JP4345813B2 - 長尺型磁気センサ - Google Patents
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Description
図8に示すように、磁気抵抗素子21Cの感磁部22Cは、長手方向に間隔D1を空けて配列形成された複数の単位感磁体221Cと、これら単位感磁体221Cに並列して配列形成された複数の単位感磁体222Cと、各単位感磁体221Cを直列接続する接続導体223Cと、各単位感磁体222Cを直列接続する接続導体224Cとを備える。また、感磁部22Cは、直列接続された単位感磁体221C群の端部に接続導体2251Cを介して導通された端子電極227Cと、直列接続された単位感磁体222C群の端部に接続導体2252Cを介して導通された端子電極226Cと、単位感磁体221C群と単位感磁体222C群との端部に接続導体2253Cを介して導通された端子電極228Cとを備える。
また、磁気抵抗素子21Cの長手方向の両端部は、磁気抵抗素子21B,21Dに挟まれる構造を為している。
また、この発明は、磁気抵抗素子の長手方向の端部に接続導体が形成されていないことを特徴としている。
11A〜11E,21A〜21E−磁気抵抗素子
12A〜12E,22A〜22E−感磁部
120C,120C’−単位感磁体列
121B,122B,121C,122C,121D,122D,221C,222C−単位感磁体
123C,124C,1251C〜1254C,223C,224C,2251C〜2253C−接続導体
126C,127C,128C,129C,226C,227C,228C−接続端子
13A〜13E,23A〜23E−接続電極
14A〜14E,24A〜24E−外部接続端子
100,200−長尺型磁気センサ
図1(A)は本実施形態に係る長尺型磁気センサの平面図であり、図1(B)は長辺側を見た側面図であり、図1(C)は短辺側を見た側面図である。なお、本図は磁気抵抗素子が配列形成された面を覆うカバーを取り外した状態について示している。
図1に示すように、長尺型磁気センサ100は、ケース1の長手方向に沿って直線状に磁気抵抗素子(MR素子)11A〜11Eが配列されており、これら磁気抵抗素子11A〜11Eには、該磁気抵抗素子11A〜11Eの長手方向に平行な方向を自身の長手方向とする感磁体12A〜12Eが形成されている。また、長尺型磁気センサ100は、各磁気抵抗素子11A〜11Eの短手方向の端部から短手方向に延びる接続電極13A〜13Eが形成されるとともに、裏面(磁気抵抗素子11A〜11Eが形成された面に対向する面)から所定長さ突出する外部接続端子14A〜14Eが形成されている。これら接続電極13A〜13E、外部接続端子14A〜14Eはそれぞれ長手方向に配列形成された3本の電極または端子で構成されており、各接続電極13A〜13Eが各外部接続端子14A〜14Eに導通されている。例えば、接続電極13Aの3本の電極が外部接続端子14Aの3本の端子にそれぞれ接続されている。また、ケース1の前記裏面側には磁気抵抗素子11A〜11Eが配置されている位置と対向する位置に溝(図示せず)が形成されており、この溝に磁気抵抗素子11A〜11Eの感磁部12A〜12Eに所定の磁界を印加する永久磁石(図示せず)が設置されている。
図2(A)は図1に示した長尺型磁気センサ100の磁気抵抗素子11Cの拡大平面図であり、図2(B)は磁気抵抗素子11B〜11Dの配列構造を示す部分平面図である。
前述の構成の長尺型磁気センサ100の短手方向に磁性体パターンが印刷された紙幣等の被検知物が搬送され、磁性体パターンが長尺型磁気センサ100の磁気抵抗素子側の表面近傍を通過すると、永久磁石による磁界が被検知物の磁性体パターンにより変化し、磁性体パターン通過位置に該当する単位感磁体を通過する磁束密度が変化する。単位感磁体は通過する磁束密度が変化することで抵抗値を変化させるので、この抵抗値の変化を検知することで長尺型磁気センサ100は磁性体パターンを検知する。例えば、前記外部接続端子14A〜14Cのそれぞれ端子を正電圧印加端子、接地端子、負電圧印加端子に接続し、流れる電流値を観測することで、この電流値の変化により単位感磁体の抵抗値変化を検知し、磁性体パターンを検知する。
これにより、被検知物の磁性体パターンの形成位置等によらず、安定して確実に磁性体パターンを検知する長尺型磁気センサを構成することができる。
図3は本実施形態に係る長尺型磁気センサの磁気抵抗素子11B〜11Dの配列構造を示す部分平面図である。
図3に示す長尺型磁気センサは、隣り合う磁気抵抗素子の向かい合う単位感磁体間の間隔D2が単一の磁気抵抗素子内の単位感磁体の間隔D1よりも狭いものであり、他の構成は第1の実施形態に示した長尺型磁気センサと同じである。
このような構成とすることで、隣り合う磁気抵抗素子の対向する端部に磁性体パターンが通過する場合に、磁気抵抗素子を磁性体パターンが通過する場合よりも検知出力が低下することを防止することができる。ここで、間隔D2が間隔D1よりも極めて短ければ間隔D2部分、すなわち隣り合う磁気抵抗素子間を磁性体パターンが通過した場合の方が、磁気抵抗素子部分を磁性体パターンが通過する場合よりも検知出力が大きくなるが、この部分の検知出力を制御することで磁性体パターンを検知することは可能である。このため、確実に磁性体パターンを検知することができる。
すなわち、製造工程に含まれる配列形成に関する誤差が生じても歩留まりを低下させることなく、長尺型磁気センサを形成することができる。
図4(A)は本実施形態に係る長尺型磁気センサの磁気抵抗素子11Cの拡大平面図であり、(B)は磁気抵抗素子11B〜11Dの配列構造を示す部分平面図である。
図4に示すように、本実施形態の長尺型磁気センサの磁気抵抗素子11Cは、第1単位感磁体列120Cの単位感磁体121Cと第2単位感磁体列120C’の単位感磁体122Cとで、長手方向の位置が異なる構造を成している。具体的には、隣り合う単位感磁体121Cの中間に対応する位置に単位感磁体122Cが配置されており、長手方向に対して斜め方向に隣り合う単位感磁体121Cと122Cとの長手方向の間隔が、第1、第2の実施形態に示した間隔D1よりも短い間隔D3で構成されている。また、隣り合う磁気抵抗素子、例えば磁気抵抗素子11Cと11B、11Cと11Dの長手方向に対して斜めに向かい合う単位感磁体122Bと121C、122Cと121Dとの長手方向の間隔が前記間隔D3と同じ間隔D4で構成されている。他の構成は前述の第1の実施形態に示す長尺型磁気センサと同じである。
図5は本実施形態に係る長尺型磁気センサの磁気抵抗素子11B〜11Dの配列構造を示す部分平面図である。
図5に示すように、本実施形態の長尺型磁気センサでは、隣り合う磁気抵抗素子の長手方向に対して斜めに向かい合う単位感磁体の長手方向の間隔D4が、磁気抵抗素子内で斜め方向に隣り合う単位感磁体の長手方向の間隔D3よりも短く構成されている。他の構成は第3の実施形態に係る長尺型磁気センサと同じである。
この構成の長尺型磁気センサは、単位感磁体121Cと接続導体123Cとが長手方向に交互に接続された第1単位感磁体列120Cと、単位感磁体122Cと接続導体124Cとが長手方向に交互に接続された第2単位感磁体列120C’とから感磁部12Cが構成されている。また、隣り合う磁気抵抗素子の向かい合う単位感磁体の間隔D6が磁気抵抗素子内の単位感磁体の間隔D5以下に構成されている。他の構成は第1の実施形態に示した長尺型磁気センサと同じである。
なお、この構成において、第3、第4の実施形態に示したように平行する2つの単位感磁体列の単位感磁体の長手方向の位置を異ならせる構成を適用することもできる。これにより、前述の効果に加え、第3、第4の実施形態に示したようなさらに安定して磁性体パターンを検知する効果を奏する。
Claims (4)
- 長手方向に間隔を空けて配列形成された複数の単位感磁体と該複数の単位感磁体を直列に接続する接続導体とを有する感磁部が形成された複数の磁気抵抗素子を備え、
該複数の磁気抵抗素子が前記長手方向に配列された長尺型磁気センサにおいて、
隣り合う磁気抵抗素子同士の向かい合う端部にそれぞれ配置された前記単位感磁体の前記長手方向の間隔が、磁気抵抗素子内の隣り合う前記単位感磁体の前記長手方向の間隔以下であることを特徴とする長尺型磁気センサ。 - 前記隣り合う磁気抵抗素子同士の向かい合う端部にそれぞれ配置された前記単位感磁体の前記長手方向の間隔が、前記磁気抵抗素子内の隣り合う前記単位感磁体の前記長手方向の間隔に略等しい請求項1に記載の長尺型磁気センサ。
- 前記感磁部は、前記長手方向に垂直な方向に配列された第1単位感磁体列と第2単位感磁体列とからなり、
短手方向から見て、前記第1単位感磁体列に配列形成された各単位感磁体の長手方向上の位置は、前記第2単位感磁体列に配列形成された各単位感磁体の長手方向上の位置と異なる請求項1または請求項2に記載の長尺型磁気センサ。 - 前記磁気抵抗素子の長手方向の端部に前記接続導体が形成されていない請求項1〜3に記載の長尺型磁気センサ。
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Cited By (2)
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DE4233332C2 (de) * | 1992-10-05 | 1995-10-19 | Inst Mikrostrukturtechnologie | Magnetoresistive Sensoranordnung auf einem Chip zur Messung örtlicher Verteilungen von Magnetfeldgradienten |
WO1995028649A1 (en) * | 1994-04-15 | 1995-10-26 | Philips Electronics N.V. | A magnetic field sensor, an instrument comprising such a sensor and a method of manufacturing such a sensor |
JPH08219804A (ja) * | 1995-02-09 | 1996-08-30 | Canon Inc | 位置検出装置 |
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DE19648879C2 (de) * | 1996-11-26 | 2000-04-13 | Inst Mikrostrukturtechnologie | Magnetfeldsensor mit parallelen magnetoresistiven Schichtstreifen |
US6326782B1 (en) * | 1999-03-15 | 2001-12-04 | Delphi Technologies, Inc. | Two dimensional magnetoresistive position sensor |
US6946834B2 (en) * | 2001-06-01 | 2005-09-20 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method of orienting an axis of magnetization of a first magnetic element with respect to a second magnetic element, semimanufacture for obtaining a sensor, sensor for measuring a magnetic field |
JP3651433B2 (ja) * | 2001-09-28 | 2005-05-25 | 株式会社村田製作所 | 磁気センサ |
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
KR101496078B1 (ko) * | 2011-03-11 | 2015-02-25 | 빙준 큐 | 자기 센서 칩 및 자기 센서 |
CN103090888A (zh) * | 2011-11-04 | 2013-05-08 | 新科实业有限公司 | 带有旁路层的磁传感器及其制造方法 |
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