０を備える装置の一例としての監視カメラ等の撮像装置の雲台の構成について説明する。

本実施形態では、回転台と、回転台に設けられた振動型アクチュエータを備える雲台を以下説明する。

図１１は、雲台８００と、雲台８００に搭載された撮像装置８４０の構成を概略的に示す図である。雲台８００は、ベース８２０と、２つの振動型アクチュエータ８７０、８８０を備えるヘッド８１０と、撮像装置８４０を固定するためのＬアングル８３０を備える。パン軸に設けられた振動型アクチュエータ８８０は、ヘッド８１０とＬアングル８３０と撮像装置８４０を、ベース８２０に対してパン軸まわりに回転させるためのアクチュエータである。また、チルト軸に設けられた振動型アクチュエータ８７０は、Ｌアングル８３０と撮像装置８４０を、ヘッド８１０に対してチルト軸まわりに回転させるためのアクチュエータである。

雲台８００に２つの振動型アクチュエータ８７０、８８０を用いることにより、撮像装置８４０の向きを高速、高応答、静粛、高精度に変える事が可能となる。また、振動型アクチュエータは無通電時でも高い保持トルクを持つため、撮像装置８４０のチルト軸まわりの重心ずれがあっても振動型アクチュエータの電力を消費することなく撮像装置４０の向きを維持することができる。

その他、本発明の利用者が所望する部材と、その部材に設けられた振動型アクチュエータを備える電子機器を提供することができる。

１０ 振動型アクチュエータ
２０ 振動体
２１ 弾性体
２２ 圧電素子
１００ 給電部材
３００，３１０，３２０，３３０，３４０，３５０，３６０，３７０、３８０ 接触体
３０１，３１１，３２１，３３１，３４１，３５１，３６１，３７１、３８１ 本体部材
３０１ａ，３１１ａ，３２１ａ，３３１ａ，３４１ａ，３５１ａ，３６１ａ，３７１ａ、３８１ａ 基底部
３０１ｂ，３１１ｂ，３２１ｂ，３３１ｂ，３４１ｂ，３５１ｂ，３６１ｂ，３７１ｂ、３８１ｂ 支持部
３０２，３１２，３２２，３３２，３４２，３５２，３６２，３７２、３８２ 摩擦部材
３０２ａ，３１２ａ，３２２ａ，３３２ａ，３４２ａ，３５２ａ，３６２ａ，３７２ａ、３８２ａ 摩擦面
３０２ｂ，３１２ｂ，３２２ｂ，３３２ｂ，３４２ｂ，３５２ｂ，３６２ｂ，３６２ｄ，３６２ｅ，３７２ｂ，３７２ｄ，３７２ｅ，３７２ｆ、３８２ｂ 第１の部位
３０２ｃ，３１２ｃ，３２２ｃ，３３２ｃ，３４２ｃ，３５２ｃ，３６２ｃ，３７２ｃ、３８２ｃ 第２の部位

Claims (8)

1. 環状の弾性体及び電気−機械エネルギー変換素子を有する振動体と、
   前記振動体と相対的に移動する環状の接触体を備え、
   前記接触体は、
   基底部と、
   前記基底部から前記接触体の径方向に環状に延在した支持部と、
   前記支持部に設けられ前記支持部とは別の部材であり前記振動体と接触する摩擦部材を有し、
   前記摩擦部材は、前記環状の接触体の中心軸に沿った方向に延在する第１の部位と、
   前記径方向に延在する第２の部位とで前記支持部と連結し、
   前記第１の部位は前記径方向に沿って内嵌合あるいは外嵌合のいずれか一方で連結している部分を有することを特徴とする振動型アクチュエータ。
2. 前記摩擦部材は、複数の部位から構成される前記第１の部位を備えることを特徴とする請求項１に記載の振動型アクチュエータ。
3. 前記第１の部位は、前記支持部に対して内嵌合する部位と、
   前記支持部に対して外嵌合する部位を備えることを特徴とする請求項２に記載の振動型アクチュエータ。
4. 前記支持部を構成する材料のヤング率が前記摩擦部材を構成する材料のヤング率よりも低いことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
5. 前記支持部を構成する材料の硬さが前記摩擦部材を構成する材料の硬さよりも低いことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
6. 前記摩擦部材を構成する材料が鉄鋼であり、前記支持部を構成する材料がアルミニウム合金又は真鍮であることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
7. 回転台と、前記回転台に設けられた請求項１から６のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータを備える雲台。
8. 部材と、前記部材に設けられた請求項１から６のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータを備える電子機器。

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