JPH0742965B2 - シリンダ装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、メインシリンダから
排出される流体によりサブシリンダを作動させるように
したシリンダ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、産業界においては、あるシリン
ダのピストンが所定の位置まで移動してきたとき、別の
シリンダのピストンを前記シリンダに同期して移動を開
始させるような場合がある。このような場合、従来にあ
っては、シリンダのピストンの位置を位置検出器によっ
て検出するとともに、該シリンダのピストンが所定の位
置まで移動してきたとき、位置検出器からの信号によっ
て切換弁を切換え、別のシリンダに別のポンプから流体
を供給して該別のシリンダのピストンを移動させるよう
にしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のシリンダ装置にあっては、特別な位置検出
器、切換弁および複雑な配管、配線が必要になって構造
が複雑になるとともに、高価になるという問題点があ
る。しかも、別のシリンダに供給する流体は、通常（該
別のシリンダに供給されていないとき）タンクに戻され
ているため、大きなエネルギー損失が発生するという問
題点もある。

【０００４】この発明は、構造が簡単でかつ安価であり
ながらエネルギー損失を効果的に抑制することができる
シリンダ装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】このような目的は、ピス
トンによって２つの室に仕切られたシリンダ室を内部に
有するメインシリンダと、該メインシリンダの２つの室
にそれぞれ接続され、これら２つの室に流体を給排する
一対の給排通路と、メインシリンダのピストンに設けら
れ、該ピストンが一方のストロークエンドに向かって移
動して該一方のストロークエンド近傍に到達したとき、
流体が押し出されている一方の室と低圧側である一方の
給排通路とを遮断する遮断部材と、ピストンによって２
つの室に仕切られたシリンダ室を内部に有するサブシリ
ンダと、このサブシリンダのいずれかの室と前記メイン
シリンダの一方の室とを常時接続し、遮断部材により遮
断されて圧力が上昇したメインシリンダの一方の室の流
体をサブシリンダの前記室に導き該サブシリンダのピス
トンを移動させる接続通路と、前記接続通路の途中と前
記低圧側である一方の給排通路とを接続し、該接続通路
内の流体を低圧側の一方の給排通路に逃がす逃がし通路
と、逃がし通路の途中に設けられ、該逃がされる流体の
量を調整する流量制御弁と、を備えることにより達成す
ることができる。

【０００６】

【作用】今、高圧側の給排通路、ここでは他方の給排通
路から高圧流体がメインシリンダの室、ここでは他方の
室に供給され、該メインシリンダのピストンが一方のス
トロークエンドに向かって移動しているとする。このと
き、メインシリンダの残りの室、ここでは一方の室には
低圧側の給排通路および接続通路が接続されているた
め、これら給排通路、接続通路の双方を通じて一方の室
内の流体が流出すると考えられるが、前記接続通路はサ
ブシリンダ、流量制御弁が接続されて抵抗が大きいた
め、前記一方の室内の流体は低圧側の一方の給排通路を
通じてのみ排出され、接続通路を通じて流れることはな
い。この結果、この時点においてサブシリンダのピスト
ンが移動することはない。そして、該メインシリンダの
ピストンが一方のストロークエンド近傍の所定位置に到
達すると、遮断部材が一方の室と一方の給排通路とを遮
断するが、この遮断後もピストンは一方のストロークエ
ンドに向かって移動するため、一方の室内の流体は圧力
が上昇するとともに、前記ピストンにより押し出され
る。このようにして押し出された流体の所定量は接続通
路を通じてサブシリンダのいずれかの室に流入するとと
もに、残りの所定量は逃がし通路、流量制御弁を通じて
前記一方の給排通路に逃がされる。この結果、サブシリ
ンダのピストンが前記メインシリンダのピストンと同期
して移動を開始する。このとき、前記流量制御弁を通じ
て流れる流体の量を調節して、サブシリンダに流入する
流体の量を調節することで、サブシリンダのピストンの
移動速度を決定することができる。このように、サブシ
リンダのピストンの移動は、メインシリンダのピストン
が一方の室と一方の給排通路を遮断し、一方の室から接
続通路に流体を流出させることにより行われるので、従
来技術のように特別な位置検出器、切換弁、複雑な配
管、配線が不要となり、構造が簡単になるとともに、装
置全体が安価となる。しかも、サブシリンダに供給する
流体は、メインシリンダからの排出流体であるため、エ
ネルギーを有効利用することもできる。

【０００７】また、請求項２に記載のように構成すれ
ば、メインシリンダによって２個のサブシリンダを制御
することができる。さらに、請求項３に記載のように構
成すれば、メインシリンダによってサブシリンダを遠隔
操作することができる。また、請求項４に記載のように
構成すれば、メインシリンダの緩衝用として設けられた
挿入部に遮断機能を兼ねさせることができ、構造が簡単
となる。さらに、請求項５に記載のように構成すれば、
サブシリンダにおいてメインシリンダのピストンの移動
位置を検出することができる。また、請求項６に記載の
ように構成すれば、メインシリンダのピストンの移動位
置とサブシリンダのピストンとの移動位置との対応関係
が明確となって制御が簡単となる。

【０００８】

【実施例】以下、この発明の一実施例を図面に基づいて
説明する。図１、２において、11はダイカストマシンの
型締め等に用いられるメインシリンダであり、このメイ
ンシリンダ11は内部に軸方向に延びるシリンダ室12が形
成されたシリンダケース13を有する。このシリンダ室12
の軸方向一端には該シリンダ室12より小径の挿入穴14
が、また、シリンダ室13の軸方向他端には同様の挿入穴
15が連通している。16は前記シリンダ室12に摺動可能に
挿入されたピストンであり、このピストン16は大径のピ
ストン部17と、このピストン部17に他端部が固定された
ロッド部18と、を有している。前記ピストン部17は外径
がシリンダ室12の内径より僅かに小径で、その外周には
シリンダ室12との間を密封するＵパッキン19が装着され
ている。そして、このピストン部17により前記シリンダ
室12は一側に位置する室20と他側に位置する室21との２
つの室に仕切られる。また、前記ロッド部18の中央部は
シリンダケース13の一端部内を貫通しており、このロッ
ド部18とシリンダケース13との間はシリンダケース13に
装着されたＵパッキン22により密封されている。前記ピ
ストン部17より一側のロッド部18には該ピストン部17に
接する遮断部材としての挿入部23が形成され、この挿入
部23の外径は前記挿入穴14とほぼ同径である。また、前
記ピストン部17より他側のロッド部18には該ピストン部
17に接する別の遮断部材としての挿入部24が形成され、
この挿入部24の外径は前記挿入穴15とほぼ同径である。

【０００９】27は圧力流体を吐出するポンプ、28はタン
クであり、これらポンプ27およびタンク28と切換弁29と
は吐出通路30および排出通路31を通じてそれぞれ接続さ
れている。この切換弁29と挿入穴14、15とはそれぞれ一
対の給排通路32、33を通じて連結されており、この結
果、前記メインシリンダ11の室20、21は挿入穴14、15を
介してそれぞれ給排通路32、33に接続されていることに
なる。これにより、これら給排通路32、33は切換弁29が
切換えられることで、いずれかが高圧側に、残りが低圧
側となり、室20、21へ流体を供給するか、あるいは室2
0、21から流体を排出する。また、前記挿入穴14、15と
シリンダ室12の一端、他端とはそれぞれ連通通路34、35
によって接続され、これらの連通通路34、35の途中には
挿入穴14、15からシリンダ室12への流体の流れのみを許
容するチェック弁36、37がそれぞれ介装されている。そ
して、前記ピストン16が一方のストロークエンドに向か
って移動して該一方のストロークエンド近傍まで移動す
ると、挿入部23が挿入穴14に挿入され始めるため、前記
給排通路32と室20との間が遮断され、一方、前記ピスト
ン16が他方のストロークエンドに向かって移動して該他
方のストロークエンド近傍まで移動すると、挿入部24が
挿入穴15に挿入され始めるため、前記給排通路33と室21
との間が遮断される。

【００１０】図１、３、４、５において、45は前記メイ
ンシリンダ11から遠く離れた位置、例えば操作盤に設置
されたシリンダケースであり、このシリンダケース45内
には一対の互いに平行なシリンダ室46、47が形成されて
いる。各シリンダ室46、47内にはピストン48、49がそれ
ぞれ摺動可能に挿入され、これらのピストン48、49は大
径のピストン部50、51と、これらのピストン部50、51に
他端がそれぞれ固定されたロッド部52、53と、を有して
いる。前記ピストン部50、51は外径がシリンダ室46、47
の内径より僅かに小径で、その外周にはシリンダ室46、
47との間を密封するＯリング54、55がそれぞれ装着され
ている。そして、このピストン部50、51により前記シリ
ンダ室46、47は一側に位置する室56、57と他側に位置す
る室58、59との２つの室に仕切られる。また、前記ロッ
ド部52、53の中央部はシリンダケース45の一端部内を貫
通し、その一端部には一端に向かって末広がりの円錐台
状をした係止片60、61が固定されている。前述したシリ
ンダケース45、ピストン48は全体として、ピストン48に
よって２つの室56、58に仕切られたシリンダ室46を内部
に有するサブシリンダ62を構成し、また、前述したシリ
ンダケース45（前記サブシリンダ62と共用）、ピストン
49は全体として、ピストン49によって２つの室57、59に
仕切られたシリンダ室47を内部に有する別のサブシリン
ダ63を構成する。そして、この実施例においては、メイ
ンシリンダ11の移動速度（距離）とサブシリンダ62、63
の移動速度（距離）とを等しくする（１対１に対応させ
る）ため、挿入部23、24の軸方向長さとサブシリンダ6
2、63のストローク長とを同一としている。

【００１１】前記サブシリンダ62のいずれかの室、ここ
ではロッド側の室56とメインシリンダ11の一方の室、こ
こではロッド側の室20とは長い配管からなる接続通路66
を通じて常時接続されており、また、この接続通路66の
メインシリンダ11に近接する一端部には絞り64が設けら
れている。この結果、前記挿入部23によって室20と給排
通路32とが遮断され、しかも、室20内から接続通路66へ
流出する流体が絞り64によって制限されると、室20内の
圧力が上昇するが、この圧力の上昇した室20内の流体
は、接続通路66を通じてサブシリンダ62の室56に導か
れ、該サブシリンダ62のピストン48をヘッド側に向かっ
て移動させる。また、前記サブシリンダ63のいずれかの
室、ここではロッド側の室57とメインシリンダ11の他方
の室、ここではヘッド側の室21とは長い配管からなる別
の接続通路67を通じて常時接続されており、また、この
接続通路67のメインシリンダ11に近接する一端部には絞
り65が設けられている。この結果、前記挿入部24によっ
て室21と給排通路33とが遮断され、しかも、室21内から
接続通路67へ流出する流体が絞り65によって制限される
と、室21内の圧力が上昇するが、この圧力の上昇した室
21内の流体は、接続通路67を通じてサブシリンダ63の室
57に導かれ、サブシリンダ63のピストン49をヘッド側に
向かって移動させる。前記サブシリンダ62の残りの室58
と一方の給排通路32の途中とは長い通路68を通じて接続
されており、また、前記接続通路66と通路58とは逃がし
通路69により接続され、これにより、この逃がし通路69
は前記通路68を介して給排通路32に接続されていること
になる。この結果、接続通路66内の一部の流体はこの逃
がし通路69を通じて一方の給排通路32に逃がされる。そ
して、この逃がし通路69の途中には逃がされる流体の量
を調整する流量制御弁70および接続通路66から通路68に
向かう流体の流れのみを許容するチェック弁71が介装さ
れている。また、前記サブシリンダ63の残りの室59と他
方の給排通路33の途中とは長い通路72を通じて接続され
ている。さらに、前記接続通路67と通路72とは別の逃が
し通路73により接続され、これにより、この逃がし通路
73は前記通路72を介して給排通路33に接続されているこ
とになる。この結果、接続通路67内の一部の流体はこの
逃がし通路73を通じて他方の給排通路33に逃がされる。
そして、この逃がし通路73の途中には逃がされる流体の
量を調整する別の流量制御弁74および接続通路67から通
路72に向かう流体の流れのみを許容するチェック弁75が
介装されている。そして、前述のようにすれば、１個の
メインシリンダ11によって２個のサブシリンダ62、63を
制御することができる。

【００１２】図３、４、５において、前記サブシリンダ
62、63の近傍、詳しくはシリンダケース45の一端面には
内部に空洞78を有するケース79が固定され、このケース
79の空洞78の下面上には一対のスライダ80、81が摺動可
能に支持されている。そして、これらのスライダ80、81
は空洞78の下面上に形成されたサブシリンダ62、63のロ
ッド部52、53と平行に延びるガイドレール82、83に沿っ
て移動することができる。各スライダ80、81にはマイク
ロスイッチ84、85が取り付けられ、これらのマイクロス
イッチ84、85は前記係止片60、61にそれぞれ係合したと
きオンとなり、係止片60、61から離脱したときオフとな
る。そして、これらマイクロスイッチ84、85がオンとな
ったとき、切換弁29が中立位置に切換えられ、メインシ
リンダ11の作動が停止する。86、87は各スライダ80、81
にねじ込まれたねじ軸であり、これらのねじ軸86、87は
前記ガイドレール82、83と平行に延びている。そして、
これらねじ軸86、87の一端部はケース79から突出すると
ともに、その一端につまみ88、89がそれぞれ固定されて
いる。

【００１３】次に、この発明の一実施例の作用について
説明する。今、ポンプ27から吐出された高圧の流体が切
換弁29によって他方の給排通路33に供給され、一方、タ
ンク28には一方の給排通路32からの低圧の戻り流体が排
出されているとする。この結果、現時点では他方の給排
通路33が高圧側の給排通路であり、一方の給排通路32が
低圧側の給排通路である。そして、前記他方の給排通路
33に供給された高圧流体はメインシリンダ11の他方の室
21に供給され、これにより、該メインシリンダ11のピス
トン16は前記高圧流体に押圧されて一方のストロークエ
ンドに向かって移動する。このとき、メインシリンダ11
の室20内の流体はピストン16に押され、低圧側の給排通
路32および接続通路66の双方を通じて流出すると考えら
れるが、前記接続通路66にはサブシリンダ62、流量制御
弁70が接続されて抵抗が大きいため、抵抗の最も少ない
低圧側の給排通路32を通じてのみタンク28に排出され、
接続通路66を通じて流れることはない。この結果、この
時点においてサブシリンダ62のピストン48が移動するこ
とはない。また、このとき、高圧流体がサブシリンダ63
の室59にも供給されているので、サブシリンダ63のピス
トン49はロッド側のストロークエンドまで移動してい
る。

【００１４】そして、メインシリンダ11のピストン16が
一方のストロークエンド近傍の所定位置に到達すると、
遮断部材としての挿入部23が挿入穴14に挿入され始め
る。このとき、前記挿入部23の外径と挿入穴14の内径と
がほぼ同径であるので、該挿入部23は室20と給排通路32
との間を遮断する。そして、この遮断後もピストン16は
高圧流体に押されて一方のストロークエンドに向かって
移動するため、室20内の流体は該ピストン16によって押
され接続通路66に押し出される。ここで、接続通路66に
押し出される流体は絞り64によってその流れが制限され
るため、前記ピストン16はその移動速度が減速されて緩
衝が行われるとともに、前記室20内の内圧が上昇する。
このようにメインシリンダ11の緩衝機能を発揮させるた
めに設けられた挿入部23に遮断機能を兼ねさせたので、
装置全体の構造が簡単となる。そして、この圧力の上昇
した流体は、前述のように絞り64、接続通路66を通過し
た後、所定量がサブシリンダ62の室56に流入するととも
に、残りの所定量が逃がし通路69、流量制御弁70を通じ
て通路68から給排通路32に逃がされる。この結果、サブ
シリンダ62のピストン48が前記メインシリンダ11のピス
トン16と同期してロッド側に移動を開始する。このと
き、前記流量制御弁70の開度を調節して逃がし通路69を
流れる流体の量を調節すれば、サブシリンダ62の室56に
流入する流体の量を調節することができるため、該サブ
シリンダ62のピストン48の移動速度を決定することがで
きる。この実施例においては、前記流量制御弁70を調節
してメインシリンダ11のピストン16の移動速度とサブシ
リンダ62のピストン48の移動速度とを同一としている
が、ここで、前述のように挿入部23の軸方向長さとサブ
シリンダ62のピストン48のストローク長とを同一長さと
しているので、メインシリンダ11のピストン16が一方の
ストロークエンドに到達したとき、サブシリンダ62のピ
ストン48もヘッド側のストロークエンドに到達する。こ
れにより、メインシリンダ11のピストン16の移動位置と
サブシリンダ62のピストン48との移動位置との対応関係
（１対１の関係）が明確となって制御が簡単となる。

【００１５】そして、前記サブシリンダ62のピストン48
がヘッド側のストロークエンドに到達したとき、係止片
60がマイクロスイッチ84に係合して該マイクロスイッチ
84をオンとする。これにより、マイクロスイッチ84はメ
インシリンダ11のピストン16の位置、即ち該ピストン16
が一方のストロークエンドに到達したことを検出し、そ
の旨を図示していない表示器に表示するとともに、切換
弁29に信号を送って該切換弁29を中立位置に切換えメイ
ンシリンダ11の作動を停止させる。ここで、メインシリ
ンダ11のピストン16の位置を間接的に検出するマイクロ
スイッチ84は、メインシリンダ11の排出流体によって遠
隔操作されるサブシリンダ62によって断続されるため、
該マイクロスイッチ84が故障して修理を行う場合にも、
メインシリンダ11の近傍で作業を行う必要はなく（メイ
ンシリンダ11が不測の事態によって作動すると、該メイ
ンシリンダ11の近傍は極めて危険となる）、この結果、
安全性が向上する。また、前記サブシリンダ62のピスト
ン48の移動は、メインシリンダ11の挿入部23が室20と給
排通路32を遮断し、接続通路66にメインシリンダ11から
の流体を流出させることにより行われるので、従来技術
のように特別な位置検出器、切換弁、複雑な配管、配線
が不要となり、構造が簡単になるとともに、装置全体が
安価となる。しかも、サブシリンダ62に供給する流体
は、メインシリンダ11からの排出流体であるため、エネ
ルギーを有効利用することもできる。

【００１６】次に、切換弁29を切換えてポンプ27からの
高圧流体を一方の給排通路32に供給し、他方の給排通路
33をタンク28に接続すると、高圧流体は挿入穴14、室20
に流入し、ピストン16を他方のストロークエンドに向か
って移動させる。このとき、高圧流体はサブシリンダ62
の室56、58の双方に流入するが、室58側のピストン48の
受圧面積が室56側のピストン48の受圧面積より広いの
で、ピストン48は高圧流体に押圧されてロッド側ストロ
ークエンドまで移動し、初期状態に復帰する。その後に
サブシリンダ63が作動するが、その作動は前述とほぼ同
様であるので、詳細説明は省略する。

【００１７】また、メインシリンダ11のストロークを調
整、例えばヘッド側からロッド側への移動時におけるス
トロークを現ストロークより例えば10mmだけ短くする場
合には、つまみ88によりねじ軸86を回転させてスライダ
80およびマイクロスイッチ84を一体的に一端側（図４に
おいて左側）に10mmだけ移動させる。これにより、サブ
シリンダ62のピストン48がヘッド側ストロークエンドよ
り10mmだけ手前まで移動したとき、係止片60がマイクロ
スイッチ84に係合し、メインシリンダ11の作動が停止す
るが、このとき、メインシリンダ11のピストン16とサブ
シリンダ62のピストン48とは前述のように位置に関して
１対１の対応関係があるので、メインシリンダ11のピス
トン16もロッド側ストロークエンドより10mm手前で停止
するのである。なお、サブシリンダ63におけるストロー
ク調整も前述と同様である。また、前述のような場合
に、流量制御弁70、74の開度を調整することにより、マ
イクロスイッチ84、85の位置を変化させることなくスト
ローク調整をすることもできる。

【００１８】なお、前述の実施例においては、サブシリ
ンダ62、63によってメインシリンダ11のピストン16の位
置検出を行い、該メインシリンダ11のストローク調整を
行うようにしたが、この発明においては、サブシリンダ
によってメインシリンダとは別の作業、例えば型締めさ
れた型同士を固定する固定ピンを移動させたり、あるい
は、全く別の作業、例えば送り作業をさせたりするよう
にしてもよい。また、前述の実施例においてはマイクロ
スイッチ84、85を用いたが、この発明においては、近接
スイッチ等を用いてもよい。さらに、この発明において
は、サブシリンダ62、63のいずれかを省略し、サブシリ
ンダを１つとしてもよい。

【００１９】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、構造が簡単でかつ安価でありながらエネルギー損失
を効果的に抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を示す一部が記号で示され
た全体概略断面図である。

【図２】メインシリンダの正面断面図である。

【図３】マイクロスイッチ近傍の側面断面図である。

【図４】図３のＩーＩ矢視断面図である。

【図5】図３のIIーII矢視断面図である。

【符号の説明】 11…メインシリンダ 12…シリンダ室 14、15…挿入穴 16…ピストン 20、21…室 23、24…遮断部材 32、33…給排通路 46、47…シリンダ室 48、49…ピストン 56、57、58、59…室 60、61…係止片 62、63…サブシリンダ 66、67…接続通路 69、73…逃がし通路 70、74…流量制御弁 84、85…スイッチ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ピストンによって２つの室に仕切られたシ
   リンダ室を内部に有するメインシリンダと、該メインシ
   リンダの２つの室にそれぞれ接続され、これら２つの室
   に流体を給排する一対の給排通路と、メインシリンダの
   ピストンに設けられ、該ピストンが一方のストロークエ
   ンドに向かって移動して該一方のストロークエンド近傍
   に到達したとき、流体が押し出されている一方の室と低
   圧側である一方の給排通路とを遮断する遮断部材と、ピ
   ストンによって２つの室に仕切られたシリンダ室を内部
   に有するサブシリンダと、このサブシリンダのいずれか
   の室と前記メインシリンダの一方の室とを常時接続し、
   遮断部材により遮断されて圧力が上昇したメインシリン
   ダの一方の室の流体をサブシリンダの前記室に導き該サ
   ブシリンダのピストンを移動させる接続通路と、前記接
   続通路の途中と前記低圧側である一方の給排通路とを接
   続し、該接続通路内の流体を低圧側の一方の給排通路に
   逃がす逃がし通路と、逃がし通路の途中に設けられ、該
   逃がされる流体の量を調整する流量制御弁と、を備えた
   ことを特徴とするシリンダ装置。
2. 【請求項２】前記メインシリンダのピストンに設けら
   れ、該ピストンが他方のストロークエンドに向かって移
   動して該他方のストロークエンド近傍に到達したとき、
   流体が押し出されている他方の室と低圧側である他方の
   給排通路とを遮断する別の遮断部材と、ピストンによっ
   て２つの室に仕切られたシリンダ室を内部に有する別の
   サブシリンダと、この別のサブシリンダのいずれかの室
   と前記メインシリンダの他方の室とを常時接続し、別の
   遮断部材により遮断されて圧力が上昇したメインシリン
   ダの他方の室の流体を前記別のサブシリンダの前記室に
   導き該サブシリンダのピストンを移動させる別の接続通
   路と、前記別の接続通路の途中と前記低圧側である他方
   の給排通路とを接続し、該別の接続通路内の流体を低圧
   側の他方の給排通路に逃がす別の逃がし通路と、別の逃
   がし通路の途中に設けられ、該逃がされる流体の量を調
   整する別の流量制御弁と、をさらに備えた請求項１記載
   のシリンダ装置。
3. 【請求項３】前記接続通路を長い配管から構成し、メイ
   ンシリンダとサブシリンダとを遠く離して設置した請求
   項１または２記載のシリンダ装置。
4. 【請求項４】前記遮断部材はピストンのロッド部に設け
   られた緩衝用の挿入部であり、この挿入部がメインシリ
   ンダのシリンダケースに形成された挿入穴に挿入された
   とき、メインシリンダの室と低圧側である給排通路とが
   遮断される請求項１または２記載のシリンダ装置。
5. 【請求項５】前記サブシリンダ近傍にスイッチを設ける
   とともに、サブシリンダのピストンのロッド部に該スイ
   ッチに係合可能な係止片を設け、該係止片によってスイ
   ッチを断続させるようにした請求項１または２記載のシ
   リンダ装置。
6. 【請求項６】前記流量制御弁を通過する流体の流量を制
   御することにより、メインシリンダのピストンがストロ
   ークエンドに到達したとき、サブシリンダのピストンを
   ストロークエンドに到達させるようにした請求項１また
   は２記載のシリンダ装置。