JP5569037B2 - 感光性接着シート - Google Patents
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i線透過率(%)=(試料を通過したi線の強度/試料に対して入射したi線の強度)×100
攪拌機、温度計、冷却管、及び窒素置換装置を備えたフラスコ内に、3,5−ジアミノ安息香酸(分子量152.2、以下「DABA」と略す。)1.89g、脂肪族エーテルジアミン(BASF社製「D−400」(商品名)、分子量452.4)15.21g、1,1,3,3−テトラメチル−1,3−ビス(4−アミノフェニル)ジシロキサン(信越化学製「LP−7100」(商品名)分子量248.5)0.39g及びN−メチル−2−ピロリジノン(以下NMPと略す。)116gを仕込んだ。次いで4,4’−オキシジフタル酸二無水物(分子量326.3、以下「ODPA」と略す)16.88gを、フラスコを氷浴中で冷却しながら、フラスコ内に少量ずつ添加した。添加終了後、室温で更に5時間攪拌した。次にフラスコに水分受容器付の還流冷却器を取り付け、キシレン70gを加え、窒素ガスを吹き込みながら180℃に昇温させてその温度を5時間保持し、水と共にキシレンを共沸除去した。こうして得られた溶液を、室温まで冷却した後、蒸留水中に投じて再沈殿させた。得られた沈殿物を真空乾燥機で乾燥しポリイミド樹脂(以下「ベースポリマー」という。)を得た。
・BPE−100:新中村化学、エトキシ化ビスフェノールAジメタクリレート
・M313:東亜合成、ウレタンアクリレート
・YDF−8170:東都化成、ビスフェノールF型エポキシ樹脂
・TrisP−PA:本州化学、トリスフェノール化合物(α,α,α’−トリス(4−
・ヒドロキシフェニル)−1−エチル−4−イソプロピルベンゼン)
・R972:日本アエロジル、疎水性フュームドシリカ
1.基材
PPフィルム
・トレファン2500s:東レ(株)製、未はく離処理、i線透過率:87%
離型用シリコーンで表面処理をしたPETフィルム
・A53:帝人製、はく離処理、i線透過率:77%
・フィルムバイナ38E−0010GC:藤森工業製、はく離処理、i線透過率:83%
・フィルムバイナ38E−0010NSL―6:藤森工業製、はく離処理、i線透過率:82%
2.カバーフィルム
・フィルムバイナ38E−0010GC
上記ワニスを、基材としてのPPフィルム(トレファン2500s)上に塗布し、塗布されたワニスをオーブン中にて80℃に20分の加熱により乾燥して、厚さ40μmの感光性接着フィルムを形成した。その後、離型用シリコーンで表面処理したPETフィルム(フィルムバイナ38E−0010GC)をカバーフィルムとして感光性接着フィルムに貼り合せた。感光性接着フィルムのi線透過率は7%であった。
上記ワニスを、基材としての離型用シリコーンで表面処理したPETフィルム(A53)上に塗布し、塗布されたワニスをオーブン中にて80℃に20分の加熱により乾燥して、厚さ40μmの感光性接着フィルムを形成した。その後、離型用シリコーンで表面処理したPETフィルム(フィルムバイナ38E−0010GC)をカバーフィルムとして感光性接着フィルムに貼り合せた。感光性接着フィルムのi線透過率は7%であった。
上記ワニスを、基材としての離型用シリコーンで表面処理したPETフィルム(フィルムバイナ38E−0010GC)上に塗布し、塗布されたワニスをオーブン中にて80℃に20分の加熱により乾燥して、厚さ40μmの感光性接着フィルムを形成した。その後、離型用シリコーンで表面処理したPETフィルム(フィルムバイナ38E−0010GC)をカバーフィルムとして感光性接着フィルムに貼り合せた。
上記ワニスを、基材としての離型用シリコーンで表面処理したPETフィルム(フィルムバイナ38E−0010NSL―6)上に塗布し、塗布されたワニスをオーブン中にて80℃に20分の加熱により乾燥して、厚さ40μmの感光性接着フィルムを形成した。その後、離型用シリコーンで表面処理したPETフィルム(フィルムバイナ38E−0010GC)をカバーフィルムとして感光性接着フィルムに貼り合せた。
カバーフィルムが除去された感光性接着シートを、シリコンウェハ(6インチ径、厚さ400μm)上に、その感光性接着フィルム面がシリコンウェハ側になるように置き、ロールと支持体とを有する装置(株式会社ラミーコーポレーション製HOTDOG 12DX)を用いて、50℃、線圧:4kgf/cm、送り速度:0.5m/minの条件で感光性接着シートをシリコンウェハにラミネートした。ラミネートされた感光性接着シートの基材上にフォトマスク(幅100μmのライン状の透過部を有するフォトマスク)を載せ、高精度平行露光機(ミカサ株式会社)を用いて、露光量が500mJ/cm2(ブロードバンド)又は1000mJ/cm2(i線)の条件で紫外線を基材側から照射した。基材をはく離し、テトラメチルアンモニウムハイドライド(TMAH)2.38%溶液を用い、圧力1.5kgf/cm2でスプレー現像した。現像後、残った感光性接着フィルムを水洗し、ライン幅1mmのパターンが形成されているか否かを確認した。パターンが形成されていた場合を「A」、パターンが形成されていなかった場合を「B」と評価した。パターン形成性の評価結果を表1に示す。
カバーフィルムが除去された感光性接着シートを、シリコンウェハ(6インチ径、厚さ400μm)上に、その感光性接着フィルム面がシリコンウェハ側になるように置き、ロールと支持体とを有する装置(株式会社ラミーコーポレーション製HOTDOG 12DX)を用いて、50℃、線圧:4kgf/cm、送り速度:0.5m/minの条件で感光性接着シートをシリコンウェハにラミネートした。次に、高精度平行露光機(ミカサ式会社)を用いて、露光量が500mJ/cm2(ブロードバンド)又は1000mJ/cm2(i線)の条件で紫外線を基材側から全面照射した。露光後1分以内に、感光性接着シートを80℃のホットプレート上に感光性接着フィルムがホットプレート側となる向きで置き、1分間放置した。次いで基材をはく離し、感光性接着フィルム上に感圧型のダイシングテープをラミネートした。その後、ダイサーを用いてシリコンウェハを感光性接着フィルムとともに3mm×3mmサイズに裁断して、感光性接着フィルムが積層されたシリコンチップを得た。このシリコンチップを、10mm×10mm×0.55mm厚のガラス基板上に感光性接着フィルムがシリコンチップとガラス基板に挟まれるような向きで載せ、150℃の熱盤上で500gf、10秒の条件で熱圧着した。その後、180℃のオーブン中での3時間の加熱により、感光性接着フィルムを硬化させた。得られたサンプルについて、Dage製接着力試験機Dage−4000を用いて、260℃の熱盤上に20秒放置後に速度:50μm/秒、高さ:50μmの条件でシリコンチップ側にせん断方向の外力を加えたときの最大応力を測定した。この最大応力を260℃におけるせん断接着力とした。せん断接着力の測定結果を表2に示す。
Claims (2)
- 基材と、前記基材上に積層された感光性接着フィルムと、前記感光性接着フィルムの前記基材とは反対側の面上に積層されたカバーフィルムと、を備え、
前記基材がポリプロピレンフィルムであり、
前記感光性接着フィルムが、主鎖にイミド基を有するポリマーを含むベースポリマーと、光重合性化合物と、熱硬化性成分と、無機充填材と、を含有するネガ型の感光性接着剤から形成されており、
前記基材と前記感光性接着フィルムとの粘着力が、前記カバーフィルムと前記感光性接着フィルムとの粘着力よりも大きい、感光性接着シート。 - 前記基材のi線透過率が84%以上である、請求項1に記載の感光性接着シート。
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