JP4342747B2 - シリンダ制御用センサ及びこれを備えたシリンダ装置 - Google Patents

シリンダ制御用センサ及びこれを備えたシリンダ装置 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シリンダのピストンの動作状態、例えばピストンがストロークエンドに達したことを検知可能なシリンダ制御用センサ及びこれを備えたシリンダ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、自動車部品の鋳造金型やプラスチック金型等には、多くの油圧シリンダが用いられている。従来、鋳造機械等の産業機械に用いられる往復動シリンダは、前進又は後進位置を正確に制御すると共に、機械作動と組み合わせたシーケンス回路により自動化されている。
【0003】
例えば、従来のシリンダ制御技術としては、図12に示すように、シリンダ本体1に取り付けられたアナログスイッチや近接スイッチ等を用いたリミットスイッチ装置2により、前後進位置を検知し、信号を制御盤に送って切換弁(ソレノイドバルブ)を介してシリンダを停止させる制御技術がある。また、シリンダ内にセンサを内蔵して前後進位置を検知し、ストローク調整をパルス信号に変え、検出器でデータ化して再度信号を制御盤に送り、切換弁を介してシリンダを停止させる制御技術がある。さらに、特公平7−42965号には、メインシリンダに同期するサブシリンダを設けて該サブシリンダへの流れる流体の量を調整して前後進位置を検知し制御する技術が提案されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のシリンダ制御技術では、次のような課題が残されている。すなわち、従来のリミットスイッチ装置による場合は、高温、多量の離型剤やスラッジ等によりリミットスイッチ装置が損傷を受けやすく、これに起因する金型トラブルが生産上の大きな障害になる場合がある。また、作業現場の先端部に取り付けてあるため、水、オイル、バリ等を常時受けることから、防水性スイッチを使用しても漏電を起こしやすく、リミットスイッチ装置のコード切断も起きるおそれがあった。また、シリンダ本体にリミットスイッチ装置を取り付けるスペースが採れない場合があると共に、シリンダのサイズ(ストローク)によってリミットスイッチ装置の高精度な調整が必要である。さらに、複数のシリンダがある場合には、各シリンダにそれぞれリミットスイッチ装置を取り付ける必要があり、部材点数及びコストの増大を招くと共に、一回路にて行うとすれば制御が複雑化し制御困難になる不都合があった。また、センサを内蔵する場合は、パルス信号を使用するので、シリンダ内部の駆動部をストロークに合わせて加工し、検出器と接続しなくてはならないと共に、磁気発生には弱く誤作動の元になるおそれがあった。さらに、サブシリンダに流入する流体量により制御する場合は、メインシリンダに遮断部材が必要であると共に流入する流体量を調節する必要があり、より簡易な構成でかつ流体量調節が不要な技術が要望されている。
【0005】
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、シリンダから離間させて接続可能で誤作動が起き難く、シリンダのサイズ等による調整や流体量調節も不要にすることができるシリンダ制御用センサ及びこれを備えたシリンダ装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、ピストンによって2つの室に仕切られたシリンダ室を内部に有するメインシリンダに接続され、ピストンの動作状態を検知するシリンダ制御用センサであって、前記2つの室の少なくとも一方の室と接続管路を介して接続され前記一方の室から押し出される流体で内部のバネ又は封入ガスが加圧されるアキュムレータと、前記接続管路に設けられ前記一方の室への流体の流れを抑制する逆止弁を備えると共に、前記一方の室からの加圧が停止した瞬間に生じる前記アキュムレータと前記接続管路のうち前記逆止弁よりも前記一方の室側に位置する部分との差圧により前記メインシリンダの駆動を停止させる信号を発信する停止信号発信機構とを備えていることを特徴とする。
【0007】
このシリンダ制御用センサでは、前記2つの室の少なくとも一方の室と接続管路を介して接続され前記一方の室から押し出される流体で内部のバネ又は封入ガスが加圧されるアキュムレータを備えているので、ピストンの移動によりメインシリンダの室(一方の室)から押し出される流体が接続管路を介してアキュムレータに流れ込み、アキュムレータ内の圧力を上昇させる。そして、ピストンが例えばストロークエンドに達する寸前に高いサージ圧が発生し、アキュムレータ内の圧力も急減に高くなる。さらに、ピストンがストロークエンドに達した瞬間に室内の流体の圧力が急激に低下し、接続管路からアキュムレータに加わる圧力も急激に低下する。このとき、高圧状態のアキュムレータと急激に圧力が低下した接続管路とには差圧が生じる。
【0008】
本発明では、一方の室からの加圧が停止した瞬間に生じるアキュムレータと接続管路との差圧によりメインシリンダの駆動を停止させる信号を発信する停止信号発信機構を備えているので、ピストンがストロークエンドに達した瞬間に生じた差圧により、停止信号が発信され、メインシリンダの駆動を停止させることができる。したがって、本発明では、ピストンがストロークエンドに達した直後にメインシリンダを確実にかつ高速に停止させることができる。
【0009】
また、本発明のシリンダ制御用センサは、前記停止信号発信機構が、前記接続管路に設けられ前記一方の室への流体の流れを抑制する逆止弁と、前記接続管路における前記アキュムレータと前記逆止弁との間に一端が接続された第1分岐管路と、前記接続管路における前記一方の室と前記逆止弁との間に一端が接続された第2分岐管路と、前記第1分岐管路の他端と前記第2分岐管路の他端とに接続され第1分岐管路内の圧力が第2分岐管路内の圧力より高くなったときに前記信号を発信するスイッチ機構とを備えている技術が採用される。
【0010】
このシリンダ制御用センサでは、例えばピストンがストロークエンドに達した瞬間に生じた差圧により、アキュムレータから接続管路及び第1分岐管路へと流体が押し出されようとするが、逆止弁があるために第1分岐管路側に流体が押し出される。また、同時に急激に圧力が低下した一方の室から逆止弁までの接続管路に接続されている第2分岐管路内も圧力が低いため、第1分岐管路内の圧力が第2分岐管路内の圧力より高くなる。したがって、このときスイッチ機構により、メインシリンダの駆動を停止させる信号が発信される。このように、本発明では、接続管路に設けた逆止弁により、第1分岐管路内と第2分岐管路内とに差圧を発生させるので、容易に停止信号を発信させることができる。
【0011】
また、本発明のシリンダ制御用センサは、前記スイッチ機構が、ピストンによって2つの室に仕切られたシリンダ室有するセンサシリンダと、該センサシリンダのピストンの移動による機械的作用により電気的に前記信号を発信するスイッチ部とを備え、前記センサシリンダの一方の室と前記第1分岐管路の他端側とが接続されていると共に、センサシリンダの他方の室と前記第2分岐管路の他端側とが接続されていることが好ましい。
【0012】
このシリンダ制御用センサでは、センサシリンダの一方の室と第1分岐管路の他端側とが接続されていると共に、センサシリンダの他方の室と第2分岐管路の他端側とが接続されているので、第1分岐管路内の圧力が第2分岐管路内より高くなったときにセンサシリンダのピストンが移動して機械的作用により電気的にスイッチ部を作動させ、停止信号を発信することができ、簡易なかつ安価な構成で確実に動作させることができる。
【0013】
また、本発明のシリンダ制御用センサは、前記停止信号発信機構が、前記接続管路における前記アキュムレータと前記逆止弁との間に一端が接続された第1分岐管路と、前記第1分岐管路の他端に接続され該第1分岐管路から流れ込む流体で移動可能なピストンを有するセンサシリンダと、該センサシリンダのピストンの移動による機械的作用により電気的に前記信号を発信するスイッチ部と、前記差圧が発生するまでの圧力よりも低い前記第1分岐管路内の圧力に対抗して前記センサシリンダのピストンの移動を抑える移動抑制機構とを備えている技術を採用してもよい。
【0014】
このシリンダ制御用センサでは、差圧が発生するまでの圧力よりも低い第1分岐管路内の圧力に対抗してセンサシリンダのピストンの移動を抑える移動抑制機構を備えているので、メインシリンダのピストンが移動している間は、第1分岐管路内の圧力が、上記差圧が発生した際の圧力よりも低い圧力になっているために、移動抑制機構によりセンサシリンダのピストンが移動しない。そして、メインシリンダのピストンがストロークエンドに達したとき、上記差圧が発生すると共に逆止弁より上流側の接続管路への流れが抑制されているために、第1分岐管路内の圧力が急激に上昇して移動抑制機構で抑制可能な圧力を越え、センサシリンダのピストンが移動してスイッチ部により上記信号が発信される。
【0015】
また、本発明のシリンダ制御用センサは、前記アキュムレータが、前記接続管路から流れ込む流体で移動可能なピストンを有するシリンダであって、前記接続管路から流体が流れ込む際に移動する前記シリンダのピストンに負荷を加える負荷機構として前記バネ又は封入ガスが設けられていることが好ましい。
【0016】
このシリンダ制御用センサでは、接続管路から流体が流れ込む際に移動するシリンダのピストンに負荷を加える負荷機構が設けられているので、接続管路からシリンダ内に流体が流入するとシリンダのピストンが移動するが、この際、負荷機構により負荷が加わり、シリンダ内が加圧されると共に室内容積が増大する。さらに、メインシリンダのピストンがストロークエンドに達した瞬間、接続管路の圧力が急激に低下すると、シリンダ内と接続管路内とに差圧が生じ、シリンダから接続管路側へ流体が押し出されて、メインシリンダ駆動の停止信号が発信される。すなわち、停止信号を発信させるために十分な差圧及び流体の量を確保することができる。
【0017】
また、本発明のシリンダ制御用センサは、前記アキュムレータが、前記接続管路よりも内径が大きく設定された大径管路であることが好ましい。
【0018】
このシリンダ制御用センサでは、アキュムレータが、接続管路よりも内径が大きく設定された大径管路であるので、大径管路内が接続管路から流入する流体により加圧さえ内径が大きい分だけ圧力エネルギーを多く蓄積することができ、非常に簡易な構成でアキュムレータ効果を得ることができる。
【0019】
また、本発明のシリンダ制御用センサは、前記メインシリンダの2つの室のそれぞれに接続される一対の前記アキュムレータ及び前記停止信号発信機構を備え、前記停止信号発信機構が、正常に作動する状態でメインシリンダのピストンが駆動されて前記センサシリンダの駆動停止信号の発信が解除されてから前記メインシリンダのピストンがストロークエンドに達して駆動停止信号が発信されるまでを正常作動時間とした場合に、該正常作動時間よりも短い時間でメインシリンダの駆動を停止させる信号が発信されたときに、誤作動を知らせる信号を発信する誤作動検知機構を備えていることが好ましい。
【0020】
このシリンダ制御用センサでは、正常作動時間よりも短い時間でメインシリンダの駆動を停止させる信号が発信されたときに、誤作動を知らせる信号を発信する誤作動検知機構を備えているので、例えば金型成形等においてバリなどによりピストンが中間停止した場合、正常作動時と同様に差圧が発生して停止信号が発信されるが、この場合、正常作動時間よりも早く停止信号が発信されるため、誤作動検知機構により、誤作動を検知することができる。
【0021】
本発明のシリンダ装置は、ピストンによって2つの室に仕切られたシリンダ室を内部に有するメインシリンダを備えたシリンダ装置であって、前記2つの室の少なくとも一方に接続された上記本発明のシリンダ制御用センサを備えていることを特徴とする。
【0022】
このシリンダ装置では、前記2つの室の少なくとも一方に接続された上記本発明のシリンダ制御用センサを備えているので、メインシリンダのピストンがストロークエンドに達した瞬間にシリンダ制御用センサが停止信号を発信するため、メインシリンダの駆動を確実にかつ高速に停止させることができる。
【0023】
また、本発明のシリンダ装置は、前記メインシリンダの2つの室に一端が接続され流体を給排する一対の給排管路と、前記一対の給排管路の他端に接続された切換弁とを備え、前記シリンダ制御用センサは、前記一対の給排管路の少なくとも一方に前記接続管路を接続して設けられていることが好ましい。
【0024】
このシリンダ装置では、シリンダ制御用センサが一対の給排管路の少なくとも一方に接続管路を接続して設けられているので、メインシリンダを駆動する流体を給排する一対の給排管路を介して接続管路に流入する流体でシリンダ制御用センサを作動させることができ、メインシリンダに直接接続管路を接続せずに済み、配管をシンプルに構成することが可能になる。
【0025】
また、本発明のシリンダ装置は、複数の前記メインシリンダを備え、前記シリンダ制御用センサは、前記複数のメインシリンダに分岐して接続された前記接続管路に対して1つ設けられていることが好ましい。
【0026】
このシリンダ装置では、シリンダ制御用センサの接続管路が複数のメインシリンダに分岐して接続されているので、例えば出力の異なる複数のメインシリンダでも一つのシリンダ制御用センサで制御することができる。
【0027】
また、本発明のシリンダ装置は、前記シリンダ制御用センサが前記切換弁に設置されていることが好ましい。すなわち、このシリンダ装置では、シリンダ制御用センサが切換弁に設置されるので、切換弁との複合化・一体化を図ることができ、全体をコンパクトにすることができると共にコストを低減することができる。
【0028】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るシリンダ制御用センサ及びこれを備えたシリンダ装置の参考例及び第1実施形態を、図1から図7及び図13を参照しながら説明する。なお、これらの図中、符号11はメインシリンダ、13Aは第1シリンダ制御用センサ、13Bは第2シリンダ制御用センサを示している。また、図1から図4はこの発明の参考例を示す図であり、図13は第1実施形態を示す図である。また、図5から図7は参考例と第1実施形態の双方に共通する図である。なお、第1実施形態が参考例と異なるのは、参考例における第1絞り弁22A、22Bを有する負荷機構20A、20Bに代えて、シリンダ16A、16Bがバネや封入ガスを内蔵して構成されている点である。
以下、参考例及び第1実施形態について説明するが、参考例、第1実施形態特有の部分については、その旨を記載し、その旨の記載がない部分は参考例及び第1実施形態の双方に共通する部分である。
【0029】
参考例及び第1実施形態のシリンダ装置は、図1から図5及び図13に示すように、ピストン10によって2つの室(ヘッド側室12a、ロッド側室12b)に仕切られたシリンダ室12を内部に有する鋳造金型用コアーシリンダやボアシリンダ等の大型のメインシリンダ11を備え、このメインシリンダ11の2つの室に接続された第1シリンダ制御用センサ13A及び第2シリンダ制御用センサ13Bを備えている。
【0030】
上記メインシリンダ11には、シリンダ室11内にピストン10が摺動可能に挿入されている。該ピストン10は、シリンダ室12を2つの室、すなわちヘッド側室12aとロッド側室12bとに仕切る大径のピストン部10aと、該ピストン部10aに基端が固定され他端がシリンダ室12外に突出したロッド部10bとから構成されている。
【0031】
また、メインシリンダ11のヘッド側室12a及びロッド側室12bには、これらにオイル等の流体を給排する、すなわちこれらに流体を供給する又はこれらから流体を排出させる一対の給排管路14A、14Bの一端が接続されている。これらの給排管路14A、14Bの他端は切換弁SVに接続され、該切換弁SVには、圧力流体を吐出するポンプPと切換弁SVから流出する流体を貯留するタンクTとが接続されている。
【0032】
すなわち、切換弁SVは、一対の給排管路14A、14Bに対するポンプPとタンクTとの接続を切り換えるソレノイドバルブであり、この切り換えにより、給排管路14A、14Bのいずれか一方がポンプP側に接続されて高圧側となると共に他方がタンクT側に接続されて低圧側になり、ロッド側室12b又はヘッド側室12aのいずれかに一方にポンプPから高圧流体が供給され、他方から戻り流体がタンクTへと排出される。
【0033】
上記第1、第2シリンダ制御用センサ13A、13Bは、図5に示すように、例えば操作盤等のメインシリンダ11から遠く離間した位置に設置され、給排管路14A、14Bに第1接続管路(接続管路)15A、15Bを介して接続されている。なお、参考例及び第1実施形態の第1、第2シリンダ制御用センサ13A、13Bは、切換弁SV側に設置されて集積弁として取り付けられる。
【0034】
また、第1、第2シリンダ制御用センサ13A、13Bは、給排管路14A、14Bに第1接続管路15A、15Bを介して接続されヘッド側室12a又はロッド側室12bから押し出される流体で内部が加圧されるシリンダ(アキュムレータ)16A、16Bと、ヘッド側室12a又はロッド側室12bからの加圧が停止した瞬間に生じるシリンダ16A、16Bと第1接続管路15A、15Bとの差圧によりメインシリンダ11の駆動を停止させる信号を発信する停止信号発信機構17A、17Bとを備えている。
【0035】
なお、第1シリンダ制御用センサ13Aのシリンダ16Aは、メインシリンダ11のヘッド側室12aに接続された給排管路14Aに接続され、第2シリンダ制御用センサ13Bのシリンダ16Bは、メインシリンダ11のロッド側室12bに接続された給排管路14Bに接続されている。
【0036】
上記シリンダ16A、16Bは、シリンダ室18内にピストン19が摺動可能に挿入されている。該ピストン19は、シリンダ室18を2つの室、すなわちヘッド側室18aとロッド側室18bとに仕切る大径のピストン部19aと、該ピストン部19aに基端が固定され他端がシリンダ室18外に突出したロッド部19bとから構成されている。
【0037】
第1シリンダ制御用センサ13Aでは、メインシリンダ11のヘッド側室12aとシリンダ16Aのヘッド側室18aとが給排管路14A及び第1接続管路15Aを介して接続され、第2シリンダ制御用センサ13Bでは、メインシリンダ11のロッド側室12bとシリンダ16Bのヘッド側室18aとが給排管路14B及び第1接続管路15Bを介して接続されている。また、参考例に係るシリンダ16A、16Bのロッド側室18bには、該ロッド側室18b側にシリンダ16A、16Bのピストン19が移動する際に負荷を加える負荷機構20A、20Bが設けられている。
また、第1実施形態に係るシリンダ16A、16Bのロッド側室18bには、バネや封入ガスが内蔵されており、シリンダ16A、16Bのピストン19が移動する際に負荷を加える負荷機構とされている。
【0038】
参考例に係る負荷機構20A、20Bは、フローコントローラとして機能するものであって、シリンダ16A、16Bのロッド側室18bとメインシリンダ11とを接続する第2接続管路21A、21Bと、該第2接続管路21A、21Bに設けられた第1絞り弁22A、22B(一般的な絞り弁やオリフィス(固定絞り弁)等の流量制御弁)と、第2接続管路21A、21Bにおける第1絞り弁22A、22Bの両側に接続された第1迂回管路23A、23Bと、該第1迂回管路23A、23Bに設けられメインシリンダ11からシリンダ16A、16Bへの流体の流れを止める第1逆止弁24A、24Bとから構成されている。
【0039】
なお、参考例及び第1実施形態に係る第1シリンダ制御用センサ13Aの第2接続管路21Aは、シリンダ16Aのロッド側室18bとメインシリンダ11のヘッド側室12aとを接続し、第2シリンダ制御用センサ13Bの第2接続管路21Bは、シリンダ16Bのロッド側室18bとメインシリンダ11のロッド側室12bとを接続している。
【0040】
上記停止信号発信機構17A、17Bは、第1接続管路15A、15Bに設けられメインシリンダ11への流体の流れを止める第2逆止弁25A、25Bと、第1接続管路15A、15Bにおけるシリンダ16A、16Bと第2逆止弁25A、25Bとの間に一端が接続された第1分岐管路26A、26Bと、切換弁SVと第1接続管路15A、15Bの接続部との間の給排管路14A、14Bに一端が接続され該給排管路14A、14Bを介して第1接続管路15A、15Bに接続された第2分岐管路27A、27Bと、第1分岐管路26A、26Bの他端と第2分岐管路27A、27Bの他端とに接続され第1分岐管路26A、26B内の圧力が第2分岐管路27A、27B内の圧力より高くなったときに停止信号を発信するスイッチ機構28A、28Bとを備えている。
【0041】
該スイッチ機構28A、28Bは、ピストン29によって2つの室、すなわちヘッド側室30a及びロッド側室30bに仕切られたシリンダ室30を有するセンサシリンダ31A、31Bと、該センサシリンダ31A、31Bのピストン29の移動による機械的に停止信号を発信するスイッチ部32A、32Bとを備えている。
【0042】
上記センサシリンダ31A、31Bは、シリンダ16A、16Bよりも多少小さいサブシリンダであって、シリンダ室30内にピストン29が摺動可能に挿入されている。該ピストン29は、シリンダ室30を2つの室、すなわちヘッド側室30aとロッド側室30bとに仕切る大径のピストン部29aと、該ピストン部29aに基端が固定され他端がシリンダ室30外に突出したロッド部29bとから構成されている。また、センサシリンダ31A、31Bのロッド側室30bと第1分岐管路26A、26Bの他端とが接続されていると共に、センサシリンダ31A、31Bのヘッド側室30aと第2分岐管路27A、27Bの他端とが接続されている。
【0043】
上記スイッチ部32A、32Bは、センサシリンダ31A、31Bのロッド部29b側方に設置されたマイクロスイッチであり、ロッド部29bがシリンダ室30内に引っ込んだときに、ロッド部29b先端に固定された係止部29cが係合することにより、マイクロスイッチがオフからオンに切り換わり、これが制御盤38に設けられた表示器に表示され、切換弁SVを流れ位置から中立位置に切り換えるものである。
【0044】
上記第2分岐管路27A、27Bは、第2絞り弁33A、33B(一般的な絞り弁又はオリフィス(固定絞り弁)等の流量制御弁)と、第2分岐管路27A、27Bにおける第2絞り弁33A、33Bの両側に接続された第2迂回管路34A、34Bと、該第2迂回管路34A、34Bに設けられ給排管路14A、14Bからセンサシリンダ31A、31Bへの流体の流れを止める第3逆止弁35A、35Bとから構成されている。
【0045】
第1分岐管路26A、26Bには、第3分岐管路36A、36Bの一端が接続され、該第3分岐管路36A、36Bの他端は、第2分岐管路27A、27Bにおける第2迂回管路34A、34Bとの接続部と給排管路14A、14Bとの接続部との間に接続されている。
【0046】
上記第3分岐管路36A、36Bの途中には、リリーフ弁37A、37Bが設けられている。該リリーフ弁37A、37Bは、第1分岐管路26A、26B内がリリーフ圧まで上昇したとき、該第1分岐管路26A、26B内の流体を第3分岐管路36A、36Bにリリーフさせるものである。なお、リリーフ弁37A、37Bは、圧力調整弁であれば他のものでもよく、また、圧力を保持できるバルブであれば逆止弁でもよい。
【0047】
また、上記停止信号発信機構17A、17Bは、正常作動時にメインシリンダ11が駆動されてからピストン10がストロークエンドに達して駆動停止信号が発信されるまでの時間を正常作動時間として設定しており、該正常作動時間よりも短い時間でメインシリンダ11の駆動を停止させる信号が発信されたときに、誤作動を知らせる信号を発信するタイマー(誤作動検知機構)38aを備えている。
【0048】
上記タイマー38aは、第1、第2シリンダ制御用センサ13A、13Bを収納するケース39が取り付けられた制御盤38に設けられ、スイッチ部32A、32Bと電気的に接続されている。このタイマー38aは、図6及び図7に示すようにメインシリンダ11のピストン10が前進端のストロークエンドから戻り端のストロークエンドに後退する場合、メインシリンダ11が駆動されるまでは第1シリンダ制御用センサ13Aのスイッチ部32Aがオフ状態、第2シリンダ制御用センサ13Bのスイッチ部32Bがオン状態(図7のA)とされ、メインシリンダ11が駆動されてスイッチ部32Bが解除されてオフ状態となってからタイマーカウントを始め、第1シリンダ制御用センサ13Aのスイッチ部32Aがオン状態になる時点(図7のB又はC)までタイマーカウントするようになっている。図7のCは図6のCに対応するメインシリンダ11のピストン10が戻り端に到達して第1シリンダ制御用センサ13Aのスイッチ部32Aがオン状態であり、図7のBは図6のBに対応しており、例えば、バリ咬み等により第1シリンダ制御用センサ13Aのスイッチ部32Aがオン状態となった場合を示している。この間の作動時間が、図6および図7の場合のように上記正常作動時間よりも短いときに、誤作動であるとして、例えばエラーであることを知らせるブザーを鳴らす又はランプを点灯させる等の措置が自動的に行われる。なお、上記正常作動時間は、メインシリンダ11のピストン10が正常にストロークエンドに達するまでの作動時間にタイムラグ分を補正してタイマー38aに入力、設定される。
【0049】
次に、第1実施形態及び参考例のシリンダ装置におけるメインシリンダ11の制御方法について、図1から図4を参照して説明する。
【0050】
〔ピストン前進開始〕
まず、ポンプPから圧力流体を、図1に示すように、切換弁SVのポートAからメインシリンダ11のヘッド側室12a内に給排管路14Aを介して供給する。このとき、高圧流体は、ヘッド側室12a内に入り、メインシリンダ11のピストン10を前進させる。
【0051】
また、第1シリンダ制御用センサ13Aの第1接続管路15Aには、流体の一部が流入する。
第1実施形態では、流体は第1接続管路15A側に流入し、第1接続管路15Aに流入した圧力流体は、シリンダ16Aのヘッド側室18aに流入してピストン19を前進させる。
また、参考例では、第2接続管路21Aには、第1絞り弁22A及び第1逆止弁24Aがあるため、流体は第1接続管路15A側に優先的に流入する。そして、第1接続管路15Aに流入した圧力流体は、シリンダ16Aのヘッド側室18aに入り、ピストン19を前進させる。
【0052】
また、第1実施形態及び参考例において、第2分岐管路27Aにも圧力流体の一部が流入する。このとき、第3分岐管路36Aにリリーフ弁37Aがあるため、流体は第3分岐管路36Aに接続された第1分岐管路26Aへは流れず、第2迂回管路34Aを介してセンサシリンダ31Aのヘッド側室30a内に流れ込む。そして、センサシリンダ31Aに流入した圧力流体は、センサシリンダ31Aのピストン29を前進させ、同時にスイッチ部32Aから先端の係止部29cが離れてマイクロスイッチをオフ状態にする。
【0053】
一方、メインシリンダ11のピストン10が前進することにより、ロッド側室10b内の流体がロッド側室10bに接続された給排管路14Bに押し出され、大半が切換弁SVのポートBからタンクTへとリターンされる。また、押し出された流体の一部は、第2シリンダ制御用センサ13Bの第1接続管路15Bに流入する。
このとき、第1実施形態では、シリンダ16Bに内蔵されたバネや封入ガスにより、シリンダ16Bのピストン19の移動に負荷が加わり、シリンダ16Bが圧力エネルギーを蓄積するアキュムレータとして機能し、第1接続管路15Bからの流体の流入によりヘッド側室18a内の圧力が上昇すると共に、室内容積が増大する。
【0054】
なお、参考例では、第2接続管路21Bには、第1絞り弁22B及び第1逆止弁24Bがあるため、流体は第1接続管路15B側に優先的に流入する。そして、第1接続管路15Bに流入した圧力流体は、シリンダ16Bのヘッド側室18aに入り、ピストン19を前進させる。
また、負荷機構20Bである第1絞り弁B及び第1逆止弁24Bにより、シリンダ16Bのピストン19の移動に負荷が加わり、シリンダ16Bが圧力エネルギーを蓄積するアキュムレータとして機能し、第1接続管路15Bからの流体の流入によりヘッド側室18a内の圧力が上昇すると共に、室内容積が増大する。
【0055】
また、第1実施形態及び参考例において、第2分岐管路27Bにも圧力流体の一部が流入する。このとき、第3分岐管路36Bにリリーフ弁37Bがあるため、流体は第3分岐管路36Bに接続された第1分岐管路26Bへは流れず、第2迂回管路34Bを介してセンサシリンダ31Bのヘッド側室30a内に流れ込む。そして、センサシリンダ31Bに流入した圧力流体は、センサシリンダ31Bのピストン30を前進させ、同時にスイッチ部32Bから先端の係止部29cが離れてマイクロスイッチをオフ状態にする。そして、メインシリンダ11のピストン10がストロークエンドに達する寸前に高いサージ圧が発生し、シリンダ16B内の圧力も急減に高くなる。
【0056】
〔ピストン前進完了〕さらに、図2に示すように、ピストン10がストロークエンドに達した瞬間に、メインシリンダ11のロッド側室12b内の流体の圧力が急激に低下すると共に、給排管路14Bを介して第1接続管路15Bからシリンダ16Bに加わる圧力も急激に低下し、流体の流入も停止する。このとき、高圧状態のシリンダ16Bと急激に圧力が低下した第1接続管路15B(第2逆止弁25Bと給排管路15Bとの間)とには差圧が生じる。この差圧により、第2シリンダ制御用センサ13Bの停止信号発信機構17Bが作動し、メインシリンダ11の駆動を停止させる。
【0057】
すなわち、第1接続管路15Bは、第2逆止弁25Bがあるためシリンダ16Bと第2逆止弁25Bとの間が高圧状態となる。一方、この部分に接続された第1分岐管路26B内の圧力は、急激に圧力が低下した給排管路14Bに接続された第2分岐管路27B内よりも高くなる。
【0058】
このため、高圧側のシリンダ16Bから第1分岐管路26Bを介してセンサシリンダ31Bのロッド側室30b内に、一気に流体が流れ込むことになる。このとき、センサシリンダ31Bのピストン29は、ロッド側室30b内に流れ込む流体により後退すると共に、先端の係止部29cがスイッチ部32Bに当接してマイクロスイッチがオン状態となる。
【0059】
スイッチ部32Bがオンになると、スイッチ部32Bから制御盤38へメインシリンダ11の駆動停止信号が送信され、制御盤38に設けられた表示器にこれが表示されると共に、切換弁SVを流れ位置から中立位置に切り換える。したがって、切換弁SVのポートAからの圧力流体の供給が停止され、メインシリンダ11の駆動が停止する。
【0060】
〔ピストン戻り〕
なお、メインシリンダ11のピストン10を戻す場合は、図3及び図4に示すように、ピストン10を前進させる場合に対して、第1シリンダ制御用センサ13Aと第2シリンダ制御用センサ13Bとの作動状態が逆になることから以下に簡単に説明する。
【0061】
すなわち、ピストン10を戻す場合は、まず、切換弁SVによりポートBとポンプPとを接続すると共に、ポートBとタンクTとを接続するように接続の切り換えを行い、ポンプPから圧力流体をメインシリンダ11のロッド側室12bに給排管路14Bを介して供給する。
【0062】
このとき、上述したピストン前進時の第1シリンダ制御用センサ13A及び第2シリンダ制御用センサ13Bの動作が互いに逆になり、ピストン戻り開始時に第2シリンダ制御用センサ13Bのセンサシリンダ31Bによりスイッチ部32Bがオフとなり、ピストン戻りが完了したときに、第1シリンダ制御用センサ13Aの停止信号発信機構17Aによりスイッチ部32Aがオンとなり、メインシリンダ11の駆動が停止されるようになっている。
【0063】
このように、本実施形態では、メインシリンダ11のヘッド側室12a又はロッド側室12bからの加圧が停止した瞬間に生じるシリンダ16A、16Bと第1接続管路15A、15Bとの差圧によりメインシリンダ11の駆動を停止させる信号を発信する停止信号発信機構17A、17Bを備えているので、ピストン10がストロークエンドに達した瞬間に生じた差圧により、停止信号が発信され、メインシリンダ11の駆動を確実にかつ高速に停止させることができる。
【0064】
また、センサシリンダ31A、31Bのロッド側室30bと第1分岐管路26A、26B内とが接続されていると共に、センサシリンダ31A、31Bのヘッド側室30aと第2分岐管路27A、27B内とが接続されているので、第1分岐管路26A、26B内の圧力が第2分岐管路27A、27B内より高くなったときに機械的にスイッチ部32A、32Bが作動し、停止信号を発信することができ、簡易なかつ安価な構成で確実に動作させることができる。
【0065】
第1実施形態では、バネや封入ガスを内蔵したシリンダ16A、16Bをアキュムレータとして機能させているので、停止信号を発信させるために十分な差圧及び流体の量を確保することができる。
また、本実施形態の第1、第2シリンダ制御用センサ13A、13Bは、切換弁SV側に設置されて集積弁として取り付けられているので、全体としてコンパクトにすることができると共に低コスト化を図ることができる。
参考例では、負荷機構20A、20Bを用いて室内容積が増大可能なシリンダ16A、16Bをアキュムレータとして機能させているので、停止信号を発信させるために十分な差圧及び流体の量を確保することができる。
【0066】
次に、本実施形態のシリンダ装置が、いわゆるバリ咬みにより中間停止した際の誤動作検知方法について説明する。
【0067】
第1実施形態及び参考例では、正常に作動した場合、図6及び図7に示すように、メインシリンダ11のピストン10先端に取り付けられた摺動金型40が金型本体41に当たったところで(図中のA状態)、第2シリンダ制御用センサ13Bのスイッチ部32Bがオン状態となり、メインシリンダ11の駆動が停止されるが、バリ咬みにより中間で停止してしまった場合でも(図中のB状態)、第2シリンダ制御用センサ13Bのスイッチ部32Bがオン状態となり、メインシリンダ11の駆動停止信号が送られるようになっている。このため、中間停止した場合にトラブルが発生してしまうため、第1実施形態及び参考例のシリンダ装置では、中間停止状態となった場合に、タイマー38aにより誤作動を検知し、エラーを知らせる信号を発信するようになっている。
【0068】
すなわち、メインシリンダ11のピストン10が完全に戻った状態のとき(図中のC状態)、第1シリンダ制御用センサ13Aにおけるセンサシリンダ31Aのピストン29はスイッチ部32Aに当接してオン状態となり、停止信号によりメインシリンダ11の駆動が停止されている。この状態から、流体を供給してメインシリンダ11を駆動すると、上記ピストン29がスイッチ部32Aから離間してオフ状態となり、この時点からタイマー38aが作動し、タイマーカウントを始める。
【0069】
そして中間停止した場合、第2シリンダ制御用センサ13Bにおけるセンサシリンダ31Bのピストン29がスイッチ部32Bに当接してオン状態となり、タイマー38aのカウントが停止すると共に、この間の作動時間が予めセットしてある正常作動時間より短い場合、例えば正常作動時間が30秒である場合に、実際の作動時間が28秒であったとき、タイマー38aは誤作動と判断して信号を発信し、エラーを知らせるブザー又はランプを作動させる。これによって、中間停止を検知できずに生じるトラブルを防ぐことができる。
【0070】
次に、本発明に係るシリンダ制御用センサ及びこれを備えたシリンダ装置の第2実施形態を、図8を参照しながら説明する。
【0071】
第2実施形態と参考例との異なる点は、参考例では第2接続管路21A、21B及び負荷機構20A、20Bを備えていると共に第2分岐管路27A、27Bに第2迂回管路34A、34Bを備えているのに対し、第2実施形態の第1,第2シリンダ制御用センサ113A、113Bでは、図8に示すように、第2接続管路及び負荷機構がないと共に第2分岐管路127A、127Bに第2迂回管路がない点である。さらに、第2実施形態では、シリンダ116A、116Bのロッド側室18bにスプリング100が入っている点で参考例と異なっている。
【0072】
すなわち、本実施形態では、参考例のような負荷機構の代わりにシリンダ116A、116Bにスプリング100を内蔵させているので、負荷が加わった際にスプリング100の付勢力で差圧を生じさせることができる。また、本実施形態では、逆流防止用の第2迂回管路を削除して管路を簡素化している。なお、シリンダ116A、116Bをスプリング100を入れた単動シリンダとしたが、復動シリンダとしても構わない。
【0073】
次に、本発明に係るシリンダ制御用センサ及びこれを備えたシリンダ装置の第3実施形態を、図9を参照しながら説明する。
【0074】
第3実施形態と第2実施形態との異なる点は、第2実施形態では給排管路14A、14B一対に第1、第2シリンダ制御用センサ13A、13Bをそれぞれ設けているのに対し、第3実施形態では、図9に示すように、給排管路14Aだけに第1シリンダ制御用センサ113Aを設けている点である。また、第2実施形態では、第1シリンダ制御用センサ113Aの管路をインライン方式と違って袋小路にしている点である。
【0075】
すなわち、本実施形態は、第1シリンダ制御用センサ113Aで片側制御を行うものであり、第1接続管路15A、第3分岐管路36A及び第2分岐管路127Aが一本にまとめられて給排管路14Aに接続されているため、第1シリンダ制御用センサ113Aの着脱が容易となる利点がある。
【0076】
次に、本発明に係るシリンダ制御用センサ及びこれを備えたシリンダ装置の第4実施形態を、図10を参照しながら説明する。
【0077】
第4実施形態では、特開平6−50304号公報に記載の技術と組み合わせた構成を有している。すなわち、本実施形態では、図10に示すように、メインシリンダ511のシリンダ室512(ヘッド側室512a端部、ロッド側室512b端部)に挿入穴512c、512dを設けると共に該挿入穴512c、512dに挿入可能な挿入部510c、510dをピストン510に設け、挿入穴512c、512d外のシリンダ室に給排管路14A、14Bを接続すると共に挿入穴512c、512dにシリンダ制御用センサ513A、513Bの第1接続管路515A、515Bをそれぞれ接続している。
【0078】
これにより、挿入部510c、510dが挿入穴512c、512dの室と給排管路14A、14Bとを遮断した際に、第1接続管路515A、515Bに流体を流出させるため、かじりやバリ等によりメインシリンダ511のピストン510が途中で止まってもシリンダ制御用センサ513A、513Bが誤動作せず、挿入部510c、510dが挿入穴512c、512dに入ったストロークエンド状態でのみ確実にシリンダ制御用センサ513A、513Bを作動させることができる。
【0079】
なお、第4実施形態では、リリーフ弁37A、37Bの代わりに逆止弁437A、437Bを採用している点で第1実施形態と異なっている。
【0080】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば、上記第1実施形態では、第1、第2シリンダ制御用センサ13A、13Bをメインシリンダ11から離れた位置に設置したが、図11に示すように、メインシリンダ11に直接設置してもよい。このように、本発明のシリンダ制御用センサは、コンパクトであるため、設置場所を自由に設定することが可能である。
【0081】
また、上記実施形態では、スイッチ部32A、32Bは、センサシリンダ31A、31Bのピストン29の移動により機械的に停止信号を発信するスイッチ部を採用したが、例えばセンサシリンダ31A、31Bのピストン29の移動により生じる圧力で作動する圧力センサにより電気的に停止信号を発信するスイッチ部としても構わない。
【0082】
また、シリンダ16A、16Bの代わりに、増圧を発生させるシリンダ(ブースタシリンダ等)を採用して構わない。
【0083】
また、シリンダ16A、16Bを用いずに、アキュムレータ効果を有する他の構造を採用しても構わない。例えば、シリンダ16A、16Bではなく、第1接続管路15A、15Bよりも内径が大きく設定された大径管路を設けても、同様にアキュムレータとして機能させることができる。
【0084】
また、第2逆止弁25A、25Bは、流体を一方向のみに補充する弁のため、メインシリンダ11側への流入を抑制する弁であれば、比例弁、パイロットチェック弁、絞り弁等を使用してもよい。また、リリーフ弁37A、37Bは、シーケンス弁、カウンタバランス弁等の圧力弁でもよく、これらに減圧弁(アンロード弁)等に逆止弁を合体させれば、第1接続管路15A、15Bと第3分岐管路36A、36Bとを一つの管路とすることができる。なお、圧力弁等の代わりにオリフィスを使用しても圧力を得ることができる。
【0085】
また、シリンダ16A、16Bとセンサシリンダ31A、31Bとを複合化させれば(これらのシリンダは両ロッド型、片側複合型、スプール(ロッドレス)型等にしてもよい)、管路の集約ができ、よりコンパクト化を図ることができる。
【0086】
また、センサシリンダ31A、31Bを、スプール(ロッドレス)形態にして、センサシリンダ内にスイッチ部の機能を内蔵させても構わない。さらに、センサシリンダとしてラムシリンダ等を採用し、上記差圧が発生した際の圧力よりも低い第1分岐管路26A、26B内の圧力に対抗してセンサシリンダのピストンの移動を抑える移動抑制機構としてスプリングやガスを封入してもよい。この場合、上記実施形態の第2分岐管路27A、27Bとフローコントローラである第2絞り弁33A、33B及び第3逆止弁35A、35Bとが不要になる。
【0087】
例えば、図1においてメインシリンダ11のピストン10が右側に移動するとメインシリンダ11のロッド側室12bから排出された流体は、その一部が第1接続管路15Bの第2逆止弁25Bよりも第1分岐管路26B及び同調シリンダ16B側に流入する。
第1分岐管路26B及び同調シリンダ16B側に流入した流体は、同調シリンダ16Bのバネや封入ガスを圧縮しながら同調シリンダ16Bのヘッド側室18aに流入するが、センサシリンダ31Bのロッド側室30b内には移動抑制機構の作用により流入しない。
ヘッド側室18aに流入した流体は、同調シリンダ16Bのバネや封入ガスを圧縮するとともに高くなり、これにともなって第1接続管路15B内の圧力もしだいに高くなる。
【0088】
そして、メインシリンダ11のピストン10がストロークエンド(右側端)に到達するときに、第1接続管路15B内の流体はセンサシリンダ31Bの移動抑制機構の反力よりも高い圧力まで上昇し、センサシリンダ31Bのロッド側室30b内に流体が流入してピストン29をセンサシリンダのヘッド側室の側に移動させてスイッチ部32Bにより上記信号が発信される。
【0089】
また、上記実施形態では、一つのメインシリンダ11を第1、第2シリンダ制御用センサ13A、13Bで制御したが、シリンダ制御用センサの第1接続管路を複数のメインシリンダに分岐して接続することにより、例えば出力の異なる複数のメインシリンダでも一つのシリンダ制御用センサで制御することができる。
【0090】
また、タイマー38aは、第1、第2シリンダ制御用センサ13A、13Bを収納するケース39が取り付けられた制御盤38に設けられているが、シリンダ制御用センサや制御盤から離間させて設けても構わない。また、第1、第2シリンダ制御用センサ13A、13Bを、制御盤38から離間させて設置しても構わない。
【0091】
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果を奏する。本発明のシリンダ制御用センサ及びシリンダ装置によれば、メインシリンダの2つの室の一方に接続管路を介して接続され一方の室から押し出される流体で内部が加圧されるアキュムレータと、一方の室からの加圧が停止した瞬間に生じるアキュムレータと接続管路との差圧によりメインシリンダの駆動を停止させる信号を発信する停止信号発信機構とを備えているので、ピストンがストロークエンドに達した瞬間に生じた差圧により、停止信号が発信され、メインシリンダの駆動を確実にかつ高速に停止させることができる。
【0092】
したがって、本発明では、シリンダ制御用センサが接続管路によりメインシリンダ、すなわち作業現場から離間させて接続可能であり、誤作動が起き難いと共に高価なスイッチ類を取り付ける必要やスイッチ交換等のメンテナンスを行う必要が無い。また、アキュムレータ効果により生じる差圧を利用するため、汎用のシリンダであればシリンダのサイズ等による調整や流体量調節もほとんど不要であり、制御盤等に直接接続することや、複数の出力の異なるシリンダを制御することも可能になる。これらにより、本発明によれば、製品品質の安定化、生産性及び安全性の向上、さらにコストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 シリンダ制御用センサ及びシリンダ装置の参考例に係るピストン前進開始時を示す回路図である。
【図2】 シリンダ制御用センサ及びシリンダ装置の参考例に係るピストン前進開始時を示す回路図である。
【図3】 シリンダ制御用センサ及びシリンダ装置の参考例に係るピストン前進開始時を示す回路図である。
【図4】 シリンダ制御用センサ及びシリンダ装置の参考例に係るピストン前進開始時を示す回路図である。
【図5】 本発明の第1実施形態及び参考例に係るシリンダ制御用センサ及びシリンダ装置の第1実施形態を示す斜視図である。
【図6】 本発明の第1実施形態及び参考例に係るシリンダ制御用センサ及びシリンダ装置の第1実施形態を示す中間停止を説明するための側面図である。
【図7】 本発明の第1実施形態及び参考例に係るシリンダ制御用センサ及びシリンダ装置の第1実施形態における正常作動時、中間停止時及び作動前で制御盤中のスイッチ部の状態を示す説明図である。
【図8】 本発明に係るシリンダ制御用センサ及びシリンダ装置の第2実施形態を示す回路図である。
【図9】 本発明に係るシリンダ制御用センサ及びシリンダ装置の第3実施形態を示す回路図である。
【図10】 本発明に係るシリンダ制御用センサ及びシリンダ装置の第4実施形態を示す回路図である。
【図11】 本発明に係るシリンダ制御用センサ及びシリンダ装置の第1実施形態におけるシリンダ制御用センサの他の設置例を示す斜視図である。
【図12】 本発明に係るシリンダ制御用センサ及びシリンダ装置の従来例を示す斜視図である。
【図13】 本発明に係るシリンダ制御用センサ及びシリンダ装置の第1実施形態を示すピストン前進開始時の回路図である。
【符号の説明】
10 メインシリンダのピストン
11、511 メインシリンダ
12a メインシリンダのヘッド側室
12b メインシリンダのロッド側室
13A、113A、513A 第1シリンダ制御用センサ
13B、113B、513B 第2シリンダ制御用センサ
14A、14B 給排管路
15A、15B、515A、515B 第1接続管路(接続管路)
16A、116A、16B、116B シリンダ(アキュムレータ)
17A、17B 停止信号発信機構
20A、20B 負荷機構
22A、22B 第1絞り弁
25A、25B 第2逆止弁
26A、26B 第1分岐管路
27A、127A、27B、127B 第2分岐管路
28A、28B スイッチ機構
30a センサシリンダのヘッド側室
30b センサシリンダのロッド側室
31A、31B センサシリンダ
32A、32B スイッチ部
38a タイマー(誤作動検知機構)
100 スプリングSV 切換弁
510 メインシリンダのピストン
11、511 メインシリンダ
12a メインシリンダのヘッド側室
12b メインシリンダのロッド側室
13A、113A、513A 第1シリンダ制御用センサ
13B、113B、513B 第2シリンダ制御用センサ
14A、14B 給排管路
15A、15B、515A、515B 第1接続管路(接続管路)
16A、116A、16B、116B シリンダ(アキュムレータ)
17A、17B 停止信号発信機構
20A、20B 負荷機構
22A、22B 第1絞り弁
25A、25B 第2逆止弁
26A、26B 第1分岐管路
27A、127A、27B、127B 第2分岐管路
28A、28B スイッチ機構
30a センサシリンダのヘッド側室
30b センサシリンダのロッド側室
31A、31B センサシリンダ
32A、32B スイッチ部
38a タイマー(誤作動検知機構)
100 スプリングSV 切換弁

Claims (10)

  1. ピストンによって2つの室に仕切られたシリンダ室を内部に有するメインシリンダに接続され、ピストンの動作状態を検知するシリンダ制御用センサであって、
    前記2つの室の少なくとも一方の室と接続管路を介して接続され前記一方の室から押し出される流体で内部のバネ又は封入ガスが加圧されるアキュムレータと、
    前記接続管路に設けられ前記一方の室への流体の流れを抑制する逆止弁を備えると共に、前記一方の室からの加圧が停止した瞬間に生じる前記アキュムレータと前記接続管路のうち前記逆止弁よりも前記一方の室側に位置する部分との差圧により前記メインシリンダの駆動を停止させる信号を発信する停止信号発信機構とを備えていることを特徴とするシリンダ制御用センサ。
  2. 請求項1に記載のシリンダ制御用センサにおいて、
    前記停止信号発信機構は、前記接続管路における前記アキュムレータと前記逆止弁との間に一端が接続された第1分岐管路と、
    前記接続管路における前記一方の室と前記逆止弁との間に一端が接続された第2分岐管路と、
    前記第1分岐管路の他端と前記第2分岐管路の他端とに接続され第1分岐管路内の圧力が第2分岐管路内の圧力より高くなったときに前記信号を発信するスイッチ機構とを備えていることを特徴とするシリンダ制御用センサ。
  3. 請求項2に記載のシリンダ制御用センサにおいて、前記スイッチ機構は、ピストンによって2つの室に仕切られたシリンダ室有するセンサシリンダと、該センサシリンダのピストンの移動による機械的作用により電気的に前記信号を発信するスイッチ部とを備え、前記センサシリンダの一方の室と前記第1分岐管路の他端側とが接続されていると共に、センサシリンダの他方の室と前記第2分岐管路の他端側とが接続されていることを特徴とするシリンダ制御用センサ。
  4. 請求項1に記載のシリンダ制御用センサにおいて、
    前記停止信号発信機構は、前記接続管路における前記アキュムレータと前記逆止弁との間に一端が接続された第1分岐管路と、
    前記第1分岐管路の他端に接続され該第1分岐管路から流れ込む流体で移動可能なピストンを有するセンサシリンダと、
    該センサシリンダのピストンの移動による機械的作用により電気的に前記信号を発信するスイッチ部と、
    前記差圧が発生するまでの圧力よりも低い前記第1分岐管路内の圧力に対抗して前記センサシリンダのピストンの移動を抑える移動抑制機構とを備えていることを特徴とするシリンダ制御用センサ。
  5. 請求項1から4のいずれかに記載のシリンダ制御用センサにおいて、前記アキュムレータは、前記接続管路から流れ込む流体で移動可能なピストンを有するシリンダであって、前記接続管路から流体が流れ込む際に移動する前記シリンダのピストンに負荷を加える負荷機構として前記バネ又は封入ガスが設けられていることを特徴とするシリンダ制御用センサ。
  6. 請求項3から5のいずれかに記載のシリンダ制御用センサにおいて、
    前記メインシリンダの2つの室のそれぞれに接続される一対の前記アキュムレータ及び前記停止信号発信機構を備え、
    前記停止信号発信機構は、正常に作動する状態でメインシリンダのピストンが駆動されて前記センサシリンダの駆動停止信号の発信が解除されてから前記メインシリンダのピストンがストロークエンドに達して駆動停止信号が発信されるまでを正常作動時間とした場合に、該正常作動時間よりも短い時間でメインシリンダの駆動を停止させる信号が発信されたときに、誤作動を知らせる信号を発信する誤作動検知機構を備えていることを特徴とするシリンダ制御用センサ。
  7. ピストンによって2つの室に仕切られたシリンダ室を内部に有するメインシリンダを備えたシリンダ装置であって、前記2つの室の少なくとも一方に接続された請求項1から6のいずれかに記載のシリンダ制御用センサを備えていることを特徴とするシリンダ装置。
  8. 請求項7に記載のシリンダ装置において、前記メインシリンダの2つの室に一端が接続され流体を給排する一対の給排管路と、前記一対の給排管路の他端に接続された切換弁とを備え、前記シリンダ制御用センサは、前記一対の給排管路の少なくとも一方に前記接続管路を接続して設けられていることを特徴とするシリンダ装置
  9. 請求項8に記載のシリンダ装置において、複数の前記メインシリンダを備え、前記シリンダ制御用センサは、前記複数のメインシリンダに分岐して接続された前記接続管路に対して1つ設けられていることを特徴とするシリンダ装置。
  10. 請求項8又は9に記載のシリンダ装置において、前記シリンダ制御用センサは、前記切換弁に設置されていることを特徴とするシリンダ装置。
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