JP4328126B2 - ドライフィルム - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
ポリアミド酸のアルコキシアルキルエステルを主成分とする感光性樹脂組成物に関し、更に詳しくは該感光性樹脂組成物を用いたドライフィルムに関する。
【０００２】
【従来技術】
近年の「マルチメディア」社会において、全地球規模での情報量の急速な増大化で、情報データの交換、伝送に大容量化・高速化・デジタル化が要求されている。これらの要求に対し、電子情報システム、デバイスの大集積化・高速化が進行するとともに電子情報機器の高性能・高機能化（複合化・融合化）と携帯化（高密度化）の動きが激しくなってきている。
【０００３】
これら電子情報機器と半導体デバイスのインターフェイスとなる「実装技術」は、高密度化に向けてその重要性が世の中において益々認識されてきた。この「実装技術」の中で主役を演じている半導体デバイスと並び今日注目されてきているのが半導体用パッケージであり、その関連技術の技術確立が急がれている。
【０００４】
最近、導体回路パターンの微細化と位置精度の向上、更に実装部品の小型化、ＩＣパッケージのリードのファインピッチ化により層間絶縁膜、ソルダーレジスト皮膜等の絶縁皮膜形成も画像精度や位置精度の向上を必要としてきている。従って、近年では精度よく皮膜形成ができる方法として上記フォト法を用いて層間絶縁膜ソルダーレジスト皮膜や絶縁皮膜を形成する方法が広く採用されるようになった。
【０００５】
上記フォト法では、所望の厚みに感光性樹脂組成物を基材に塗布した後乾燥して感光性皮膜を形成し、この感光性皮膜にネガのフォトマスクを乗せて、紫外線等の活性光線で露光焼付けを行うことが一般的である。感光性皮膜は、フォトマスクの透明部分を透過した活性光線で硬化し、未露光部分は現像液で除去される。上記フォト法で形成された感光性皮膜は更に熱や活性光線で硬化し、ソルダーレジスト皮膜や絶縁皮膜になる。形成された画像はフォトマスクに極めて近い精度で形成できるため、微細な画像や位置精度を容易に得ることができる。
【０００６】
しかしこの方法では、上記の如く基材表面に塗布、溶剤乾燥工程が必要であり、ＦＰＣ製造上工程が煩雑になり、またピンホールや異物による不良率の低減に苦慮しているのが実情であった。そこでアルカリ水溶液現像型のネガ型層間絶縁膜やフォトソルダーレジストフィルムの研究が近年盛んとなり、例えば、特公昭５６−４０３２９公報には、エポキシ樹脂に不飽和モノカルボン酸を付加させ更に多塩基酸無水物を付加させてなる反応生成物をベースポリマーとする感光性樹脂組成物が開示されている。特開昭６１−２４３８６９公報には、ノボラック型エポキシアクリレート等に多塩基酸無水物を付加させた反応生成物をベースポリマーとし、アルカリ水溶液を現像液とするフォトソルダーレジスト組成物が開示されている。しかしながら、上記の組成物で得られるソルダーレジスト皮膜は、耐熱性、耐溶剤性や耐薬品性において不十分であり、絶縁性、誘電率に関する特性も十分とは言えない。またネガ型であるがために、耐薬品性向上が難しく、微細回路の形成が困難であり、薄型ＢＧＡ等への適用はできなかった。
【０００７】
一方ポリイミド前駆体であるポリアミド酸を加熱処理することによって得られるポリイミドが、その優れた耐熱性、耐薬品性、誘電特性等から、ＩＣ保護膜、層間絶縁膜として使用されており、更に露光，現像により直接パターンが形成できる感光性ポリイミド前駆体が提案されている（特開昭５９−１６０１４０公報、特開平０５−１５８２３７）。しかしながら通常ポリイミドワニスの場合、極性の高い高沸点溶剤が用いられ、また固形分濃度も高くできないため乾燥時間が長くなり、加工コストが高くなるという問題があった。特開昭６１−１７０７３１公報や特開昭６４−２０３７には、ドライフィルム化した例が記載されているが、それ自体製造が複雑で品質管理が難しく高コストとなってしまう。また３００℃以上の温度をかけないとイミド化が困難かつイミド化したものも伸びの少ない樹脂となってしまうという欠点が指摘されている。また相溶性を有する感光性アクリレートが限定されるため、解像度の向上が難しく特に厚膜に対しては不利と考えられる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、水酸化ナトリウム水溶液，炭酸ナトリウム水溶液等のアルカリ水溶液で現像できると共に、低エネルギー露光によりファインな画像形成が可能で、現像後の熱処理によるイミド化後の皮膜特性として、優れた耐熱性、導体との接着性、電気特性等を発現するポジ型感光性樹脂組成物、それを用いたドライフィルムを提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは鋭意検討し本発明を完成した。
即ち本発明は
［１］一般式（１）で表される反復単位を含む重合体（Ａ）、酸発生化合物（Ｂ）及び溶剤（Ｃ）を必須成分として含有する感光性樹脂組成物に関する。
【化３】
（式中、Ｒ1は四価の有機基であり、Ｒ2は二価の有機基であり、Ｒ3は一般式（２）で表される有機基である。Ｘは水素原子、ハロゲン原子または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基を表し、Ｙは水素原子または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の置換アルキル基を表し、Ｚは炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の置換アルキル基を表し、Ｙ及びＺは結合して環構造を形成しても良い。ｎは１〜１００の正数を表す。）
【化４】
前記一般式（２）において、Ｘは水素原子、フッ素原子または炭素数１〜３の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基であり、Ｙは水素原子、炭素数１〜３の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基または炭素数１〜３の直鎖もしくは分岐のアルキル基であり、Ｚは炭素数１〜３の直鎖または分岐の無置換アルキル基または炭素数１〜３の直鎖もしくは分岐のアルキル基を表す。ＹとＺは結合して環構造を形成しており、該構造が炭素数３〜６の無置換もしくは置換環状エーテルであるものは好ましい態様である。
［２］前記[１]の感光性樹脂組成物を、無色透明なフィルムに塗布、乾燥し、フィルム化して得られるドライフィルム。
に関する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下各成分について詳細に説明する。
［ポリアミド酸アルコキシアルキルエステル］
本発明においてポリアミド酸のアルコキシアルキルエステル、すなわち一般式（１）で表される繰り返し単位を含む重合体は、酸によりアルコキシアルキル基が脱離し、アルカリ水溶液に可溶となる。つまり、ＵＶ露光した部位のアルコキシアルキル基が光により発生した酸の作用によりにカルボキシル基が生じ、アルカリ現像可能となる。すなわちポリアミド酸のアルコキシアルキルエステルを含む本発明の樹脂組成物は、ポジ型感光性樹脂組成物であって現像の後、熱により未露光部のアルコキシアルキル基を脱離させ、カルボン酸を発生させてイミド化が可能であり、ポリイミド膜としての優れた耐熱性、耐薬品性、屈曲性等を発現できる。
【化５】
（式中、Ｒ1は四価の有機基であり、Ｒ2は二価の有機基であり、Ｒ3は一般式（２）
【化６】
で表される有機基を表す。一般式（２）中Ｘは水素原子、ハロゲン原子または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基を表し、Ｙは水素原子または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の置換アルキル基を表し、Ｚは炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の置換アルキル基を表し、Ｙ及びＺは結合して環構造を形成しても良い。ｎは１〜１００の正数を表す。）
【００１１】
本発明のポリアミド酸アルコキシアルキルエステルは、芳香族ジアミンと芳香族二酸無水物のモル比を変えることにより任意に調製したポリアミド酸に、任意のアルキルビニルエーテルを付加させることにより調製することができる。
【００１２】
芳香族ジアミンとしては特に限定はないが、一般式（３）で表されるジアミンが好ましく使用できる。
【化７】
（式中、Ｒ5は、−，−ＣＯ−，−Ｏ−，−Ｃ（ＣＨ3）2−，−Ｃ（ＣＦ3）2−−ＣＯＯ−を表し、Ｒ4は、水素原子，ハロゲン原子、Ｃ1〜Ｃ5のアルコキシ基，Ｃ1〜Ｃ5のアルキル基を表し、ｍは０，１〜３の正数を表し、ｑは、０、１〜５の整数を表す。）
これらは、単独または２種以上を併用することができる。
【００１３】
芳香族酸二無水物としては特に限定はないが、ピロメリット酸二無水物、１，２，５，６−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、２，３，６，７−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，１−ビス（２，３−ジカルボキシルフェニル）エタン二無水物、２，２−ビス（２，３−ジカルボキシルフェニル）エタン二無水物、２，２−ビス（３，３−ジカルボキシルフェニル）エタン二無水物、２，２−ビス［４−（３，４−ジカルボキシフェノキシ）フェニル］プロパン二無水物、３，３’４，４’−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、２，３，３’，４’−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、２，３，５，６−ピリジンテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、３，４，９，１０−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、２，３，３’，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物等を使用することができる。これらは、単独または２種以上を併用することができる。
【００１４】
また一般式（２）におけるＸは水素原子、ハロゲン原子または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基で、Ｙは水素原子または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の無置換もしくは置換アルキル基であり、Ｚは炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の無置換もしくは置換アルキル基であって、またはＹとＺは結合して環構造を有していても良い。
【００１５】
Ｘは具体的には水素原子、フッ素原子等のハロゲン原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基またはｔｅｒｔ−ブチル基等の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基等が挙げられ、Ｙはメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基またはｔｅｒｔ−ブチル基等の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基、ヒドロキシ置換アルキル基、ハロゲン置換アルキル基、シアノ置換アルキル基またはジアルキルアミノ置換アルキル基等が例示でき、Ｚはメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基またはｔｅｒｔ−ブチル基等の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基、ヒドロキシ置換アルキル基、ハロゲン置換アルキル基、シアノ置換アルキル基またはジアルキルアミノ置換アルキル基等が例示できる。
【００１６】
一般式（２）のアルコキシアルキルエステル基の部分であるＸ，Ｃ、Ｏ、ＹおよびＺをまとめて表記するとメトキシメチル基、エトキシメチル基、ｎ−プロポキシメチル基、イソプロポキシメチル基、ｎ−ブトキシメチル基、イソブトキシメチル基、ｓｅｃ−ブトキシメチル基、ｔｅｒｔ−ブトキシメチル基、１−メトキシエチル基、１−エトキシエチル基、１−ｎ−プロポキシエチル基、１−イソプロポキシエチル基、１−ｎ−ブトキシエチル基、１−イソブトキシエチル基、１−ｓｅｃ−ブトキシエチル基、２−エトキシエチル基、２−ｎ−プロポキシエチル基、２−イソプロポキシエチル基、２−ｎ−ブトキシエチル基、２−イソブトキシエチル基、２−ｓｅｃ−ブトキシエチル基、１−メトキシプロピル基、１−エトキシプロピル基、１−ｎ−プロポキシプロピル基、１−イソプロポキシプロピル基、１−ｎ−ブトキシプロピル基、１−イソブトキシプロピル基、１−ｓｅｃ−ブトキシプロピル基、１−ｔｅｒｔ−ブトキシプロピル基、２−メトキシプロピル基、２−エトキシプロピル基、２−ｎ−プロポキシプロピル基、２−イソプロポキシプロピル基、２−ｎ−ブトキシプロピル基、２−イソブトキシプロピル基、２−ｓｅｃ−ブトキシプロピル基、２−ｔｅｒｔ−ブトキシプロピル基、３−メトキシプロピル基、３−エトキシプロピル基、３−ｎ−プロポキシプロピル基、３−イソプロポキシプロピル基、３−ｎブトキシプロピル基、３−イソブトキシプロピル基、３−ｓｅｃ−ブトキシプロピル基、３−ｔｅｒｔ−ブトキシプロピル基等の無置換アルキル基、１−メトキシ−１−ヒドロキシメチル基、１−（１−ヒドロキシ）メトキシメチル基、１−（１−ヒドロキシ）メトキシエチル基等のヒドロキシ置換アルコキシアルキル基、トリフルオロメトキシメチル基、１−メトキシ−２，２，２−トリフルオロエチル基、１−トリフルオロメトキシ−２，２，２―トリフルオロエチル基等のハロゲン置換アルコキシアルキル基、１−メトキシ−１−シアノメチル基、１−（１−シアノ）メトキシメチル基、１−（１−シアノ）メトキシエチル基等のシアノ置換アルコキシアルキル基、１，１−ジメチルアミノメトキシメチル基等のジアルキルアミノ置換アルコキシアルキル基、テトラヒドロフラン−２−イルオキシ基、テトラヒドロピラン−２−イルオキシ基等の無置換環状エーテル、２−メチルテトラヒドロフラン−２−イルオキシ基、２−メチルテトラヒドロピラン−２−イルオキシ基等のアルキル置換環状エーテル、または、２−フルオロテトラヒドロフラン−２−イルオキシ基、２−フルオロテトラヒドロフラン−２−イルオキシ基等のハロゲン置換環状エーテル等が例示できる。
【００１７】
好ましくは、一般式（２）においてＸが水素原子、フッ素原子または炭素数１〜３の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基で、Ｙが水素原子または炭素数１〜３の直鎖もしくは分岐の無置換もしくは置換アルキル基であり、Ｚが炭素数１〜３の直鎖または分岐の無置換もしくは置換アルキル基またはＹとＺが結合して形成された環構造が炭素数３〜６の無置換もしくは置換環状エーテルである。具体的には一般式（２）のＸ，Ｃ、Ｏ、ＹおよびＺをまとめて表記するとメトキシメチル基、エトキシメチル基、ｎ−プロポキシメチル基、イソプロポキシメチル基、１−メトキシエチル基、１−エトキシエチル基、１−ｎ−プロポキシエチル基、１−イソプロポキシエチル基、２−エトキシエチル基、２−ｎ−プロポキシエチル基、２−イソプロポキシエチル基、１−メトキシプロピル基、１−エトキシプロピル基、１−メトキシ−１−ヒドロキシメチル基、１−（１−ヒドロキシ）メトキシメチル基、１−（１−ヒドロキシ）メトキシエチル基、トリフルオロメトキシメチル基、１−メトキシ−２，２，２−トリフルオロエチル基、１−トリフルオロメトキシ−２，２，２−トリフルオロエチル基、テトラヒドロフラン−２−イルオキシ基、テトラヒドロピラン−２−イルオキシ基、２−メチルテトラヒドロフラン−２−イルオキシ基、２−メチルテトラヒドロピラン−２−イルオキシ基または２−フルオロテトラヒドロフラン−２−イルオキシ基等が例示できる。
＜アルコキシアルキルエステル化方法＞
ポリアミド酸のアルコキシアルキルエステルは通常以下の方法で合成される。
５〜７０質量％、好ましくは１５〜５０質量％のポリアミド酸溶液を−１５〜１００℃、好ましくは０〜６０℃に保持し、攪拌しながら酸触媒を１０〜１０００ｐｐｍ、好ましくは５０〜５００ｐｐｍ加える。この時の酸触媒としては、塩酸、蓚酸、ｐ-トルエンスルホン酸が好ましい。次にアルキルビニルエーテルを１〜３００分、好ましくは１０〜６０分かけて加える。ポリアミド酸濃度を上記範囲に保持することにより、攪拌を十分に行うことができ、反応速度制御が容易となる。また反応温度を上記範囲に保持することにより、発熱によるモノマーのゲル化や異種反応を起こすことなく目的とするアルコキシエステルを得ることができる。この時、アルキルビニルエーテルのカルボキシル基に対するモル比は１．０〜３．０倍、好ましくは１．１〜２．０倍とする。モル比を制御することにより、アルコキシアルキルエステルの貯蔵安定性及び光反応性をを制御できる。反応終了後、重炭酸ソーダを溶かした飽和食塩水を加え水洗する。この時の重炭酸ソーダの量は、酸触媒の２倍モルが目安である。ｐＨが７．０〜７．５であることを確認後分液する。有機相に１５％燐酸１ソーダ水溶液を加え水洗する。ｐＨが６．５〜７．０であることを確認後分液する。エステル化率は、ポリアミド酸骨格及びアルキルビニルエーテル骨格により異なるが、通常全カルボン酸の６５〜１００モル％の範囲にあり、残存モノマーは留去する。
【００１８】
ポリアミド酸アルコキシアルキルエステルの含有量は、組成物中５〜７０質量％（固形分換算）、好ましくは１５〜５０質量％である。含有量が５質量％以上含有することにより、アルカリ溶液による溶解性が向上し、高い解像度を得ることができると同時に、最終硬化膜としてポリイミドの特長である耐熱性、耐薬品性、電気絶縁性等を発現できる。また７０質量％以下にし、光酸発生剤を併用することでポジ型感光性樹脂とできる。
【００１９】
本発明は、必要に応じて多官能アクリレート、エポキシ樹脂、フェノール樹脂及びイソシアネートを併用することができる。
【００２０】
［光酸発生剤］
本発明に用いる光酸発生剤は、トリアジン系、オニウム塩系、ジフェニルヨードニウム系、ジアゾジスルホン系、トリフェニルスルホニウム系等、α、α−ジクロロ−４−フェノキシアセトフェノン及び４，４‘−（α、α―ジクロロアセチル）ジフェニルエーテル等何れでも使用することができる。これらは、特性低下を招かない限り、２種以上を併用しても差し支えない。
【００２１】
光酸発生剤の添加量は、所望のエネルギーで硬化できる量であれば限定はないが、通常組成物中（固形分換算）に０．０５〜２０．０質量％、好ましくは０．１〜１０．０質量％、更に好ましくは０．２〜５．０質量％である。０．０５質量％よりも多くいれることにより、アルコキシアルキルエステルの脱離が現像時のコントラストを満足できるに十分な量となる。また２０．０質量％以下とすることで、最終塗膜の耐マイグレーション性の保持性が向上する。
【００２２】
［溶 剤］
本発明に用いる溶剤は、樹脂組成物の一部または全部を溶解し易いことが好ましいが、作業性（乾燥性含む）、樹脂物性を向上させるかまたは損なわない範囲で貧溶媒を使用することができる。
【００２３】
具体的な溶剤としては例えばケトン類、アルコール類、エーテル及びエステル類、エステル類、グリコールエーテル類、アミン、アミド類、炭化水素類等が挙げられる。これらは単独で用いても良いが、複数を併用しても良い。例えば、低沸点溶剤と高沸点溶剤を混合することにより乾燥時の発泡を抑制することができ、ドライフィルムの品質を向上させることができる。
【００２４】
本発明において、ワニスを調製する場合、作業性（乾燥性含む）、樹脂物性を向上させるかまたは損なわない範囲であれば特に量は規定されないが、好ましくは樹脂組成物中３０〜９０重量％、更に好ましくは４５〜７０重量％を使用すると、ドライフィルム作製時レベリング性が向上し、品質の向上につながる。
【００２５】
ケトン類では例えばアセトン，メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、メチル−ｎ−アミルケトン、アセトニルアセトン、イソホロン、アセトフェノン等が挙げられ、これら単独または複数を併用できる。
【００２６】
エーテル及びアセタール類では例えばｎ−ブチルエーテル、ｎ−ヘキシルエーテル、エチルフェニルエーテル、１，４−ジオキサン、トリオキサン、ジエチルアセタール、１，２−ジオキソラン、テトラヒドロピラン、テトラヒドロフラン、等が挙げられ、これら単独または複数を併用できる。
【００２７】
アルコール類では例えばエチルアルコール、イソプロピルアルコール、ｎ−ブタノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ヘキシレングリコール、テキサノール、等が挙げられ、これら単独または複数を併用できる。
【００２８】
エステル類では例えばギ酸メチル、ギ酸エチル、ギ酸プロピル、ギ酸イソブチル、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸ベンジル、酢酸イソアミル、乳酸エチル、安息香酸メチル、シュウ酸ジエチル、コハク酸ジメチル、グルタミン酸ジメチル、アジピン酸ジメチル、炭酸メチル、炭酸エチル、炭酸プロピル、炭酸ブチル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルアセテート、エチレングリコールモノプロピルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジアセテート、等が挙げられ、これら単独または複数を併用できる。
【００２９】
グルコールエーテル類では例えばエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールジブチルエーテル等が挙げられ、これら単独または複数を併用できる。
【００３０】
アミン、アミド類では例えばジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ピリジン、ピラジン、等が挙げられ、これら単独または複数を併用できる。
【００３１】
炭化水素類では例えばｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、ｎ−デカン、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、ジエチルベンゼン、ピネン等が挙げられ、これら単独または複数を併用できる。
その他、ジメチルスルホキシド等も使用することができる。
これらは作業性（乾燥性含む）、樹脂物性を向上させるかまたは損なわない範囲であれば同一の群以外と併用しても差し支えない。
【００３２】
本発明において、固形分１０〜９０質量％に調整された該感光性樹脂組成物を、一定厚みの無色透明なフィルムに一定厚みで塗布、乾燥し、感光性ポリイミドフィルムを得ることができる。
【００３３】
ここで無色透明なフィルムとしては、低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリアリレート、エチレン／シクロデセン共重合体（三井化学製、商品名（商標）：ＡＰＥＬ）等を用いる。ポリアミド酸は水分により物性が変化するため、低透湿性の樹脂が望ましく、従ってこれらの中では、ＡＰＥＬ（商標）及びポリエチレン、ポリプロピレンが好適である。また、塗工性、付着性、ロール性、強靱性、コスト等を考慮した時、フィルムの厚みが１５〜１００μｍ、好ましくは３０〜７５μｍであるポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン含有率の高いＡＰＥＬ（商標）が更に好ましい。
【００３４】
感光性ポリイミドフィルムは、上記のフィルムにリバースロールコーターやグラビアロールコーター、コンマコーター、カーテンコーター等の公知の方法で塗布することができる。乾燥は、熱風乾燥や遠赤外線、近赤外線を用いた乾燥機で、温度５０〜１２０℃で乾燥でき、より好ましくは６０〜１００℃で１０〜６０分乾燥することにより得ることができる。
【００３５】
感光性ポリイミドフィルムの膜厚は、５〜１００μｍ、より好ましくは１０〜５０μｍである。膜厚が５μｍ以上は絶縁信頼性に問題が無く、１００μｍ以下にすることで解像度を向上させることができる。
感光性皮膜は、微細孔や微細幅ラインを形成するため、任意のパターンが書かれたフォトマスクを通して露光される。露光量は、樹脂組成物により異なるが、通常３０〜１０００mj/cm2であり、より低エネルギーで解像度の高いことが要求される。この時使用される活性光線としては、例えば電子線、紫外線、Ｘ線等が挙げられるが、好ましくは紫外線が良い。光源としては低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ等を使用することができる。このようにして得られた皮膜は、銅箔のエッチングに用いられる塩化第二銅、塩化第二鉄等の酸性のエッチング液に対する耐性に優れている。
【００３６】
次に現像液を用い、浸漬法やスプレー法にて現像を行う。現像液としては、水酸化ナトリウム水溶液、炭酸ナトリウム水溶液等のアルカリ水溶液が使用できる。
このようにして、レジスト膜により所定のパターンが形成された銅張り積層板は次に上記のようなエッチング液を用い、レジスト膜の無い部分の銅箔を溶解・除去し、所定の回路パターンを形成できる。回路パターン形成後は、水酸化ナトリウム等のアルカリ溶液で除去される。
【００３７】
【実施例】
以下、代表的な実施例により本発明を詳細に説明するがこれに限定されたものではない。
（合成例１）
〔ポリアミド酸アルコキシアルキルエステルＰＡＥ１〕
反応器（攪拌機、還流冷却器及び窒素導入管付き）中、窒素雰囲気下、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド３５０ｇ、ジエチレングリコールジメチルエーテル２９１ｇに１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン１７３．２ｇ（０．５９３モル）を溶解し、これを攪拌しながらピロメリット酸二無水物１２６．８ｇ（０．５８２モル）（モル比０．９８１）を乾燥固体のまま少量づつ添加した。この間反応温度を２５〜３０℃に保ち、添加後１０時間窒素雰囲気下で攪拌を継続した。次に液温を５０〜６０℃に昇温し、その中にイソブチルビニルエーテル５９.０ｇ（０．５９０モル）を約３０分かけて添加した。反応を更に２０時間行い固形分３５質量％のポリアミド酸イソブトキシエチルエステル溶液（ＰＡＥ１）を得た。
（合成例２）
〔ポリアミド酸アルコキシアルキルエステルＰＡＥ２〕
合成例１の１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼンの代わりに、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ビフェニルを用い、合成例１と同一モル比（０．９８１）、反応条件で行った。更にイソブチルビニルエーテルの代わりにｔ-ブチルビニルエーテル５９.０ｇ（０．５９０モル）を反応させ、固形分３５質量％のポリアミド酸ｔ-ブトキシエチルエステル溶液（ＰＡＥ２）を得た。
【００３８】
（実施例１）
合成例１で得られたＰＡＥ１を２００質量部と光酸発生剤ジフェニル-４-メチルフェニルスルフォニウムトリフルオロメタンスルフォネート（Ｗａｋｏ社製、以下ＷＰＡＧ−３３６と記す）１．５質量部を混合溶解し、ワニスを調製した。このワニスを幅３０ｃｍ、厚さ２０μｍのキャリアフィルムとしてポリプロピレンフィルム上に約１００μｍの厚みで塗工後、熱風循環乾燥炉内で８０℃×２０分間乾燥、厚さ２０μｍのリリースフィルムを張り合わせドライフィルムを作製した。作製したドライフィルムは、リリースフィルムを剥がした後、パターン形成されたサスペンション基材（ＳＵＳ／ＰＩ／Ｃｕ＝２０／１０／１２μｍ）銅箔面上に重ね合わせ、位置合わせ後真空ラミネート装置で１００℃×２０秒圧着した。次に露光量１００ｍｊ/ｃｍ2で照射、キャリアフィルムを剥がした後、３０±１℃に保持された１％Ｎａ2ＣＯ3を０．１５ＭＰａで噴霧後、２５０℃×１０分間加熱硬化させ評価用テストピースに供した。
【００３９】
（実施例２）
合成例２で得られたＰＡＥ２を２００質量部と光酸発生剤 ビス（シクロヘキシルスルフォニル)ジアゾメタン（Ｗａｋｏ社製、以下ＷＰＡＧ−１４５と記す）２．５質量部を混合溶解し、ワニスを調製した。このワニスを幅３０ｃｍ、厚さ２０μｍのキャリアフィルムとしてポリプロピレンフィルム上に約１００μｍの厚みで塗工後、熱風循環乾燥炉内で８０℃×２０分間乾燥、厚さ２０μｍのカバーフィルムを張り合わせドライフィルムを作製した。作製したドライフィルムは、カバーフィルムを剥がした後、パターン形成されたサスペンション基材（ＳＵＳ／ＰＩ／Ｃｕ＝２０／１０／１２μｍ）銅箔面上に重ね合わせ、位置合わせ後真空ラミネート装置で１００℃×２０秒圧着した。次に露光量１００ｍｊ/ｃｍ2で照射、キャリアフィルムを剥がした後、３０±１℃に保持された１％Ｎａ2ＣＯ3を０．１５ＭＰａで噴霧後、２５０℃×１０分間加熱硬化させ評価用テストピースに供した。
（実施例３）
合成例１で得られたＰＡＥ１を２００質量部と光酸発生剤ジフェニル-４-メチルフェニルスルフォニウムトリフルオロメタンスルフォネート（Ｗａｋｏ社製、以下ＷＰＡＧ−３３６と記す）１．５質量部およびビスフェノールＡ型エポキシ樹脂Ｒ１３９Ｓ（商品名：三井化学（株）社製、ＥＥＷ＝１８４ｇ／ｅｑ）１８．０質量部、フェノールノボラック樹脂ＰＳＭ−４３２６（群栄化学工業社製、ＯＨ当量＝１０４ｇ／ｅｑ）１０．０質量部を混合溶解し、ワニスを調製した。このワニスを幅３０ｃｍ、厚さ２０μｍのキャリアフィルムとしてポリプレピレンフィルム上に約１００μｍの厚みで塗工後、熱風循環乾燥炉内で８０℃×２０分間乾燥、厚さ２０μｍのカバーフィルムを張り合わせドライフィルムを作製した。作製したドライフィルムは、カバーフィルムを剥がした後、パターン形成されたサスペンション基材（ＳＵＳ／ＰＩ／Ｃｕ＝２０／１０／１２μｍ）銅箔面上に重ね合わせ、位置合わせ後真空ラミネート装置で１００℃×２０秒圧着した。次に露光量１００ｍｊ/ｃｍ2で照射、キャリアフィルムを剥がした後、３０±１℃に保持された１％Ｎａ2ＣＯ3を０．１５ＭＰａで噴霧後、２５０℃×１０分間加熱硬化させ評価用テストピースに供した。
【００４０】
（比較例１）
反応器（攪拌機、還流冷却器及び窒素導入管付き）中、窒素雰囲気下、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド３５０ｇ、ジエチレングリコールジメチルエーテル３５０ｇに１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン１７３．２ｇ（０．５９３モル）を溶解し、これを攪拌しながらピロメリット酸二無水物１２６．８ｇ（０．５８２モル）（モル比０．９８１）を乾燥固体のまま少量づつ添加した。この間反応温度を２５〜３０℃に保ち、添加後２０時間窒素雰囲気下で攪拌を継続し、固形分３０質量％のポリアミック酸溶液（ＰＡ１）を得た。このワニスを幅３０ｃｍ、厚さ２０μｍのキャリアフィルムとしてポリプレピレンフィルム上に約１００μｍの厚みで塗工後、熱風循環乾燥炉内で８０℃×２０分間乾燥、厚さ２０μｍのカバーフィルムを張り合わせドライフィルムを作製した。作製したドライフィルムは、カバーフィルムを剥がした後、パターン形成されたサスペンション基材（ＳＵＳ／ＰＩ／Ｃｕ＝２０／１０／１２μｍ）銅箔面上に重ね合わせ、位置合わせ後真空ラミネート装置で１００℃×２０秒圧着し、２５０℃×１０分間加熱硬化させ評価用テストピースに供した。
（比較例２）
３，４’-ジアミノフェニルエーテル６０１ｇ、無水ピロメリット酸（酸価：１０１１ｍｇＫＯＨ／ｇ）４３６ｇ、γ-ブチロラクトン１０３０ｇを４０℃×５Ｈｒｓ反応させ、末端アミンカルボキシル基含有ポリアミドプレポリマー（固形分の酸価：２１２．５ｍｇＫＯＨ／ｇ）を得た。次にグリシジルメタクリレート５０８ｇ及びｐ−メトキシフェノール１．７５ｇをし込み、９５℃×１０Ｈｒｓ反応し、固形分６０質量％のカルボキシル基含有ポリアミドオリゴマー（ＰＯ−１）を得た。このＰＯ−１を１５０ｇとジペンタエリスリトールε-カプロラクトン付加物のポリアクリレート（商品名：ＤＰＣＡ−６０、日本化薬社製）２０ｇ及び光開始剤としてベンゾフェノン５．０ｇ、ＤＥＴＸ２．０ｇを混合し、感光性樹脂組成物を得た。このワニスを幅３０ｃｍ、厚さ２０μｍのキャリアフィルムとしてポリプレピレンフィルム上に約１００μｍの厚みで塗工後、熱風循環乾燥炉内で８０℃×２０分間乾燥、厚さ２０μｍのカバーフィルムを張り合わせドライフィルムを作製した。作製したドライフィルムは、カバーフィルムを剥がした後、パターン形成されたサスペンション基材（ＳＵＳ／ＰＩ／Ｃｕ＝２０／１０／１２μｍ）銅箔面上に重ね合わせ、位置合わせ後真空ラミネート装置で１００℃×２０秒圧着した。次に露光量１００ｍｊ/ｃｍ2で照射、キャリアフィルムを剥がした後、３０±１℃に保持された１％Ｎａ2ＣＯ3を０．１５ＭＰａで噴霧後、２５０℃×１０分間加熱硬化させ評価用テストピースに供した。
【００４１】
上記実施例、比較例で作製されたドライフィルム及び評価用テストピースを用い、以下の項目につき評価を行った。
評価１ 解像度：３００ｍｊ／ｃｍ2で露光し、３０±１℃の１．０％Ｎａ2ＣＯ3ａｑを０．１５Ｐａの圧力で噴霧、現像、硬化（２５０℃×１０分）後の解像度がヴィアホール１００μｍφ以下で有るか否かを確認した。
評価２ クロスカットピール：ＪＩＳ Ｋ ５４０４に準じた。
評価３ はんだ耐熱性：±５℃に保持された溶融はんだに樹脂面を下にして２０秒フロートした。（ＪＰＣＡ−ＢＭ０２に準拠）温度を１０℃刻みで上げ、皮膜の膨れ等が発生した時の温度−１０℃を測定値とした。
評価４ Ｔｇ：厚み３０〜３５μｍ、幅４ｍｍ、長さ２５ｍｍの硬化フィルムを作製し、セイコー電子社製ＴＭＡ／ＳＳ１００を用い、引張りモード加重５ｇ、昇温速度２℃／Ｍｉｎ．で測定した。
実施例１〜３及び比較例１〜２の評価結果を表１に示す。
【００４２】
【評価結果】
【表１】
【００４３】
【発明の効果】
本発明の樹脂組成物は水酸化ナトリウム水溶液，炭酸ナトリウム水溶液等のアルカリ水溶液で現像できると共に、低エネルギー露光によりファインな画像形成が可能で、現像後の熱処理後の皮膜特性として、ポリイミド特有の優れた耐熱性、導体との接着性、電気特性等を発現できる。
【発明の属する技術分野】
ポリアミド酸のアルコキシアルキルエステルを主成分とする感光性樹脂組成物に関し、更に詳しくは該感光性樹脂組成物を用いたドライフィルムに関する。
【０００２】
【従来技術】
近年の「マルチメディア」社会において、全地球規模での情報量の急速な増大化で、情報データの交換、伝送に大容量化・高速化・デジタル化が要求されている。これらの要求に対し、電子情報システム、デバイスの大集積化・高速化が進行するとともに電子情報機器の高性能・高機能化（複合化・融合化）と携帯化（高密度化）の動きが激しくなってきている。
【０００３】
これら電子情報機器と半導体デバイスのインターフェイスとなる「実装技術」は、高密度化に向けてその重要性が世の中において益々認識されてきた。この「実装技術」の中で主役を演じている半導体デバイスと並び今日注目されてきているのが半導体用パッケージであり、その関連技術の技術確立が急がれている。
【０００４】
最近、導体回路パターンの微細化と位置精度の向上、更に実装部品の小型化、ＩＣパッケージのリードのファインピッチ化により層間絶縁膜、ソルダーレジスト皮膜等の絶縁皮膜形成も画像精度や位置精度の向上を必要としてきている。従って、近年では精度よく皮膜形成ができる方法として上記フォト法を用いて層間絶縁膜ソルダーレジスト皮膜や絶縁皮膜を形成する方法が広く採用されるようになった。
【０００５】
上記フォト法では、所望の厚みに感光性樹脂組成物を基材に塗布した後乾燥して感光性皮膜を形成し、この感光性皮膜にネガのフォトマスクを乗せて、紫外線等の活性光線で露光焼付けを行うことが一般的である。感光性皮膜は、フォトマスクの透明部分を透過した活性光線で硬化し、未露光部分は現像液で除去される。上記フォト法で形成された感光性皮膜は更に熱や活性光線で硬化し、ソルダーレジスト皮膜や絶縁皮膜になる。形成された画像はフォトマスクに極めて近い精度で形成できるため、微細な画像や位置精度を容易に得ることができる。
【０００６】
しかしこの方法では、上記の如く基材表面に塗布、溶剤乾燥工程が必要であり、ＦＰＣ製造上工程が煩雑になり、またピンホールや異物による不良率の低減に苦慮しているのが実情であった。そこでアルカリ水溶液現像型のネガ型層間絶縁膜やフォトソルダーレジストフィルムの研究が近年盛んとなり、例えば、特公昭５６−４０３２９公報には、エポキシ樹脂に不飽和モノカルボン酸を付加させ更に多塩基酸無水物を付加させてなる反応生成物をベースポリマーとする感光性樹脂組成物が開示されている。特開昭６１−２４３８６９公報には、ノボラック型エポキシアクリレート等に多塩基酸無水物を付加させた反応生成物をベースポリマーとし、アルカリ水溶液を現像液とするフォトソルダーレジスト組成物が開示されている。しかしながら、上記の組成物で得られるソルダーレジスト皮膜は、耐熱性、耐溶剤性や耐薬品性において不十分であり、絶縁性、誘電率に関する特性も十分とは言えない。またネガ型であるがために、耐薬品性向上が難しく、微細回路の形成が困難であり、薄型ＢＧＡ等への適用はできなかった。
【０００７】
一方ポリイミド前駆体であるポリアミド酸を加熱処理することによって得られるポリイミドが、その優れた耐熱性、耐薬品性、誘電特性等から、ＩＣ保護膜、層間絶縁膜として使用されており、更に露光，現像により直接パターンが形成できる感光性ポリイミド前駆体が提案されている（特開昭５９−１６０１４０公報、特開平０５−１５８２３７）。しかしながら通常ポリイミドワニスの場合、極性の高い高沸点溶剤が用いられ、また固形分濃度も高くできないため乾燥時間が長くなり、加工コストが高くなるという問題があった。特開昭６１−１７０７３１公報や特開昭６４−２０３７には、ドライフィルム化した例が記載されているが、それ自体製造が複雑で品質管理が難しく高コストとなってしまう。また３００℃以上の温度をかけないとイミド化が困難かつイミド化したものも伸びの少ない樹脂となってしまうという欠点が指摘されている。また相溶性を有する感光性アクリレートが限定されるため、解像度の向上が難しく特に厚膜に対しては不利と考えられる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、水酸化ナトリウム水溶液，炭酸ナトリウム水溶液等のアルカリ水溶液で現像できると共に、低エネルギー露光によりファインな画像形成が可能で、現像後の熱処理によるイミド化後の皮膜特性として、優れた耐熱性、導体との接着性、電気特性等を発現するポジ型感光性樹脂組成物、それを用いたドライフィルムを提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは鋭意検討し本発明を完成した。
即ち本発明は
［１］一般式（１）で表される反復単位を含む重合体（Ａ）、酸発生化合物（Ｂ）及び溶剤（Ｃ）を必須成分として含有する感光性樹脂組成物に関する。
【化３】
【化４】
［２］前記[１]の感光性樹脂組成物を、無色透明なフィルムに塗布、乾燥し、フィルム化して得られるドライフィルム。
に関する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下各成分について詳細に説明する。
［ポリアミド酸アルコキシアルキルエステル］
本発明においてポリアミド酸のアルコキシアルキルエステル、すなわち一般式（１）で表される繰り返し単位を含む重合体は、酸によりアルコキシアルキル基が脱離し、アルカリ水溶液に可溶となる。つまり、ＵＶ露光した部位のアルコキシアルキル基が光により発生した酸の作用によりにカルボキシル基が生じ、アルカリ現像可能となる。すなわちポリアミド酸のアルコキシアルキルエステルを含む本発明の樹脂組成物は、ポジ型感光性樹脂組成物であって現像の後、熱により未露光部のアルコキシアルキル基を脱離させ、カルボン酸を発生させてイミド化が可能であり、ポリイミド膜としての優れた耐熱性、耐薬品性、屈曲性等を発現できる。
【化５】
【化６】
【００１１】
本発明のポリアミド酸アルコキシアルキルエステルは、芳香族ジアミンと芳香族二酸無水物のモル比を変えることにより任意に調製したポリアミド酸に、任意のアルキルビニルエーテルを付加させることにより調製することができる。
【００１２】
芳香族ジアミンとしては特に限定はないが、一般式（３）で表されるジアミンが好ましく使用できる。
【化７】
これらは、単独または２種以上を併用することができる。
【００１３】
芳香族酸二無水物としては特に限定はないが、ピロメリット酸二無水物、１，２，５，６−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、２，３，６，７−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，１−ビス（２，３−ジカルボキシルフェニル）エタン二無水物、２，２−ビス（２，３−ジカルボキシルフェニル）エタン二無水物、２，２−ビス（３，３−ジカルボキシルフェニル）エタン二無水物、２，２−ビス［４−（３，４−ジカルボキシフェノキシ）フェニル］プロパン二無水物、３，３’４，４’−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、２，３，３’，４’−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、２，３，５，６−ピリジンテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、３，４，９，１０−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、２，３，３’，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物等を使用することができる。これらは、単独または２種以上を併用することができる。
【００１４】
また一般式（２）におけるＸは水素原子、ハロゲン原子または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基で、Ｙは水素原子または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の無置換もしくは置換アルキル基であり、Ｚは炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の無置換もしくは置換アルキル基であって、またはＹとＺは結合して環構造を有していても良い。
【００１５】
Ｘは具体的には水素原子、フッ素原子等のハロゲン原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基またはｔｅｒｔ−ブチル基等の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基等が挙げられ、Ｙはメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基またはｔｅｒｔ−ブチル基等の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基、ヒドロキシ置換アルキル基、ハロゲン置換アルキル基、シアノ置換アルキル基またはジアルキルアミノ置換アルキル基等が例示でき、Ｚはメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基またはｔｅｒｔ−ブチル基等の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基、ヒドロキシ置換アルキル基、ハロゲン置換アルキル基、シアノ置換アルキル基またはジアルキルアミノ置換アルキル基等が例示できる。
【００１６】
一般式（２）のアルコキシアルキルエステル基の部分であるＸ，Ｃ、Ｏ、ＹおよびＺをまとめて表記するとメトキシメチル基、エトキシメチル基、ｎ−プロポキシメチル基、イソプロポキシメチル基、ｎ−ブトキシメチル基、イソブトキシメチル基、ｓｅｃ−ブトキシメチル基、ｔｅｒｔ−ブトキシメチル基、１−メトキシエチル基、１−エトキシエチル基、１−ｎ−プロポキシエチル基、１−イソプロポキシエチル基、１−ｎ−ブトキシエチル基、１−イソブトキシエチル基、１−ｓｅｃ−ブトキシエチル基、２−エトキシエチル基、２−ｎ−プロポキシエチル基、２−イソプロポキシエチル基、２−ｎ−ブトキシエチル基、２−イソブトキシエチル基、２−ｓｅｃ−ブトキシエチル基、１−メトキシプロピル基、１−エトキシプロピル基、１−ｎ−プロポキシプロピル基、１−イソプロポキシプロピル基、１−ｎ−ブトキシプロピル基、１−イソブトキシプロピル基、１−ｓｅｃ−ブトキシプロピル基、１−ｔｅｒｔ−ブトキシプロピル基、２−メトキシプロピル基、２−エトキシプロピル基、２−ｎ−プロポキシプロピル基、２−イソプロポキシプロピル基、２−ｎ−ブトキシプロピル基、２−イソブトキシプロピル基、２−ｓｅｃ−ブトキシプロピル基、２−ｔｅｒｔ−ブトキシプロピル基、３−メトキシプロピル基、３−エトキシプロピル基、３−ｎ−プロポキシプロピル基、３−イソプロポキシプロピル基、３−ｎブトキシプロピル基、３−イソブトキシプロピル基、３−ｓｅｃ−ブトキシプロピル基、３−ｔｅｒｔ−ブトキシプロピル基等の無置換アルキル基、１−メトキシ−１−ヒドロキシメチル基、１−（１−ヒドロキシ）メトキシメチル基、１−（１−ヒドロキシ）メトキシエチル基等のヒドロキシ置換アルコキシアルキル基、トリフルオロメトキシメチル基、１−メトキシ−２，２，２−トリフルオロエチル基、１−トリフルオロメトキシ−２，２，２―トリフルオロエチル基等のハロゲン置換アルコキシアルキル基、１−メトキシ−１−シアノメチル基、１−（１−シアノ）メトキシメチル基、１−（１−シアノ）メトキシエチル基等のシアノ置換アルコキシアルキル基、１，１−ジメチルアミノメトキシメチル基等のジアルキルアミノ置換アルコキシアルキル基、テトラヒドロフラン−２−イルオキシ基、テトラヒドロピラン−２−イルオキシ基等の無置換環状エーテル、２−メチルテトラヒドロフラン−２−イルオキシ基、２−メチルテトラヒドロピラン−２−イルオキシ基等のアルキル置換環状エーテル、または、２−フルオロテトラヒドロフラン−２−イルオキシ基、２−フルオロテトラヒドロフラン−２−イルオキシ基等のハロゲン置換環状エーテル等が例示できる。
【００１７】
好ましくは、一般式（２）においてＸが水素原子、フッ素原子または炭素数１〜３の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基で、Ｙが水素原子または炭素数１〜３の直鎖もしくは分岐の無置換もしくは置換アルキル基であり、Ｚが炭素数１〜３の直鎖または分岐の無置換もしくは置換アルキル基またはＹとＺが結合して形成された環構造が炭素数３〜６の無置換もしくは置換環状エーテルである。具体的には一般式（２）のＸ，Ｃ、Ｏ、ＹおよびＺをまとめて表記するとメトキシメチル基、エトキシメチル基、ｎ−プロポキシメチル基、イソプロポキシメチル基、１−メトキシエチル基、１−エトキシエチル基、１−ｎ−プロポキシエチル基、１−イソプロポキシエチル基、２−エトキシエチル基、２−ｎ−プロポキシエチル基、２−イソプロポキシエチル基、１−メトキシプロピル基、１−エトキシプロピル基、１−メトキシ−１−ヒドロキシメチル基、１−（１−ヒドロキシ）メトキシメチル基、１−（１−ヒドロキシ）メトキシエチル基、トリフルオロメトキシメチル基、１−メトキシ−２，２，２−トリフルオロエチル基、１−トリフルオロメトキシ−２，２，２−トリフルオロエチル基、テトラヒドロフラン−２−イルオキシ基、テトラヒドロピラン−２−イルオキシ基、２−メチルテトラヒドロフラン−２−イルオキシ基、２−メチルテトラヒドロピラン−２−イルオキシ基または２−フルオロテトラヒドロフラン−２−イルオキシ基等が例示できる。
＜アルコキシアルキルエステル化方法＞
ポリアミド酸のアルコキシアルキルエステルは通常以下の方法で合成される。
５〜７０質量％、好ましくは１５〜５０質量％のポリアミド酸溶液を−１５〜１００℃、好ましくは０〜６０℃に保持し、攪拌しながら酸触媒を１０〜１０００ｐｐｍ、好ましくは５０〜５００ｐｐｍ加える。この時の酸触媒としては、塩酸、蓚酸、ｐ-トルエンスルホン酸が好ましい。次にアルキルビニルエーテルを１〜３００分、好ましくは１０〜６０分かけて加える。ポリアミド酸濃度を上記範囲に保持することにより、攪拌を十分に行うことができ、反応速度制御が容易となる。また反応温度を上記範囲に保持することにより、発熱によるモノマーのゲル化や異種反応を起こすことなく目的とするアルコキシエステルを得ることができる。この時、アルキルビニルエーテルのカルボキシル基に対するモル比は１．０〜３．０倍、好ましくは１．１〜２．０倍とする。モル比を制御することにより、アルコキシアルキルエステルの貯蔵安定性及び光反応性をを制御できる。反応終了後、重炭酸ソーダを溶かした飽和食塩水を加え水洗する。この時の重炭酸ソーダの量は、酸触媒の２倍モルが目安である。ｐＨが７．０〜７．５であることを確認後分液する。有機相に１５％燐酸１ソーダ水溶液を加え水洗する。ｐＨが６．５〜７．０であることを確認後分液する。エステル化率は、ポリアミド酸骨格及びアルキルビニルエーテル骨格により異なるが、通常全カルボン酸の６５〜１００モル％の範囲にあり、残存モノマーは留去する。
【００１８】
ポリアミド酸アルコキシアルキルエステルの含有量は、組成物中５〜７０質量％（固形分換算）、好ましくは１５〜５０質量％である。含有量が５質量％以上含有することにより、アルカリ溶液による溶解性が向上し、高い解像度を得ることができると同時に、最終硬化膜としてポリイミドの特長である耐熱性、耐薬品性、電気絶縁性等を発現できる。また７０質量％以下にし、光酸発生剤を併用することでポジ型感光性樹脂とできる。
【００１９】
本発明は、必要に応じて多官能アクリレート、エポキシ樹脂、フェノール樹脂及びイソシアネートを併用することができる。
【００２０】
［光酸発生剤］
本発明に用いる光酸発生剤は、トリアジン系、オニウム塩系、ジフェニルヨードニウム系、ジアゾジスルホン系、トリフェニルスルホニウム系等、α、α−ジクロロ−４−フェノキシアセトフェノン及び４，４‘−（α、α―ジクロロアセチル）ジフェニルエーテル等何れでも使用することができる。これらは、特性低下を招かない限り、２種以上を併用しても差し支えない。
【００２１】
光酸発生剤の添加量は、所望のエネルギーで硬化できる量であれば限定はないが、通常組成物中（固形分換算）に０．０５〜２０．０質量％、好ましくは０．１〜１０．０質量％、更に好ましくは０．２〜５．０質量％である。０．０５質量％よりも多くいれることにより、アルコキシアルキルエステルの脱離が現像時のコントラストを満足できるに十分な量となる。また２０．０質量％以下とすることで、最終塗膜の耐マイグレーション性の保持性が向上する。
【００２２】
［溶 剤］
本発明に用いる溶剤は、樹脂組成物の一部または全部を溶解し易いことが好ましいが、作業性（乾燥性含む）、樹脂物性を向上させるかまたは損なわない範囲で貧溶媒を使用することができる。
【００２３】
具体的な溶剤としては例えばケトン類、アルコール類、エーテル及びエステル類、エステル類、グリコールエーテル類、アミン、アミド類、炭化水素類等が挙げられる。これらは単独で用いても良いが、複数を併用しても良い。例えば、低沸点溶剤と高沸点溶剤を混合することにより乾燥時の発泡を抑制することができ、ドライフィルムの品質を向上させることができる。
【００２４】
本発明において、ワニスを調製する場合、作業性（乾燥性含む）、樹脂物性を向上させるかまたは損なわない範囲であれば特に量は規定されないが、好ましくは樹脂組成物中３０〜９０重量％、更に好ましくは４５〜７０重量％を使用すると、ドライフィルム作製時レベリング性が向上し、品質の向上につながる。
【００２５】
ケトン類では例えばアセトン，メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、メチル−ｎ−アミルケトン、アセトニルアセトン、イソホロン、アセトフェノン等が挙げられ、これら単独または複数を併用できる。
【００２６】
エーテル及びアセタール類では例えばｎ−ブチルエーテル、ｎ−ヘキシルエーテル、エチルフェニルエーテル、１，４−ジオキサン、トリオキサン、ジエチルアセタール、１，２−ジオキソラン、テトラヒドロピラン、テトラヒドロフラン、等が挙げられ、これら単独または複数を併用できる。
【００２７】
アルコール類では例えばエチルアルコール、イソプロピルアルコール、ｎ−ブタノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ヘキシレングリコール、テキサノール、等が挙げられ、これら単独または複数を併用できる。
【００２８】
エステル類では例えばギ酸メチル、ギ酸エチル、ギ酸プロピル、ギ酸イソブチル、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸ベンジル、酢酸イソアミル、乳酸エチル、安息香酸メチル、シュウ酸ジエチル、コハク酸ジメチル、グルタミン酸ジメチル、アジピン酸ジメチル、炭酸メチル、炭酸エチル、炭酸プロピル、炭酸ブチル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルアセテート、エチレングリコールモノプロピルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジアセテート、等が挙げられ、これら単独または複数を併用できる。
【００２９】
グルコールエーテル類では例えばエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールジブチルエーテル等が挙げられ、これら単独または複数を併用できる。
【００３０】
アミン、アミド類では例えばジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ピリジン、ピラジン、等が挙げられ、これら単独または複数を併用できる。
【００３１】
炭化水素類では例えばｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、ｎ−デカン、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、ジエチルベンゼン、ピネン等が挙げられ、これら単独または複数を併用できる。
その他、ジメチルスルホキシド等も使用することができる。
これらは作業性（乾燥性含む）、樹脂物性を向上させるかまたは損なわない範囲であれば同一の群以外と併用しても差し支えない。
【００３２】
本発明において、固形分１０〜９０質量％に調整された該感光性樹脂組成物を、一定厚みの無色透明なフィルムに一定厚みで塗布、乾燥し、感光性ポリイミドフィルムを得ることができる。
【００３３】
ここで無色透明なフィルムとしては、低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリアリレート、エチレン／シクロデセン共重合体（三井化学製、商品名（商標）：ＡＰＥＬ）等を用いる。ポリアミド酸は水分により物性が変化するため、低透湿性の樹脂が望ましく、従ってこれらの中では、ＡＰＥＬ（商標）及びポリエチレン、ポリプロピレンが好適である。また、塗工性、付着性、ロール性、強靱性、コスト等を考慮した時、フィルムの厚みが１５〜１００μｍ、好ましくは３０〜７５μｍであるポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン含有率の高いＡＰＥＬ（商標）が更に好ましい。
【００３４】
感光性ポリイミドフィルムは、上記のフィルムにリバースロールコーターやグラビアロールコーター、コンマコーター、カーテンコーター等の公知の方法で塗布することができる。乾燥は、熱風乾燥や遠赤外線、近赤外線を用いた乾燥機で、温度５０〜１２０℃で乾燥でき、より好ましくは６０〜１００℃で１０〜６０分乾燥することにより得ることができる。
【００３５】
感光性ポリイミドフィルムの膜厚は、５〜１００μｍ、より好ましくは１０〜５０μｍである。膜厚が５μｍ以上は絶縁信頼性に問題が無く、１００μｍ以下にすることで解像度を向上させることができる。
感光性皮膜は、微細孔や微細幅ラインを形成するため、任意のパターンが書かれたフォトマスクを通して露光される。露光量は、樹脂組成物により異なるが、通常３０〜１０００mj/cm2であり、より低エネルギーで解像度の高いことが要求される。この時使用される活性光線としては、例えば電子線、紫外線、Ｘ線等が挙げられるが、好ましくは紫外線が良い。光源としては低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ等を使用することができる。このようにして得られた皮膜は、銅箔のエッチングに用いられる塩化第二銅、塩化第二鉄等の酸性のエッチング液に対する耐性に優れている。
【００３６】
次に現像液を用い、浸漬法やスプレー法にて現像を行う。現像液としては、水酸化ナトリウム水溶液、炭酸ナトリウム水溶液等のアルカリ水溶液が使用できる。
このようにして、レジスト膜により所定のパターンが形成された銅張り積層板は次に上記のようなエッチング液を用い、レジスト膜の無い部分の銅箔を溶解・除去し、所定の回路パターンを形成できる。回路パターン形成後は、水酸化ナトリウム等のアルカリ溶液で除去される。
【００３７】
【実施例】
以下、代表的な実施例により本発明を詳細に説明するがこれに限定されたものではない。
（合成例１）
〔ポリアミド酸アルコキシアルキルエステルＰＡＥ１〕
反応器（攪拌機、還流冷却器及び窒素導入管付き）中、窒素雰囲気下、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド３５０ｇ、ジエチレングリコールジメチルエーテル２９１ｇに１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン１７３．２ｇ（０．５９３モル）を溶解し、これを攪拌しながらピロメリット酸二無水物１２６．８ｇ（０．５８２モル）（モル比０．９８１）を乾燥固体のまま少量づつ添加した。この間反応温度を２５〜３０℃に保ち、添加後１０時間窒素雰囲気下で攪拌を継続した。次に液温を５０〜６０℃に昇温し、その中にイソブチルビニルエーテル５９.０ｇ（０．５９０モル）を約３０分かけて添加した。反応を更に２０時間行い固形分３５質量％のポリアミド酸イソブトキシエチルエステル溶液（ＰＡＥ１）を得た。
（合成例２）
〔ポリアミド酸アルコキシアルキルエステルＰＡＥ２〕
合成例１の１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼンの代わりに、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ビフェニルを用い、合成例１と同一モル比（０．９８１）、反応条件で行った。更にイソブチルビニルエーテルの代わりにｔ-ブチルビニルエーテル５９.０ｇ（０．５９０モル）を反応させ、固形分３５質量％のポリアミド酸ｔ-ブトキシエチルエステル溶液（ＰＡＥ２）を得た。
【００３８】
（実施例１）
合成例１で得られたＰＡＥ１を２００質量部と光酸発生剤ジフェニル-４-メチルフェニルスルフォニウムトリフルオロメタンスルフォネート（Ｗａｋｏ社製、以下ＷＰＡＧ−３３６と記す）１．５質量部を混合溶解し、ワニスを調製した。このワニスを幅３０ｃｍ、厚さ２０μｍのキャリアフィルムとしてポリプロピレンフィルム上に約１００μｍの厚みで塗工後、熱風循環乾燥炉内で８０℃×２０分間乾燥、厚さ２０μｍのリリースフィルムを張り合わせドライフィルムを作製した。作製したドライフィルムは、リリースフィルムを剥がした後、パターン形成されたサスペンション基材（ＳＵＳ／ＰＩ／Ｃｕ＝２０／１０／１２μｍ）銅箔面上に重ね合わせ、位置合わせ後真空ラミネート装置で１００℃×２０秒圧着した。次に露光量１００ｍｊ/ｃｍ2で照射、キャリアフィルムを剥がした後、３０±１℃に保持された１％Ｎａ2ＣＯ3を０．１５ＭＰａで噴霧後、２５０℃×１０分間加熱硬化させ評価用テストピースに供した。
【００３９】
（実施例２）
合成例２で得られたＰＡＥ２を２００質量部と光酸発生剤 ビス（シクロヘキシルスルフォニル)ジアゾメタン（Ｗａｋｏ社製、以下ＷＰＡＧ−１４５と記す）２．５質量部を混合溶解し、ワニスを調製した。このワニスを幅３０ｃｍ、厚さ２０μｍのキャリアフィルムとしてポリプロピレンフィルム上に約１００μｍの厚みで塗工後、熱風循環乾燥炉内で８０℃×２０分間乾燥、厚さ２０μｍのカバーフィルムを張り合わせドライフィルムを作製した。作製したドライフィルムは、カバーフィルムを剥がした後、パターン形成されたサスペンション基材（ＳＵＳ／ＰＩ／Ｃｕ＝２０／１０／１２μｍ）銅箔面上に重ね合わせ、位置合わせ後真空ラミネート装置で１００℃×２０秒圧着した。次に露光量１００ｍｊ/ｃｍ2で照射、キャリアフィルムを剥がした後、３０±１℃に保持された１％Ｎａ2ＣＯ3を０．１５ＭＰａで噴霧後、２５０℃×１０分間加熱硬化させ評価用テストピースに供した。
（実施例３）
合成例１で得られたＰＡＥ１を２００質量部と光酸発生剤ジフェニル-４-メチルフェニルスルフォニウムトリフルオロメタンスルフォネート（Ｗａｋｏ社製、以下ＷＰＡＧ−３３６と記す）１．５質量部およびビスフェノールＡ型エポキシ樹脂Ｒ１３９Ｓ（商品名：三井化学（株）社製、ＥＥＷ＝１８４ｇ／ｅｑ）１８．０質量部、フェノールノボラック樹脂ＰＳＭ−４３２６（群栄化学工業社製、ＯＨ当量＝１０４ｇ／ｅｑ）１０．０質量部を混合溶解し、ワニスを調製した。このワニスを幅３０ｃｍ、厚さ２０μｍのキャリアフィルムとしてポリプレピレンフィルム上に約１００μｍの厚みで塗工後、熱風循環乾燥炉内で８０℃×２０分間乾燥、厚さ２０μｍのカバーフィルムを張り合わせドライフィルムを作製した。作製したドライフィルムは、カバーフィルムを剥がした後、パターン形成されたサスペンション基材（ＳＵＳ／ＰＩ／Ｃｕ＝２０／１０／１２μｍ）銅箔面上に重ね合わせ、位置合わせ後真空ラミネート装置で１００℃×２０秒圧着した。次に露光量１００ｍｊ/ｃｍ2で照射、キャリアフィルムを剥がした後、３０±１℃に保持された１％Ｎａ2ＣＯ3を０．１５ＭＰａで噴霧後、２５０℃×１０分間加熱硬化させ評価用テストピースに供した。
【００４０】
（比較例１）
反応器（攪拌機、還流冷却器及び窒素導入管付き）中、窒素雰囲気下、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド３５０ｇ、ジエチレングリコールジメチルエーテル３５０ｇに１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン１７３．２ｇ（０．５９３モル）を溶解し、これを攪拌しながらピロメリット酸二無水物１２６．８ｇ（０．５８２モル）（モル比０．９８１）を乾燥固体のまま少量づつ添加した。この間反応温度を２５〜３０℃に保ち、添加後２０時間窒素雰囲気下で攪拌を継続し、固形分３０質量％のポリアミック酸溶液（ＰＡ１）を得た。このワニスを幅３０ｃｍ、厚さ２０μｍのキャリアフィルムとしてポリプレピレンフィルム上に約１００μｍの厚みで塗工後、熱風循環乾燥炉内で８０℃×２０分間乾燥、厚さ２０μｍのカバーフィルムを張り合わせドライフィルムを作製した。作製したドライフィルムは、カバーフィルムを剥がした後、パターン形成されたサスペンション基材（ＳＵＳ／ＰＩ／Ｃｕ＝２０／１０／１２μｍ）銅箔面上に重ね合わせ、位置合わせ後真空ラミネート装置で１００℃×２０秒圧着し、２５０℃×１０分間加熱硬化させ評価用テストピースに供した。
（比較例２）
３，４’-ジアミノフェニルエーテル６０１ｇ、無水ピロメリット酸（酸価：１０１１ｍｇＫＯＨ／ｇ）４３６ｇ、γ-ブチロラクトン１０３０ｇを４０℃×５Ｈｒｓ反応させ、末端アミンカルボキシル基含有ポリアミドプレポリマー（固形分の酸価：２１２．５ｍｇＫＯＨ／ｇ）を得た。次にグリシジルメタクリレート５０８ｇ及びｐ−メトキシフェノール１．７５ｇをし込み、９５℃×１０Ｈｒｓ反応し、固形分６０質量％のカルボキシル基含有ポリアミドオリゴマー（ＰＯ−１）を得た。このＰＯ−１を１５０ｇとジペンタエリスリトールε-カプロラクトン付加物のポリアクリレート（商品名：ＤＰＣＡ−６０、日本化薬社製）２０ｇ及び光開始剤としてベンゾフェノン５．０ｇ、ＤＥＴＸ２．０ｇを混合し、感光性樹脂組成物を得た。このワニスを幅３０ｃｍ、厚さ２０μｍのキャリアフィルムとしてポリプレピレンフィルム上に約１００μｍの厚みで塗工後、熱風循環乾燥炉内で８０℃×２０分間乾燥、厚さ２０μｍのカバーフィルムを張り合わせドライフィルムを作製した。作製したドライフィルムは、カバーフィルムを剥がした後、パターン形成されたサスペンション基材（ＳＵＳ／ＰＩ／Ｃｕ＝２０／１０／１２μｍ）銅箔面上に重ね合わせ、位置合わせ後真空ラミネート装置で１００℃×２０秒圧着した。次に露光量１００ｍｊ/ｃｍ2で照射、キャリアフィルムを剥がした後、３０±１℃に保持された１％Ｎａ2ＣＯ3を０．１５ＭＰａで噴霧後、２５０℃×１０分間加熱硬化させ評価用テストピースに供した。
【００４１】
上記実施例、比較例で作製されたドライフィルム及び評価用テストピースを用い、以下の項目につき評価を行った。
評価１ 解像度：３００ｍｊ／ｃｍ2で露光し、３０±１℃の１．０％Ｎａ2ＣＯ3ａｑを０．１５Ｐａの圧力で噴霧、現像、硬化（２５０℃×１０分）後の解像度がヴィアホール１００μｍφ以下で有るか否かを確認した。
評価２ クロスカットピール：ＪＩＳ Ｋ ５４０４に準じた。
評価３ はんだ耐熱性：±５℃に保持された溶融はんだに樹脂面を下にして２０秒フロートした。（ＪＰＣＡ−ＢＭ０２に準拠）温度を１０℃刻みで上げ、皮膜の膨れ等が発生した時の温度−１０℃を測定値とした。
評価４ Ｔｇ：厚み３０〜３５μｍ、幅４ｍｍ、長さ２５ｍｍの硬化フィルムを作製し、セイコー電子社製ＴＭＡ／ＳＳ１００を用い、引張りモード加重５ｇ、昇温速度２℃／Ｍｉｎ．で測定した。
実施例１〜３及び比較例１〜２の評価結果を表１に示す。
【００４２】
【評価結果】
【表１】
【発明の効果】
本発明の樹脂組成物は水酸化ナトリウム水溶液，炭酸ナトリウム水溶液等のアルカリ水溶液で現像できると共に、低エネルギー露光によりファインな画像形成が可能で、現像後の熱処理後の皮膜特性として、ポリイミド特有の優れた耐熱性、導体との接着性、電気特性等を発現できる。
Claims (4)
- 一般式（１）で表される反復単位を含むポリイミド前駆体（Ａ）、酸発生化合物（Ｂ）、及び溶剤（Ｃ）を必須成分として含有する感光性樹脂組成物から得られ、サスペンション基材の銅箔面上に積層される、ドライフィルム。
Ｒ１は、芳香族テトラカルボン酸二無水物由来の四価の有機基であり、
Ｒ２は、二価の有機基であるが、Ｒ１またはＲ２が、アミド結合を有する場合を除き、
Ｒ３は、一般式（２）で表される有機基を表し、
ｎは、１〜１００の正数を表す）
Ｘは、水素原子、ハロゲン原子または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基を表し、
Ｙは、水素原子または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の置換アルキル基を表し、
Ｚは、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の置換アルキル基を表し、
Ｙ及びＺは、結合して環構造を形成してもよい） - 一般式（１）で表される反復単位を含むポリイミド前駆体（Ａ）、酸発生化合物（Ｂ）、及び溶剤（Ｃ）を必須成分として含有する感光性樹脂組成物から得られ、銅箔面上に積層される、ドライフィルム。
Ｒ １ は、芳香族テトラカルボン酸二無水物由来の四価の有機基であり、
Ｒ ２ は、二価の有機基であるが、Ｒ １ またはＲ ２ が、アミド結合を有する場合を除き、
Ｒ ３ は、一般式（２）で表される有機基を表し、
ｎは、１〜１００の正数を表す）
Ｘは、水素原子、ハロゲン原子または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基を表し、
Ｙは、水素原子または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の置換アルキル基を表し、
Ｚは、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の置換アルキル基を表し、
Ｙ及びＺは、結合して環構造を形成してもよい） - 一般式（１）で表される反復単位を含むポリイミド前駆体（Ａ）、酸発生化合物（Ｂ）、及び溶剤（Ｃ）を必須成分として含有する感光性樹脂組成物から得られ、導体上に積層される、ドライフィルム。
Ｒ １ は、芳香族テトラカルボン酸二無水物由来の四価の有機基であり、
Ｒ ２ は、二価の有機基であるが、Ｒ １ またはＲ ２ が、アミド結合を有する場合を除き、
Ｒ ３ は、一般式（２）で表される有機基を表し、
ｎは、１〜１００の正数を表す）
Ｘは、水素原子、ハロゲン原子または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基を表し、
Ｙは、水素原子または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の置換アルキル基を表し、
Ｚは、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基または炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐の置換アルキル基を表し、
Ｙ及びＺは、結合して環構造を形成してもよい） - 前記ドライフィルムは、絶縁保護膜となる、請求項１〜３のいずれか一項に記載のドライフィルム。
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