JP4336205B2 - パワー半導体モジュール - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 59
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 10
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 10
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 7
- 238000010992 reflux Methods 0.000 abstract description 19
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 9
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 8
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 8
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 7
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 5
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 5
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000639 Spring steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
- H01L25/07—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00
- H01L25/074—Stacked arrangements of non-apertured devices
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- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/18—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different subgroups of the same main group of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45117—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 400°C and less than 950°C
- H01L2224/45124—Aluminium (Al) as principal constituent
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/13—Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
- H01L2924/1304—Transistor
- H01L2924/1305—Bipolar Junction Transistor [BJT]
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- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
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- H01L2924/1304—Transistor
- H01L2924/1305—Bipolar Junction Transistor [BJT]
- H01L2924/13055—Insulated gate bipolar transistor [IGBT]
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
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- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/13—Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
- H01L2924/1304—Transistor
- H01L2924/1306—Field-effect transistor [FET]
- H01L2924/13091—Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor [MOSFET]
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Description
なお、本発明に関連する先行技術が特許文献1,2に開示されている。
図1は、本実施の形態に係るパワー半導体モジュールの断面図を示す。また、図2は上面図を示す。ここで図1は、図2のA−A線断面図に相当する。導電性材料から構成されたベース板103が、モジュールケース(樹脂ケース)109内の上下略中央部に設置されている。そして、ベース板103の一端は、モジュールケース109の外部に引き出されており、この引出部がパワー半導体モジュールのコレクタ電極端子を兼ねている。またベース板103の他端は、エポキシ樹脂等からなる絶縁体107を介してエミッタ電極端子(電流出力端子)106に接続されている。そしてエミッタ電極端子106の一部はモジュールケース109の外部に引き出されている。
図3は、本実施の形態2に係るパワー半導体モジュールを示す断面図である。実施の形態1と同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。本実施の形態では、IGBTチップ101のエミッタ電極115(図2参照)とエミッタ電極端子202は、板状の金属配線であるブスバー電極201によって接続されている。そして、還流ダイオードチップ102のアノード電極(図示せず)とエミッタ電極端子202もまたブスバー電極201によって接続されている。
図4は、本実施の形態3に係るパワー半導体モジュールを示す断面図である。本実施の形態では、ブスバー電極にベンドが付けられたベンド付きブスバー電極301となっている。このブスバー電極301のベンド部は、S字型の断面形状となっている。その他の構成は実施の形態2と同一であり、同一の構成には同一の符号を付し重複する説明は省略する。
図5は本実施の形態4に係るパワー半導体モジュールを示す断面図である。実施の形態1と同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。IGBTチップ101のエミッタ電極115(図2参照)に加圧電極401(第1加圧電極)が接合されている。そして還流ダイオードチップ102のアノード電極(図示せず)上に加圧電極402(第2加圧電極)が接合されている。この加圧電極401,402は、IGBTチップ101及び還流ダイオードチップ102の材料と熱膨張係数が近く、熱伝導率が高いモリブデン等の材料から形成されている。
図6は本実施の形態5に係るパワー半導体モジュールの構成を示す断面図である。実施の形態1と同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。コレクタ電極端子を兼ねるベース板503の外部への引出部、及びエミッタ電極端子505の引出部が、差込み式コネクタ部502,504となっている。差込み式コネクタ部502,504の開口部には、外部配線との接続時に接触抵抗を抑えるため、金メッキされたコネクタ加圧部材501が備えられている。
図7,8は、本実施の形態6に係るパワー半導体モジュールの端面図と上面図をそれぞれ示す。図7は、図8のB−B線端面図に相当している。また本実施の形態は、IGBTチップ101と還流ダイオードチップ102の一対の組を4組並列接続された例を示している。実施の形態1と同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
図10は本実施の形態に係るパワー半導体モジュールを示す図である。本実施の形態では、ベース板701の一端に風冷フィン部702が設けられている。そして、ベース板701の表面にはコレクタ電極端子703が接合されており、モジュールケース109の外部に一端が引き出されている。その他の構成は実施の形態1と同様であり、同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
図12は本実施の形態に係るパワー半導体モジュールを示す図である。本実施の形態では、ベース板802の一端にヒートパイプ部801が設けられている。その他の構成は実施の形態7と同様であり、同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
Claims (5)
- パワー半導体素子と、
前記パワー半導体素子の電流入力電極・電流出力電極間に接続されたダイオード素子とを樹脂ケース内に備えるパワー半導体モジュールであって、
前記パワー半導体素子の電流入力電極面と前記ダイオード素子のカソード電極面とが対向するように、前記パワー半導体素子と前記ダイオード素子がそれぞれ表面と裏面に接合された導電性のベース板と、
前記樹脂ケース内外に延在する電流出力端子と、
前記電流出力電極に接合された第1加圧電極と、
前記第1加圧電極・前記電流出力端子間に介挿され、前記第1加圧電極と前記電流出力端子とを加圧することにより接続する第1加圧部材と、
前記ダイオード素子のアノード電極に接合された第2加圧電極と、
前記第2加圧電極・前記電流出力端子間に介挿され、前記第2加圧電極と前記電流出力端子とを加圧することにより接続する第2加圧部材と、
を備えることを特徴とするパワー半導体モジュール。 - 前記ベース板は前記樹脂ケース内外に延在し、前記電流出力端子、及び前記ベース板が、前記樹脂ケース外の端部において、差込式コネクタ部を備えることを特徴とする請求項1に記載のパワー半導体モジュール。
- 前記ベース板が水冷フィンを兼用することを特徴とする請求項1または2に記載のパワー半導体モジュール。
- 前記ベース板は前記樹脂ケース内外に延在し、前記樹脂ケース外において前記ベース板が空冷フィンを備えることを特徴とする請求項1に記載のパワー半導体モジュール。
- 前記ベース板は前記樹脂ケース内外に延在し、前記樹脂ケース外において前記ベース板がヒートパイプを備えることを特徴とする請求項1に記載のパワー半導体モジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004000253A JP4336205B2 (ja) | 2004-01-05 | 2004-01-05 | パワー半導体モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004000253A JP4336205B2 (ja) | 2004-01-05 | 2004-01-05 | パワー半導体モジュール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005197340A JP2005197340A (ja) | 2005-07-21 |
JP4336205B2 true JP4336205B2 (ja) | 2009-09-30 |
Family
ID=34816151
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004000253A Expired - Lifetime JP4336205B2 (ja) | 2004-01-05 | 2004-01-05 | パワー半導体モジュール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4336205B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110246835A (zh) * | 2019-05-22 | 2019-09-17 | 西安交通大学 | 一种三维集成高压碳化硅模块封装结构 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5410649B2 (ja) * | 2006-04-05 | 2014-02-05 | 株式会社豊田中央研究所 | Mos型半導体装置 |
JP4720756B2 (ja) * | 2007-02-22 | 2011-07-13 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体電力変換装置およびその製造方法 |
JP5277806B2 (ja) * | 2008-09-08 | 2013-08-28 | 株式会社デンソー | 半導体装置 |
US8963338B2 (en) * | 2011-03-02 | 2015-02-24 | International Rectifier Corporation | III-nitride transistor stacked with diode in a package |
CN102208403B (zh) * | 2011-05-24 | 2013-03-20 | 嘉兴斯达半导体股份有限公司 | 一种半桥功率模块 |
JP2016171231A (ja) | 2015-03-13 | 2016-09-23 | 株式会社東芝 | 半導体装置および半導体パッケージ |
CN112510007A (zh) * | 2020-07-24 | 2021-03-16 | 四川晶辉半导体有限公司 | 一种直流驱动保护电源集成封装芯片 |
-
2004
- 2004-01-05 JP JP2004000253A patent/JP4336205B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110246835A (zh) * | 2019-05-22 | 2019-09-17 | 西安交通大学 | 一种三维集成高压碳化硅模块封装结构 |
CN110246835B (zh) * | 2019-05-22 | 2020-08-18 | 西安交通大学 | 一种三维集成高压碳化硅模块封装结构 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005197340A (ja) | 2005-07-21 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060605 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060928 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120703 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130703 Year of fee payment: 4 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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