JP5757866B2 - 磁気特性を測定するための測定装置および当該測定装置の製造方法 - Google Patents
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Description
Claims (23)
- 測定装置周辺の磁気特性を測定するための測定装置であって、
当該測定装置はセンサ列と支援磁界装置とを有しており、
前記センサ列は、列方向に延在している列に配置されている少なくとも2つの磁気抵抗式センサ部材から成り、
前記支援磁界装置は支援磁界を形成し、当該支援磁界は、前記列方向を指している磁界成分を有しており、当該磁界成分の磁界強度は前記列方向において変化し、
ここで前記支援磁界装置は前記少なくとも2つのセンサ部材に対して次のように配置されている、すなわち、前記磁界強度が特性経過を定め、当該特性経過は1つまたは複数の零通過と、1つまたは複数の極大値と、1つまたは複数の極小値とを有しているように配置されており、
いずれの前記零通過も、いずれの前記極大値も、いずれの前記極小値も、前記列方向に沿って、前記少なくとも2つのセンサ部材のいずれか1つのセンサ部材の位置に一致しない位置に位置付けされている、
ことを特徴とする、測定装置周辺の磁気特性を測定するための測定装置。 - 前記磁界強度特性経過は前記列方向において、前記センサ列を構成する前記少なくとも2つのセンサ部材のセンサ縁部で、零通過および極大値または極小値の少なくとも1つを有しておらず、前記センサ縁部は前記列方向を横切る方向にある、請求項1記載の測定装置。
- 前記支援磁界は時間で変化しない、請求項1記載の測定装置。
- 前記磁界強度特性経過は前記列方向において、少なくとも2つの極大値と1つの極小値を有している、請求項1記載の測定装置。
- 前記磁界強度特性経過は前記列方向において、前記列の領域において周期的である、請求項1記載の測定装置。
- 前記支援磁界装置は、隣接して配置されている磁石の列を有しており、ここである磁石の磁性は、自身の隣接する磁石の磁性と反対である、請求項1記載の測定装置。
- 前記支援磁界装置は、隣接して配置されている磁石の列を有しており、ここである磁石の磁性は、自身の隣接する磁石の磁性に対して平行である、請求項1記載の測定装置。
- 前記磁石は直接的に相互に接している、請求項6記載の測定装置。
- ある磁石から隣の磁石への移行が、前記列方向における拡張に関して前記少なくとも2つのセンサ部材の少なくとも1つのセンサ部材の中央に配置されないように、前記隣接して配置されている磁石の列は、前記センサ列に対して配置されている、請求項6記載の測定装置。
- 局所的に変化する磁性分布を備えた個々の磁石が使用されている、請求項1記載の測定装置。
- 前記支援磁界装置は永久磁石を有している、請求項1記載の測定装置。
- 前記少なくとも2つの磁気抵抗式センサ部材は、隣接して配置されている少なくとも2つのセンサ列で配置されている、請求項1記載の測定装置。
- 前記支援磁界装置は、隣接して配置されている少なくとも2つの磁石列を有している、請求項1記載の測定装置。
- 前記少なくとも2つの磁気抵抗式センサ部材は、連続して配置されている少なくとも2つのセンサ列で配置されている、請求項1記載の測定装置。
- 前記少なくとも2つのセンサ部材によって形成されるセンサ信号が、前記少なくとも2つのセンサ部材の近傍領域において形成される局部的な磁界勾配によって定められ、均一な磁界によって定められないように、前記センサ部材が配置されている、請求項1記載の測定装置。
- 前記磁界強度特性経過が前記列方向において、前記少なくとも2つのセンサ部材の少なくとも1つのセンサ部材で、磁石によって形成され、当該磁石は、その上に前記少なくとも1つのセンサ部材が配置されているチップ上に直接的に配置されている、請求項1記載の測定装置。
- 測定装置を組み立てる方法であって、
少なくとも2つの磁気抵抗式センサ部材を、列方向を規定する列に配置するステップを有しており、
支援磁界装置を提供するステップを有しており、前記支援磁界装置は支援磁界を形成し、当該支援磁界は、前記列方向に沿った磁界を有しており、前記磁界の磁界強度は前記列方向に沿って変化し、前記磁界の特性経過は1つまたは複数の零通過と、1つまたは複数の極大値と、1つまたは複数の極小値とを有しており;
前記磁界特性経過のいずれの前記零通過も、いずれの前記極大値も、いずれの前記極小値も前記列方向に沿って、前記少なくとも2つの磁気抵抗式センサ部材のいずれか1つの磁気抵抗式センサ部材の位置に一致しない位置に位置付けされるように前記支援磁界装置と前記少なくとも2つの磁気抵抗式部材とを配置するステップを有している、
ことを特徴とする、測定装置を組み立てる方法。 - 前記磁石は直接的に相互に隣接している、請求項7記載の測定装置。
- ある磁石から隣の磁石への移行が、前記列方向における拡張に関して前記少なくとも2つのセンサ部材の少なくとも1つのセンサ部材の中央に配置されないように、前記隣接して配置されている磁石の列は、前記センサ列に対して配置されている、請求項7記載の測定装置。
- 磁気特性を測定するための測定装置であって、
列方向において列で延在して配置されている少なくとも2つの磁気抵抗式センサ部材と、
前記列方向に対して平行に配置され、かつ前記少なくとも2つの磁気抵抗式センサ部材に対して、支援磁界を形成するように配置されている少なくとも1つの磁石列とを有しており、前記支援磁界は、前記列方向における磁界成分を有しており、磁界強度は前記列方向において変化し、
前記列方向において前記磁界強度が特性経過を定め、当該特性経過は1つまたは複数の零通過と、1つまたは複数の極大値と、1つまたは複数の極小値とを有しており、
いずれの前記零通過も、いずれの前記極大値も、いずれの前記極小値も、前記列方向に沿って、前記少なくとも2つのセンサ部材のいずれか1つのセンサ部材の位置に一致しない位置に位置付けされている、
ことを特徴とする、磁気特性を測定するための測定装置。 - 前記少なくとも1つの磁石列は複数の磁石を有しており、前記複数の磁石は、前記列方向に対して垂直に配置されている複数の極を有しており、かつ極性の平行の方向を有している、請求項20記載の測定装置。
- 前記少なくとも1つの磁石列は複数の磁石を有しており、前記複数の磁石は、前記列方向に対して垂直に配置されている複数の極を有しており、かつ前記列方向において交番する極性の方向を有している、請求項20記載の測定装置。
- 前記少なくとも1つの磁石列は複数の磁石を有しており、前記複数の磁石は、前記列方向に沿って配置されている複数の極を有しており、かつ前記列方向において交番する極性の方向を有している、請求項20記載の測定装置。
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